JP2009176851A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】減圧状態の空洞を有する半導体装置の簡易な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる半導体装置の製造方法は、半導体基板10の上方に絶縁層20を形成する工程と、絶縁層20をエッチングして孔部22を形成する工程と、絶縁層20の上方に接着層30を形成する工程と、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、孔部22を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する工程と、半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程と、を有する。
【選択図】図15
【解決手段】本発明にかかる半導体装置の製造方法は、半導体基板10の上方に絶縁層20を形成する工程と、絶縁層20をエッチングして孔部22を形成する工程と、絶縁層20の上方に接着層30を形成する工程と、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、孔部22を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する工程と、半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程と、を有する。
【選択図】図15
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関する。
大気圧よりも小さい圧力の空洞を有する半導体装置は、最近MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いて製造されるようになってきた。MEMS技術を用いることで、たとえば、微細な真空素子(真空管等)を半導体装置内に形成することができる。
半導体装置に形成された空洞を、気密封止する方法としては、たとえば、外部から空洞に通じる微小な孔を半田等で封じる方法(特許文献1)や、超音波封止する方法(特許文献2)がある。一方、半導体装置に形成された空洞を減圧状態にする方法としては、減圧チャンバ内に半導体装置を配置して該空洞を超音波封止する方法や、該空洞を常圧で封止した後に、該空洞内のガス分子をゲッタにより吸着除去して減圧する方法(特許文献3)などがある。
これらの方法は、適宜組み合わせることができるが、減圧雰囲気中で空洞を封止する場合には、特殊な装置が必要であった。また、大気中で空洞を封止した後に、空洞内のガス分子を吸着する方法では、ガス分子を吸着する専用の部材を設ける必要があった。
特開2005−261898号公報
特開2004−209585号公報
特開2005−197151号公報
本発明の目的の1つは、減圧状態の空洞を有する半導体装置およびその簡易な製造方法を提供することである。
本発明の目的の1つは、真空管構造を有する半導体装置およびその簡易な製造方法を提供することである。
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、
半導体基板の上方に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層をエッチングして孔部を形成する工程と、
前記絶縁層の上方に接着層を形成する工程と、
水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記孔部を密閉するように、前記接着層の上方に封止板を積層する工程と、
前記半導体基板を減圧雰囲気中で加熱する工程と、
を有する。
半導体基板の上方に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層をエッチングして孔部を形成する工程と、
前記絶縁層の上方に接着層を形成する工程と、
水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記孔部を密閉するように、前記接着層の上方に封止板を積層する工程と、
前記半導体基板を減圧雰囲気中で加熱する工程と、
を有する。
このようにすれば、減圧状態の空洞を有する半導体装置を容易に製造することができる。
なお、本発明において、特定のA部材(以下、「A部材」という。)の上方に設けられた特定のB部材(以下、「B部材」という。)というとき、A部材の上に直接B部材が設けられた場合と、A部材の上に他の部材を介してB部材が設けられた場合とを含むことを意味する。
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、
半導体基板の上方に第1導電層を形成する工程と、
前記半導体基板および前記第1導電層の上方に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上方に第2導電層を形成する工程と、
前記第1絶縁層および前記第2導電層の上方に第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層をエッチングして第1貫通孔を形成する工程と、
前記第1絶縁層をエッチングして第2貫通孔を形成する工程と、
前記第2絶縁層の上方に接着層を形成する工程と、
封止板の下方に第3導電層を形成する工程と、
水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記貫通孔を密閉するように、前記接着層の上方に前記封止板を積層する工程と、
