JP2009188059A - 半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエハ表面に生じる過剰エッチングを抑制し、かつ高い研磨速度を維持しつつ、良好な表面粗さが得られる半導体ウエハの鏡面研磨用コロイダルシリカおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径/短径比が1.2〜10であって、長径/短径比の平均値が1.5〜7である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にビシンとアルカリ剤を加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。
【選択図】なし
【解決手段】シリカ粒子の長径/短径比が1.2〜10であって、長径/短径比の平均値が1.5〜7である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にビシンとアルカリ剤を加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。
【選択図】なし
Description
本発明は、シリコンウエハあるいは表面に金属膜、酸化物膜、窒化物膜等(以下、金属膜等と記載する)が形成された半導体デバイス基板等の半導体ウエハの平面およびエッジ部分に研磨加工を施す半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ及びその製造方法に関する。
以下「半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ」を「研磨用コロイダルシリカ」と略記することがある。
以下「半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ」を「研磨用コロイダルシリカ」と略記することがある。
シリコン単結晶等半導体素材を原材料としたIC、LSIあるいは超LSI等の電子部品は、シリコンあるいはその他の化合物半導体の単結晶インゴットを薄い円板状にスライスしたウエハに多数の微細な電気回路を書き込み分割した小片状の半導体素子チップを基に製造されるものである。インゴットからスライスされたウエハは、ラッピング、エッチング、更には研磨(以下ポリッシングと記載することもある)という工程を経て、平面およびエッジ面が鏡面に仕上げられた鏡面ウエハに加工される。ウエハは、その後のデバイス工程にてその鏡面仕上げされた表面に微細な電気回路が形成されて行くのであるが、現在、LSIの高速化の観点から、配線材料は従来のAlからより電気抵抗の低いCuに、配線間の絶縁膜は、シリコン酸化膜からより誘電率の低い低誘電率膜に、更にCuと低誘電率膜の間に、Cuが低誘電率膜中に拡散することを防止するためのタンタルや窒化タンタルによるバリア膜を介した構造を有する配線形成プロセスに移行しつつある。こうした配線構造の形成と高集積化のために、層間絶縁膜の平坦化、多層配線の上下配線間の金属接続部(プラグ)形成や埋め込み配線形成などに繰り返し頻繁に研磨工程が行われる。この平面の研磨においては、合成樹脂発泡体あるいはスウェード調合成皮革等よりなる研磨布を展張した定盤上に半導体ウエハを載置し、押圧回転しつつ研磨用組成物溶液を定量的に供給しながら加工を行なう方法が一般的である。
エッジ面は上記の金属膜等が不規則に堆積した状態となっている。半導体素子チップに分割されるまではウエハは最初の円板状の形状を保ったままエッジ部を支えにした搬送等の工程が入る。搬送時にウエハの外周側面エッジが不規則な構造形状であると、搬送装置との接触により微小破壊が起こり微細粒子を発生する。その後の工程で発生した微粒子が散逸して精密加工を施した面を汚染し、製品の歩留まりや品質に大きな影響を与える。この微粒子汚染を防止するために、金属膜等の形成後に半導体ウエハのエッジ部分を鏡面研磨する加工が必要となっている。
エッジ面は上記の金属膜等が不規則に堆積した状態となっている。半導体素子チップに分割されるまではウエハは最初の円板状の形状を保ったままエッジ部を支えにした搬送等の工程が入る。搬送時にウエハの外周側面エッジが不規則な構造形状であると、搬送装置との接触により微小破壊が起こり微細粒子を発生する。その後の工程で発生した微粒子が散逸して精密加工を施した面を汚染し、製品の歩留まりや品質に大きな影響を与える。この微粒子汚染を防止するために、金属膜等の形成後に半導体ウエハのエッジ部分を鏡面研磨する加工が必要となっている。
上述のエッジ研磨は、研磨布支持体の表面に、合成樹脂発泡体、合成皮革あるいは不織布等からなる研磨布を貼付した研磨加工機に、半導体ウエハのエッジ部分を押圧しながら、シリカ等の研磨砥粒を主成分とする研磨用組成物溶液を供給しつつ、研磨布支持体とウエハもしくはどちらか一方を回転させて達成される。この際用いられる研磨用組成物の砥粒としては、シリコンウエハのエッジ研磨に用いられるものと同等のコロイダルシリカや、デバイスウエハの平面研磨に用いられるヒュームドシリカやセリア、アルミナなどが提案されている。特にコロイダルシリカやヒュームドシリカは微細な粒子であるため平滑な鏡面を得られ易く注目されている。
このような研磨用組成物は「スラリー」とも呼ばれ、以下にそのように記載することもある。
このような研磨用組成物は「スラリー」とも呼ばれ、以下にそのように記載することもある。
シリカ砥粒を主成分とする研磨用組成物は、アルカリ成分を含む溶液が一般的で、加工の原理は、アルカリ成分による化学的作用、具体的には酸化珪素膜や金属膜等の表面に対する浸蝕作用とシリカ砥粒の機械的な研磨作用を併用したものである。具体的には、アルカリ成分の侵食作用により、ウエハ等被加工物表面に薄い軟質の浸蝕層が形成される。その浸蝕層を微細砥粒粒子の機械的研磨作用により除去する機構と推定されており、この工程を繰り返すことにより加工が進むと考えられている。被加工物の研磨後、洗浄工程が施され被加工面およびエッジ部からシリカ砥粒やアルカリ液が取り除かれる。
さらに、デバイス配線の微細化は年々顕著になってきており、国際半導体技術ロードマップ(International Technology Roadmap for Semiconductors)によれば、デバイスの配線幅の目標値として2010年50nm、2013年35nmが示されている。デバイスの配線幅の微細化が進むにつれ研磨後の半導体ウエハ表面に対しいっそうの平坦化が要求される。半導体ウエハの研磨に用いる研磨剤には、前述の通りアルカリ成分が含まれている。従来は、配線幅が広いので、塩基性のより強いアルカリ成分でより高速に研磨することに注目してきた。しかし、デバイス配線の微細化により、半導体ウエハ表面の配線に対する過剰エッチングはデバイスの動作不良をもたらすため、深刻な課題となっている。
