JP2009164588A - 表面処理銅箔及び回路基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板の表裏に銅箔回路が設けられ、これら銅箔回路が絶縁基板に設けたスルーホールに充填の金属粒子で接続されている積層基板における前記銅箔回路を構成する表面処理銅箔であって、銅箔(元箔)の少なくとも片面は、該銅箔表面に接合される前記金属粒子との接合部の、前記金属粒子との接合面の面積が銅箔表面積の30%以上となるように表面処理されている表面処理銅箔である。
【選択図】図1
Description
また本発明は、前記表面処理銅箔で回路を形成した回路基板に関するものである。
また、スルーホールめっき法による積層回路基板では、スルーホールの直上には部品を実装できず、配線の自由度が低い欠点もある。
この欠点を解消するために、スルーホールめっき法による積層回路基板において、実装部品の配置位置を避けるように、スルーホールを基板表面に対して傾斜させて形成する手法も採用されている。
IVH法を使用して積層回路を作成する代表的な方法として、ALIVH(非特許文献1参照)がある。
ALIVHでは、絶縁基板としてアラミドエポキシプリプレグを使用し、レーザー穴開け加工でスルーホールを形成する。次いでスルーホールに導電性ペーストを充填した絶縁基板の両面に銅箔を積層し、熱プレスで銅箔と絶縁基板とを接着する。その後、銅箔をパターニング(エッチング)して所定の回路を形成する。上記工程を繰り返して積層回路基板を形成する。
エレクトロニクス実装用高機能性基板材料、株式会社 シーエムシー出版、2005年1月31日発行 18ページ参照
また本発明は、前記表面処理銅箔で回路を形成することで、ファインパターンの回路を構成できる回路基板を提供することにある。
ここで、表面粗さRzとは、JIS B 0601-1994「表面粗さの定義と表示」に規定されたものであり、十点平均粗さである。
また、明度値とは、JIS Z 8105(1982)より同一条件で照明した白色面を基準として物体表面の相対的な明暗に関する色の属性を尺度化したものである。
IVH法を使用して積層回路を作成する代表的な方法として、ALIVHについて説明する。図1(a)〜(i)はALIVHによる積層回路基板の製造方法の工程を示す断面図である。
まず、図1(a)に示すようには絶縁基板としてアラミドエポキシプリプレグ1を使用し、図1(b)に示すようにレーザー穴開け加工でスルーホール2を形成する。
次に、図1(c)に示すようにスルーホール2に導電性ペースト3を充填する。
次に、図1(c)に示すようにスルーホール2に導電性ペースト3を充填した絶縁基板1の両面に銅箔4,5を積層し、図1(d)に示すように熱プレスで銅箔4と絶縁基板1とを接着する。この熱プレス工程の熱で導電性ペースト3が溶けてスルーホール2を介して両面の銅箔4,5が導通状態に接続される。
次に、図1(e)に示すように銅箔をパターニング(エッチング)して所定の回路を形成する。上記のようにして単層の基板10を形成する。
積層基板を多層化するには上記工程を繰り返す。例えば、図1(f)に示すように、図1(a)〜(c)に示す工程と同様にして基板11,12を形成し、基板10の上面及び下面に上記の基板11,12をそれぞれ積層し、その両面に銅箔13,14を積層し、図1(g)に示すように熱プレスで基板10,11,12及び銅箔13,14を接着する。この熱プレス工程の熱で導電性ペーストが溶けてスルーホールを介して両面の銅箔4,5が導通状態に接続される。その後、図1(h)に示すように銅箔をパターニング(エッチング)して所定の回路を形成する。上記のようにして三層積層した積層回路基板を形成する。
さらに、必要に応じて上記の工程を繰り返す。即ち、上記の積層回路基板の上面及び下面に上記の基板15,16をそれぞれ積層し、その両面に銅箔17,18を積層し、熱プレスで各基板と銅箔を接着し、銅箔をパターニング(エッチング)して所定の回路を形成する。このようにして、図1(i)に示すように、五層積層した積層回路基板を形成する。
銅箔(元箔)の表面粗さは、Rz:0.01μm〜2μmであることが好ましい。元箔の表面粗さについては、Rz:0.01μm以下の箔は、現実的に製造も困難であり、もし製造できても製造コストがかかることから現実的に不適であり、また、Rz:2.0μm以上の元箔を使用してもよいが、高周波特性及びファインパターン化を考えると元箔の表面粗さが2μm以下であることが好ましい。
ここで、表面粗さRzとは、JIS B 0601-1994「表面粗さの定義と表示」に規定されものであり、十点平均粗さである。
元箔の表面粗化処理は、元箔の表面に粗化粒子を付着させて粗化面とする。粗化面の表面粗さはRzが1.0〜3.0μmとすることが好ましい。Rz:1.0μm未満では、ピール強度が低いためその目的を果たす表面処理銅箔としては満足でなく、また、Rz:3.0μmより大きいと、高周波特性が低下するうえにファインパターン化に不向きとなるためである。
