JP2009204342A - 渦電流式試料測定方法と渦電流センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁心が磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製である渦電流センサを使用し、磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数(寸法共鳴が生ずる周波数)又はその近傍の周波数で前記渦電流センサを作動させて(磁心を励磁して)定在波の山の部分に磁束を集中させて、その磁界(磁束断面積)を磁心の磁路断面積より小さくし、その磁束を渦電流センサの磁心に与えるようにした。渦電流センサの磁心を、磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製として、励磁時の磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数で作動させると、発生磁束が定在波の山の部分に集中するようにした。磁心材料をMn−Znフェライトとすることができる。
【選択図】 図2
Description
1.試料に印加する交流磁界の発生磁束が磁心全般に広がるため検知される空間分解能(測定分解能)が磁心の磁路断面積の大きさに制約され、磁心の磁路断面積より小さい分解能を得ることができない。
2.実際の測定ではコアBに巻かれた励磁コイルCと自励発振器Aの間に接続用のリード線が必要であり、リード線の長さは測定する試料の大きさにもよるが長い場合は数10cm以上必要となることがあり、その等価回路は図26のようになる。図26のL1は励磁コイルCのインダクタンス、R1は試料Dの等価抵抗、R2は磁心の鉄損に起因する抵抗、L2、L3はリード線のインダクタンス、R3、R4はリード線の抵抗成分、V2は印加電圧、Iは電流検出器である。実際の測定では図24、図25の自励発振器Aの振幅電圧を一定に制御しているため、励起コイルCと直列に存在するリード線のインダクタンスL2、L3及び抵抗成分R3、R4の影響を受けて、励磁コイルCに供給される高周波電圧を一定に保つことが出来ず測定誤差の要因となっている。
(1)磁心の磁路断面積より小さい範囲に磁界を集中発生させ、その磁界を試料に与えるので、渦電流センサの磁心の磁路断面積より小さい空間分解能を得ることができ、検出精度が向上する。
(2)従前のNi−Znフェライトコアの巻線への印加電圧と同じ電圧値で、試料の測定導電率の空間分解能を向上させることができる。
(1)励磁コイルのリード線のインダクタンス、抵抗等の影響を受けることなく励磁コイルの励起電圧を検出でき、試料の抵抗率、シート抵抗、膜厚などを従来方式に比べて高精度、高感度で測定可能となり、励磁コイルの入力端子で励起電圧を検出していた従来の測定方法では検出困難であった試料の潜在的課題を検出することも可能となる。
(2)請求項2記載の渦電流式測定方法は、高入力インピーダンスの検出器で検出された検出電圧を、励磁コイルに印加する印加電圧の制御に使用するので、印加電圧の安定化を図ることができる。
イルが巻かれた渦電流センサを二セット使用して、一方は測定用、他方は非測定用とし、非測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧と、試料測定により渦電流の影響を受けた測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧との電圧差を検出する差動方式であるため、渦電流による影響を受けた励磁コイルの印加電圧のみを高精度、高感度で検出できる。
(1)検出コイルに高入力インピーダンスの検出器を接続して電圧検出することにより、励磁コイルのリード線のインダクタンス、抵抗等の影響を受けることなく励磁コイルの印加電圧を高精度、高感度で検出可能となる。
(2)前記検出電圧を励磁コイルに印加する高周波電圧の制御に利用できるため、励磁コイルに印加する高周波励磁電圧を安定させることができる。
本発明の渦電流センサは、図1(d)の形状のコア(磁心)Bを、磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製、例えば、Mn−Znフェライト製としてあり、それにセンサコイル(励磁コイル)Cが巻かれ、その励磁コイルCの両端子を交流電圧印加端子としてある。コアBには前記材料以外の材料、例えばNi−Zn系フェライト等を使用することもできる。
磁界の強さHの単位は〔A/m〕、磁束密度Bの単位は〔T〕又は〔wb/m2〕、磁束φの単位は〔wb〕である。