従来から半導体ウエハの鏡面研磨では、様々な研磨用組成物が提案されている。特許文献1には、コロイダルシリカの粒子成長工程で使用するアルカリ剤として、水酸化ナトリウムの代わりに水酸化テトラメチルアンモニウムを使用してコロイダルシリカを製造し、実質的にナトリウムを含有しない研磨用高純度コロイダルシリカが記載されている。特許文献2には、弱酸と強塩基、弱酸と弱塩基あるいは弱酸と弱塩基の何れかの組み合わせのものを添加することによって、pH8.7〜10.6の間で緩衝作用を有する緩衝溶液として調整された酸化珪素コロイド溶液が記載されている。特許文献3には、アルカリ成分と酸成分とを加えた緩衝作用を持つ研磨用組成物であって、アルカリ成分として第4アンモニウムを用いたものが記載されている。
上記特許文献1記載のコロイダルシリカは、ナトリウムが存在しないため極めて好ましい研磨剤である。しかしながら、水酸化第4アンモニウムだけでは研磨時のpH変動が大きく、大気中の炭酸ガスによるpH低下も大きいため、安定した研磨速度が得られない。特許文献2および特許文献3記載の研磨用組成物は、実施例に拠れば主にテトラアルキルアンモニウム水酸化物と炭酸の緩衝系であってpHが9.5〜10.4である。このpHでは過剰エッチングの危険が伴う。
また、非球状のシリカ粒子からなるコロイダルシリカも、数多く提案されている。特許文献4には、電子顕微鏡観察による5〜40ミリミクロンの範囲内の一様な太さで一平面内のみの伸長を有する細長い形状の非晶質コロイダルシリカ粒子が液状媒体中に分散されてなる安定なシリカゾルが記載されている。特許文献5には、珪酸液添加工程の前、添加工程中または添加工程後に、アルミニウム塩などの金属化合物を添加する製法によって得られる細長い形状のシリカ粒子から成るシリカゾルが記載されている。特許文献6には、アルコキシシランの加水分解による長径/短径比が1.4〜2.2の繭型のシリカ粒子から成るコロイダルシリカが記載されている。特許文献7には、水ガラス法の活性珪酸水溶液に代替して、アルコキシシランの加水分解液を使用し、アルカリには水酸化テトラアルキルアンモニウムを使用して、非球状のシリカ粒子を含有するコロイダルシリカが得られることが記載されている。
特許文献4に記載のコロイダルシリカは、その製造において、水溶性のカルシウム塩、マグネシウム塩またはこれらの混合物を添加する工程があり、製品にはそれらが不純物として残存している。特許文献5に記載のコロイダルシリカはその製造において、水溶性のアルミニウム塩を添加する工程があり、製品にはそれらが不純物として残存している。特許文献6及び特許文献7に記載のコロイダルシリカはアルコキシシランをシリカ源とするので高純度で好ましいが、副生するアルコールの除去や価格など不利な一面がある。
本発明の目的は、半導体ウエハ表面に生じる過剰エッチングを抑制し、かつ高い研磨速度を維持しつつ、良好な面粗さが得られる半導体ウエハの平面およびエッジ部分の鏡面研磨用コロイダルシリカおよびその製造方法を提供することにある。
本発明者等は、ビシンとアルカリ金属水酸化物を含み、25℃においてpH8.0〜9.7の間で緩衝作用を有することを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカを用いることにより、半導体ウエハの平面およびエッジ部分の鏡面研磨加工が効果的に行なえることを見出し、本発明を完成するに到った。
即ち、本発明の第一の発明は、珪酸アルカリ水溶液からアルカリを除去して得られた活性珪酸水溶液とビシンおよびアルカリ金属水酸化物によって製造され、25℃においてpH8.0〜9.7の間でpH緩衝作用を有するコロイダルシリカを含有する半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカである。シリカ/ビシンのモル比が10〜320であることがより好ましい。
この研磨用コロイダルシリカは非球状のシリカ粒子を含有することが好ましい。さらに、非球状のシリカ粒子は、透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の長径/短径比が1.2〜10であって、長径/短径比の平均値が1.5〜7である非球状の異形粒子群シリカ粒子であることが好ましい。透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の平均短径は5〜30nmであることが好ましい。この半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカは、コロイド溶液全体に対してシリカ濃度が2〜50重量%の水分散液であることが好ましい。
この研磨用コロイダルシリカは非球状のシリカ粒子を含有することが好ましい。さらに、非球状のシリカ粒子は、透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の長径/短径比が1.2〜10であって、長径/短径比の平均値が1.5〜7である非球状の異形粒子群シリカ粒子であることが好ましい。透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の平均短径は5〜30nmであることが好ましい。この半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカは、コロイド溶液全体に対してシリカ濃度が2〜50重量%の水分散液であることが好ましい。
また、本発明の第二の発明は、(a)珪酸アルカリ水溶液をカチオン交換樹脂に接触させて活性珪酸水溶液を調製する工程、(b−1)次いで前記活性珪酸水溶液にビシンとアルカリ金属水酸化物を添加してアルカリ性とした後、加熱してコロイド粒子を形成させ、(b−2)続いて加熱下にアルカリ性を維持して前記活性珪酸水溶液とアルカリ剤または、前記活性珪酸水溶液とビシンとアルカリ剤を添加して粒子成長を行う工程、
を有することを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカの製造方法である。さらに、(b)工程の後、
(c)シリカを濃縮する工程を行うことを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカの製造方法である。
なお、コロイド粒子を形成と粒子成長の双方をあわせて、以下で「粒子成長」あるいは「成長」と記載することがある。
を有することを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカの製造方法である。さらに、(b)工程の後、
(c)シリカを濃縮する工程を行うことを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカの製造方法である。