前記半導体基板を減圧雰囲気中で加熱する工程と、
を有する。
半導体基板の上方に第1導電層を形成する工程と、
前記半導体基板および前記第1導電層の上方に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上方に第2導電層を形成する工程と、
前記第1絶縁層および前記第2導電層の上方に第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層をエッチングして第1貫通孔を形成する工程と、
前記第1絶縁層をエッチングして第2貫通孔を形成する工程と、
前記第2絶縁層の上方に接着層を形成する工程と、
封止板の下方に第3導電層を形成する工程と、
水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記貫通孔を密閉するように、前記接着層の上方に前記封止板を積層する工程と、
前記半導体基板を減圧雰囲気中で加熱する工程と、
を有する。
このようにすれば、真空管構造を有する半導体装置を容易に製造することができる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法において、
前記第2導電層は、網目を有するように形成され、
前記第1絶縁層は、前記網目を介してエッチングされることができる。
前記第2導電層は、網目を有するように形成され、
前記第1絶縁層は、前記網目を介してエッチングされることができる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法において、
前記接着層は、スピンオングラスの原料溶液で形成されることができる。
前記接着層は、スピンオングラスの原料溶液で形成されることができる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法において、
前記減圧雰囲気中で加熱する工程の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paであることができる。
前記減圧雰囲気中で加熱する工程の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paであることができる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法において、
前記減圧雰囲気中で加熱する工程の温度は、250℃ないし550℃であることができる。
前記減圧雰囲気中で加熱する工程の温度は、250℃ないし550℃であることができる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法において、
前記封止板は、石英からなることができる。
前記封止板は、石英からなることができる。
本発明にかかる半導体装置は、
半導体基板と、
前記半導体基板の上方に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層に設けられた孔部と、
前記絶縁層の上方に前記孔部を封じるように設けられた封止板と、
を有し、
前記封止板によって封じられた空洞内は減圧状態である。
半導体基板と、
前記半導体基板の上方に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層に設けられた孔部と、
前記絶縁層の上方に前記孔部を封じるように設けられた封止板と、
を有し、
前記封止板によって封じられた空洞内は減圧状態である。
このような半導体装置は、減圧状態の空洞を有する。
本発明にかかる半導体装置において、
さらに、下方から順に、前記半導体基板に平行、かつ、互いに空間を隔てて設けられた第1導電層、第2導電層、および第3導電層を有し、
前記孔部は、前記絶縁層を貫通しており、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第3導電層は、いずれも少なくとも一部が、前記封止板によって封じられた空洞内に設けられることができる。
さらに、下方から順に、前記半導体基板に平行、かつ、互いに空間を隔てて設けられた第1導電層、第2導電層、および第3導電層を有し、
前記孔部は、前記絶縁層を貫通しており、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第3導電層は、いずれも少なくとも一部が、前記封止板によって封じられた空洞内に設けられることができる。
このような半導体装置は、真空管構造を有する。
本発明にかかる半導体装置において、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第3導電層は、3極真空管を構成し、
前記第2導電層は、グリッド電極として機能することができる。
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第3導電層は、3極真空管を構成し、
前記第2導電層は、グリッド電極として機能することができる。
本発明にかかる半導体装置において、
前記第2導電層は、網目状に形成されることができる。
前記第2導電層は、網目状に形成されることができる。
本発明にかかる半導体装置において、
前記空洞内の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paであることができる。
前記空洞内の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paであることができる。
以下に本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の例を説明するものである。