本発明の渦電流式測定方法は図3に示す試料測定システムで測定することもできる。図3の測定システムは、図1(a)の渦電流センサ2を対向させ、両渦電流センサ2間のギャップに試料Dを入れる(セットできる)ようにした両面センサ方式である。図3の両渦電流センサ2のコアBに巻かれた励磁コイルCの巻き方向は、両渦電流センサ2の磁束φの発生方向(フレミングの右手の法則に基づく磁力発生方向)が互いに加算される方向になるようにする。磁束φの発生方向は励磁コイルCに流れる高周波電流の変化に応じて反転する。
本発明の渦電流式測定方法では、渦電流センサとして図1(b)のように、磁心Bに、励磁コイルCとは別に、検出コイル1をも巻き、その両端子を検出端子としたものを使用することもできる。検出コイル1は励磁コイルCの上に重ねて巻くことも、励磁コイルCとは別の箇所に巻くこともできる。励磁コイルCの巻き数と検出コイル1の巻き数は任意に選択することができる。
図19は図1(b)の渦電流センサ2を対向させて両面センサ式とした試料測定システムであり、両渦電流センサ2の検出コイル1の測定端に高入力インピーダンス検出器Jを接続してある。この場合も、図19の両渦電流センサ2のコアBに巻かれた励磁コイルCの巻き方向は、両渦電流センサ2の磁束φの発生方向(フレミングの右手の法則に基づく磁力発生方向)が互いに加算される方向になるようにする。この場合も、磁束φの発生方向は励磁コイルCに流れる高周波電流の変化に応じて反転する。
本発明の渦電流式試料測定方法の他の例を図20に示す。図20は片面式の渦電流センサ2を2セット使用した片面センサ差動方式であり、第一渦電流センサ2はその励磁コイルCに励磁電流を流して試料Dを測定する測定用センサとし、第二渦電流センサ2は試料をセットせずに励磁コイルCに励磁電流を流すだけの非測定用としてあり、両渦電流センサ2の検出コイル1は夫々の誘起電圧が逆方向となるように直列接続して、試料がない場合は励磁コイルCに励磁電圧を印加してもこの直列回路に誘起電圧が発生しないようにしてある。
本発明の渦電流式試料測定方法の他の例を図21に示す。図21に示すものは両面式の渦電流センサ2を2セット使用した両面センサ差動方式である。図21の両渦電流センサ2のコアBに巻かれた励磁コイルCの巻き方向も、両渦電流センサ2の磁束φの発生方向が図6のように互いに加算される方向になるようにしてある。この磁束φも励磁コイルCに流れる高周波電流の変化に対応して発生方向が反転する。
本発明の渦電流式試料測定方法の他の例を図22に示す。図22に示すものは図1(c)のように励磁コイルC、検出コイル1の他に第二検出コイル3を設けた渦電流センサ2を2セット使用した両面センサ差動方式であり、2セットの渦電流センサ2に第二検出コイル3を巻き、2セットの渦電流センサ2の第二検出コイル3を夫々の誘起電圧が同方向となるように直列接続してある。図22の両渦電流センサ2の励磁コイルCの巻き方向も、両渦電流センサ2の磁束φの発生方向が互いに加算される方向になるようにしてある。この磁束φも励磁コイルCに流れる高周波電流の変化に対応して発生方向が反転する。
本発明の渦電流式試料測定方法の他の例を図23に示す。これは第二検出コイル3を測定用渦電流センサ2のコアのみに巻いて、非測定用渦電流センサ2のコアには巻かない方式である。この場合も、非測定用渦電流センサ2に試料をセットせず、測定用渦電流センサ2には試料Dをセットして両渦電流センサ2に励磁電圧を印加すると、非測定用渦電流センサ2の第一検出コイル1の誘起電圧と測定用渦電流センサ2の第一検出コイルの誘起電圧の差が高入力インピーダンス検出器Jで検出され、同時に、試料測定により渦電流の影響を受けた測定用渦電流センサ2の第二検出コイル3の誘起電圧が第二の高入力インピーダンス検出器K(図23)で検出される。この検出電圧を検波器Eで検波し、誤差増幅器Gに入力して、振幅電圧制御器Hの制御に使用することができる。
2 渦電流センサ
3 第二検出コイル
A 自励発信器
B コア(磁心)
C センサコイル(励磁コイル)
D 試料
E 検波器
F 基準電圧発生器
G 誤差増幅器
H 振幅電圧制御器
I 電流検出器
J 高入力インピーダンス検出器
K 第二の高入力インピーダンス検出器
L1 励磁コイルのインダクタンス
L2、L3 リード線のインダクタンス
R1 試料の等価抵抗
R2 磁心の鉄損に起因する抵抗
R3、R4 リード線の抵抗成分
V2 印加電圧
Claims (6)