なお、コロイド粒子を形成と粒子成長の双方をあわせて、以下で「粒子成長」あるいは「成長」と記載することがある。
ビシン(Bicine)はN,N-ビス(2-ヒドロキシエチル)グリシンの慣用名である。ビシンの1%水溶液はpHが4の弱酸性であるが、水酸化ナトリウムのようなアルカリで滴定することによって、有効pH範囲が7.7〜9.1の両性イオン緩衝液となり、生化学用緩衝液としての用途がある。
本発明による研磨用コロイダルシリカを用いれば、半導体ウエハ等の研磨において過剰エッチングを起こしにくいという卓越した効果が得られる。「過剰エッチング」とは、配線金属および絶縁膜、バリア膜の研磨中に、配線金属部分だけを腐食してへこみを作ってしまう現象で、砥粒による研削とアルカリ成分による腐食の速度バランスが崩れたときに発生する。過剰エッチングは腐食ピット、配線コロージョン、タングステン配線のキーホールなどと称される不良品発生の原因とされている。本発明により、平面部の平坦度を改善し、ウエハの鏡面研磨加工において優れた研磨力とその持続性をもった研磨用コロイダルシリカが得られたものであり、関連業界に及ぼす効果は極めて大である。
本発明においては、実際の研磨加工時に安定な研磨力を持続するために、溶液全体のpHを8.0〜9.7の範囲に保つことが好ましい。pHが8.0未満であると研磨速度は低下し実用の範囲からは外れることがある。また、pHが9.7を超えると、研磨部以外でのエッチングが強くなりすぎウエハの平坦度が低下しこれも実用の範囲から外れることがある。
さらに、このpHは摩擦、熱、外気との接触あるいは他の成分との混合等、考えられる外的条件により容易に変化しないことが好ましい。特にエッジ研磨においては、研磨剤は循環流として使用される。すなわち、スラリータンクから研磨部位へ供給された研磨剤は、スラリータンクへ戻す方式で使用される。アルカリ剤だけを含む研磨剤は、循環使用中の純水希釈により短時間でpHが低下してしまう。これは、洗浄水である純水の混入によるもので、pHの変動がもたらす研磨速度の変動は、研磨不足もしくは、研磨を行いすぎるために生じるオーバーポリッシュを起こしやすくなる。
本発明の研磨用コロイダルシリカのpHを一定に保つために好ましくは、pH8.0〜9.7の間で緩衝作用を有することが好ましい。従って、本発明においては研磨用コロイダルシリカ自体を、外的条件の変化に対してpH変化の幅が少ない、所謂緩衝作用の強い液とすることが好ましい。緩衝溶液を形成するためには、シリカ/ビシンのモル比が10〜320となるようにし、アルカリ金属水酸化物を添加してpH8.0〜9.7の範囲の任意のpHに調節するようにする。
本発明のコロイダルシリカの製造方法は、珪酸アルカリ水溶液をカチオン交換樹脂に接触させて活性珪酸水溶液を調製し、次いでこの活性珪酸水溶液にビシンとアルカリ金属水酸化物を添加してアルカリ性とした後、加熱してコロイド粒子を成長させ(種粒子形成工程、請求項7の(b−1)工程)、続いて加熱下にアルカリ性を維持しつつ、活性珪酸水溶液とアルカリ剤または、活性珪酸水溶液とビシンとアルカリ剤を添加して粒子成長(粒子成長工程、請求項7の(b−2)工程)を行う研磨用コロイダルシリカの製造方法である。種粒子形成工程ではアルカリ金属水酸化物を使用するが、粒子成長工程ではアルカリ金属水酸化物以外のアルカリ剤を使用することができる。
上記研磨用コロイダルシリカの製造方法は、常法である水酸化アルカリ金属や珪酸アルカリをアルカリ剤に用いた製造方法と概略同一である。すなわち、珪酸ソーダより活性ゾルを製造する工程はまったく同一であり、種粒子形成工程ではビシンの存在下でアルカリ金属水酸化物を使用する点だけが異なり、粒子成長工程ではビシンの存在を必要条件としないだけではなく、いかなるアルカリ剤も使用できる。
粒子成長工程では、アルカリ剤としては常法である水酸化アルカリ金属水酸化物でもよく、あるいは有機アルカリでもよい。アルカリ金属は少ない方が好ましいので、有機アルカリを使用するほうが好ましい。有機アルカリとしては、水酸化第4アンモニウムが好ましく、なかでも、水酸化テトラメチルアンモニウムや水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化トリメチル−2−ヒドロキシエチルアンモニウム(別名、水酸化コリン)が好ましい。
粒子成長工程では、アルカリ剤としては常法である水酸化アルカリ金属水酸化物でもよく、あるいは有機アルカリでもよい。アルカリ金属は少ない方が好ましいので、有機アルカリを使用するほうが好ましい。有機アルカリとしては、水酸化第4アンモニウムが好ましく、なかでも、水酸化テトラメチルアンモニウムや水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化トリメチル−2−ヒドロキシエチルアンモニウム(別名、水酸化コリン)が好ましい。
ビシンは1重量%水溶液でpHが4程度であって、アルカリではないので粒子成長には寄与しない。しかしながら、粒子成長時の粒子形状に影響を及ぼす。ビシンは成長中のシリカ粒子表面に結合もしくは吸着して、結合部位の粒子成長を阻害し、球状成長をできないようにしているようである。シリカ/ビシンのモル比は10〜320であることが好ましい。シリカ/ビシンのモル比が10より小さいと、全く粒子成長ができないためシリカのゲルが発生する。粒子成長時に320を超えてビシンが少ない場合には、シリカ粒子の形状が球状に近くなる。
したがって、上記範囲で存在することが望ましい。水相に溶解しているビシンとアルカリ剤は限外濾過による濃縮工程で水とともに減少する。緩衝作用の強い液とする場合には、濃縮後に両成分を添加補充することも好ましい。
したがって、上記範囲で存在することが望ましい。水相に溶解しているビシンとアルカリ剤は限外濾過による濃縮工程で水とともに減少する。緩衝作用の強い液とする場合には、濃縮後に両成分を添加補充することも好ましい。
ただし、有機物の存在は廃水処理などで二次的な弊害を発生することもある。そのような場合を配慮するとビシンを除去した製品も必要となる。限外濾過を有効に活用してビシンを極力減らす方法も本発明の製造方法のひとつとして範疇に含まれる。
非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカとは、芋虫のような形もしくは屈曲した棒状の形であって、個々に異なる形をした粒子のコロイダルシリカを表し、具体的には図1または図2に示されるような形状のシリカ粒子を含有するコロイダルシリカである。長径/短径比は1.2〜10の範囲にある。その粒子は、直線状に伸長していない粒子が大半を占めており、一部は伸長していない粒子も存在する。これは一例であって、製造条件によってその形状はさまざまとなるが、真球状でない粒子が大半を占めている。
