JP2009174715A - シールリングを備えた真空バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本質的に矩形の断面を含み、互いに正反対に対向した矩形の端部において曲率半径が配置されており、この曲率半径は、ハウジングサイドとディスクサイドに互いに正反対に対向して配置したシーリングシートと密封係合し、それらの密封表面は、それぞれほぼ同一の円錐角を有するを備えた真空バルブ。
【選択図】図3
Description
2 バルブハウジング
3 ハンドホイール
4 スピンドル
5 スピンドルボア
6 矢印
7 矢印
8 ガイド
9 バルブロッド
10 インレットフランジ
11 アウトレットフランジ
12 インテリア
13 バルブディスク
14 シールリング
15 バルブシート(ハウジングサイド)
16 ディスク
17 スクリュー
18 バルブシート(ディスクサイド)
19a、19b 円錐線
20a、20b 半径
21 角度
22 直線
23 矩形断面
Claims (14)
- 本質的に矩形の断面を含み、互いに正反対に対向した矩形の端部において曲率半径が配置されており、この曲率半径(20a、20b)は、ハウジングサイドとディスクサイドに互いに正反対に対向して配置したシーリングシート(15,18)と密封係合し、それらの密封表面は、それぞれほぼ同一の円錐角を有するシールリング(14)を備えた真空バルブ。
- バルブハウジング(2)のバルブディスク(13)のバルブシート(18,15)の同一向きの円錐表面の間にあるシールリング(14)を備えた真空バルブであって、シールリング(14)は、本質的に多角形、特に矩形の断面をもち、バルブが閉じた状態において、バルブシート(18,15)の円錐表面とバルブシーリング表面を形成する、少なくとも2つの放射状に離れたリング端部は曲率半径(20a、20b)を有し、バルブディスク(13)の運動によってシールリングが曲がるとき、シールリング(14)の中立軸が常にバルブディスク(13)の運動方向にほぼ垂直となる真空バルブ。
- シールリング(14)は、わずかに弾性があり、バルブディスク(13)を閉じる操作あるいは閉じた状態の間、わずかに変形するか、変形しない請求項1又は2に記載の真空バルブ。
- シールリング(14)の断面が本質的に長方形、ひし形又は正方形及び少なくとも2つのリング端部で表され、該リング端部は、放射状に離れており、互いに正反対に対向する曲率半径(20a、20b)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- シールリング(14)の曲率半径(20a、20b)がほぼ同一の大きさであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- シールリング(14)の曲率半径(20a、20b)が異なる大きさであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- 曲率半径(20a、20b)の2つの中心点(25a、25b)を通る結合線が、バルブシート(18,15)の2つの円錐表面とほぼ直角で交差することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- 曲率半径(20a、20b)の2つの中心点(25a、25b)が一点に集まっていることを特徴とする請求項7に記載の真空バルブ。
- 曲率半径(20a、20b)が、バルブディスク(13)の運動方向に対し、異なる高さにあることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- シールリング(14)の対称軸が、バルブディスク(13)の運動方向に対して、ほぼ垂直な水平面にあることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- シールリング(14)が、ステンレス鋼、高ニッケル合金、金属/プラスチック化合物材料、グラファイト材料、又は銅及び/又はブロンズ合金を含むことを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- シーリングシート(18,15)の少なくとも円錐表面が、ステンレス鋼からなることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- バルブディスク(13)が、縦方向に移動可能なバルブロッド(9)に取り付けられていることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- シールリング(14)が、保持手段(16,17)によって、脱離できる形で、バルブディスク(13)又はバルブハウジング(2)に保持されていることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の真空バルブ。
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