JP2009157012A - 電気光学装置の製造方法、および液状物吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】開口幅が相違する凹部に液状物を充填して溶媒を除去して機能層を形成した場合でも、機能層を等しい厚さに形成することのできる電気光学装置の製造方法、およびかかる電気光学装置の製造に用いられる液状物吐出装置を提供すること。
【解決手段】電気光学装置１００の素子基板１０を製造する際、解像度の低い電気光学装置用、および解像度の高い電気光学装置用のいずれを製造する場合においても、隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填した後、液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。かかる工程を行なう際、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が狭い場合には、機能層形成材料濃度が高い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填し、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が広い場合には、機能層形成材料濃度が低い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。
【選択図】図６

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス（以下有機ＥＬ（Electro Luminescence）という）装置や液晶装置などの電気光学装置の製造方法、および当該電気光学装置の製造に用いる液状物吐出装置に関するものである。

代表的な電気光学装置である有機ＥＬ装置や液晶装置は、携帯電話機、パーソナルコンピュータやＰＤＡ（Personal Digital Assistants）などの電子機器の表示装置に用いられており、このような有機ＥＬ装置の有機ＥＬ素子を形成するにあたっては、複数の画素電極と、複数の画素電極上の各々に発光層を含む有機機能層を形成するための複数の機能層形成領域を区画する隔壁とを基板上に形成した後、図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に液状物吐出装置から液状物８５を吐出し、凹部５ｅ内に液状物８５を充填し、しかる後に、液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する方法が提案されている（特許文献１参照）。

このような方法を採用する際、機能層形成材料の溶媒への溶解性の悪い場合や、機能層形成材料が高分子材料である場合の高濃度化による粘度増加を考えると、図１２（ｂ）に示すように、凹部５ｅに対して、メニスカスが膨らむように液状物８５を充填して充填量を増やし、有機機能層８６の厚さを稼ぐことが好ましい。
特開２００２−２２２６９５号公報

このような方法で有機機能層８６を形成した場合、有機機能層８６の厚さは、凹部５ｅの開口幅、凹部５ｅの深さ、液状物８５の機能層形成材料濃度、および液状物８５と隔壁５ｂとの接触角で規定されるはずである。

ここで、図１２（ｂ）に示すように、凹部５ｅに対して、メニスカスが膨らむように液状物８５を充填した場合、凹部５ｅの開口幅をＷ、隔壁５ｂとの接触角をθとすると、図１３に示すように、メニスカスの円弧状表面の曲率半径Ｒは、下式に示すように、
Ｒ＝Ｗ／２ｓｉｎθ
凹部５ｅの開口幅Ｗ、および隔壁５ｂとの接触角θに規定され、メニスカスに相当する斜線部分の面積Ｓは、下式
Ｓ＝（Ｗ²／４ｓｉｎθ）（θ／ｓｉｎθ−ｃｏｓθ）
で表される。従って、凹部５ｅに対して、メニスカスが膨らんで隔壁５ｂとの接触角がθになるように液状物８５を充填した場合、凹部５ｅの深さ（隔壁５ｂの高さｈ）、および液状物８５の機能層形成材料濃度を変えずに、開口幅Ｗを２倍にすると、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の量が４倍となるため、液状物８５の充填量が相違する結果、開口幅の広い凹部５ｅには、開口幅の狭い凹部５ｅに比して、膜厚ｄが厚い有機機能層８６が形成されてしまう。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、開口幅が相違する凹部に液状物を充填して溶媒を除去して機能層を形成した場合でも、機能層を等しい厚さに形成することのできる電気光学装置の製造方法、およびかかる電気光学装置の製造に用いられる液状物吐出装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明では、基板上に形成された凹部内に向けて、溶媒中に機能層形成材料が配合された液状物を吐出して当該液状物を前記凹部内に充填する充填工程と、当該液状物から溶媒成分を除去して前記機能層形成材料を前記凹部内に定着させる定着工程とを有する電気光学装置の製造方法において、前記充填工程では、前記液状物として、前記凹部の開口幅の大小に対応して機能層形成材料濃度が異なる液状物を充填することを特徴とする。

かかる製造方法を実施するにあたって、本発明では、溶媒中に機能層形成材料が配合された液状物を供給する液状物供給部と、該液状物供給部に流路を介して接続し、電気光学装置用基板に形成された凹部内に向けて前記液状物を吐出するノズル開口を備えた吐出ヘッドと、を有する液状物吐出装置において、前記吐出ヘッドは、前記凹部の開口幅の大小に基づいて前記凹部内に充填する前記液状物の機能層形成材料濃度を相違させることを特徴とする。

本発明では、前記液状物充填工程において、前記液状物を前記凹部にメニスカスで膨らむ状態にまで充填し、前記液状物として、開口幅が相対的に狭い前記凹部に対しては、開口幅が相対的に広い前記凹部に比して機能層形成材料濃度が高い液状物を充填する。すなわち、本発明を適用した液状物吐出装置において、前記吐出ヘッドは、前記液状物を前記凹部にメニスカスで膨らむ状態にまで充填し、前記液状物として、開口幅が相対的に狭い前記凹部に対しては、開口幅が相対的に広い前記凹部に比して機能層形成材料濃度が高い液状物を充填する。

本発明において、開口幅の大小に対応して前記凹部に充填する前記液状物の機能層形成材料濃度を相違させるにあたっては、前記液状物として、機能層形成材料濃度が相違する複数種類の液状物を前記凹部内に吐出するとともに、当該複数種類の液状物の前記凹部内への吐出量バランスを前記開口幅の大小に対応して相違させる方法を採用することができる。

