CN101471428A - 电光学装置的制造方法及液状物喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供在向开口宽度不同的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，可将功能层形成为相等的厚度的电光学装置的制造方法及该电光学装置的制造中使用的液状物喷出装置。当制造电光学装置(100)的元件基板(10)时，在制造分辨率低的电光学装置用和分辨率高的电光学装置用的任意一种情形下，均向由隔壁(5b)包围的凹部(5e)内喷出液状物(85)，将液状物充填到凹部内后，从液状物除去溶剂成分形成有机功能层(86)。在进行该工序之际，当凹部的开口宽度(W1)较窄时，向凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物以使弯液面鼓出，当凹部的开口宽度(W2)较宽时，向凹部充填功能层形成材料浓度低的液状物以使弯液面鼓出。

Description

电光学装置的制造方法及液状物喷出装置

技术领域

本发明涉及有机电致发光(以下称作有机EL(ElectroLuminescence))装置或液晶装置等电光学装置的制造方法、以及用于该电光学装置的制造的液状物喷出装置。

背景技术

作为代表性的电光学装置的有机EL装置或液晶装置，被用于便携式电话、个人计算机或PDA(Personal Digital Assistants)等电子设备的显示装置中，对于形成这种有机EL装置的有机EL元件的方法提出了如下方案，即：在基板上形成多个像素电极、和对用于在多个像素电极上分别形成含有发光层的有机功能层的多个功能层形成区域进行划分的隔壁后，如图12(a)、(b)、(c)所示，从液状物喷出装置向由隔壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，向凹部5e内充填液状物85，之后从液状物85除去溶剂成分，形成有机功能层86(参照专利文献1)。

在采用该方法时，考虑到功能层形成材料向溶剂的溶解性差、或功能层形成材料为高分子材料时因高浓度化而导致粘度增加，优选如图12(b)所示，对凹部5e以弯液面鼓出的方式充填液状物85来增添充填量，由此获取有机功能层86的厚度。

专利文献1：日本特开2002-222695号公报

当以该方法形成有机功能层86时，应该以凹部5e的开口宽度、凹部5e的深度、液状物85的功能层形成材料浓度、以及液状物85与隔壁5b的接触角来规定有机功能层86的厚度。

这里，如图12(b)所示，在以弯液面鼓出的方式对凹部5e充填液状物85时，如果将凹部5e的开口宽度设为W、与隔壁5b的接触角设为θ，则如图13所示，弯液面的圆弧状表面的曲率半径R如下式所示，R＝W/2sinθ，

由凹部5e的开口宽度W及与隔壁5b的接触角θ规定，与弯液面相当的斜线部分的面积S可如下式所示

S＝(W²/4sinθ)(θ/sinθ-cosθ)。

因此，当以弯液面鼓出、与隔壁5b的接触角为θ的方式对凹部5e充填液状物85时，如果不改变凹部5e的深度(隔壁5b的高度h)及液状物85的功能层形成材料浓度而将开口宽度W设为2倍，则由于与弯液面鼓出的量相当的液状物85的量变成4倍，所以液状物85的充填量不同，结果，在开口宽度较宽的凹部5e中形成了膜厚d比开口宽度较窄的凹部5e中形成的膜厚d厚的有机功能层86。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的课题在于，提供一种即便在向开口宽度不同的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，也可将功能层形成为相等厚度的电光学装置的制造方法、及用于该电光学装置的制造的液状物喷出装置。

为了解决上述问题，本发明提供一种电光学装置的制造方法，具备：向基板上形成的凹部内喷出在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将该液状物充填到上述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分，使上述功能层形成材料固定在上述凹部内的固定工序，其特征在于，在上述充填工序中，作为所述液状物，充填功能层形成材料浓度根据上述凹部的开口宽度的大小而不同的液状物。

对于实施该制造方法而言，本发明提供出一种液状物喷出装置，具有：供给在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物的液状物供给部；和经由流路与该液状物供给部连接，且具备向电光学装置用基板上形成的凹部内喷出上述液状物的喷嘴开口的喷出头，其特征在于，上述喷出头根据上述凹部的开口宽度的大小，使向上述凹部内充填的上述液状物的功能层形成材料浓度不同。

本发明在上述液状物充填工序中，将上述液状物充填到在上述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为上述液状物，与开口宽度相对宽的上述凹部相比，对开口宽度相对窄的上述凹部，充填功能层形成材料浓度高的液状物。即，在应用了本发明的液状物喷出装置中，对于上述喷出头而言，将上述液状物充填到在上述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为上述液状物，与开口宽度相对宽的上述凹部相比，对开口宽度相对窄的上述凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物。