本発明の研磨用コロイダルシリカのシリカ粒子は長径/短径比の平均値が1.5〜7であり、研磨用の砥粒として好ましい形状をしている。7よりも大きいと粒子が絡みあって凝集しやすくなり、1.5より小さいと研磨速度が低くなる。
研磨加工においては、シリカ粒子の形状は重要なファクターとなる。すなわち、被加工物表面はアルカリによって腐食され薄層が形成されてゆくのであるが、この薄層の除去速度はシリカ粒子の形状によって大きく変化する。シリカ粒子の粒子径を大きくすれば、除去速度は速くなるが、研磨面にスクラッチが発生しやすくなる。また、形状は真球状よりも異形の粒子の方が除去速度は速くなるが、研磨面にスクラッチが発生しやすくなる。ゆえに、その粒子は適度なサイズを有し、適当な形状であって、容易に破壊したり、あるいは高次に凝集してゲル化するものであってはならない。
本発明の研磨用コロイダルシリカのシリカ粒子はヒュームドシリカのシリカ粒子とよく似た形状である。ヒュームドシリカのシリカ粒子は、一般に長径/短径比が5〜15の細長い異形粒子群となっている。ヒュームドシリカの一次粒子径(単に粒子径とも記載されることがある)と言われるものは、一次粒子の短径(太さ)であって通常7〜40nmである。さらに、その粒子は凝集して二次粒子を形成しており、スラリーの外観は白色になっている。そのためスラリーを長時間放置すると粒子が沈降する不具合、研磨面にスクラッチを発生しやすいなどの欠点がある。
研磨加工においては、シリカ粒子の形状は重要なファクターとなる。すなわち、被加工物表面はアルカリによって腐食され薄層が形成されてゆくのであるが、この薄層の除去速度はシリカ粒子の形状によって大きく変化する。シリカ粒子の粒子径を大きくすれば、除去速度は速くなるが、研磨面にスクラッチが発生しやすくなる。また、形状は真球状よりも異形の粒子の方が除去速度は速くなるが、研磨面にスクラッチが発生しやすくなる。ゆえに、その粒子は適度なサイズを有し、適当な形状であって、容易に破壊したり、あるいは高次に凝集してゲル化するものであってはならない。
本発明の研磨用コロイダルシリカのシリカ粒子はヒュームドシリカのシリカ粒子とよく似た形状である。ヒュームドシリカのシリカ粒子は、一般に長径/短径比が5〜15の細長い異形粒子群となっている。ヒュームドシリカの一次粒子径(単に粒子径とも記載されることがある)と言われるものは、一次粒子の短径(太さ)であって通常7〜40nmである。さらに、その粒子は凝集して二次粒子を形成しており、スラリーの外観は白色になっている。そのためスラリーを長時間放置すると粒子が沈降する不具合、研磨面にスクラッチを発生しやすいなどの欠点がある。
しかし、本発明のシリカ粒子は、ヒュームドシリカの一次粒子に似た形状をしているが、凝集による二次粒子の形成はなく、スラリーの外観は透明ないし半透明になっている。粒子が沈降する不具合はなく、研磨面にスクラッチを発生することもない。
本発明のシリカ粒子よりなる研磨用コロイダルシリカは、好ましくは電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の平均短径が5〜30nmであり、かつシリカ粒子の濃度が2〜50重量%である。シリカ粒子の平均短径が5nmより小さいと、研磨速度が低く、粒子の凝集が起こりやすくコロイドの安定性に欠ける。また、30nmよりも大きいとスクラッチが発生しやすく、研磨面の平坦性も低くなる。
本発明のシリカ粒子よりなる研磨用コロイダルシリカは、好ましくは電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の平均短径が5〜30nmであり、かつシリカ粒子の濃度が2〜50重量%である。シリカ粒子の平均短径が5nmより小さいと、研磨速度が低く、粒子の凝集が起こりやすくコロイドの安定性に欠ける。また、30nmよりも大きいとスクラッチが発生しやすく、研磨面の平坦性も低くなる。
本発明では上述の研磨用コロイダルシリカを含有し、さらに研磨性能を改善する成分を加えて研磨用組成物を構成することが出来る。
本発明においては、研磨用組成物溶液の導電率を高くすることにより、研磨加工速度を著しく向上することができる。導電率とは液中の電気の通り易さを示す数値であり、単位長さあたりの電気抵抗値の逆数値である。本発明においては単位長あたりの導電率の数値(micro・Siemens)をシリカ1重量%当たりに換算した数値で示す。本発明においては、25℃における導電率が15mS/m/1%−SiO2以上であれば研磨加工速度の向上に対して好ましく、20mS/m/1%−SiO2以上であれば更に好ましい。塩類の添加はコロイドの安定性を低下させるため、添加には上限がある。上限はシリカの粒子径によって異なるが、概ね60mS/m/1%−SiO2程度である。
本発明においては、研磨用組成物溶液の導電率を高くすることにより、研磨加工速度を著しく向上することができる。導電率とは液中の電気の通り易さを示す数値であり、単位長さあたりの電気抵抗値の逆数値である。本発明においては単位長あたりの導電率の数値(micro・Siemens)をシリカ1重量%当たりに換算した数値で示す。本発明においては、25℃における導電率が15mS/m/1%−SiO2以上であれば研磨加工速度の向上に対して好ましく、20mS/m/1%−SiO2以上であれば更に好ましい。塩類の添加はコロイドの安定性を低下させるため、添加には上限がある。上限はシリカの粒子径によって異なるが、概ね60mS/m/1%−SiO2程度である。
導電率を上昇させる方法としては、次の二方法がある。一つは緩衝溶液の濃度を高くする方法、もう一つは塩類を添加する方法である。緩衝溶液の濃度を高くするには、ビシンとアルカリ金属水酸化物とのモル比を変えずに濃度のみを高くすればよい。塩類を添加する方法に用いる塩類は、酸及び塩基の組み合わせより構成されるが、酸としては、強酸、弱酸いずれであってもかまわず、鉱酸および、有機酸が使用でき、その混合物でもよい。塩基としては、アルカリ金属水酸化物を増やすことは好ましくないので、水溶性の第4アンモニウムの水酸化物の使用が好ましい。
強酸と第4アンモニウム塩基の塩としては、硫酸第4アンモニウム、硝酸第4アンモニウムまたはフッ化第4アンモニウムの少なくとも一つであることが好ましい。第4アンモニウム強塩基を構成する陽イオンはコリンイオン、テトラメチルアンモニウムイオンまたはテトラエチルアンモニウムイオンが好ましい。
強酸と第4アンモニウム塩基の塩としては、硫酸第4アンモニウム、硝酸第4アンモニウムまたはフッ化第4アンモニウムの少なくとも一つであることが好ましい。第4アンモニウム強塩基を構成する陽イオンはコリンイオン、テトラメチルアンモニウムイオンまたはテトラエチルアンモニウムイオンが好ましい。
また、本発明の研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物は、銅と水不溶性のキレート化合物を形成するキレート化剤を含有していることも好ましい。例えば、キレート化剤としては、ベンゾトリアゾールのようなアゾール類やキノリノール、キナルジン酸のようなキノリン誘導体など公知の化合物が好ましい。