かかる方法を実施するにあたっては、本発明を適用した液状物吐出装置において、前記液状物供給部は、機能層形成材料濃度が異なる複数種類の前記液状物を各々供給する複数の濃度別液状物供給部を備え、前記吐出ヘッドは、前記ノズル開口として、前記複数の濃度別液状物供給部の各々に接続して、機能層形成材料濃度が異なる前記液状物を前記凹部に吐出する複数の濃度別ノズル開口を備え、前記凹部には、前記複数の濃度別ノズル開口の各々から前記複数種類の前記液状物が吐出されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の濃度別ノズル開口からの前記液状物の吐出量バランスが制御されることが好ましい。

このように構成すると、凹部の開口幅が何段階に相違している場合でも、いずれの開口幅の凹部にも機能層形成材料濃度が最適な液状物を充填することができる。

本発明において、開口幅の大小に対応して前記凹部に充填する前記液状物の機能層形成材料濃度を相違させるにあたっては、前記凹部内に向けて吐出する前記液状物の機能層形成材料濃度を前記開口幅の大小に対応して相違させる方法を採用してもよい。

かかる方法を実施するにあたっては、本発明を適用した液状物吐出装置において、前記液状物供給部は、機能層形成材料濃度が異なる複数種類の前記液状物を各々供給する複数の濃度別液状物供給部を備え、前記吐出ヘッドは、前記ノズル開口として、前記複数の濃度別液状物供給部の各々に接続して前記機能層形成材料の濃度が異なる前記液状物を吐出する複数の濃度別ノズル開口を備え、前記凹部には、前記複数の濃度別ノズル開口のいずれか１つから前記液状物が吐出されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の濃度別ノズル開口のうち、いずれの濃度別ノズル開口から前記液状物を吐出すべきかが制御される構成を採用することができる。

また、本発明において、前記液状物供給部は、機能層形成材料濃度が異なる複数種類の前記液状物を各々供給する複数の濃度別液状物供給部を備え、前記凹部には、前記複数の濃度別液状物供給部のいずれか１つに貯留されている前記液状物が前記ノズル開口から吐出されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の濃度別液状物供給部のいずれに貯留されている液状物を前記ノズル開口から吐出すべきかが制御される構成を採用してもよい。

さらに、本発明において、前記液状物供給部は、前記液状物を調製するための複数の液状材料が各々貯留された複数の液状材料貯留部を備え、前記吐出ヘッドには、前記複数の液状材料が混合されて前記液状物として供給されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の液状材料の混合比が制御される構成を採用してもよい。このように構成すると、凹部の開口幅が何段階に相違している場合でも、いずれの開口幅の凹部にも機能層形成材料濃度が最適な液状物を充填することができる。

本発明は、開口幅が相違する凹部が、異なる基板上に形成されている場合に適用できる。また、本発明は、開口幅が相違する凹部が、同一の基板上に形成されている場合に適用することもできる。

本発明は、前記機能層形成材料が、前記基板上に有機ＥＬ素子の有機機能層を形成する場合に適用することができる。すなわち、本発明は、電気光学装置として有機ＥＬ装置を製造する場合に適用することができる。また、本発明は、有機ＥＬ装置や液晶装置などの電気光学装置に用いるカラーフィルタ基板を製造するのに用いることができ、この場合、前記機能層形成材料は、前記基板上にカラーフィルタを形成する。

本発明に係る製造方法により得られた電気光学装置は、各種光源の他、携帯電話機あるいはモバイルコンピュータなどの電子機器において表示部などとして用いられる。

以下、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。なお、薄膜トランジスタでは、印加する電圧によってソースとドレインが入れ替わるが、以下の説明では、説明の便宜上、画素電極が接続されている側をドレインとして説明する。また、以下の説明では、図１２を参照して説明した構成との対応が分りやすいように、共通する機能を担う部分には同一の符号を付して説明する。

［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の電気的構成を示すブロック図である。図２（ａ）、（ｂ）は各々、本発明を適用した電気光学装置をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのＪ−Ｊ′断面図である。

図１に示す電気光学装置１００は、有機ＥＬ装置であり、素子基板１０上には、複数の走査線３ａと、走査線３ａに対して交差する方向に延びる複数のデータ線６ａと、走査線３ａとデータ線６ａとの交差に対応する位置に形成された画素１１とを有しており、複数の画素１１がマトリクス状に配列されている領域によって画素領域１０ｂが構成されている。また、素子基板１０上では、データ線６ａに並列して複数の電源線６ｇが延在し、走査線３ａに並列して複数の容量線３ｅが延在している。データ線６ａにはデータ線駆動回路１０１が接続され、走査線３ａには走査線駆動回路１０４が接続されている。複数の画素１１の各々には、走査線３ａを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ３０ｂと、このスイッチング用の薄膜トランジスタ３０ｂを介してデータ線６ａから供給される画素信号を保持する保持容量７０と、保持容量７０によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用の薄膜トランジスタ３０ｃと、この薄膜トランジスタ３０ｃを介して電源線６ｇに電気的に接続したときに電源線６ｇから駆動電流が流れ込む第１電極層９ａ（画素電極／陽極層）と、この第１電極層９ａと、第２電極層８４（陰極）との間に有機機能層が挟まれた有機ＥＬ素子８０とが構成されている。なお、図１に示す構成では、電源線６ｇおよび容量線３ｅが各々、データ線駆動回路１０１および走査線駆動回路１０４から延在しているが、定電位が印加されるため、電源線６ｇおよび容量線３ｅが直接、端子１０２から延在している構成などを採用してもよい。また、図１に示す構成では、走査線３ａと並列に容量線３ｅを形成したが、容量線３ｅを形成せずに、電源線６ｇと薄膜トランジスタ３０ｂのドレインとの間に保持容量７０を形成することもできる。