1.第1実施形態
1.1.半導体装置の製造方法
図1ないし図4は、本実施形態の半導体装置100の製造方法の各工程を模式的に示す断面図である。図5は、本実施形態の製造方法によって製造される半導体装置100を模式的に示す断面図である。図6および図7は、それぞれ本実施形態の製造方法によって製造される半導体装置の一例を模式的に示す平面図である。
1.1.半導体装置の製造方法
図1ないし図4は、本実施形態の半導体装置100の製造方法の各工程を模式的に示す断面図である。図5は、本実施形態の製造方法によって製造される半導体装置100を模式的に示す断面図である。図6および図7は、それぞれ本実施形態の製造方法によって製造される半導体装置の一例を模式的に示す平面図である。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、半導体基板10の上方に絶縁層20aを形成する工程と、絶縁層20aをエッチングして孔部22を形成する工程と、絶縁層20の上方に接着層30を形成する工程と、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、孔部22を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する工程と、半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程と、を有する。
まず、半導体基板10を準備する。半導体基板10の形状は、図示の例では平板状となっている。半導体基板10の上面の形状は、後述の絶縁層20aの厚みよりも小さい凹凸を有することができる。半導体基板10の下面および側面の形状は、任意である。半導体基板10の平面的な形状は、任意である。半導体基板10は、トランジスタ、キャパシタ、およびその他の電子素子を有することができる。半導体基板10の材質としては、たとえば、シリコンなどが挙げられ、配線等には金属が用いられていてもよい。
次に、図1に示すように、半導体基板10の上方に絶縁層20aを形成する。絶縁層20aは、エッチングされて絶縁層20となったとき、半導体装置100の空洞24の側面を構成する。絶縁層20aは、半導体基板10の上面が凹凸を有する場合は、該凹凸を覆う程度よりも厚く形成される。絶縁層20aの上面は、平面状であることが好ましい。絶縁層20aは、エッチング可能で、かつ、ヘリウムよりも大きな気体分子を透過しにくい材質で形成される。絶縁層20aの材質としては、たとえば、酸化シリコン、窒化シリコン、およびその混合物を挙げることができる。絶縁層20aは、たとえば、真空蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、スピンオングラス(SOG)法などにより形成することができる。なお、絶縁層20aは、必要に応じてCMP(Chemical Mechanical Polishing)等により表面を平坦化することができる。
次に、図2に示すように、絶縁層20aをエッチングして孔部22を形成する。本工程のエッチングは、等方性および異方性のいずれであってもよい。本工程のエッチングは、たとえば、公知のドライエッチング、ウェットエッチングなどの方法で行うことができる。絶縁層20aは、パターニングされてエッチングされる。パターニングの方法としては、公知のフォトリソグラフィ法を用いることができる。絶縁層20aのエッチングされない領域を絶縁層20として符号を付した。絶縁層20aがエッチングされて除去された領域は、孔部22である(図2参照)。孔部22は、絶縁層20aの上面から下方に向かって凹んだ領域である。孔部22は、図示の例では絶縁層20aを貫通しているが、絶縁層20aを貫通していなくてもよい。孔部22の平面的な形状は、円形、矩形等、任意の形状とすることができる。孔部22は、後の工程で絶縁層20aの上面に平行な下面を有する封止板40によって密閉され、空洞24となる(図4参照)。
次に、図3に示すように絶縁層20の上方に接着層30を形成する。接着層30は、絶縁層20の上面の平坦な面の上方に形成される。接着層30は、平面的に見て少なくとも孔部22の周囲を囲むように形成される。接着層30は、接着層30の上方に封止板40が積層されたときに、絶縁層20と接着層40とを接着する機能を有する。接着層30の厚みは、絶縁層20と封止板40とを接着できる範囲で任意であるが、接着層30から反応ガス等が発生するような場合は、接着層30は薄い方が好ましい。接着層30は、ヘリウムよりも分子サイズの大きな気体分子を透過しにくい材質が好ましい。接着層30は、たとえば、有機系接着剤、無機系接着剤、スピンオングラスの原料溶液を用いることができる。なかでも接着層30は、スピンオングラスの原料溶液で形成すると、後の工程の加熱によって、酸化シリコンに変化させることができるため、接着性、気密性の点でさらに好ましい。接着層30は、たとえば、インクジェット法によって塗布して形成することができる。
次に、図4に示すように、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、孔部22を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する。本工程は、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方によって充満された雰囲気中で、孔部22を密閉する。これにより、孔部22は、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方によって充満される。本工程を実施するときの圧力は、大気圧でも減圧状態でもよい。水素ガスおよびヘリウムガスは、気体分子のサイズが他の気体のそれに比較して小さいことが知られている。このような分子サイズの小さい気体分子は、絶縁層20、封止板40、半導体基板10等の部材を透過しやすい。したがって本工程によって密閉された孔部22(空洞24)から、密閉状態を保ったまま、後の工程で空洞24内部の気体分子を除去することができる。なお、孔部22に、たとえば誘電体などの酸化物からなる他の素子が形成されている場合は、該素子の劣化を抑制するなどの目的のために、本工程で用いるガスを、ヘリウムガスのみとすることが好ましい。
