JP2009203450A - 接着剤組成物、および接着フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る接着剤組成物は、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、マレイミド基を有するモノマーとを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする。これにより、高温での接着強度が維持された接着剤層を形成することができる接着剤組成物を提供することができる。
【選択図】なし
Description
本発明に係る接着剤組成物の一実施形態について以下に説明する。
本発明に係る接着剤組成物は、単量体組成物に、さらにマレイミド基含有モノマーを含む。マレイミド基含有モノマーを含むことにより得られる接着剤組成物は、主成分であるポリマーの主鎖にイミド環(イミド基を含む複素環)を有することになる。それにより、耐熱性、高温環境下(特に200℃〜250℃)における接着強度が向上する。また、250℃で1時間加熱する加熱工程などの高温プロセス後においても、容易に剥離することができる。
で表される化合物であることが好ましい。
本発明に係る接着剤組成物は、単量体組成物に、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルを含む。
本実施の形態に係る接着剤組成物は、単量体組成物に、スチレンをさらに含んでもよい。スチレンは、200℃以上の高温環境下においても変質することが無いため、接着剤組成物の耐熱性が向上する。
本実施の形態に係る接着剤組成物には、本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある添加剤、例えば接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着助剤、安定剤、着色剤および界面活性剤などの慣用されているものをさらに添加することができる。
単量体組成物の共重合反応は、公知の方法により行なえばよく、特に限定されるものではない。例えば、既存の攪拌装置を用いて、単量体組成物を攪拌することにより、本発明に係る接着剤組成物を得ることができる。
10000以上とすることにより、良好な柔軟性を持たせることができる。300000以下とすることにより、耐熱性が良好となる。
上述した本発明に係る接着剤組成物は、用途に応じて様々な利用形態を採用することができる。例えば、液状のまま、半導体ウェハーなどの被加工体の上に塗布して接着剤層を形成する方法を用いてもよいし、本発明に係る接着フィルム、すなわち、予め可撓性フィルムなどのフィルム上に上記の何れかの接着剤組成物を含む接着剤層を形成した後、乾燥させておき、このフィルム(接着フィルム)を、被加工体に貼り付けて使用する方法(接着フィルム法)を用いてもよい。
本実施形態に係る接着剤組成物を取り除くための剥離液としては、通常用いられる剥離液を用いることができるが、特にPGMEAや酢酸エチル、メチルエチルケトンを主成分とする剥離液が環境負荷や剥離性の点で好ましい。
実施例1〜4および比較例1に係る各接着剤組成物を6インチシリコンウェハー上に塗布した後、110℃、150℃、および200℃でそれぞれ3分間、合計9分間乾燥して、上記シリコンウェハー上に、膜厚15μmの塗膜を形成した。次に、それぞれの塗膜を40℃から250℃まで昇温して、塗膜からの脱ガス量を測定し、そのガス量により、各接着剤組成物の耐熱性および吸湿性を評価した。
6インチのシリコンウェハー上にスピンナーを用いて各接着剤組成物を1000rpmにて25秒間塗布した後、ホットプレート上において200℃、3分間加熱して、シリコンウェハー上に塗膜層を得た。次に、この塗膜層のクラックの有無を目視により観察し、クラックが有ったものを「×」、無しのものを「○」とした。なお、用いた塗膜の厚さは、15μmである。
シリコンウェハー上に、実施例1〜4および比較例1の接着剤組成物を塗布した後、150℃で3分間乾燥させた。次に、ガラス基板を200℃、1kgの加重で接着させた。そのガラス基板を引っ張り、ガラス基板がシリコンウェハーから剥がれたときの接着強度を縦型電動計測スタンドMX−500N(株式会社イマダ社製)を用いて算出した。250℃における接着強度が2kg/cm2 以上である場合を「○」とし、2kg/cm2 より小さい場合を「×」とした。
Claims (7)
- 鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする接着剤組成物であって、
上記単量体組成物が、マレイミド基を有するモノマーをさらに含むことを特徴とする接着剤組成物。 - 上記単量体組成物の総量を100質量部としたとき、上記マレイミド基を有するモノマーの量は、1質量部以上、50質量部以下であることを特徴とする請求項1に記載の接着剤組成物。
- 上記マレイミド基を有するモノマーは、N−メチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、またはN−フェニルマレイミドであることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の接着剤組成物。
- 上記ポリマーに占めるマレイミド基を有する繰り返し単位の含有量は、1モル%〜20モル%であることを特徴とする請求項1に記載の接着剤組成物。
- 上記単量体組成物が、スチレンをさらに含むことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の接着剤組成物。
- フィルム上に、請求項1〜6の何れか1項に記載の接着剤組成物を含有する接着剤層を備えることを特徴とする接着フィルム。
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