かかる電気光学装置１００では、走査線３ａが駆動されてスイッチング用の薄膜トランジスタ３０ｂがオンになると、そのときのデータ線６ａの電位が保持容量７０に保持され、保持容量７０が保持する電荷に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ３０ｃのオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ３０ｃのチャネルを介して、電源線６ｇから第１電極層９ａに電流が流れ、さらに有機機能層を介して第２電極層８４に電流が流れる。その結果、有機ＥＬ素子８０は、これを流れる電流量に応じて発光する。

図２（ａ）、（ｂ）において、本形態の電気光学装置１００では、素子基板１０と封止基板９０とがシール材１０７によって貼り合わされており、素子基板１０と封止基板９０との間には、透光性のエポキシ樹脂などの充填層９１が介在している。素子基板１０において、シール材１０７の外側の領域には、データ線駆動回路１０１、およびＩＴＯ膜からなる端子１０２が素子基板１０の一辺に沿って設けられており、端子１０２が配列された辺に隣接する２辺に沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。素子基板１０の残る一辺には、画像表示領域１０ａの両側に設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数の配線１０３が設けられている。詳しくは後述するが、素子基板１０には、第１電極層、有機機能層および第２電極層がこの順に積層された有機ＥＬ素子８０がマトリクス状に形成されている。なお、封止基板９０を用いずに、素子基板１０を封止樹脂で覆った構造を採用することもある。

（画素の詳細な構成）
図３（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態３に係る電気光学装置１００の相隣接する画素２つ分の平面図、および画素１つ分の断面図である。なお、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ′線における断面図であり、図３（ａ）では、第１電極層９ａは長い点線で示し、データ線６ａおよびそれと同時形成された薄膜は一点鎖線で示し、走査線３ａは実線で示し、半導体層は短い点線で示してある。また、図３（ａ）では各要素の存在が分りやすいように要素の位置についてはずらしてある。

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、素子基板１０上には、マトリクス状に複数の透明な第１電極層９ａ（長い点線で囲まれた領域）が画素１１毎に形成され、第１電極層９ａの縦横の境界領域に沿ってデータ線６ａ（一点鎖線で示す領域）、電源線６ｇ（一点鎖線で示す領域）、走査線３ａ（実線で示す領域）および容量線３ｅ（実線で示す領域）が形成されている。

図３（ｂ）に示すように、素子基板１０では、その基体たる支持基板１０ｄの表面にシリコン酸化膜などからなる下地絶縁層１２が形成されているとともに、その表面側において、第１電極層９ａに対応する領域に薄膜トランジスタ３０ｃが形成されている。薄膜トランジスタ３０ｃは、島状の半導体層１ａに対して、チャネル領域１ｇ、ソース領域１ｈ、およびドレイン領域１ｉが形成されている。半導体層１ａの表面側にはゲート絶縁層２が形成されており、ゲート絶縁層２の表面にゲート電極３ｆが形成されている。かかるゲート電極３ｆは、薄膜トランジスタ３０ｂのドレインに電気的に接続されている。なお、薄膜トランジスタ３０ｂの基本的な構成は、薄膜トランジスタ３０ｃと同様であるため、説明を省略する。

薄膜トランジスタ３０ｃの上層側には、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜からなる層間絶縁膜７１、厚さが１．５〜２．０μｍの厚い感光性樹脂からなる層間絶縁膜７２（平坦化膜）、シリコン窒化膜などからなる透光性絶縁膜７３が形成されている。層間絶縁膜７１の表面（層間絶縁膜７１、７２の層間）には、データ線６ａ（図３（ｂ）には図示せず）、電源線６ｇおよびドレイン電極６ｈが形成され、電源線６ｇは、層間絶縁膜７１に形成されたコンタクトホール７１ｇを介してソース領域１ｈに電気的に接続している。また、ドレイン電極６ｈは、層間絶縁膜７１に形成されたコンタクトホール７１ｈを介してドレイン領域１ｉに電気的に接続している。本形態において、データ線６ａ、電源線６ｇ、ドレイン電極６ｈは、モリブデン膜、アルミニウム膜、チタン膜、タングステン膜、タンタル膜、クロム膜などの金属単体膜、あるいはそれらの積層膜からなる。

透光性絶縁膜７３の表面にはＩＴＯ膜からなる第１電極層９ａが形成されており、第１電極層９ａは、層間絶縁膜７２、７３に形成されたコンタクトホール７２ｇ、７３ｇを介してドレイン電極６ｈに電気的に接続している。

第１電極層９ａの上層には、発光領域を規定するための開口部を備えた感光性樹脂などからなる厚い隔壁層５ｂが形成されている。隔壁層５ｂで囲まれた凹部５ｅにおいて、第１電極層９ａの上層には、３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）などからなる正孔注入層８１、および発光層８２からなる有機機能層８６が形成され、発光層８２の上層には第２電極層８４が形成されている。このようにして、第１電極層９ａ、正孔注入層８１、発光層８２および第２電極層８４によって、有機ＥＬ素子８０が構成されている。発光層８２は、例えば、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープした材料から構成される。また、発光層８２としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも１種の蛍光色素とを含んでなる組成物も使用可能である。本形態において、有機機能層８６は、後述するインクジェット法などの塗布法により形成される。なお、発光層８２と第２電極層８４との層間には電子注入層が形成されることもある。