本工程において、封止板40は、接着層30の上方に積層される。封止板40が積層されることにより、孔部22が密閉される。封止板40は、平板状である。封止板40の下面は、接着層30によって孔部22の気密性が確保できる程度に平坦であることが望ましい。封止板40は、孔部22に上部から蓋をするように積層される。封止板40が積層されると、孔部22は、密閉されることができ、空洞24が形成される(図4参照)。また、このとき、孔部22が絶縁層20aを貫通して形成され、半導体基板10等が孔部22の下面を構成している場合は、空洞24は、半導体基板10、絶縁層20、および封止板40によって囲まれた領域となる。封止板40の材質は、ヘリウムよりも分子サイズの大きな気体分子を透過しにくいものが好ましい。封止板40は、たとえば、ソーダガラス板、石英ガラス板などを用いることができる。また、封止板40は、必要に応じて導電性を有する物質を含んで構成されていてもよい。封止板40は、たとえば下面に金属薄膜、ITO(インジウム錫酸化物)薄膜が形成された石英ガラスなどを用いることができる。次の工程の加熱の温度が高い場合は、封止板40の材質として石英ガラスがより好ましい。
次に、半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する。半導体基板10は、上記の工程を経ると、水素ガスまたはヘリウムガスの少なくとも一方が封入された空洞24を有している。上記の工程を経て封止板40が積層された状態の半導体基板10を、たとえば、公知の真空チャンバ等に導入し、該チャンバ内で加熱する。減圧雰囲気とは、加熱の程度に依存するが、1×10−8Paないし2×10−5Paの圧力の雰囲気を指す。減圧雰囲気の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paの範囲内で変動させてもよい。減圧雰囲気の圧力は、この範囲よりも高いと、十分に水素ガスやヘリウムガスを空洞24内から外に放出させるための時間が長くなる。また、この範囲よりも低い圧力を達成することは、減圧機能を有する装置の減圧性能を極めて高くする必要があるため実用的でない。加熱するときの温度は、250℃ないし550℃とすることができる。加熱するときの温度は、減圧雰囲気の圧力や各部材の材質などによって決定される。加熱するときの温度は、250℃よりも低いと、十分に水素ガスやヘリウムガスを空洞24内から外に放出させるための時間が長くなる。また加熱するときの温度は、550℃よりも高いと、各部材に熱によるダメージを与える可能性が生じて好ましくない。また、本工程中加熱するときの温度は、変動させてもよい。
本工程によって、空洞24内部に封じられている水素ガスやヘリウムガスを、空洞24を開放せずに除去することができる。図4に模式的に矢印で示すように、水素ガスやヘリウムガスは、封止板40、絶縁層20、半導体基板10を透過するように拡散して外部減圧空間へ散逸して排気される。その結果、空洞24内部の気体分子の数が少なくなり、半導体基板10を常温、大気圧、大気雰囲気に戻したときには、減圧状態の空洞24を有する半導体装置100が形成されることになる。この減圧状態の空洞24には、各部材を介して大気中の窒素や酸素などの分子サイズの大きい気体が侵入しにくく、また、大気中の水素ガスやヘリウムガスの含有量が小さいことから、半導体装置100において、減圧状態の空洞24の減圧状態が維持される。
また、本工程は、たとえば、接着層30の硬化やアニールを同時に行うことができる。接着層30にスピンオングラスの原料溶液を用いた場合、本工程によって、空洞24内部を減圧にするとともに、接着層30を硬化して酸化シリコンに変化させることができる。また、接着層30に有機系接着剤等を用いた場合は、本工程によって、空洞24内部を減圧にするとともに、接着層30をアニールすることができる。ここで、硬化やアニールによって水素やヘリウム以外のガスが発生することがある場合には、たとえば、図6に示すように、封止板40に孔42を設けることができる。図6に示すように、孔42は、たとえば空洞24からみて接着層30よりも外側に位置するように設けることができる。また、この場合、図7に示すように、接着層30の空洞24に対して外側の領域の絶縁層20に溝25を設けることができる。図7に示すように、溝25は、たとえば空洞24からみて接着層30よりも外側に位置するように設けることができる。このようにすれば、孔42や溝25を通じて、接着層30から生じるガスを外部に排気することができる。
以上のように、本実施形態の半導体装置の製造方法によって、図5に示すような減圧状態の空洞24を有する半導体装置100を容易に製造することができた。本実施形態の製造方法によれば、減圧空間を形成するために、特別な通気孔のような構造を形成する必要がない。また、減圧空間の上面の開口面積を大きくすることができるため、組立等に要求される精度を軽減することができる。
1.2.半導体装置