本発明の研磨用コロイダルシリカの物性を改良するため、界面活性剤、水溶性高分子化合物、消泡剤などを併用することができる。
界面活性剤としては、ノニオン界面活性剤が好ましい。ノニオン界面活性剤は過剰エッチングの防止効果がある。ノニオン界面活性剤としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル、グリセリンエステルなどの脂肪酸エステル、ジ(ポリオキシエチレン)ラウリルアミンなどのポリオキシアルキレンアルキルアミンが使用できる。研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物における濃度は0.001〜0.1重量%である。
水溶性高分子化合物としては、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコールのいずれかひとつであることが好ましい。これらには過剰エッチングの防止効果がある。エチレンオキサイド・プロピレンオキサイドトリブロックコポリマーも好ましい。研磨用組成物が100倍希釈されたとき、例えば、ヒドロキシエチルセルロースであれば30〜300ppmで効果がある。従って、研磨用組成物における濃度は0.3〜3重量%である。同じく、ポリエチレングリコールでは0.3〜5重量%、ポリビニルアルコールでは1〜5重量%である。
消泡剤としては、シリコーンエマルジョンであることが好ましい。シリコーンエマルジョンとしては、ポリジメチルシロキサンを主要成分とするシリコーンオイルのO/W型エマルジョンである市販のシリコーン消泡剤が使用できる。研磨用組成物における濃度は0.001〜0.1重量%である。
また、本発明の研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物は水溶液としているが、有機溶媒を添加してもかまわない。本発明の研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物は、研磨時にコロイダルアルミナ、コロイダルセリア、コロイダルジルコニア等の他の研磨剤、塩基、添加剤、水等を混合して調製してもよい。
界面活性剤としては、ノニオン界面活性剤が好ましい。ノニオン界面活性剤は過剰エッチングの防止効果がある。ノニオン界面活性剤としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル、グリセリンエステルなどの脂肪酸エステル、ジ(ポリオキシエチレン)ラウリルアミンなどのポリオキシアルキレンアルキルアミンが使用できる。研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物における濃度は0.001〜0.1重量%である。
水溶性高分子化合物としては、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコールのいずれかひとつであることが好ましい。これらには過剰エッチングの防止効果がある。エチレンオキサイド・プロピレンオキサイドトリブロックコポリマーも好ましい。研磨用組成物が100倍希釈されたとき、例えば、ヒドロキシエチルセルロースであれば30〜300ppmで効果がある。従って、研磨用組成物における濃度は0.3〜3重量%である。同じく、ポリエチレングリコールでは0.3〜5重量%、ポリビニルアルコールでは1〜5重量%である。
消泡剤としては、シリコーンエマルジョンであることが好ましい。シリコーンエマルジョンとしては、ポリジメチルシロキサンを主要成分とするシリコーンオイルのO/W型エマルジョンである市販のシリコーン消泡剤が使用できる。研磨用組成物における濃度は0.001〜0.1重量%である。
また、本発明の研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物は水溶液としているが、有機溶媒を添加してもかまわない。本発明の研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物は、研磨時にコロイダルアルミナ、コロイダルセリア、コロイダルジルコニア等の他の研磨剤、塩基、添加剤、水等を混合して調製してもよい。
本発明の研磨用コロイダルシリカを含有する研磨用組成物は、シリカ濃度20〜50重量%で製造し、その使用時に純水で希釈し必要に応じてpH調整剤及び導電率調整のための塩類等を適宜加えて研磨用組成物とすることが好ましい。
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。実施例での測定は以下の装置を使用した。
(1)TEM観察:(株)日立製作所、透過型電子顕微鏡 H−7500型を使用した。
(2)BET法比表面積:(株)島津製作所、フローソーブ2300型を使用した。
(3)ビシン分析:(株)島津製作所、全有機体炭素計TOC−5000A、SSM−5000Aを使用した。炭素量よりビシンに換算した。具体的には、全有機体炭素量(TOC)は、全炭素量(TC)と無機体炭素量(IC)を測定後TOC=TC−ICにより求めた。TC測定の標準として炭素量1重量%のグルコース水溶液を用い、IC測定の標準として炭素量1重量%の炭酸ナトリウムを用いた。超純水を炭素量0重量%の標準とし、それぞれ先に示した標準を用い、TCは150μlと300μl、またICは250μlで検量線を作成した。サンプルのTC測定ではサンプルを約100mg採取し、900℃燃焼炉で燃焼させた。また、IC測定ではサンプルを約20mg採取し、(1+1)燐酸を約10ml添加し200℃燃焼炉で反応を促進した。
(1)TEM観察:(株)日立製作所、透過型電子顕微鏡 H−7500型を使用した。
(2)BET法比表面積:(株)島津製作所、フローソーブ2300型を使用した。
(3)ビシン分析:(株)島津製作所、全有機体炭素計TOC−5000A、SSM−5000Aを使用した。炭素量よりビシンに換算した。具体的には、全有機体炭素量(TOC)は、全炭素量(TC)と無機体炭素量(IC)を測定後TOC=TC−ICにより求めた。TC測定の標準として炭素量1重量%のグルコース水溶液を用い、IC測定の標準として炭素量1重量%の炭酸ナトリウムを用いた。超純水を炭素量0重量%の標準とし、それぞれ先に示した標準を用い、TCは150μlと300μl、またICは250μlで検量線を作成した。サンプルのTC測定ではサンプルを約100mg採取し、900℃燃焼炉で燃焼させた。また、IC測定ではサンプルを約20mg採取し、(1+1)燐酸を約10ml添加し200℃燃焼炉で反応を促進した。
(実施例1)