本形態の電気光学装置１００は、トップエミッション型の有機ＥＬ装置であり、矢印Ｌ１で示すように、支持基板１０ｄからみて有機ＥＬ素子８０が形成されている側から光を取り出すので、層間絶縁膜７２と透光性絶縁膜７３との層間には光反射層４ａが形成されている。また、第２電極層８４は、薄いアルミニウム膜や、マグネシウムやリチウムなどの薄い膜をつけて仕事関数を調整したＩＴＯ膜などといった透光性電極として形成されている。なお、支持基板１０ｄとしては、ガラスなどの透明基板の他、不透明基板も用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナなどのセラミックス、ステンレススチールなどの金属板に表面酸化などの絶縁処理を施したもの、樹脂基板などが挙げられる。なお、電気光学装置１００がボトムエミッション型の有機ＥＬ装置である場合、支持基板１０ｄの側から光を取り出すので、支持基板１０ｄとしては、ガラスなどの透明基板が用いられ、光反射層４ａは形成されない。

（吐出ヘッドの構成）
図４は、本形態の電気光学装置１００を製造する際に使用される液状物吐出装置の説明図であり、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は各々、本形態の有機ＥＬ装置１を製造する際に使用される液状物吐出装置の要部を示す説明図、吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図、撓み振動モードの圧力発生素子の説明図、および縦振動モードの圧力発生素子の説明図である。

本形態の有機ＥＬ装置１を製造するにあたっては、図４（ａ）に示す液状物吐出装置３００を用いて、図３を参照して説明した正孔注入輸送層８１および発光層８２などの有機機能層８６を形成する。液状物吐出装置３００は、正孔注入輸送層８１および発光層８２などの有機機能層８６を形成するための機能層形成材料が溶媒中に配合された液状物を供給するための液状物供給部３１０と、液状物供給部３１０に流路３２０を介して接続する吐出ヘッド３３０とを有しており、吐出ヘッド３３０には、図４（ｂ）に示す複数のノズル開口３２７が形成されている。

図４（ｂ）に示すように、吐出ヘッド３３０は、多数のノズル開口３２７を列状に並べることによって形成されたノズル列を備えている。このような吐出ヘッド３３０においては、ノズル列は主走査方向と交差する副走査方向へ延びており、吐出ヘッド３３０が主走査方向に移動する間に、液状物Ｍを複数のノズル開口３２７から所定のタイミングで吐出することにより、素子基板１０上の所定位置に液滴Ｍ０を着弾させる。また、吐出ヘッド３３０は副走査方向へ所定距離だけ平行移動することにより、吐出ヘッド３３０による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。

図４（ｂ）、（ｃ）に示すように、吐出ヘッド３３０は、例えば、ステンレス製のノズルプレート３２９と、それに対向する弾性板３３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３３２とを有している。ノズルプレート３２９と弾性板３３１との間には、仕切部材３３２によって複数の圧力発生室３３３および液溜り３３４が形成され、複数の圧力発生室３３３と液溜り３３４とは液状物流入口３３８を介して互いに連通している。弾性板３３１の適所には液状物供給穴３３６が形成され、この液状物供給穴３３６に液状物供給部３３７が接続される。従って、液状物供給部３３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３３４に充満し、さらに液状物流入口３３８を通って圧力発生室３３３に充満する。このようにして、液状物供給部３３７と各圧力発生室３３３とが連通している。

ノズルプレート３２９には、圧力発生室３３３から液状物Ｍを液滴Ｍ０として噴射するためのノズル開口３２７が設けられており、そのノズル開口３２７が開口しているノズル形成面は平坦面とされている。このようにしてノズル開口３２７は、圧力発生室３３３で開口している。弾性板３３１の圧力発生室３３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３３に対応させて圧力発生素子３３９が取り付けられている。この圧力発生素子３３９は、例えば、図４（ｃ）に示すように、圧電素子３４１、およびこの圧電素子３４１を挟持する一対の電極３４２ａ、３４２ｂを備えたたわみ振動モードの圧電素子である。その振動方向を矢印Ｃで示す。なお、図４（ｄ）に示すように、圧力発生素子３３９としては、縦振動モードの圧電素子を用いてもよい。この縦振動モードの圧電素子（圧力発生素子３３９）では、伸長方向に平行に圧電材料と導電材料を交互に積層して構成されており、その先端は弾性板３３１に固定され、他端は基台３２０に固定されている。このような圧力発生素子３３９では、充電状態では導電層の積層方向と直角な方向に収縮し、また充電状態が解かれると、導電層と直角な方向に伸長する。

いずれの圧電素子を用いた場合も、電極間に印加される駆動信号によって変形し、圧力発生室３３３を膨張、収縮させる。なお、ノズル開口３２７の周辺部には、液滴Ｍ０の飛行曲がりやノズル開口２３７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液層３４３が設けられる。

（有機ＥＬ装置の製造方法）
図５、図６、図７および図８を参照して、本発明を適用した有機ＥＬ装置の製造方法のうち、有機機能層８６を形成する工程を説明する。なお、有機機能層８６のうち、発光層８２と正孔注入輸送層８１は使用する材料が相違するだけで、基本的な形成方法が同一であるため、以下、発光層８２あるいは正孔注入輸送層８１（有機機能層８６）を形成するための材料を機能層形成材料とし、それが溶媒に配合されたものを液状物８５として説明する。また、有機機能層８６は、対応する色によって異なる材料が用いられる場合があるが、以下の説明では、材料の種類に関係なく、発光層８２あるいは正孔注入輸送層８１（有機機能層８６）を形成するための材料を機能層形成材料とし、それが溶媒に配合されたものを液状物８５として説明する。

