JP2009158054A - 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】剛体基板10上に接着層12を介して或いは直接軟磁性下地層141を形成し、その軟磁性下地層上に非磁性中間層142を介して軟磁性下地層143、酸化物からなる低熱伝導中間層144を形成後、結晶配向性制御層を介して或いは直接結晶粒径制御層18を形成し、結晶配向性制御兼低熱伝導中間層を介して或いは直接、規則化が進んだ段階でL10構造をとることが期待される組成で構成されるFe−Pt合金或いはCo−Pt合金を主成分とするグラニュラ記録層20、Fe−Pt合金或いはCo−Pt合金からなるキャップ層22、保護層24及び潤滑層26をこの順に形成した構造を有する垂直磁気記録媒体とする。
【選択図】図1
Description
結晶粒径制御層18としてCr−18at.%Ti−4at.%B合金膜を形成せずに、酸化物からなる低熱伝導中間層144を形成後、直接グラニュラ記録層20として92mol%(50at.%Fe−50at.%Pt)−8mol%SiO2膜を12nm形成したことを除き、他のプロセス条件はすべて実施例1に記載の条件で形成した。この磁気記録媒体について90/s(=5400pm)で回転させ、半径21mmでヘッドのskew角度を0度でオーバーライト特性(O/W)を測定した。その結果、120mWの波長785nmの半導体レーザ38を用いて光を発生させ記録時に加熱した場合に、O/Wは、−11dB程度であった。半導体レーザの投入電力を140mWに増加しても、O/Wは、−15.4dBであった。
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−12mol%SiO2
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−10mol%SiO2−2mol%TiO2
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−8mol%SiO2−4mol%TiO2
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−6mol%SiO2−6mol%TiO2
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−4mol%SiO2−8mol%TiO2
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−12mol%TiO2
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−12mol%Ta2O5
88mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−6mol%SiO2−6mol%Ta2O5
92mol%[(45at.%Fe−5at.%Cu−50at.%Pt)]−8mol%TiO2
92mol%[(50at.%Fe−5at.%Cu−45at.%Pt)]−8mol%TiO2
92mol%[(50at.%Fe−0at.%Cu−50at.%Pt)]−8mol%TiO2
実施例3に記載のグラニュラ記録層形成時に90mol%(50at.%Fe−50at.%Pt)−10mol%SiO2膜を11nm形成する代わりに92mol%[(45at.%Fe−5at.%Zn−50at.%Pt)]−8mol%SiO2膜を形成した。初期に形成したグラニュラ膜と翌日試作したグラニュラ膜について蛍光X線分析した結果、グラニュラ記録層に含有されるZnの組成が低下していた。この結果から、量産時の組成変動と磁気特性の安定性を考慮すると、グラニュラ膜形成用の合金ターゲットを真空中に保持する場合、Zn濃度の変化を管理する必要があることが明らかとなった。
12…接着層
14…軟磁性下地層
141…軟磁性下地層
142…非磁性層
143…軟磁性下地層
144…低熱伝導中間層
16…結晶配向性制御層
18…結晶粒径制御層
19…結晶配向性制御兼低熱伝導中間層
20…グラニュラ記録層
22…キャップ層
24…保護層
26…潤滑層
30…磁気記録媒体
32…スライダ
34…近接場光を発生させるための散乱体
36…磁極
38…半導体レーザ
40…導波路コア部
42…導波路クラッド部
44…磁界発生用薄膜コイル
46…主磁極
48…流出端
50,51…磁極
52…補助磁極
54…磁気再生素子
56…シールド
58…薄膜抵抗体
Claims (6)
- 剛体基板上に直接あるいは接着層を介して形成した第1の軟磁性下地層と、
前記第1の軟磁性下地層上に非磁性中間層を介して形成した第2の軟磁性下地層と、
前記第2の軟磁性下地層上に形成した酸化物からなる低熱伝導中間層と、
前記低熱伝導中間層上に直接或いは結晶配向性制御層を介して形成した結晶粒径制御層と、
前記結晶粒径制御層上に直接或いは結晶配向性制御兼低熱伝導中間層を介して形成した、規則化が進んだ段階でL10構造をとることが期待される組成で構成されるFe−Pt合金或いはCo−Pt合金を主成分とするグラニュラ記録層と、
前記グラニュラ記録層上に形成したFe−Pt合金或いはCo−Pt合金からなるキャップ層と、
前記キャップ層上に形成した保護層と
を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体において、前記結晶粒径制御層としてTi,Mo,Wからなる群Mから選ばれる少なくとも1元素を添加したCr−M−B合金層を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体において、前記結晶粒径制御層としてCr−M−B合金層を形成後、結晶配向性制御兼低熱伝導中間層としてMgO層を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体において、前記Fe−Pt合金を主成分とするグラニュラ記録層がCuを含有していることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体において、前記結晶配向性制御層がW−Co合金からなることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 剛体基板上に接着層を介して或いは直接基板上に軟磁性下地層を形成し、前記軟磁性下地層上に非磁性中間層を介して軟磁性下地層を形成した基板を大気中に取り出し、別の真空プロセスで基板を加熱後、酸化物からなる低熱伝導中間層、結晶配向性制層、結晶粒径制御層をこの順に形成し、結晶配向性制御兼低熱伝導中間層を介して或いは直接結晶粒径制御層上に、規則化が進んだ段階でL10構造をとることが期待される組成で構成されるFe−Pt合金或いはCo−Pt合金を主成分とするグラニュラ記録層、Fe−Pt合金或いはCo−Pt合金からなるキャップ層、保護層を形成後、熱処理を行ない、その後潤滑層を形成したことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
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