脱イオン水28kgにJIS3号珪酸ソーダ(SiO2:28.8重量%、Na2O:9.7重量%、H2O:61.5重量%)5.2kgを加えて均一に混合しシリカ濃度4.5重量%の希釈珪酸ソーダを作成した。この希釈珪酸ソーダを予め塩酸によって再生したH型強酸性カチオン交換樹脂(オルガノ(株)製アンバーライトIR120B)20リットルのカラムに通して脱アルカリし、シリカ濃度3.7重量%でpH2.9の活性珪酸40kgを得た。
別途、ビシン(N,N-ビス(2-ヒドロキシエチル)グリシン、試薬)を純水に加えて10重量%ビシン水溶液を調製した。
次いで、ビルドアップの方法をとり、コロイド粒子を成長させた。すなわち、得られた活性珪酸の一部500gに攪拌下5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.2とし、10重量%ビシン水溶液35gを加えたところpHは7.0となった。さらに、5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.2とし、100℃に30分保ち、放冷した。ビシンのpH緩衝作用でpH調節が煩雑となった。得られた液は、水の蒸発で460gとなっており、シリカ濃度は4.0重量%となっていた。また、25℃でのpHが8.7であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約6nmで、長径/短径比が1.5〜10の非球状シリカの異形粒子群となっており、長径/短径比の平均値が7であった。
このコロイダルシリカは、活性珪酸およびビシンの使用量から、シリカ/ビシンのモル比は14と算出された。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度4.0重量%でのpHは8.7であり、純水で10倍に希釈したときのpHは9.0であり、100倍に希釈したときのpHは9.1であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
脱イオン水28kgにJIS3号珪酸ソーダ(SiO2:28.8重量%、Na2O:9.7重量%、H2O:61.5重量%)5.2kgを加えて均一に混合しシリカ濃度4.5重量%の希釈珪酸ソーダを作成した。この希釈珪酸ソーダを予め塩酸によって再生したH型強酸性カチオン交換樹脂(オルガノ(株)製アンバーライトIR120B)20リットルのカラムに通して脱アルカリし、シリカ濃度3.7重量%でpH2.9の活性珪酸40kgを得た。
別途、ビシン(N,N-ビス(2-ヒドロキシエチル)グリシン、試薬)を純水に加えて10重量%ビシン水溶液を調製した。
次いで、ビルドアップの方法をとり、コロイド粒子を成長させた。すなわち、得られた活性珪酸の一部500gに攪拌下5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.2とし、10重量%ビシン水溶液35gを加えたところpHは7.0となった。さらに、5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.2とし、100℃に30分保ち、放冷した。ビシンのpH緩衝作用でpH調節が煩雑となった。得られた液は、水の蒸発で460gとなっており、シリカ濃度は4.0重量%となっていた。また、25℃でのpHが8.7であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約6nmで、長径/短径比が1.5〜10の非球状シリカの異形粒子群となっており、長径/短径比の平均値が7であった。
このコロイダルシリカは、活性珪酸およびビシンの使用量から、シリカ/ビシンのモル比は14と算出された。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度4.0重量%でのpHは8.7であり、純水で10倍に希釈したときのpHは9.0であり、100倍に希釈したときのpHは9.1であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
(実施例2)
上記実施例1で得られたコロイダルシリカを再度加熱して100℃とし、1000gの活性珪酸を2時間かけて添加した。活性珪酸の添加中は100℃を維持し、5重量%水酸化ナトリウム水溶液を同時添加しpH9〜10を維持した。添加中の水の蒸発により放冷後には1010gのコロイダルシリカを得た。シリカ濃度は5.4重量%となっていた。このコロイダルシリカは25℃でのpHが9.3であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約9nmで、長径/短径比が1.5〜7の非球状シリカの異形粒子群よりなり、長径/短径比の平均値が5であった。TEM写真を図1に示した。
このコロイダルシリカは、活性珪酸およびビシンの使用量から、シリカ/ビシンのモル比は43と算出された。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度5.4重量%でのpHは9.3であり、純水で10倍に希釈したときのpHは9.6であり、100倍に希釈したときのpHは9.6であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
上記実施例1で得られたコロイダルシリカを再度加熱して100℃とし、1000gの活性珪酸を2時間かけて添加した。活性珪酸の添加中は100℃を維持し、5重量%水酸化ナトリウム水溶液を同時添加しpH9〜10を維持した。添加中の水の蒸発により放冷後には1010gのコロイダルシリカを得た。シリカ濃度は5.4重量%となっていた。このコロイダルシリカは25℃でのpHが9.3であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約9nmで、長径/短径比が1.5〜7の非球状シリカの異形粒子群よりなり、長径/短径比の平均値が5であった。TEM写真を図1に示した。
このコロイダルシリカは、活性珪酸およびビシンの使用量から、シリカ/ビシンのモル比は43と算出された。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度5.4重量%でのpHは9.3であり、純水で10倍に希釈したときのpHは9.6であり、100倍に希釈したときのpHは9.6であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
(実施例3)
