JP2009170639A - 窒化物半導体レーザチップ及び窒化物半導体レーザ素子並びに窒化物半導体レーザチップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による窒化物半導体レーザチップ1は、共振器端面に平行となるクラックCが少なくとも一本形成されている。レーザチップ1内にクラックCを形成することによって歪みによる応力を緩和し、これによって信頼性の高いレーザチップを得ることができる。
【選択図】図1
Description
最初に、本発明における窒化物半導体レーザチップの構成について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施形態における窒化物半導体レーザチップの構成を示す模式的な平面図及び断面図である。ここで、図1(a)は窒化物半導体レーザチップの模式的な平面図を示しており、図1(b)は、図1(a)のA−A断面を示した模式的な断面図を示している。
<レーザチップの作製方法>
(ウエハの作製方法)
次に、レーザチップの作製方法について図面を参照して説明する。最初に、図2を用いて、本発明の実施形態における窒化物半導体レーザチップを作製するためのウエハの作製方法の一例について説明する。図2は、ウエハの作製方法の一例を示す模式的な断面図であり、図1に示したレーザチップの断面と同様の断面を示すものとする。
次に、図4に示したウエハ20を劈開及び分割して図1に示したレーザチップ1を得る方法について、図5を用いて説明する。図5は、バー及びチップの構成について示す模式的な平面図である。図5(a)、(b)に示す平面図は、図1(a)に示す平面と同様の平面について示したものである。
次に、図1に示すレーザチップ1を備えたレーザ素子の一例について図6を用いて説明する。図6は、レーザ素子の一例を示す模式的な斜視図である。図6に示すように、レーザ素子40は、レーザチップ1がはんだによって接続及び固定(マウント)されるサブマウント43と、サブマウント43と接続するヒートシンク42と、ヒートシンク42が所定の面に接続されるステム41と、ステム41の所定の面と所定の面の反対側の面とを貫通するとともにステム41と絶縁されて設けられるピン44a、44bと、一方のピン44aとレーザチップ1のパッド電極12とを電気的に接続するワイヤ45aと、他方のピン44bとサブマウント43とを電気的に接続するワイヤ45bと、を備えている。
<クラックの構成>
本発明の実施形態におけるレーザチップ1は、図1(a)に示したように、レーザチップ1内にクラックCが形成される。以下では、このクラックCについての説明を行う。まず、図7を用いてクラックの構成について説明する。図7は、クラックの構成を示す模式的な断面図である。また、図7は、図2(a)と同様の構成について示しており、<0001>方向を上下方向、<1−100>方向を左右方向として表示している。即ち、図7は図2(a)と略垂直な断面について示すものとなる。
<クラックの形成方法>
また、上述したクラックを効率よく形成する方法の具体例について以下に説明する。まず、n型クラッド層3やp型クラッド層7に用いるAlGaNのAl組成について説明する。
2 基板
3 n型クラッド層
4 活性層
4a 井戸層
4b 障壁層
5 光ガイド層
6 キャップ層
7 p型クラッド層
8 コンタクト層
9 p側オーミック電極
10 リッジ部
11 電流ブロック層
12 パッド電極
13 n側電極
14 SiO2層
20 ウエハ
30 バー
40 窒化物半導体レーザ素子
41 ステム
42 ヒートシンク
43 サブマウント
44a、44b ピン
45a、45b ワイヤ
Claims (8)
- 基板と、当該基板の主面上に設けられるとともに窒化物半導体から成る層が備えられる積層構造と、を備える窒化物半導体レーザチップにおいて、
前記積層構造に少なくとも1本のクラックが形成されることを特徴とする窒化物半導体レーザチップ。 - 前記クラックが、前記基板の主面に対して垂直な平板状になるとともに、前記積層構造の一方の端部から他方の端部に到達するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体レーザチップ。
- 前記クラックが、前記積層構造内において発生する光が往復する方向と略垂直となるように形成されることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体レーザチップ。
- 前記クラックが、1本または2本であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の窒化物半導体レーザチップ
- 前記積層構造が、AlGaNから成るAl添加層を備えるものであるとともに、当該Al添加層のAl組成が、6%以上8%以下であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の窒化物半導体レーザチップ。
- 前記積層構造の、前記基板の主面と垂直な方向の厚みが、2μm以上6μm以下であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の窒化物半導体レーザチップ。
- 請求項1〜請求項6のいずれかに記載のレーザチップを備えることを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。
- 基板の主面上に窒化物半導体から成る層を備える積層構造を形成するとともに、当該積層構造を形成する際に少なくとも一つのクラックを前記積層構造に形成することを特徴とする窒化物半導体レーザチップの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008006762A JP2009170639A (ja) | 2008-01-16 | 2008-01-16 | 窒化物半導体レーザチップ及び窒化物半導体レーザ素子並びに窒化物半導体レーザチップの製造方法 |
US12/353,386 US7787510B2 (en) | 2008-01-16 | 2009-01-14 | Nitride semiconductor laser chip, nitride semiconductor laser device, and manufacturing method of nitride semiconductor laser chip |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008006762A JP2009170639A (ja) | 2008-01-16 | 2008-01-16 | 窒化物半導体レーザチップ及び窒化物半導体レーザ素子並びに窒化物半導体レーザチップの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009170639A true JP2009170639A (ja) | 2009-07-30 |
Family
ID=40850579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008006762A Pending JP2009170639A (ja) | 2008-01-16 | 2008-01-16 | 窒化物半導体レーザチップ及び窒化物半導体レーザ素子並びに窒化物半導体レーザチップの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7787510B2 (ja) |
JP (1) | JP2009170639A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080283854A1 (en) * | 2007-05-01 | 2008-11-20 | The Regents Of The University Of California | Light emitting diode device layer structure using an indium gallium nitride contact layer |
US20140203287A1 (en) * | 2012-07-21 | 2014-07-24 | Invenlux Limited | Nitride light-emitting device with current-blocking mechanism and method for fabricating the same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11195813A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 窒化ガリウム系半導体素子 |
JP2003264345A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-19 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子 |
JP2007201379A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 化合物半導体基板、その製造方法及び半導体デバイス |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6661824B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser device and method for fabricating the same |
US6812496B2 (en) * | 2002-01-10 | 2004-11-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Group III nitride semiconductor laser device |
US7462882B2 (en) * | 2003-04-24 | 2008-12-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nitride semiconductor light-emitting device, method of fabricating it, and semiconductor optical apparatus |
TWI347054B (en) * | 2003-07-11 | 2011-08-11 | Nichia Corp | Nitride semiconductor laser device and method of manufacturing the nitride semiconductor laser device |
JP4390640B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2009-12-24 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子、窒化物半導体発光素子、窒化物半導体ウェハおよびそれらの製造方法 |
JP2005150692A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置 |
JP4963060B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-06-27 | シャープ株式会社 | 窒化物系半導体レーザ素子及びその製造方法 |
US20070221932A1 (en) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method of fabricating nitride-based semiconductor light-emitting device and nitride-based semiconductor light-emitting device |
JP2007273901A (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体発光素子 |
JP5378651B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2013-12-25 | 日本オクラロ株式会社 | 半導体レーザ素子及びその製造方法 |
-
2008
- 2008-01-16 JP JP2008006762A patent/JP2009170639A/ja active Pending
-
2009
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11195813A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 窒化ガリウム系半導体素子 |
JP2003264345A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-19 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子 |
JP2007201379A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 化合物半導体基板、その製造方法及び半導体デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7787510B2 (en) | 2010-08-31 |
US20090180507A1 (en) | 2009-07-16 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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