- 試料に交流磁界を印加して渦電流を発生させ、その渦電流による電力吸収を検出して試料の抵抗率、シート抵抗、膜厚といった各種測定を行う渦電流式試料測定方法において、その測定に、磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる磁心材料製の渦電流センサを使用し、渦電流センサの磁心内部に電磁波の寸法共鳴を発生させること、又は、その渦電流センサを磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数又はその近傍の周波数で磁心を励磁して、定在波の山の部分に集中した磁束を発生させることによりその磁束断面積を磁心の磁路断面積より小さくし、その磁束を試料に与えて試料に渦電流を生じさせることを特徴とする渦電流式試料測定方法。
- 請求項1記載の渦電流式試料測定方法において、励磁コイルとは別に一又は二以上の検出コイルが巻かれた渦電流センサを使用し、請求項1記載の渦電流式試料測定方法により試料測定し、その試料測定により渦電流の影響を受けた渦電流センサの前記一又は二以上の検出コイルの誘起電圧を、夫々の検出コイルに接続された高入力インピーダンスの検出器で検出することを特徴とする渦電流式試料測定方法。
- 請求項2記載の渦電流式試料測定方法において、励磁コイルとは別に一又は二以上の検出コイルが巻かれた渦電流センサを二セット使用し、一方は測定用、他方は非測定用とし、両渦電流センサの検出コイルをそれらの誘起電圧が逆方向となるように直列接続して両渦電流センサに試料がセットされない場合は直列回路に電圧が発生しないようにし、非測定用渦電流センサには試料をセットせず、測定用渦電流センサには試料をセットして両渦電流センサに励磁電圧を印加し、測定用渦電流センサでは請求項1記載の渦電流式試料測定方法により試料測定し、試料測定により渦電流の影響を受けた前記測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧と非測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧との電圧差を前記直列回路において高入力インピーダンスの検出器で検出することを特徴とする渦電流式試料測定方法。
- 試料に交流磁界を印加して渦電流を発生させ、その渦電流による電力吸収を検出して試料の抵抗率、シート抵抗、膜厚といった各種測定に使用される渦電流センサにおいて、渦電流センサは磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる磁心材料製であり、磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数又はその近傍の周波数で励磁コイルを励磁すると、磁心に発生する磁界が定在波の山の部分に集中して、その磁界の磁束断面積が磁心の磁路断面積より小さくなるようにしたことを特徴とする渦電流センサ。
- 請求項4記載の渦電流センサにおいて、磁心材料がMn−Znフェライトであることを特徴とする渦電流センサ。
- 請求項4又は請求項5記載の渦電流センサにおいて、渦電流センサの磁心に、交流磁界を発生させる励磁コイルとは別に、試料測定により渦電流の影響を受けた渦電流センサの誘起電圧を検出する検出コイルを一又は二以上設けたことを特徴とする渦電流式試料測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008044824A JP5156432B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 渦電流式試料測定方法と渦電流センサ |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009204342A true JP2009204342A (ja) | 2009-09-10 |
JP5156432B2 JP5156432B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=41146786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008044824A Active JP5156432B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 渦電流式試料測定方法と渦電流センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5156432B2 (ja) |
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JP5156432B2 (ja) | 2013-03-06 |
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