本実施形態の半導体装置の製造方法によって、図5に示すような半導体装置100が形成される。本実施形態の半導体装置100は、半導体基板10と、半導体基板10の上方に設けられた絶縁層20と、絶縁層20に設けられた孔部と、絶縁層20の上方に孔部を封じるように設けられた封止板40と、を有し、封止板40によって封じられた空洞24内は、減圧状態である。
本実施形態の半導体装置の製造方法によって、図5に示すような半導体装置100が形成される。本実施形態の半導体装置100は、半導体基板10と、半導体基板10の上方に設けられた絶縁層20と、絶縁層20に設けられた孔部と、絶縁層20の上方に孔部を封じるように設けられた封止板40と、を有し、封止板40によって封じられた空洞24内は、減圧状態である。
各部の詳細な説明は、製造方法の項で述べたとおりである。絶縁層20と封止板40の間には、接着層30などが設けられていてもよい。空洞24内の圧力は、製造工程における減圧雰囲気の圧力に依存し、1×10−8Paないし2×10−5Paあるいはさらに低い圧力であることができる。
以上のような半導体装置100は、減圧状態の空洞を有している。半導体装置100の空洞24内には、電極等を設けることができる。半導体装置100は、減圧状態の空洞24を利用して、たとえば、真空管、アンチヒューズ(Anti−fuse)などを搭載することができる。
2.第2実施形態
2.1.半導体装置の製造方法
図8ないし図14は、本実施形態の半導体装置の製造方法の各工程を模式的に示す断面図である。図15は、本実施形態の半導体装置200を模式的に示す断面図である。
2.1.半導体装置の製造方法
図8ないし図14は、本実施形態の半導体装置の製造方法の各工程を模式的に示す断面図である。図15は、本実施形態の半導体装置200を模式的に示す断面図である。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、半導体基板10の上方に第1導電層50を形成する工程と、半導体基板10および第1導電層50の上方に第1絶縁層26aを形成する工程と、第1絶縁層26aの上方に第2導電層60を形成する工程と、第1絶縁層26aおよび第2導電層60の上方に第2絶縁層28aを形成する工程と、第2絶縁層28aをエッチングして、第1貫通孔29を形成する工程と、第1絶縁層26aをエッチングして、第2貫通孔27を形成する工程と、第2絶縁層28の上方に接着層30を形成する工程と、封止板40の下方に第3導電層70を形成する工程と、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記エッチングによって形成された第1貫通孔29および第2貫通孔27を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する工程と、半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程と、を有する。
本実施形態の製造方法の工程のうち、第2絶縁層28の上方に接着層30を形成する工程、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記エッチングによって形成された第1貫通孔27および第2貫通孔29を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する工程、および半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程については、第1実施形態の絶縁層20の上方に接着層30を形成する工程、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記エッチングによって形成された孔部22を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する工程、および半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程とそれぞれ実質的に同様であるので、詳細な説明を省略する。また、本実施形態において、第1実施形態と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付し詳細な説明を省略する。また、本実施形態では、第1貫通孔29および第2貫通孔27が連通して形成される領域を空洞24とし、減圧状態の領域という点で第1実施形態の空洞24と実質的に同様である。
まず、図8に示すように、半導体基板10の上方に、第1導電層50を形成する。図示の例では、第1導電層50は、2箇所に設けられているが、第1導電層50の個数には制限がない。第1導電層50は、半導体基板10に平行な平板状の形状を有する。第1導電層50の上面には、微細な凹凸を有していてもよい。第1導電層50の平面的な形状は、第1導電層50の少なくとも一部が半導体装置200の第2貫通孔27および第1貫通孔29および第2貫通孔27によって形成される空洞24内に設けられる限り任意である。第1導電層50の厚みは、第1絶縁層26aの厚みよりも小さい範囲であれば、任意である。第1導電層50は、半導体装置200に形成される真空管構造部90において、アノード電極またはカソード電極として機能することができる。第1導電層50は、半導体基板10の上方に、たとえば真空蒸着法やスパッタ法によって設けることができる。また、必要に応じてフォトリソグラフィ法等によってパターニングされて形成されることができる。第1導電層50は、導電性を有する。第1導電層50の材質としては、タングステン、金、銀、などの金属、ITOなどの導電性酸化物を用いることができる。また、第1導電層50に接続する配線等は、任意に設計される。
