JP2009177974A - 慣性駆動アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定部材1と、固定部材1上に配置された振動基板3と、固定部材1に対して振動基板3を往復移動させる変位発生手段2と、振動基板3上に配置され、振動基板3の往復移動に対して慣性により振動基板3に対して移動する磁性体からなる移動体4と、移動体4に設けられたコイル5と、移動体4を往復運動させるための電圧を印加するとともに、コイル5に電流を印加して電磁気力を作用させることにより、振動基板3と移動体4との間に生じる摩擦力を制御する駆動手段20とを備えていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
電気機械変換素子、例えば圧電素子に緩やかな立ち上り部とこれに続く急速な立ち下り部からなる波形の駆動パルスを印加する。このとき、圧電素子は、駆動パルスの緩やかな立ち上り部では緩やかに厚み方向に伸び変位を生じ、急速な立ち下り部では急速な縮み変位を生じる。そこで、この特性を利用し、圧電素子に上記したような波形の駆動パルスを印加して異なる速度で充放電を繰り返し、圧電素子に速度の異なる厚み方向の振動を発生させる。圧電素子に固着された駆動部材は、異なる速度で往復移動し、駆動部材に摩擦結合した移動部材を所定の方向に移動させる。慣性駆動アクチュエータでは、移動部材は、駆動部材と移動部材との間の摩擦力を用いて所定の方向に運ばれる。
図1において、圧電素子2の一端が固定部材1に固定され、他端は振動基板3の一端に固定されている。振動基板3上には圧電素子2の振動方向に移動可能な移動体4が配置されている。移動体4は、吸着部4aとコイル5と突起7とで形成される。突起7は、吸着部4aの振動基板3と対向する面と反対側に設けられる。また、突起7にはコイル5が形成されている。
駆動回路20は、圧電素子2とコイル5とにそれぞれ接続される。なお、変位発生手段は、圧電素子2に相当する。
図2、3に本アクチュエータの駆動波形を示す。図2(a)、(b)は移動体4を右に移動させる波形であり、図3(a)、(b)は移動体4を左に移動させる波形である。図2と図3を用いて駆動原理を説明する。
図3(a)、(b)に示すように、この圧電素子2への印加波形が立ち上がっている間、コイル5へ電流を印加する。電流に応じて、移動体4の吸着部4aと振動基板3との間に磁気吸着力が発生し摩擦が生じている。従って、振動基板3の移動と共に移動体4も左へと移動する。
移動体4を右に移動させる場合には図2(a)、(b)に示すように、電圧の立ち下り時、すなわち圧電素子2を急激に縮める際に、コイル5に電流を流し磁界を発生させればよい。以上が本アクチュエータの基本的な駆動原理である。
また、従来であれば、摩擦力の発生に弾性部材による力を用いていたため、変位の制御に複雑な波形が必要であった。実施例では、磁気吸着力で制御するので図2、3に示すように、圧電素子2の変位速度を往復とも同じ速さで慣性駆動させることが可能である。したがって、圧電素子2を動作させる際に複雑な波形を作成することもない。
2 圧電素子
3 振動基板
13 駆動基板
4、41、42、43 移動体
4a、41a、41b、42a、42b、43a、43b 吸着部
5、51、52、53 コイル
6 永久磁石
7 突起
11 ガイド
14 移動部材
15 挟み込み部
16 弾性部材
20 駆動回路
Claims (13)
- 固定部材と、
一端が前記固定部材に固定され他端が往復運動する変位発生手段と、
前記変位発生手段に接続され、前記変位発生手段の往復運動に伴い前記固定基板に対して往復運動する振動基板と、
前記振動基板上に配置され、前記振動基板の往復移動に対して慣性により前記振動基板に対して移動する磁性体からなる移動体と、
前記移動体に設けられたコイルと、
前記変位発生手段を往復運動させるための電圧を印加するとともに、前記コイルに電流を印加して電磁気力を作用させることにより、前記振動基板と前記移動体との間に生じる摩擦力を制御するための電流を印加する駆動手段と、を備えていることを特徴とする慣性駆動アクチュエータ。 - 前記変位発生手段の前記往復運動の往路の速度と復路の速度とは、ともに等しいことを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記移動体には、吸着部が少なくとも1つ形成され、前記吸着部と前記振動基板との間に前記電磁気力に起因する磁気吸着力による摩擦力が生じることを特徴とする請求項2に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記吸着部の前記振動基板と対向する面の面積は前記コイルの径方向の断面積よりも大きく、前記吸着部の幅は前記振動基板の幅と少なくとも同じあるいは前記振動基板の幅よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記コイルが形成された前記移動体を複数備え、前記駆動手段は前記複数の移動体のコイルに独立に電流を印加することによって、前記振動基板と前記複数の移動体との間の前記磁気吸着力を独立に変化させることを特徴とする請求項4に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記移動体には、更に連結部材を介して光学素子が取り付けられていることを特徴とする請求項4または5に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記吸着部は、前記移動体が移動する方向に2つ並んで形成され、前記コイルは前記2つの吸着部の間にあるとともに、前記コイルの軸が前記移動体の移動方向と一致していることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記吸着部には前記コイルを形成するための突起が、前記振動基板と対向する面に垂直な方向に形成されていることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記突起が前記連結部材を兼ねていることを特徴とする請求項8に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記振動基板及び前記固定部材の少なくとも一方が磁性体からなることを特徴とする請求項4から6に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記固定部材の前記移動体と対向しない面に永久磁石が配置されていることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記固定部材は、絶縁体からなり、前記移動体の移動方向と垂直方向の移動とを規制するためのガイドが形成されていることを特徴とする請求項11に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記振動基板には、前記移動体の移動方向と垂直方向の移動とを規制するためのガイドが形成されていることを特徴とする請求項10に記載の慣性駆動アクチュエータ。
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