在本发明中，当根据开口宽度的大小使向上述凹部充填的上述液状物的功能层形成材料浓度不同时，可以采用如下方法：作为上述液状物，不仅向上述凹部内喷出功能层形成材料浓度不同的多种液状物，还根据上述开口宽度的大小使该多种液状物向上述凹部内的喷出量均衡度不同。

当实施该方法时，在应用了本发明的液状物喷出装置中，上述液状物供给部具备多个浓度不同液状物供给部，用于分别供给功能层形成材料浓度不同的多种上述液状物，上述喷出头作为上述喷嘴开口而具备多个浓度不同喷嘴开口，该多个浓度不同喷嘴开口分别与上述多个浓度不同液状物供给部连接，向上述凹部喷出功能层形成材料浓度不同的上述液状物，不仅从上述多个浓度不同喷嘴开口向上述凹部分别喷出上述多种类的上述液状物，还根据上述凹部的开口宽度的大小，控制从上述多个浓度不同喷嘴开口喷出的上述液状物的喷出量均衡度。

若如此构成，则即便凹部的开口宽度出现不同程度的差异，仍可对任意一个开口宽度的凹部充填功能层形成材料浓度最佳的液状物。

在本发明中，当根据开口宽度的大小使向上述凹部充填的上述液状物的功能层形成材料浓度不同时，也可以采用根据上述开口宽度的大小，使向上述凹部内喷出的上述液状物的功能层形成材料浓度不同的方法。

当实施该方法时，在应用了本发明的液状物喷出装置中，可以采用如下构成：上述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的多种上述液状物的浓度不同液状物供给部，上述喷出头作为上述喷嘴开口而具备多个浓度不同喷嘴开口，该多个浓度不同喷嘴开口分别与上述多个浓度不同液状物供给部连接，喷出功能层形成材料浓度不同的上述液状物，不仅从上述多个浓度不同喷嘴开口中的任意一个向上述凹部喷出上述液状物，还根据凹部的开口宽度的大小，控制应该从上述多个浓度不同喷嘴开口中的哪一个浓度不同喷嘴开口喷出上述液状物。

另外，本发明也可以采用如下构成：上述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的多种上述液状物的浓度不同液状物供给部，不仅从上述喷嘴开口向上述凹部喷出上述多个浓度不同液状物供给部中任意一个所存储的上述液状物，还根据上述凹部的开口宽度的大小，控制应该从上述喷嘴开口喷出存储于上述多个浓度不同液状物供给部中哪一个的液状物。

并且，本发明也可以采用如下构成：上述液状物供给部具备多个分别存储用于调制上述液状物的多种液状材料的液状材料储存部，不仅混合上述多种液状材料而作为上述液状物向上述喷出头供给外，还根据上述凹部的开口宽度的大小，控制上述多种液状材料的混合比。如此构成，即便凹部的开口宽度出现不同程度的差异，仍可对任意一个开口宽度的凹部充填功能层形成材料浓度最佳的液状物。

本发明可以应用在开口宽度不同的凹部形成于不同基板上的情况。另外，本发明还可以应用在开口宽度不同的凹部形成于同一基板上的情况。

本发明可以应用于上述功能层形成材料在上述基板上形成有机EL元件的有机功能层的情况。即，本发明可以应用于制造有机EL装置作为电光学装置的情形。另外，本发明可以在制造有机EL装置或液晶装置等电光学装置所使用的彩色滤光基板中应用，此时，上述功能层形成材料在上述基板上形成彩色滤光。

通过本发明的制造方法而得到的电光学装置，除了各种光源外，也在移动电话机或便携计算机等电子设备中被用作显示部等。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的电光学装置(有机EL装置)中使用的元件基板的电气构成的等效电路图。

图2(a)、(b)分别是从对置基板一侧观察本发明的实施方式1的电光学装置和其上形成的各构成要素的俯视图，及其J-J’剖面图。

图3(a)、(b)分别是本发明的实施方式1所涉及的电光学装置的相邻接的两个像素的俯视图、以及一个像素的剖面图。

图4是在制造应用了本发明的有机EL装置时所使用的液状物喷出装置的说明图。

图5是表示在应用了本发明的有机EL装置中，由隔壁包围的凹部的开口宽度的定义的说明图。

图6是表示在应用了本发明的有机EL装置的制造方法中，向由形成于元件基板上的隔壁包围的凹部内喷出液状物、形成有机功能层的方法的说明图。

图7是表示在应用了本发明的有机EL装置的制造方法中，当将有机功能层形成为100nm的厚度时，由隔壁包围的凹部的开口宽度与应该向该凹部充填的液状物的功能层形成材料浓度间的最佳关系的图表。