次に、図9に示すように、半導体基板10および第1導電層50の上方に第1絶縁層26aを形成する。第1絶縁層26aは、第2貫通孔27が形成されて第1絶縁層26となったとき、第2貫通孔27の側面を構成する。第1絶縁層26aは、半導体基板10の上面に第1導電層50によって凹凸が生じている場合は、該凹凸を覆う程度よりも厚く形成される。第1絶縁層26aの上面は、平面状であることが好ましい。第1絶縁層26aは、エッチング可能で、かつ、ヘリウムよりも分子サイズの大きな気体分子を透過しにくい材質で形成される。第1絶縁層26aの材質としては、たとえば、酸化シリコン、窒化シリコン、およびその混合物を挙げることができる。第1絶縁層26aは、たとえば、真空蒸着法、CVD法、SOG法などにより形成することができる。なお、第1絶縁層26aは、必要に応じてCMP法等により上面を平坦化することができる。
次に、図10に示すように、第1絶縁層26aの上方に第2導電層60を形成する。図示の例では、第2導電層60は、2箇所に設けられているが、第2導電層の個数には制限がない。第2導電層60は、半導体基板10に平行な平板状の形状を有する。第2導電層60は、図示の例のように網目状に形成されていてもよい。第2導電層60の厚みは、任意である。第2導電層60は、半導体装置200に形成される真空管構造部90において、グリッド電極として機能することができる。第2導電層60は、第1絶縁層26aの上方に、たとえば真空蒸着法やスパッタ法によって設けることができる。また、必要に応じてフォトリソグラフィ法等によってパターニングされて形成されることができる。第2導電層60は、導電性を有する。第2導電層60の材質としては、タングステン、金、銀、などの金属、ITOなどの導電性酸化物を用いることができる。
第2導電層60の平面的な形状は、第2導電層60の少なくとも一部が半導体装置200の空洞24内に存在するように設けられる。第2導電層60は、半導体装置200の空洞24外に埋め込まれるように形成され、後のエッチング工程において空洞24が形成されたときに空洞24内でエッチング前の空間的位置を維持することができる。第2導電層60は、第1導電層50と平行に配置される。第2導電層60は、下方の第1絶縁層26が上方からエッチングするときに、その上下の第1貫通孔29および第2貫通孔27が連通できるように形成される。図11は、本工程で形成される第2導電層60の平面的な形状の例を模式的に示す平面図である。図11は、第2導電層60が第1絶縁層26aの上に形成された状態の平面図であるが、最終的な空洞24内の配置を分かりやすくするために、第2絶縁層28aがエッチングされることによって形成される第1貫通孔29を想像線(一点鎖線)で示してある。図11において、想像線で囲まれた第1貫通孔29が、空洞24の第2導電層60よりも上に位置する領域である。第2導電層60は、図11の第2導電層60aの例ように、片持ち梁状に形成されることができ、また、第2導電層60bの例ように複数の支点を有して梁状に形成されていてもよい。さらに上下の第1貫通孔29および第2貫通孔27が連通できるように、第2導電層60aの例ように細線が蛇行したような平面形状や、第2導電層60bの例ように網目状の平面形状であってもよい。また、第2導電層60に接続する配線等は、任意に設計される。
次に、図12に示すように、第1絶縁層26aおよび第2導電層60の上方に第2絶縁層28aを形成する。第2絶縁層28aは、第1貫通孔29が形成されて第2絶縁層28となったとき、第1貫通孔29の側面を構成する。第2絶縁層28aは、第1絶縁層26aの上面に第2導電層60による凹凸が生じている場合は、該凹凸を覆う程度よりも厚く形成される。第2絶縁層28aの上面は、平面状であることが好ましい。第2絶縁層28aは、エッチング可能で、かつ、ヘリウムよりも分子サイズの大きな気体分子を透過しにくい材質で形成される。第2絶縁層28aの材質としては、たとえば、酸化シリコン、窒化シリコン、およびその混合物を挙げることができる。第2絶縁層28aは、たとえば、真空蒸着法、CVD法、SOG法などにより形成することができる。なお、第2絶縁層28aは、必要に応じてCMP法等により上面を平坦化することができる。
次に、第2絶縁層28aをエッチングして、第1貫通孔29を形成する。本工程のエッチングは、等方性および異方性のいずれであってもよい。本工程のエッチングは、たとえば、公知のドライエッチング、ウェットエッチングなどの方法で行うことができる。第2絶縁層28aは、パターニングされてエッチングされる。パターニングの方法としては、公知のフォトリソグラフィ法を用いることができる。第2絶縁層28aのエッチングされない領域を第2絶縁層28として符号を付した。第2絶縁層28aをエッチングして除去した領域は、第1貫通孔29となる(図13参照)。第1貫通孔29は、第2絶縁層28aを貫通している。第1貫通孔29の平面的な形状は、円形、矩形等、任意の形状とすることができる。第1貫通孔29は、後の工程で第2絶縁層28aの上面に平行な下面を有する封止板40によって密閉され、空洞24の一部を構成する(図15参照)。
次に、第1絶縁層26aをエッチングして、第2貫通孔27を形成する。本工程のエッチングは、等方性および異方性のいずれであってもよい。本工程のエッチングは、たとえば、公知のドライエッチング、ウェットエッチングなどの方法で行うことができる。第1絶縁層26aは、第2絶縁層28aのエッチングに引き続いてエッチングされることができる。第1絶縁層26aのエッチングされない領域を第1絶縁層26として符号を付した。第1絶縁層26aをエッチングして除去した領域は、第2貫通孔27である(図13参照)。第2貫通孔27は、第1絶縁層26aを貫通している。第2貫通孔27の平面的な形状は、第1貫通孔29の平面的な形状に従う。第1貫通孔29および第2貫通孔27は、互いに連続し、閉空間である空洞24を形成している。