図５は、本発明を適用した有機ＥＬ装置において隔壁で囲まれた凹部の開口幅の定義を示す説明図である。図６は、本発明を適用した有機ＥＬ装置の製造方法において、素子基板上に形成した隔壁５ｂで囲まれた凹部内に液状物８５を吐出して発光層８２や正孔注入輸送層８１などの有機機能層８６を形成する方法を示す説明図であり、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）には、解像度の高い有機ＥＬ装置を製造する例を示し、図６（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）には、解像度の低有機ＥＬ装置を製造する例を示してある（開口幅Ｗ１＜開口幅Ｗ２）。図７は、本発明を適用した有機ＥＬ装置の製造方法において、有機機能層を１００ｎｍの厚さに形成する場合、隔壁で囲まれた凹部の開口幅と、かかる凹部に充填すべき液状物の機能層形成材料濃度（インク濃度）との最適な関係を示すグラフであり、液状物８５と隔壁５ｂとの接触角θを６０°、凹部５ｅの深さ（隔壁５ｂの高さｈ）を２μｍとして算出した結果である。図８は、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬ装置および液状物吐出装置において、図７に示すように液状物の機能層形成材料濃度を最適化するための構成を示す説明図である。

本発明を適用した有機ＥＬ装置１００では、図３（ｂ）に示す隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅに対して液状物を充填した後に、液状物から溶媒成分を除去して有機機能層を形成する際、後述するように、凹部５ｅの開口幅に応じて、液状物における機能層形成材料濃度を最適化する。ここで、凹部５ｅの平面形状は、図５に示すように、円形、楕円形、正方形、長方形、トラック状の長円、角が丸まった矩形などがあり、本発明において、「開口幅」は、寸法が短い方向における開口最大幅を意味する。従って、凹部５ｅの平面形状が円形であれば直径が開口幅に相当し、楕円であれば短径が開口幅に相当し、正方形であれば一辺の長さが開口幅に相当し、長方形であれば短辺の長さが開口幅に相当し、長円であれば短軸の寸法が開口幅に相当し、角が丸まった矩形であれば短辺の長さが開口幅に相当する。

本形態では、解像度の高い電気光学装置１００を製造する場合、有機機能層８６を形成する工程では、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、充填工程において隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に、図４を参照して説明した液状物吐出装置３００から液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填し、しかる後に、定着工程において液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。このような高解像度の電気光学装置１００に用いる素子基板１０では、凹部５ｅの開口幅Ｗ１は狭い。

これに対して、解像度の低い電気光学装置１００を同一の液状物吐出装置３００を用いて製造する場合も、図６（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）に示すように、隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に、図４を参照して説明した液状物吐出装置３００から液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填し、しかる後に、液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。このような低解像度の電気光学装置１００に用いる素子基板１０では、凹部５ｅの開口幅Ｗ２は広い。このような場合に、機能層形成材料濃度が同一の液状物８５を凹部５ｅに、メニスカスが膨らんで隔壁５ｂとの接触角がθになるように充填すると、図１３を参照して説明した理由から、開口幅が狭い凹部５ｅ内に薄い有機機能層８６を形成される一方、開口幅が広い凹部５ｅ内に厚い有機機能層８６が形成され、有機機能層８６の厚さが相違してしまう。

そこで、本形態では、図１３を参照して説明した開口幅とメスニカスの体積との関係に基づいて、図６および図７に示すように、解像度の高い電気光学装置１００を製造する場合のように、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が狭い場合には、機能層形成材料濃度が高い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。これに対して、解像度の低い電気光学装置１００を製造する場合のように、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が広い場合には、機能層形成材料濃度が低い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。例えば、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が４０μｍの場合、機能層形成材料濃度が０．９８％の液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填するのに対して、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が８０μｍの場合、機能層形成材料濃度が０．５４％の液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。従って、開口幅が２倍になると、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の量が４倍となることに起因して、機能層形成材料濃度が同一の場合に有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという問題点を解消することができる。

このような方法を実現するために、本形態では、図８に示すように、液状物吐出装置３００において、液状物供給部３１０は、機能層形成材料濃度が異なる３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃを各々供給する３つの濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃを備えている。一方、吐出ヘッド３３０は、ノズル開口３２７として、濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃの各々に接続して、機能層形成材料濃度が異なる液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃを吐出する３種類の濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃを備えている。

ここで、１つの凹部５ｅには、３種類の濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃの各々から３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃが吐出されるとともに、液状物吐出装置３００の制御部から駆動部への指令によって、吐出ヘッド３３０では、凹部５ｅの開口幅の大小に基づいて、濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃからの液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃの吐出量バランスが制御される。従って、凹部５ｅには、各濃度の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃが混合されて最適濃度の液状物８５が充填される。

例えば、３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃの各機能層形成材料濃度を各々、０．５％、１．０％、１．５％とし、濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃの各々から１０ｎｇの液滴数が各々、ａ滴、ｂ滴、ｃ滴（合計１４滴）ずつ、１つの凹部５ｅに吐出された場合には、以下の式
液状物の充填量＝
10ng×ａ滴＋10ng×ｂ滴＋10ng×ｃ滴＝一定
を満たすように液滴数を設定すれば、機能層形成材料の充填量は、以下の式
機能層形成材料の量＝
0.5％×10ng×ａ滴＋1.0％×10ng×ｂ滴＋1.5％×10ng×ｃ滴
で表されるので、凹部５ｅに充填した液状物８５の機能層形成材料濃度を所定の値に調整することができる。

また、濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃから吐出される液滴の量が各々、ｄ（ｎｇ）、ｅ（ｎｇ）、ｆ（ｎｇ）で、液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃの各機能層形成材料濃度を各々、０．５％、１．０％、１．５％とし、濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃの各々からの液滴数が各々、ａ滴、ｂ滴、ｃ滴（合計１４滴）ずつ、１つの凹部５ｅに吐出された場合には、以下の式
液状物の充填量＝
ｄng×ａ滴＋ｅng×ｂ滴＋ｆng×ｃ滴＝一定
を満たすように液滴数を設定すれば、機能層形成材料の充填量は、以下の式
機能層形成材料の量＝
0.5％×ｄng×ａ滴＋1.0％×ｅng×ｂ滴＋1.5％×ｆng×ｃ滴
で表されるので、凹部５ｅに充填した液状物８５の機能層形成材料濃度を所定の値に調整することができる。