图8是表示在本发明的实施方式1所涉及的有机EL装置及液状物喷出装置中，为了如图7所示、使液状物的功能层形成材料浓度最佳化的构成的说明图。

图9是表示在本发明的实施方式3所涉及的有机EL装置及液状物喷出装置中，为了如图7所示、使液状物的功能层形成材料浓度最佳化的构成的说明图。

图10是表示在本发明的实施方式4所涉及的有机EL装置及液状物喷出装置中，为了如图7所示、使液状物的功能层形成材料浓度最佳化的构成的说明图。

图11是使用了本发明的电光学装置的电子设备的说明图。

图12是表示在以往的有机EL装置的制造方法中，向形成于元件基板的隔壁所包围的凹部内喷出液状物、形成有机功能层的方法的说明图。

图13是表示在有机EL装置的制造方法中，向凹部充填液状物时的弯液面对有机功能层厚度的影响的说明图。

符号说明：80...有机EL元件；81...空穴注入输送层；82...发光层；85...液状物；86...有机功能层；100...电光学装置；300...液状物喷出装置；310...液状物供给部；311a、311b、311c...不同浓度液状物供给部；311e、311f...液状材料储存部；320...流路；327...喷嘴开口；327a、327b、327c...不同浓度喷嘴开口；330...喷出头；350...流路切换装置；360...混合装置。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明所参照的附图中，为了将各层或各部件的大小制定成可在附图上识别的程度，使缩小尺寸按各层或各部件而不同。另外，在薄膜晶体管中，虽然可通过施加的电压来切换源极和漏极，但在以下的说明中，为了方便说明，将连接有像素电极一侧作为漏极进行说明。而且，在以下的说明中，为了易于理解与参照图12而说明的构成的对应，对起到共同作用的部分标记同一符号进行说明。

实施方式1

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的电光学装置的电气构成的框图。图2(a)、(b)分别是从对置基板一侧观察应用了本发明的电光学装置和其上形成的各构成要素的俯视图、及其J-J’剖面图。

图1所示的电光学装置100是有机EL装置，在元件基板10上具有：多条扫描线3a、在与扫描线3a交叉的方向上延伸的多条数据线6a、和在与扫描线3a和数据线6a的交叉对应的位置上形成的像素11，由将多个像素11排列成矩阵状的区域构成像素区域10b。而且，在元件基板10上，有多条电源线6g与数据线6a并列延伸，且有多条电容线3e与扫描线3a并列延伸。数据线6a与数据线驱动电路101连接，扫描线3a与扫描线驱动电路104连接。在多个像素11中分别构成有：经由扫描线3a向栅电极供给扫描信号的开关用薄膜晶体管30b；对经由该开关用薄膜晶体管30b从数据线6a供给来的像素信号进行保持的保持电容70；由保持电容70保持的像素信号被供给到栅电极的驱动用薄膜晶体管30c；当经由该薄膜晶体管30c与电源线6g电连接时，从电源线6g流入驱动电流的第一电极层9a(像素电极/阳极层)；和在该第一电极层9a与第二电极层84(阴极)之间夹持了有机功能层的有机EL元件80。另外，在图1所示的构成中，虽然电源线6g及电容线3e分别从数据线驱动电路101及扫描线驱动电路104延伸出来，但由于被施加恒定电位，因此也可以采用电源线6g及电容线3e直接从端子102延伸出的构成等。此外，在图1所示的构成中，虽然与扫描线3a并列地形成了电容线3e，但也可以不形成电容线3e，而在电源线6g和薄膜晶体管30b的漏极之间形成保持电容70。

在该电光学装置100中，当扫描线3a被驱动、开关用薄膜晶体管30b导通时，此时的数据线6a的电位被保持电容70保持，根据保持电容70所保持的电荷来决定驱动用薄膜晶体管30c的导通/截止状态。然后，经由驱动用薄膜晶体管30c的沟道(channel)，电流从电源线6g流入到第一电极层9a，进而电流经由有机功能层流入到第二电极层84。结果，有机EL元件80对应流过其中的电流量而发光。