次に、第2絶縁層28の上方に接着層30を形成する。本工程は、第1実施形態の絶縁層20の上方に接着層30を形成する工程と同様であり、第1実施形態の絶縁層20を、本実施形態の第2絶縁層28と適宜読み替えることによって説明される。
次に、図14に示すように、封止板40の下方に第3導電層70を形成する。図示の例では、第3導電層70は、2箇所に設けられているが、第3導電層70の個数には制限がない。第3導電層70は、半導体基板10に平行となる平板状の形状を有する。第3導電層70の下面には、微細な凹凸を有していてもよい。第3導電層70の平面的な形状は、第3導電層70の少なくとも一部が半導体装置200の貫通孔29内に設けられる限り任意である。第3導電層50の厚みは、第1絶縁層26aの厚みよりも小さい範囲であれば、任意である。第1導電層50は、半導体装置200に形成される真空管構造部90において、アノード電極またはカソード電極として機能することができる。第1導電層50は、半導体基板10の上方に、たとえば真空蒸着法やスパッタ法によって設けることができる。また、必要に応じてフォトリソグラフィ法等によってパターニングされて形成されることができる。第3導電層70は、導電性を有する。第3導電層70の材質としては、タングステン、金、銀、などの金属、ITOなどの導電性酸化物を用いることができる。第3導電層70によって封止板40の下面に凹凸が生じる場合は、適宜、接着層30の厚み等を調節して密封性を確保することができる。また、第3導電層70に接続する配線等は、任意に設計される。
次に、水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、第2貫通孔27および第1貫通孔29からなる空洞24を密閉するように、接着層30の上方に封止板40を積層する。本工程は、第1実施形態の接着層30の上方に封止板40を積層する工程と同様であり、第1実施形態の孔部22を、本実施形態の第2貫通孔27および第1貫通孔29と適宜読み替えることによって説明される。
次に、半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する。本工程は、第1実施形態の半導体基板10を減圧雰囲気中で加熱する工程と同様である。
以上のように、本実施形態の半導体装置の製造方法によって、図15に示すような減圧状態の空洞24、および3つの導電層を含む、真空管構造部90を有する半導体装置を容易に製造することができる。本実施形態の製造方法によれば、減圧空間を形成するために、特別な通気孔のような構造を形成する必要がない。また、減圧空間の上面の開口面積を大きくすることができるため、組立等に要求される精度を軽減することができる。
2.2.半導体装置
本実施形態の半導体装置の製造方法によって、図15に示すような半導体装置200が形成される。本実施形態の半導体装置200は、半導体基板10と、半導体基板10の上方に設けられた絶縁層と、絶縁層に設けられた孔部と、絶縁層の上方に孔部を封じるように設けられた封止板40と、を有し、封止板40によって封じられた空洞24内の圧力は、減圧状態である。そして、さらに、下方から順に、半導体基板10に平行、かつ、互いに空間を隔てて設けられた第1導電層50、第2導電層60、および第3導電層70を有し、孔部は、絶縁層を貫通しており、第1導電層50、第2導電層60、および第3導電層70は、いずれも少なくとも一部が封止板40によって封じられた空洞24内に設けられている。
本実施形態の半導体装置の製造方法によって、図15に示すような半導体装置200が形成される。本実施形態の半導体装置200は、半導体基板10と、半導体基板10の上方に設けられた絶縁層と、絶縁層に設けられた孔部と、絶縁層の上方に孔部を封じるように設けられた封止板40と、を有し、封止板40によって封じられた空洞24内の圧力は、減圧状態である。そして、さらに、下方から順に、半導体基板10に平行、かつ、互いに空間を隔てて設けられた第1導電層50、第2導電層60、および第3導電層70を有し、孔部は、絶縁層を貫通しており、第1導電層50、第2導電層60、および第3導電層70は、いずれも少なくとも一部が封止板40によって封じられた空洞24内に設けられている。
各部の詳細な説明は、製造方法の項で述べたとおりである。絶縁層20と封止板40の間には、接着層30などが設けられていてもよい。上記半導体装置200の絶縁層は、本実施形態の製造方法の項で述べた第1絶縁層26および第2絶縁層28を合わせたものに相当する。また、上記半導体装置200の孔部は、本実施形態の製造方法で述べた、第1貫通孔29および第2貫通孔27に相当する。空洞24内の圧力は、製造工程における減圧雰囲気の圧力に依存し、1×10−8Paないし2×10−5Paあるいはさらに低い圧力であることができる。
以上のような半導体装置200は、図15に示すような減圧状態の空洞24の中に3つの導電層を有しており、真空管構造を有している。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。たとえば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成(たとえば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10 半導体基板、20 絶縁層、22 孔部、24 空洞、25 溝、
26 第1絶縁層、27 第2貫通孔、28 第2絶縁層、29 第1貫通孔、
30 接着層、40 封止板、42 孔、50 第1導電層、60 第2導電層、