このような構成によれば、凹部５ｅの開口幅が何段階に相違している場合でも、いずれの開口幅の凹部５ｅにも機能層形成材料濃度が最適な液状物８５を充填することができる。

［実施の形態２］
本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様、図４、図６、図７および図８に示すように表され、解像度の高い電気光学装置１００を製造する場合、および解像度の低い電気光学装置１００を製造する場合も、充填工程において隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に液状物吐出装置３００から液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填し、しかる後に、定着工程において液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。かかる工程を行なう際、本形態でも、実施の形態１と同様、図６および図７に示すように、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が狭い場合には、機能層形成材料濃度が高い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填するのに対して、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が広い場合には、機能層形成材料濃度が低い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。従って、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の量が凹部５ｅの開口幅に比例関係になくても、有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという問題点を解消することができる。

このような方法を実現するために、本形態では、実施の形態１と同様、図８に示すように、液状物吐出装置３００において、液状物供給部３１０は、機能層形成材料濃度が異なる３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃを各々供給する３つの濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃを備えている。一方、吐出ヘッド３３０は、ノズル開口３２７として、濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃの各々に接続して、機能層形成材料濃度が異なる液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃを吐出する３種類の濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃを備えている。

ここで、１つの凹部５ｅには、３種類の濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃのうちのいずれか１つから液状物が吐出される。すなわち、液状物吐出装置３００の制御部から駆動部への指令によって、吐出ヘッド３３０は、凹部５ｅの開口幅の大小に基づいて、濃度別ノズル開口３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃのうち、いずれか一つの系列のノズル開口のみから凹部５ｅに液状物を吐出するように制御される。従って、凹部５ｅには、３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃのうち、最適濃度の液状物８５のみが充填されることになる。それ故、凹部５ｅの開口幅が相違している場合でも、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の影響で有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという事態を回避することができる。なお、図８に示す例では、３つの濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃが構成されているので、凹部５ｅの開口幅が３段階に変化しても対応することができる。

［実施の形態３］
図９は、本発明の実施の形態３に係る電気光学装置１００の製造方法、および液状物吐出装置３００において、図７に示すように液状物の機能層形成材料濃度を最適化するための構成を示す説明図である。

本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様、図４、図６および図７に示すように表され、解像度の高い電気光学装置１００を製造する場合、および解像度の低い電気光学装置１００を製造する場合も、充填工程において隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に液状物吐出装置３００から液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填し、しかる後に、定着工程において液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。かかる工程を行なう際、本形態でも、実施の形態１と同様、図６および図７に示すように、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が狭い場合には、機能層形成材料濃度が高い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填するのに対して、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が広い場合には、機能層形成材料濃度が低い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。従って、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の量が凹部５ｅの開口幅に比例関係になくても、有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという問題点を解消することができる。

このような方法を実現するために、本形態では、図９に示すように、液状物吐出装置３００において、液状物供給部３１０は、機能層形成材料濃度が異なる３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃを各々供給する３つの濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃを備えている。一方、吐出ヘッド３３０は、流路切り換え装置３５０を介して、濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃに接続している。

ここで、１つの凹部５ｅには、３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃのいずれか１つが吐出される。すなわち、液状物吐出装置３００の制御部から流路切り換え装置３５０への指令によって、流路切り換え装置３５０は、凹部５ｅの開口幅の大小に基づいて流路３２０の切り換えを行い、吐出ヘッド３３０と濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃとの接続を切り換える。従って、凹部５ｅには、３種類の液状物８５ａ、８５ｂ、８５ｃのうち、最適濃度の液状物８５のみが充填されることになる。それ故、凹部５ｅの開口幅が相違している場合でも、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の影響で有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという事態を回避することができる。なお、図９に示す例では、３つの濃度別液状物供給部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃが構成されているので、凹部５ｅの開口幅が３段階に変化しても対応することができる。

［実施の形態４］
図１０は、本発明の実施の形態４に係る電気光学装置１００の製造方法、および液状物吐出装置３００において、図７に示すように液状物の機能層形成材料濃度を最適化するための構成を示す説明図である。

本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様、図４、図６および図７に示すように表され、解像度の高い電気光学装置１００を製造する場合、および解像度の低い電気光学装置１００を製造する場合も、充填工程において隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に液状物吐出装置３００から液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填し、しかる後に、定着工程において液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。かかる工程を行なう際、本形態でも、実施の形態１と同様、図６および図７に示すように、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が狭い場合には、機能層形成材料濃度が高い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填するのに対して、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が広い場合には、機能層形成材料濃度が低い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。従って、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の量が凹部５ｅの開口幅に比例関係になくても、有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという問題点を解消することができる。

このような方法を実現するために、本形態では、図１０に示すように、液状物吐出装置３００において、液状物供給部３１０は、液状物８５を調製するための２種類の液状材料８５ｅ、８５ｆが各々貯留された２つの液状材料貯留部３１１ｅ、３１１ｆを備えている。一方、吐出ヘッド３３０は、混合装置３６０を介して、液状材料貯留部３１１ｅ、３１１ｆに接続している。