图2(a)、(b)中，在本方式的电光学装置100中，元件基板10和密封基板90通过密封材料107粘合到一起，在元件基板10与密封基板90之间夹设有透光性的环氧树脂等的充填层91。元件基板10中，在密封材料107的外侧区域，沿着元件基板10的一边设置有数据线驱动电路101及由ITO膜构成的端子102，且沿着与配置了端子102的边相邻的两边形成有扫描线驱动电路104。在元件基板10的剩余一边上设置有多条布线103，用于将在图像显示区域10a的两侧设置的扫描线驱动电路104之间连接。详细情况将在后边叙述，但在元件基板10上，依次层叠了第一电极层、有机功能层和第二电极层的有机EL元件80被形成为矩阵状。此外，有时也采用不使用密封基板90而采用以密封树脂覆盖元件基板10的构造。

(像素的详细构成)

图3(a)、(b)分别是本发明的实施方式3所涉及的电光学装置100的相邻接的两个像素的俯视图、以及一个像素的剖面图。其中，图3(b)是图3(a)的B-B’线的剖面图，在图3(a)中以长的虚线表示第一电极层9a，以单点划线表示数据线6a以及与之同时形成的薄膜，以实线表示扫描线3a，以短虚线表示半导体层。而且，在图3(a)中为了便于理解各要素的存在，对要素的位置进行了错位。

如图3(a)、(b)所示，在元件基板10上，按每一个像素11以矩阵状形成多个透明的第一电极层9a(长虚线所包围的区域)，且沿着第一电极层9a的纵横边界区域形成有数据线6a(单点划线所示区域)、电源线6g(单点划线所示区域)、扫描线3a(实线所示区域)以及电容线3e(实线所示区域)。

如图3(b)所示，元件基板10中，在作为其基体的支承基板10d的表面上形成有以氧化硅膜等构成的基底绝缘层12，并且在其表面侧，在与第一电极层9a对应的区域形成有薄膜晶体管30c。薄膜晶体管30c相对于岛状的半导体层1a形成有沟道区域1g、源极区域1h及漏极区域1i。在半导体层1a的表面侧形成有栅极绝缘层2，在栅极绝缘层2的表面形成有栅电极3f。该栅电极3f与薄膜晶体管30b的漏极电连接。此外，由于薄膜晶体管30b的基本构成与薄膜晶体管30c相同，故省略对其说明。

在薄膜晶体管30c的上层侧，形成有由氧化硅膜或氮化硅膜构成的层间绝缘膜71、由厚度为1.5～2.0μm的厚的感光性树脂构成的层间绝缘膜72(平面化膜)、和由氮化硅膜等构成的透光性绝缘膜73。在层间绝缘膜71的表面(层间绝缘膜71、72的层间)形成有数据线6a(图3(b)中未图示)、电源线6g及漏电极6h，电源线6g经由形成于层间绝缘膜71的接触孔71g与源极区域1h电连接。而漏电极6h经由形成于层间绝缘膜71的接触孔71h与漏极区域1i电连接。在本方式中，数据线6a、电源线6g、漏电极6h由钼膜、铝膜、钛膜、钨膜、钽膜、铬膜等金属单体膜、或者它们的层叠膜构成。

在透光性绝缘膜73的表面形成有由ITO膜构成的第一电极层9a，第一电极层9a经由形成于层间绝缘膜72、73的接触孔72g、73g与漏电极6h电连接。

在第一电极层9a的上层，形成有具备用于规定发光区域的开口部的由感光性树脂等构成的厚的隔壁层5b。在由隔壁层5b包围的凹部5e中，在第一电极层9a的上层形成有由聚3、4-乙撑二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)等构成的空穴注入输送层81、和由发光层82构成的有机功能层86，在发光层82的上层形成有第二电极层84。这样，由第一电极层9a、空穴注入输送层81、发光层82及第二电极层84构成了有机EL元件80。发光层82例如可由在聚芴衍生物、聚苯衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、或它们的高分子材料中掺杂紫苏烯系色素、香豆素系色素、罗丹明系色素，例如红荧烯、紫苏烯、9、10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等的材料构成。另外，作为发光层82，优选使用双键的π电子在聚合物链上非极性化的π共轭系高分子材料，这是由于其也是导电性高分子而具有优异的发光性能的缘故。更为优选使用在其分子内具有芴骨架的化合物、即聚芴类化合物。另外，除了使用这些材料之外，也可以使用包括共轭系高分子有机化合物的前驱体、和用于使发光特性变化的至少一种荧光色素而成的组成物。在本方式中，有机功能层86可通过后述的喷墨法等涂敷方法来形成。此外，也可在发光层82和第二电极层84的层间形成电子注入层的。