実施例1で得られた活性珪酸の一部500gに攪拌下5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.4とし、10重量%ビシン水溶液15gを加えたところpHは8.1となった。さらに、5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.2とし、加熱して100℃とし、4000gの活性珪酸を8時間かけて添加した。活性珪酸の添加中は100℃を維持し、5重量%水酸化ナトリウム水溶液と10重量%ビシン水溶液を同時添加しpH9〜10を維持した。同時添加に使用した10重量%ビシン水溶液は50gであったので、使用した全10重量%ビシン水溶液量は65gとなった。添加中の水の蒸発により放冷後には2140gのコロイダルシリカを得た。シリカ濃度は7.8重量%となっていた。このコロイダルシリカは25℃でのpHが8.7であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約12nmで、長径/短径比が1.2〜4の非球状シリカの異形粒子群よりなり、長径/短径比の平均値が1.5であった。TEM写真を図2に示した。
このコロイダルシリカは、活性珪酸およびビシンの使用量から、シリカ/ビシンのモル比は70と算出された。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度7.8重量%でのpHは8.7であり、純水で10倍に希釈したときのpHは9.2であり、100倍に希釈したときのpHは9.2であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
実施例1で得られた活性珪酸の一部500gに攪拌下5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.4とし、10重量%ビシン水溶液15gを加えたところpHは8.1となった。さらに、5重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8.2とし、加熱して100℃とし、4000gの活性珪酸を8時間かけて添加した。活性珪酸の添加中は100℃を維持し、5重量%水酸化ナトリウム水溶液と10重量%ビシン水溶液を同時添加しpH9〜10を維持した。同時添加に使用した10重量%ビシン水溶液は50gであったので、使用した全10重量%ビシン水溶液量は65gとなった。添加中の水の蒸発により放冷後には2140gのコロイダルシリカを得た。シリカ濃度は7.8重量%となっていた。このコロイダルシリカは25℃でのpHが8.7であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約12nmで、長径/短径比が1.2〜4の非球状シリカの異形粒子群よりなり、長径/短径比の平均値が1.5であった。TEM写真を図2に示した。
このコロイダルシリカは、活性珪酸およびビシンの使用量から、シリカ/ビシンのモル比は70と算出された。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度7.8重量%でのpHは8.7であり、純水で10倍に希釈したときのpHは9.2であり、100倍に希釈したときのpHは9.2であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
(実施例4)
上記実施例2で得られたコロイダルシリカの濃縮を行った。分画分子量6000の中空糸型限外濾過膜(旭化成(株)製マイクローザUFモジュールSIP−1013)を用いてポンプ循環送液による加圧濾過を行い、シリカ濃度26重量%まで濃縮し、コロイダルシリカ約580gを回収した。このコロイダルシリカは25℃でのpHが8.7であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約12nmで、長径/短径比が1.2〜5の非球状の異形粒子群となっており、長径/短径比の平均値が2であった。また、BET法による比表面積換算の粒子径は11.6nmであった。
コロイダルシリカのビシンの含有量は0.227重量%であり、シリカ/ビシンのモル比は311であった。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度26重量%でのpHは8.7であり、純水で5倍に希釈したときのpHは9.2であり、10倍に希釈したときのpHは9.3であり、100倍に希釈したときのpHは9.1であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
上記実施例2で得られたコロイダルシリカの濃縮を行った。分画分子量6000の中空糸型限外濾過膜(旭化成(株)製マイクローザUFモジュールSIP−1013)を用いてポンプ循環送液による加圧濾過を行い、シリカ濃度26重量%まで濃縮し、コロイダルシリカ約580gを回収した。このコロイダルシリカは25℃でのpHが8.7であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察では短径が約12nmで、長径/短径比が1.2〜5の非球状の異形粒子群となっており、長径/短径比の平均値が2であった。また、BET法による比表面積換算の粒子径は11.6nmであった。
コロイダルシリカのビシンの含有量は0.227重量%であり、シリカ/ビシンのモル比は311であった。
pHの緩衝能についても確認をおこなった。上記のシリカ濃度26重量%でのpHは8.7であり、純水で5倍に希釈したときのpHは9.2であり、10倍に希釈したときのpHは9.3であり、100倍に希釈したときのpHは9.1であった。ビシンと水酸化ナトリウムの混合溶液でpHの緩衝系が形成されていた。
Claims (8)
- 珪酸アルカリ水溶液からアルカリを除去して得られた活性珪酸水溶液とビシンおよびアルカリ金属水酸化物によって製造され、25℃においてpH8.0〜9.7の間でpH緩衝作用を有するコロイダルシリカを含有することを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ。
- 上記コロイダルシリカのシリカ/ビシンのモル比が10〜320であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ。
- 上記コロイダルシリカが非球状のシリカ粒子を含有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ。
- 上記コロイダルシリカが、透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の長径/短径比が1.2〜10であって、長径/短径比の平均値が1.5〜7である非球状の異形粒子群シリカ粒子を含有することを特徴とする請求項1〜3に記載の研磨用コロイダルシリカ。
- 上記コロイダルシリカの透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の平均短径が5〜30nmであることを特徴とする請求項1〜4に記載の研磨用コロイダルシリカ。