付着量が400mg/dm2より大きいと、高周波特性が低下し、情報伝達量が低下する。その原因は銅もしくは銅合金の付着量が多いと粗化粒子が大きくなり、表面の粗さが大きくなるためである。高周波にて導体に電流を流す時、周波数が高くなるほど電流は導体の表層部に流れるようになる(表皮効果)。それゆえ導体表面の粗さが増すと電流が流れる表面の長さが長くなることで抵抗が増え、電流の損失が増え、情報伝達量が低下する。このため、銅もしくは銅合金の付着量は400mg/dm2以下にすることが望ましいが、高周波特性を無視できる用途では付着量の上限を無視することも可能である。
金属粒子と銅箔表面との接合面積とは、次のようにして測定した面積である。
先ず、銅箔の表面積を測定する。即ち、銅箔の巾方向および長手方向の断面測定を行なう。銅箔表面の断面部を測定した巾方向の長さをL、同様に長手方向をL´とすると、LとL´を掛け合わせたものを銅箔表面面積とする。断面部の長さ測定は、画像解析ソフト(株式会社バイオアーツ 画像解析ソフトImageJ 2006)を使用し、粗化粒子の外周に沿って銅箔表面の長さを測定した。
銅箔表面の巾L内において導電性ペーストの金属粒子の接合している部分の長さをすべて足し合わせたものをS、銅箔表面の長さL´内において導電性ペーストの金属粒子の接合している部分の長さをすべて足し合わせたものをS´とする。SとS´を掛け合わせたものを接合面積とする。
このときの接合面積が銅箔表面面積に対して30%以上であればよい。接合面積が銅箔表面面積に対して30%以上であれば接着力は満足でき、銅箔(配線回路)と金属粒子との接触抵抗が低下し、両者の間で満足する接続部が得られる。なお、接触面積が30%以下では接着力が不足し、接触抵抗が増加して発熱する等の不具合が発生する恐れがあるため、好ましくない。
なお、明度の測定は、被測定銅箔に
Ni: 0.01〜0.5mg/dm2
Zn: 0.01〜0.5mg/dm2
Cr: 0.01〜0.3mg/dm2
の範囲内の防錆処理を施した後、明度計(スガ試験機株式会社 機種名:SMカラーコンピューター 型番SM−4)を使用して測定した。
以上のような表面粗さ(Rz)および明度値を兼ね備えた本実施形態の表面処理銅箔は、積層・複合化されて、優れたピール強度およびファインパターン特性を有し、この表面処理銅箔を使用することで優れた回路基板となる。
さらに面内におけるバラツキが無く優れたピール強度及びファインパターン特性を得るために下記する粗化粒子から形成される突起物が略均等に存在(分布)することが好ましい。即ち、突起物の高さは、1.0μm乃至5.0μmのものがよい。元箔表面に形成される突起物の高さが、1.0μm以下では、高さが低いためピール強度を上げる効果が得られず、5.0μm以上では突起物の分布が均一にならず、表面処理銅箔の表面粗さRzが範囲毎にバラツキが大きくなるため、安定性のあるピール強度が保てず、また高周波特性が低下するうえにファインパターン化に不向きとなるためである。なお、ここでいう高さとは、元箔の表面と突起物の頂点との距離である。
ここで、本実施家形態でいう突起物の概念について説明する。隣接する突起物の間に形成される溝部の底と突起物の頂点との距離(以下、溝深さということがある)が0.3μm未満の場合、このような隣接する突起物は1つの突起物として把握し、また、溝深さが0.3μm以上の場合、このような隣接する突起物は2つの突起物として把握する。この溝深さは、前記した突起物の高さが元箔の表面と突起物の頂点との距離をいうのに対し、表面処理を行った後の溝部の底と突起物の頂点との距離をいう点で異なる。
突起物の数を数える方法としては、表面処理銅箔を樹脂で埋め、研磨を行った後断面をSEM観察を行い観察写真にて、25μmの長さで上記定義する突起物の数が何個あるかを数える方法で測定した。
本実施形態で「略均等に分布している」とは、
突起物の頂点と銅箔表面の間の高さが、1.0μm〜5.0μmである突起物の個数をn(個)
突起物を断面観察したときの観察幅を 25(μm)
とした時に、25/n(μm)の幅の領域に少なくとも、該突起物の1つの一部分がその領域に存在している、ことを表す。
また突起物間の溝深さにおいては、突起物間の平均溝深さが、0.5μm以上であると更に好ましい。突起物間の平均溝深さは、溝の深さが0.3μm以上の突起物n個に対して、各突起物の両サイドの溝深さを測定し、その時の値を A1(μm) B1(μm)・・・・・・An(μm) Bn(μm)とした時、次式により求めた値である。
((A1+B1)+・・・・・・+(An+Bn))/2/nで求める。