70 第3導電層、90 真空管構造部、100,200 半導体装置
26 第1絶縁層、27 第2貫通孔、28 第2絶縁層、29 第1貫通孔、
30 接着層、40 封止板、42 孔、50 第1導電層、60 第2導電層、
70 第3導電層、90 真空管構造部、100,200 半導体装置
Claims (12)
- 半導体基板の上方に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層をエッチングして孔部を形成する工程と、
前記絶縁層の上方に接着層を形成する工程と、
水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記孔部を密閉するように、前記接着層の上方に封止板を積層する工程と、
前記半導体基板を減圧雰囲気中で加熱する工程と、
を有する、半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の上方に第1導電層を形成する工程と、
前記半導体基板および前記第1導電層の上方に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上方に第2導電層を形成する工程と、
前記第1絶縁層および前記第2導電層の上方に第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層をエッチングして第1貫通孔を形成する工程と、
前記第1絶縁層をエッチングして第2貫通孔を形成する工程と、
前記第2絶縁層の上方に接着層を形成する工程と、
封止板の下方に第3導電層を形成する工程と、
水素ガスおよびヘリウムガスの少なくとも一方の雰囲気中で、前記貫通孔を密閉するように、前記接着層の上方に前記封止板を積層する工程と、
前記半導体基板を減圧雰囲気中で加熱する工程と、
を有する、半導体装置の製造方法。 - 請求項2において、
前記第2導電層は、網目を有するように形成され、
前記第1絶縁層は、前記網目を介してエッチングされる、半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかにおいて、
前記接着層は、スピンオングラスの原料溶液で形成される、半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかにおいて、
前記減圧雰囲気中で加熱する工程の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paである、半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかにおいて、
前記減圧雰囲気中で加熱する工程の温度は、250℃ないし550℃である、半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかにおいて、
前記封止板は、石英からなる、半導体装置の製造方法。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の上方に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層に設けられた孔部と、
前記絶縁層の上方に前記孔部を封じるように設けられた封止板と、
を有し、
前記封止板によって封じられた空洞内は減圧状態である、半導体装置。 - 請求項8において、
さらに、下方から順に、前記半導体基板に平行、かつ、互いに空間を隔てて設けられた第1導電層、第2導電層、および第3導電層を有し、
前記孔部は、前記絶縁層を貫通しており、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第3導電層は、いずれも少なくとも一部が、前記封止板によって封じられた空洞内に設けられた、半導体装置。 - 請求項9において、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第3導電層は、3極真空管を構成し、
前記第2導電層は、グリッド電極として機能する、半導体装置。 - 請求項9または請求項10において、
前記第2導電層は、網目状に形成された、半導体装置。 - 請求項9ないし請求項11のいずれかにおいて、
前記空洞内の圧力は、1×10−8Paないし2×10−5Paである、半導体装置。
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US8525277B2 (en) | 2010-04-06 | 2013-09-03 | Seiko Epson Corporation | MEMS device |
JP2014012520A (ja) * | 1997-11-21 | 2014-01-23 | Bae Systems Controls Inc | 回生制動時のバッテリーへの補助電力を減少させたハイブリッド電気自動車 |
CN114368726A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-19 | 江苏普诺威电子股份有限公司 | Mems内置芯片封装载板及其制作工艺 |
CN114466512A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-05-10 | 江苏普诺威电子股份有限公司 | Mems埋容埋阻封装载板及其制作工艺 |
-
2008
- 2008-01-23 JP JP2008012279A patent/JP2009176851A/ja not_active Withdrawn
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