JP2009182183A - ロードロックチャンバー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のロードロックチャンバーは、筒状シリンダーと、上記筒状シリンダー内に軸方向に気密に移動自在に設けた、軸方向に互いに分離した一方及び他方のピストンと、上記一方及び他方のピストンをそれぞれ個別に移動せしめる移動手段と、上記筒状シリンダーの側壁に設けた、上記一方のピストンにより開閉される基板挿入口と、上記一方及び他方のピストンにより開閉される排気口と、及び上記他方のピストンにより気密に開閉される基板搬出口とよりなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
2 基板搬送装置
3 ロードロックチャンバー
4 プロセスチャンバー
5 ゲートバルブ
6 筒状シリンダー
7 上部ピストン
8 下部ピストン
9 気密シール
10 半導体基板
11 載置部
12 上蓋
13 ピストンロッド
14 下蓋
15 ピストンロッド
16 移動手段
17 移動手段
18 排気口
19 基板挿入口
20 基板搬出口
Claims (2)
- 筒状シリンダーと、上記筒状シリンダー内に軸方向に気密に移動自在に設けた、軸方向に互いに分離した一方及び他方のピストンと、上記一方及び他方のピストンをそれぞれ個別に移動せしめる移動手段と、上記筒状シリンダーの側壁に設けた、上記一方のピストンにより開閉される基板挿入口と、上記一方及び他方のピストンにより開閉される排気口と、及び上記他方のピストンにより気密に開閉される基板搬出口とよりなることを特徴とするロードロックチャンバー。
- 上記基板搬出口が複数あることを特徴とする請求項1記載のロードロックチャンバー。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2008020399A JP4583458B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | ロードロックチャンバー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008020399A JP4583458B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | ロードロックチャンバー |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187467A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック機構及び処理装置 |
JP2006214489A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置 |
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2008
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Patent Citations (2)
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JPH1187467A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック機構及び処理装置 |
JP2006214489A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置 |
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JP4583458B2 (ja) | 2010-11-17 |
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