本方式的电光学装置100是顶部发光型的有机EL装置，如箭头L1所示，由于从支承基板10d观察，从形成了有机EL元件80侧取出光，因此在层间绝缘膜72和透光性绝缘膜73的层间形成有光反射层4a。另外，对第二电极层84施以薄铝膜、镁或锂等薄膜，形成为对功函数进行了调整的ITO膜等透光性电极。此外，作为支承基板10d，除了使用玻璃等透明基板外，也可以使用不透明基板。作为不透明基板，例如可举出对氧化铝等陶瓷、不锈钢等金属板实施表面氧化等绝缘处理的基板、树脂基板等。此外，当电光学装置100为底部发光型的有机El装置时，由于从支承基板10d侧取出光，因此作为支承基板10d，使用玻璃等透明基板、不形成光反射层4a。

(喷出头的构成)

图4是在制造本方式的电光学装置100时使用的液状物喷出装置的说明图，图4中(a)是表示制造本方式的有机EL装置1时使用的液状物喷出装置的主要部分的说明图，(b)是示意性表示喷出头的内部构造的说明图，(c)是挠曲振动模式的压力发生元件的说明图，(d)是纵振动模式的压力发生元件的说明图。

当制造本方式的有机EL装置1时，使用图4(a)所示的液状物喷出装置300，形成参照图3而说明的空穴注入输送层81及发光层82等有机功能层86。液状物喷出装置300具有：用于供应液状物的液状物供给部310，该液状物是将用于形成空穴注入输送层81及发光层82等有机功能层86的功能层形成材料混合于溶剂中而形成的；和经流路320与液状物供给部310连接的喷出头330；喷出头330上形成有图4(b)所示的多个喷嘴开口327。

如图4(b)所示，喷出头330具备将多个喷嘴开口327排列成列状而形成的喷嘴列。在这样的喷出头330中，喷嘴列向与主扫描方向交叉的副扫描方向延伸，在喷出头330沿主扫描方向移动的期间，通过在规定的时刻从多个喷嘴开口327喷出液状物M，使液滴M0滴落到元件基板10上的规定位置。而且，通过使喷出头330向副扫描方向平行移动规定距离，可以使喷出头330的主扫描位置错开规定的间隔。

如图4(b)、(c)所示，喷出头330具有：例如不锈钢制的喷嘴板329、与之对置的弹性板331、和将它们互相接合的多个隔板部件332。在喷嘴板329和弹性板331之间，通过隔板部件332形成多个压力发生室333和液体存留室334，多个压力发生室333与液体存留室334通过液状物流入口338而相互连通。在弹性板331的适当处形成有液状物供给孔336，并使液状物供给部310与该液状物供给孔336相连。从而，液状物供给部310向液状物供给孔336供给将被喷出的液状物M。供给来的液状物M充满于液体存留室334，进而经过液状物流入口338充满于压力发生室333。这样，液状物供给部310与各压力发生室333连通。

在喷嘴板329上设置有用于将液状物M以液滴M0的形式从压力发生室333喷出的喷嘴开口327，开设该喷嘴开口327的喷嘴形成面被制作成平坦面。这样，喷嘴开口327在压力发生室333中开口。在弹性板331的形成压力发生室333的面的背面，与该压力发生室333对应地安装有压力发生元件339。该压力发生元件339例如图4(c)所示，是具有压电元件341及夹持该压电元件341的一对电极342a、342b的挠曲振动模式的压电元件。其振动方向由箭头C表示。此外，如图4(d)所示，作为压力发生元件339也可以使用纵振动模式的压电元件。对于该纵振动模式的压电元件(压力发生元件339)而言，是在伸长方向平行地将压电材料和导电材料交替层叠而构成的，其前端固定于弹性板331，另一端固定于基台320。这样的压力发生元件339，在充电状态下向垂直于导电层的层叠方向的方向收缩，而在充电状态被解除后，沿着与导电层垂直的方向伸长。