- コロイダルシリカの溶液全体に対してシリカ濃度が2〜50重量%の水分散液であることを特徴とする請求項1〜5に記載の半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ。
- 以下の工程
(a)珪酸アルカリ水溶液をカチオン交換樹脂に接触させて活性珪酸水溶液を調製する工程、
(b−1)次いで前記活性珪酸水溶液にビシンとアルカリ金属水酸化物を添加してアルカリ性とした後、加熱してコロイド粒子を形成させる工程、
(b−2)加熱条件下で、前工程で形成したコロイド粒子に、アルカリ性を維持しながら前記活性珪酸水溶液とアルカリ剤または、前記活性珪酸水溶液とビシンとアルカリ剤を添加してコロイド粒子を成長させる工程、
を有することを特徴とする、請求項1〜6に記載の半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカの製造方法。 - (b)工程の後、
(c)コロイダルシリカを濃縮する工程、
を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカの製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011201719A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Fuso Chemical Co Ltd | コロイダルシリカの二次粒子径調整方法 |
CN116768220A (zh) * | 2023-07-04 | 2023-09-19 | 山东科翰硅源新材料有限公司 | 一种快速合成高浓度非球形二氧化硅溶胶的方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297777A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Speedfam Co Ltd | 研磨用組成物及びその調製方法並びに研磨方法 |
JP2004288732A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Rodel Nitta Co | 半導体研磨用スラリー |
JP2004311652A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Rodel Nitta Co | 研磨用スラリー |
JP2004335723A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Rodel Nitta Co | 半導体ウェハ研磨用組成物 |
JP2006508545A (ja) * | 2002-12-02 | 2006-03-09 | アーケマ・インコーポレイテッド | 銅の化学的機械的平坦化のための組成物および方法 |
JP2007153692A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
JP2007173370A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Fujifilm Corp | 研磨液 |
JP2007207909A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、及びそれを用いた化学的機械的研磨方法 |
JP2009054935A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 半導体ウエハ研磨用組成物および研磨方法 |
-
2008
- 2008-02-04 JP JP2008024377A patent/JP2009188059A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297777A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Speedfam Co Ltd | 研磨用組成物及びその調製方法並びに研磨方法 |
JP2006508545A (ja) * | 2002-12-02 | 2006-03-09 | アーケマ・インコーポレイテッド | 銅の化学的機械的平坦化のための組成物および方法 |
JP2004288732A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Rodel Nitta Co | 半導体研磨用スラリー |
JP2004311652A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Rodel Nitta Co | 研磨用スラリー |
JP2004335723A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Rodel Nitta Co | 半導体ウェハ研磨用組成物 |
JP2007153692A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
JP2007173370A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Fujifilm Corp | 研磨液 |
JP2007207909A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、及びそれを用いた化学的機械的研磨方法 |
JP2009054935A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 半導体ウエハ研磨用組成物および研磨方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011201719A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Fuso Chemical Co Ltd | コロイダルシリカの二次粒子径調整方法 |
CN116768220A (zh) * | 2023-07-04 | 2023-09-19 | 山东科翰硅源新材料有限公司 | 一种快速合成高浓度非球形二氧化硅溶胶的方法 |
CN116768220B (zh) * | 2023-07-04 | 2023-12-29 | 山东科翰硅源新材料有限公司 | 一种快速合成高浓度非球形二氧化硅溶胶的方法 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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