JP2009162665A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 第１ガスの成分を判定するガス分析方法であって、
   電子衝撃イオン化処理によって前記第１ガスから得られたイオンの強度を測定する第１質量分析工程と、
   前記第１ガスと同じ成分濃度を有する第２ガスからソフトイオン化処理によって得られたイオンの強度を測定する第２質量分析工程と、
   第２質量分析工程で得られたデータから分子量を親イオンによって判定する分子量判定工程と、
   電子衝撃イオン化法によって励起した場合の化合物のマススペクトルを化合物別に記憶してなる参照用データベースに基づいて、前記分子量判定工程において判定された分子成分に対応するマススペクトルを読出す参照データ読出し工程と、
   前記第１質量分析工程で得られたイオン強度データと、前記参照データ読出し工程で読み出されたデータとを比較する比較工程と、を有し、
   前記比較工程における比較結果に基づいて前記第１ガスの成分を判定する
   ことを特徴とするガス分析方法。
2. 請求項１記載のガス分析方法において、前記第１ガス及び前記第２ガスは、
   １つの試料から異なる時点で発生したガスか、
   １つの試料から所定時間内の異なる時点で交互に発生したガスか、
   １つの試料を分割して得られた別々の試料から発生したガスか、あるいは
   分子構造が同じである別々の試料から発生したガス、
   のいずれかであることを特徴とするガス分析方法。
3. 請求項１又は請求項２記載のガス分析方法において、
   前記分子量判定工程によって複数の親イオンの分子量が判定され、
   前記参照データ読出し工程によって複数の親イオンの分子量の個々に対応するマススペクトルが読み出され、
   前記比較工程では、
   それら複数のマススペクトルを合成して合成マススペクトルを求め、
   第１質量分析工程で得られたイオン強度データと前記合成マススペクトルとが比較される
   ことを特徴とするガス分析方法。
4. 請求項１又は請求項２記載のガス分析方法において、
   前記分子量判定工程によって複数の親イオンの分子量が判定され、
   前記参照データ読出し工程によって複数の親イオンの分子量の個々に対応するマススペクトルが読み出され、
   前記比較工程では、
   読み出されたマススペクトルが第１質量分析工程で得られたイオン強度データと１つづつ比較される
   ことを特徴とするガス分析方法。
5. 請求項４記載のガス分析方法において、
   複数のマススペクトルは分子量の小さいものから順に比較され、
   個々の比較後に当該分子に対応するマススペクトルを比較前のイオン強度データから減算する
   ことを特徴とするガス分析方法。
6. 請求項１から請求項５のいずれか１つに記載のガス分析方法において、
   複数の親イオン間の強度比を求め、参照用データベースから読み出したマススペクトルにイオン強度比を掛ける
   ことを特徴とするガス分析方法。
7. 請求項１から請求項６のいずれか１つに記載のガス分析方法において、
   前記判定された分子成分に対応する化合物のイオン化率を、化合物の分子量別にイオン化率を記憶してなるイオン化率データベースから読出し、前記参照用データベースから読み出された分子成分ごとのマススペクトルに当該分子量に対応するイオン化率を掛ける
   ことを特徴とするガス分析方法。
8. 第１ガスの成分を判定するガス分析装置であって、
   電子衝撃イオン化処理によって前記第１ガスをイオン化し、そのイオンをｍ／ｚごとに分離し、ｍ／ｚごとのイオンの強度を測定する第１質量分析手段と、
   前記第１ガスと同じ成分濃度を有する第２ガスをソフトイオン化処理によってイオン化し、そのイオンをｍ／ｚごとに分離し、ｍ／ｚごとのイオンの強度を測定する第２質量分析手段と、
   第２質量分析手段によって得られたデータから分子量を親イオンによって判定する分子量判定手段と、
   電子衝撃イオン化処理によって励起した場合の単一成分の化合物のマススペクトルを化合物の分子量別に記憶してなる参照用データベースに基づいて、前記分子量判定手段によって判定された分子量に対応するマススペクトルを読出す参照データ読出し手段と、
   前記第１質量分析手段によって得られたイオン強度データと、前記参照データ読出し手段によって読み出されたデータとを比較することにより、前記第１ガスの成分を判定するする判定手段と、
   を有することを特徴とするガス分析装置。
9. 請求項８記載のガス分析装置において、
   前記分子量判定手段は複数の親イオンの分子量を判定し、
   前記参照データ読出し手段は、判定された前記複数の親イオンの分子量の個々に対応するマススペクトルを読み出し、
   前記判定手段は、
   それら複数のマススペクトルを合成して合成マススペクトルを求め、
   第１質量分析手段によって測定されたイオン強度データと前記合成マススペクトルとを比較する
   ことを特徴とするガス分析装置。
10. 請求項８記載のガス分析装置において、
    前記分子量判定手段は複数の親イオンの分子量を判定し、
    前記参照データ読出し手段は、判定された前記複数の親イオンの分子量の個々に対応するマススペクトルを読み出し、
    前記判定手段は、
    読み出されたマススペクトルを１つずつ、前記第１質量分析手段によって測定されたイオン強度データと比較する
    ことを特徴とするガス分析装置。
11. 請求項１０記載のガス分析装置において、
    前記判定手段は、
    読み出されたマススペクトルを分子量の小さいものから順に比較し、
    個々の比較後に当該分子量に対応するマススペクトルを比較前のイオン強度データから減算する
    ことを特徴とするガス分析装置。
12. 請求項８から請求項１１のいずれか１つに記載のガス分析装置において、
    前記判定手段は、
    第２質量分析手段によって測定した前記複数の親イオン間の強度比を求め、前記参照用データベースから読み出したマススペクトルにイオン強度比を掛ける
    ことを特徴とするガス分析装置。
13. 請求項８から請求項１２のいずれか１つに記載のガス分析装置において、
    化合物のイオン化率を化合物の分子成分別に記憶してなるイオン化率データベースをさらに有し、
    前記判定手段は、
    前記判定された分子成分に対応するイオン化率を前記イオン化率データベースから読出し、前記参照用データベースから読み出された分子成分ごとのマススペクトルに当該分子成分に対応するイオン化率を掛ける
    ことを特徴とするガス分析装置。