未処理銅箔表面SUに対して突起物Pが形成されている。突起物Pの数nは25μm以内に6個以上、例えば6〜35個存在し、その高さは1〜5μmの範囲に入っている。aで示すように溝深さが0.3μm未満である場合は突起物として数えず、bで示すように溝深さは0.3μm以上である。突起物Pの最大の幅Wは0.01μm以上であり、25μmの範囲内に存在する突起物Pの個数で25μmを割った長さの2倍以下の幅となっている。
未処理銅箔表面SUに対して突起物Pが形成されている。突起物Pの最大の幅Wが0.01μm以上であり、25μmの範囲内に存在する突起物Pの個数で25μmを割った長さの2倍より大きい幅を有する異常な幅の突起物Pが存在する。
未処理銅箔表面SUに対して突起物Pが形成されている。突起物Pが均等に分布していない断面を示している。図4中、cで示すように、突起物Pの一部分も存在しない領域があり、この場合には略均等に分布しているとはいえない。
<実施例>
下記の元箔1〜4を用意した。
元箔1
厚さ:12μmで、マット面粗度:Rz=1.26μm、光沢面粗度:Rz=1.82μmの電解銅箔。
元箔2
厚さ:12μmで、マット面粗度:Rz=1.52μm、光沢面粗度:Rz=1.46μmの電解銅箔。
元箔3
厚さ:12μmで、マット面粗度:Rz=1.86μm、光沢面粗度:Rz=1.20
μmの電解銅箔。
元箔4
厚さ:12μmで、両面の粗度:Rz=1.20μmの圧延銅箔。
作成した表面処理銅箔の表面形状を実施例1〜8として表1に示す。
更に、実施例によっては、その粗化処理面に、Niめっき(0.3mg/dm2)、亜鉛めっき(0.1mg/dm2)を施し、その上にクロメート処理を施した。
・めっき浴1
硫酸銅(Cu金属として) 5〜10g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3
モリブデン酸アンモニウム(Mo金属として) 0.1〜5.0g/dm3
電流密度 10〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20〜60℃
・めっき浴2
硫酸銅(Cu金属として) 20〜70g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3、
電流密度 5〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20℃〜65℃
・めっき浴1
硫酸銅(Cu金属として) 1〜50g/dm3
硫酸ニッケル(Ni金属として) 2〜25g/dm3
メタバナジン酸アンモニウム(V金属として) 0.1〜15g/dm3
pH 1.0〜4.5
電流密度 1〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20℃〜60℃
・めっき浴2
硫酸銅(Cu金属として) 10〜70g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3
電流密度 5〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20℃〜65℃
・めっき浴1
硫酸銅(Cu金属として) 1〜50/dm3
硫酸コバルト(Co金属として) 1〜50g/dm3
モリブデン酸アンモニウム(Mo金属として) 0.1〜10g/dm3
pH 0.5〜4.0
電流密度 1〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20℃〜60℃
・めっき浴2
硫酸銅(Cu金属として) 10〜70g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3
電流密度 5〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20℃〜65℃
上記元箔1、3、4を下記に示す電気めっき条件A’、またはB’により表面処理を施した。表1に元箔の種類と電気めっき条件との組合せを併記する。なお、各比較例は、元箔1または3を上記電気めっき条件A’、またはB’のめっき浴1→めっき浴2の順番で少なくとも1回のめっきを行い表面処理銅箔とした。なお、比較例で作成した表面処理銅箔の絶縁基板との接合面(粗化処理面)側の表面にNiめっき(0.3mg/dm2)亜鉛めっき(0.1mg/dm2)を施し、更にその上にクロメート処理を施し、比較例試料とした。
作成した表面処理銅箔の表面形状を比較例1〜6として表1に併記する。
・めっき浴1
硫酸銅(Cu金属として) 5〜10g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3
モリブデン酸アンモニウム(Mo金属として) 0.1〜5.0g/dm3
電流密度 10〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20〜60℃
・めっき浴2
硫酸銅(Cu金属として) 20〜70g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3