２種類の液状材料８５ｅ、８５ｆのうち、液状材料８５ｅは、通常使用される機能層形成材料濃度よりも高濃度の液状材料であり、液状材料８５ｆは、溶媒である。なお、液状材料８５ｅは、通常使用される機能層形成材料濃度よりも高濃度の液状材料であり、液状材料８５ｆは、通常使用される機能層形成材料濃度よりも低濃度の液状材料であってもよい。ここで、１つの凹部５ｅには、２種類の液状材料８５ｅ、８５ｆが所定の割合で混合して吐出される。その際、凹部５ｅの開口幅が狭い場合には、液状材料８５ｅのみが吐出され、凹部５ｅの開口幅が広い場合には、低濃度の液状材料８５ｆのみが吐出され、凹部５ｅの開口幅が中間の場合のみ、２種類の液状材料８５ｅ、８５ｆが所定の割合で混合して吐出される場合もある。いずれの場合も、液状物吐出装置３００の制御部から混合装置３６０への指令によって、混合装置３６０は、凹部５ｅの開口幅の大小に基づいて、液状材料８５ｅ、８５ｆの混合比を切り換える。従って、凹部５ｅには、凹部５ｅの開口幅の大小に応じた濃度の液状物８５が吐出されることになる。それ故、凹部５ｅの開口幅が相違している場合でも、メニスカスが膨らんだ分に相当する液状物８５の影響で有機機能層８６の膜厚が相違してしまうという事態を回避することができる。

また、このような構成によれば、凹部５ｅの開口幅が何段階に相違している場合でも、いずれの開口幅の凹部５ｅにも機能層形成材料濃度が最適な液状物８５を充填することができる。

［別の実施の形態］
上記実施の形態では、本発明を適用した電気光学装置１００としてトップエミッション型の有機ＥＬ装置を説明したが、ボトムエミッション型の有機ＥＬ装置に本発明を適用してもよい。

また、上記実施の形態では、解像度の違いによって凹部５ｅの開口幅が相違する例を説明したが、他の事情によって、凹部５ｅの開口幅が相違する場合に本発明を適用してもよい。また、上記実施の形態では、開口幅が相違する凹部５ｅが異なる基板上に形成されている例であったが、開口幅が相違する凹部５ｅが同一の基板上に形成されている場合に本発明を適用してもよい。

さらに、上記実施の形態では、メニスカスに起因する有機機能層８６の膜厚変動を防止することを目的としたため、凹部５ｅの開口幅が広い場合に低濃度の液状物８５を充填し、凹部５ｅの開口幅が狭い場合に高濃度の液状物８５を充填したが、隔壁５ａの側面壁の形状の影響や、凹部５ｅの構造の影響によって、機能層形成材料濃度が同一の液状物８５を凹部５ｅに充填した場合に発生する有機機能層８６の膜厚ばらつきを解消する必要がある場合、凹部５ｅの開口幅が狭い場合に低濃度の液状物８５を充填し、凹部５ｅの開口幅が広い場合に高濃度の液状物８５を充填してもよい。

さらにまた、上記実施の形態では、有機ＥＬ素子８０の有機機能層８６を形成する際に本発明を適用した例であったが、電気光学装置１００がカラーフィルタ基板を備えている場合、かかる電気光学装置１００のカラーフィルタ基板（電気光学装置用基板）や、液晶装置１００のカラーフィルタ基板（電気光学装置用基板）の製造に本発明を適用してもよい。

［電子機器への搭載例］
次に、上述した実施形態に係る電気光学装置１００を適用した電子機器について説明する。図１１（ａ）に、電気光学装置１００を備えたモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す。パーソナルコンピュータ２０００は、表示ユニットとしての電気光学装置１００と本体部２０１０を備える。本体部２０１０には、電源スイッチ２００１及びキーボード２００２が設けられている。図１１（ｂ）に、電気光学装置１００を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１及びスクロールボタン３００２、並びに表示ユニットとしての電気光学装置１００を備える。スクロールボタン３００２を操作することによって、電気光学装置１００に表示される画面がスクロールされる。図１１（ｃ）に、電気光学装置１００を適用した情報携帯端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistants）の構成を示す。情報携帯端末４０００は、複数の操作ボタン４００１及び電源スイッチ４００２、並びに表示ユニットとしての電気光学装置１００を備える。電源スイッチ４００２を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が電気光学装置１００に表示される。

なお、電気光学装置１００が適用される電子機器としては、図１１に示すものの他、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した電気光学装置１００が適用可能である。また、電気光学装置１００が有機ＥＬ装置である場合、かかる有機ＥＬ装置は、複写機などにおいて露光ヘッドとして用いることもできる。

本発明の実施の形態１に係る電気光学装置（有機ＥＬ装置）に用いた素子基板の電気的な構成を示す等価回路図である。 （ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのＪ−Ｊ′断面図である。 （ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の相隣接する画素２つ分の平面図、および画素１つ分の断面図である。 本発明を適用した有機ＥＬ装置を製造する際に使用される液状物吐出装置の説明図である。 本発明を適用した有機ＥＬ装置において隔壁で囲まれた凹部の開口幅の定義を示す説明図である。 本発明を適用した有機ＥＬ装置の製造方法において、素子基板上に形成した隔壁で囲まれた凹部内に液状物を吐出して有機機能層を形成する方法を示す説明図である。 本発明を適用した有機ＥＬ装置の製造方法において、有機機能層を１００ｎｍの厚さに形成する場合、隔壁で囲まれた凹部の開口幅と、かかる凹部に充填すべき液状物の機能層形成材料濃度との最適な関係を示すグラフである。 本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬ装置および液状物吐出装置において、図７に示すように液状物の機能層形成材料濃度を最適化するための構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態３に係る有機ＥＬ装置および液状物吐出装置において、図７に示すように液状物の機能層形成材料濃度を最適化するための構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態４に係る有機ＥＬ装置および液状物吐出装置において、図７に示すように液状物の機能層形成材料濃度を最適化するための構成を示す説明図である。 本発明に係る電気光学装置を用いた電子機器の説明図である。 従来の有機ＥＬ装置の製造方法において、素子基板上に形成した隔壁で囲まれた凹部内に液状物を吐出して有機機能層を形成する方法を示す説明図である。 有機ＥＬ装置の製造方法において、凹部に液状物を充填した際のメニスカスが有機機能層の厚さに影響を及ぼすことを示す説明図である。