電流密度 3A/dm2
通電時間 2分以上(表面粗さにおいて時間を変更)
浴温 15℃
・めっき浴1
硫酸銅(Cu金属として) 1〜50g/dm3
硫酸ニッケル(Ni金属として) 2〜25g/dm3
メタバナジン酸アンモニウム(V金属として) 0.1〜15g/dm3
pH 1.0〜4.5
電流密度 1〜60A/dm2
通電時間 1秒〜2分
浴温 20℃〜60℃
・めっき浴2
硫酸銅(Cu金属として) 20〜70g/dm3
硫酸 30〜120g/dm3
電流密度 3A/dm2
通電時間 2分以上(表面粗さにおいて時間を変更)
浴温 15℃
実施例及び比較例で作成した表面処理銅箔を、縦250mm、横250mmに切断したのち、その粗化処理を施した方の面を、熱圧着後に厚さ1mmとなる枚数のBTレジン(三菱瓦斯化学株式会社の商標、ビスマレイミド・トリアジン樹脂からなる熱硬化性樹脂)の上におき、全体を2枚の平滑なステンレス鋼板で挟み、温度190℃、圧力50kg/cm2で90分間熱圧着し、貼りつけピール強度を測定した
ピール強度の測定は、JIS C6471に準じ、180度方向に引き剥がして行った。
表1から明らかなように、各実施例は0.9KN/m以上でピール強度をクリアしているが、比較例1〜6では0.8KN/mであり、ピール強度を満足するものではなかった。
図5は上記で作成した表面処理銅箔FをBTレジンなどの基板SBに貼り付け、下記のように加工したときの断面概略図である。
図5に示すように、ライン幅:L・スペース幅:SにてレジストRを形成した銅箔Fを、塩化鉄浴にてエッチングした。ライン幅のトップの幅がレジスト幅と同じになるエッチング時間を決定し、各ライン幅及び各スペース幅(基板1枚に形成するラインを10本とする)でレジストRを形成した基板を各n=10で作成し、塩化鉄浴で上記決定した時間、エッチングを行った。各基板において、ライン間にブリッジが発生していないこと、根残りがないこと、またはラインのトップの幅がレジストと同じになっていることを観察し、n=10作成した各基板にそれらが観察されなかったものの中で最小のL・Sの値を表1に示す。
表1から明らかなように、各実施例では、L/S=30/30の以下のファインパターンを作成することができた。比較例6を除く各比較例では辛うじて30/30のパターンを作成することができたが、それ以下は不可能であった。また、比較例6は表面処理粗さが小さいためにファインパターンを作成するには適していた。
BTレジンにコア穴を開け導電性ペーストを充填させた後プレスを行い、銅粒子と銅箔を接合させ抵抗値を測定した。この測定結果を加熱後の抵抗値増加率として表1に示す。
表1から明らかなように、熱処理後の抵抗値の増加率は各実施例では60%以下であるのに対し、比較例1〜6では140%を超えてしまっている。
また、耐湿試験を行った後同じ場所の抵抗値を測定し耐湿試験前後での抵抗値の増加率を計算しその優劣を確認した。
表1から明らかなように、耐湿試験後の抵抗値の増加率は各実施例では100%以下であるのに対し、比較例1〜6では140%を超えてしまっている。
明度の測定については上記において説明した通りである。各実施例では明度は25以下であり、比較例1〜6では30以上である。
2 スルーホール
3 導電性ペースト
4 銅箔
Claims (6)
- 絶縁基板の表裏に銅箔回路が設けられ、これら銅箔回路が絶縁基板に設けたスルーホールに充填の金属粒子で接続されている積層基板における前記銅箔回路を構成する表面処理銅箔であって、銅箔(元箔)の少なくとも片面は、該銅箔表面に接合される前記金属粒子との接合部の、前記金属粒子との接合面の面積が銅箔表面積の30%以上となるように表面処理された表面処理層が設けられている表面処理銅箔。
- 前記表面処理層は、銅箔表面に粗化粒子が付着された層であり、該表面処理層の表面はRz:1.0〜3.0μm、明度値:25以下である請求項1に記載の表面処理銅箔。
- 前記表面処理層は、該表面処理層の100μm×100μmの面積に、高さが1〜5μmである前記粗化粒子による突起物が200〜25000個分布している請求項1または2に記載の表面処理銅箔。
- 前記表面処理層は、該表面処理層の観察断面25μmの範囲に、高さが1〜5μmである前記粗化粒子による突起物が、6〜35個の個数で略均等に分布している請求項1〜3のいずれかに記載の表面処理銅箔。
- 前記表面処理層における前記突起物間の最大幅は0.01μm以上であり、観察断面25μmの範囲内に存在する突起物の個数で、25μmを割った長さの2倍以下である請求項1〜4のいずれかに記載の表面処理銅箔。
- 回路基板を、請求項1〜5のいずれかに記載の表面処理銅箔を用いて作成したことを特徴とする回路基板。
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