符号の説明

８０・・有機ＥＬ素子、８１・・正孔注入輸送層、８２・・発光層、８５・・液状物、８６・・有機機能層、１００・・電気光学装置、３００・・液状物吐出装置、３１０・・液状物供給部、３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃ・・濃度別液状物供給部、３１１ｅ、３１１ｆ・・液状材料貯留部、３２０・・流路、３２７・・ノズル開口、３２７ａ、３２７ｂ、３２７ｃ・・濃度別ノズル開口、３３０・・吐出ヘッド、３５０・・流路切り換え装置、３６０・・混合装置

Claims (13)

1. 基板上に形成された凹部内に向けて、溶媒中に機能層形成材料が配合された液状物を吐出して当該液状物を前記凹部内に充填する充填工程と、当該液状物から溶媒成分を除去して前記機能層形成材料を前記凹部内に定着させる定着工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
   前記充填工程では、前記液状物として、前記凹部の開口幅の大小に対応して機能層形成材料濃度が異なる液状物を充填することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
2. 前記液状物充填工程では、前記液状物を前記凹部にメニスカスで膨らむ状態にまで充填し、前記液状物として、開口幅が相対的に狭い前記凹部に対しては、開口幅が相対的に広い前記凹部に比して機能層形成材料濃度が高い液状物を充填することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
3. 開口幅の大小に対応して前記凹部に充填する前記液状物の機能層形成材料濃度を相違させるにあたっては、
   前記液状物として、機能層形成材料濃度が相違する複数種類の液状物を前記凹部内に吐出するとともに、当該複数種類の液状物の前記凹部内への吐出量バランスを前記開口幅の大小に対応して相違させることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造方法。
4. 開口幅の大小に対応して前記凹部に充填する前記液状物の機能層形成材料濃度を相違させるにあたっては、
   前記凹部内に向けて吐出する前記液状物の機能層形成材料濃度を前記開口幅の大小に対応して相違させることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造方法。
5. 前記の開口幅が相違する凹部は、異なる基板上に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
6. 前記機能層形成材料は、前記基板上に有機エレクトロルミネッセンス素子の有機機能層を形成することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
7. 溶媒中に機能層形成材料が配合された液状物を供給する液状物供給部と、該液状物供給部に流路を介して接続し、電気光学装置用基板に形成された凹部内に向けて前記液状物を吐出するノズル開口を備えた吐出ヘッドと、を有する液状物吐出装置において、
   前記吐出ヘッドは、前記凹部の開口幅の大小に基づいて前記凹部内に充填する前記液状物の機能層形成材料濃度を相違させることを特徴とする液状物吐出装置。
8. 前記吐出ヘッドは、前記液状物を前記凹部にメニスカスで膨らむ状態にまで充填し、前記液状物として、開口幅が相対的に狭い前記凹部に対しては、開口幅が相対的に広い前記凹部に比して機能層形成材料濃度が高い液状物を充填することを特徴とする請求項７に記載の液状物吐出装置。
9. 前記液状物供給部は、機能層形成材料濃度が異なる複数種類の前記液状物を各々供給する複数の濃度別液状物供給部を備え、
   前記吐出ヘッドは、前記ノズル開口として、前記複数の濃度別液状物供給部の各々に接続して、機能層形成材料濃度が異なる前記液状物を前記凹部に吐出する複数の濃度別ノズル開口を備え、
   前記凹部には、前記複数の濃度別ノズル開口の各々から前記複数種類の前記液状物が吐出されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の濃度別ノズル開口からの前記液状物の吐出量バランスが制御されることを特徴とする請求項７または８に記載の液状物吐出装置。
10. 前記液状物供給部は、機能層形成材料濃度が異なる複数種類の前記液状物を各々供給する複数の濃度別液状物供給部を備え、
    前記吐出ヘッドは、前記ノズル開口として、前記複数の濃度別液状物供給部の各々に接続して前記機能層形成材料の濃度が異なる前記液状物を吐出する複数の濃度別ノズル開口を備え、
    前記凹部には、前記複数の濃度別ノズル開口のいずれか１つから前記液状物が吐出されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の濃度別ノズル開口のうち、いずれの濃度別ノズル開口から前記液状物を吐出すべきかが制御されることを特徴とする請求項７または８に記載の液状物吐出装置。
11. 前記液状物供給部は、機能層形成材料濃度が異なる複数種類の前記液状物を各々供給する複数の濃度別液状物供給部を備え、
    前記凹部には、前記複数の濃度別液状物供給部のいずれか１つに貯留されている前記液状物が前記ノズル開口から吐出されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の濃度別液状物供給部のいずれに貯留されている液状物を前記ノズル開口から吐出すべきかが制御されることを特徴とする請求項７または８に記載の液状物吐出装置。
12. 前記液状物供給部は、前記液状物を調製するための複数の液状材料が各々貯留された複数の液状材料貯留部を備え、
    前記吐出ヘッドには、前記複数の液状材料が混合されて前記液状物として供給されるとともに、前記凹部の開口幅の大小に基づいて、前記複数の液状材料の混合比が制御されることを特徴とする請求項７または８に記載の液状物吐出装置。
13. 開口幅が相違する前記凹部は、異なる前記電気光学装置用基板に形成されていることを特徴とする請求項７乃至１２の何れか一項に記載の液状物吐出装置。

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