无论使用何种压电元件，均通过在电极间施加的驱动信号而变形，使压力发生室333膨胀或收缩。此外，在喷嘴开口327的周边部，为了防止液滴M0的飞行曲线或喷嘴开口237的堵塞等，设置有例如由镍-四氟乙烯共析镀层构成的疏液层343。

(有机EL装置的制造方法)

参照图5、图6、图7和图8，对应用了本发明的有机EL装置的制造方法中形成有机功能层86的工序进行说明。此外，有机功能层86中，由于发光层82和空穴注入输送层81仅在所使用的材料上不同，基本的形成方法相同，因此，以下将用于形成发光层82或空穴注入输送层81(有机功能层86)的材料作为功能层形成材料，将溶剂与之混合后的液体作为液状物85进行说明。另外，有机功能层86有时可根据对应的颜色而使用不同的材料，但在以下的说明中，与材料的种类无关，将用于形成发光层82或空穴注入输送层81(有机功能层86)的材料作为功能层形成材料，溶剂与之混合后的液体作为液状物85进行说明。

图5是表示在应用了本发明的有机EL装置中由隔壁包围的凹部的开口宽度的定义的说明图。图6是在应用了本发明的有机EL装置的制造方法中，表示向由形成于元件基板上的隔壁5b包围的凹部内喷出液状物85，形成发光层82与空穴注入输送层81等有机功能层86的方法的说明图，图6(a)、(b)、(c)表示制造高分辨率的有机EL装置的例子，图6(d)、(e)、(f)表示制造低分辨率的有机EL装置的例子(开口宽度W1<开口宽度W2)。图7是表示在应用了本发明的有机EL装置的制造方法中，当将有机功能层形成为100nm的厚度时，由隔壁包围的凹部的开口宽度与应该向该凹部充填的液状物的功能层形成材料浓度(墨水浓度)间最佳关系的图表，是以液状物85与隔壁5b的接触角θ为60°，凹部5e的深度(隔壁5b的高度)为2μm而计算出的结果。图8是表示在本发明的实施方式1所涉及的有机EL装置和液状物喷出装置中，用于如图7所示、使液状物的功能层形成材料浓度最佳化的构成的说明图。

在应用了本发明的有机EL装置100中，在对由图3(b)所示的隔壁5b包围的凹部5e充填了液状物之后，当从液状物中除去溶剂成分而形成有机功能层时，如后述那样，根据凹部5e的开口宽度，使液状物中的功能层形成材料浓度最佳化。这里，凹部5e的平面形状如图5所示，有圆形、椭圆形、正方形、长方形、跑道状的长圆、被倒角的矩形等，在本发明中，“开口宽度”是指在尺寸较短的方向上的开口最大宽度。因此，如果凹部5e的平面形状为圆形，则直径相当于开口宽度，若为椭圆则短径相当于开口宽度，若为正方形则一边的长度相当于开口宽度，若为长方形则短边的长度相当于开口宽度，若为长圆则短轴的尺寸相当于开口宽度，若为被倒角的矩形则短边的长度相当于开口宽度。

在本方式中，当制造高分辨率的电光学装置100时，在形成有机功能层86的工序中，如图6(a)、(b)、(c)所示，在充填工序中从参照图4而说明的液状物喷出装置300向由隔壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，在凹部5e内充填液状物85，之后在固定工序中从液状物85中除去溶剂成分，形成有机功能层86。在这样的高分辨率电光学装置100中使用的元件基板10中，凹部5e的开口宽度W1窄。

与之相对，当使用同一液状物喷出装置300制造分辨率低的电光学装置时，如图6(d)、(e)、(f)所示，也从参照图4而说明的液状物喷出装置300向由隔壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，在凹部5e内充填液状物85，之后从液状物85中除去溶剂成分，形成有机功能层86。在这样的低分辨率电光学装置100中使用的元件基板10中，凹部5e的开口宽度W2宽。这种情形下，如果将功能层形成材料浓度相同的液状物85充填到凹部5e中，使弯液面鼓出且与隔壁5b间的接触角为θ，则基于参照图13而说明的理由，在开口宽度窄的凹部5e内形成薄的有机功能层86，而在开口宽度宽的凹部5e内形成厚的有机功能层86，导致有机功能层86的厚度不同。

鉴于此，在本方式中，根据参照图13而说明的开口宽度与弯液面的体积间的关系，如图6和图7所示，像制造高分辨率的电光学装置100时那样，在凹部5e的开口宽度W1窄时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度高的液状物85而使弯液面鼓出。与之相对，像制造低分辨率的电光学装置100时那样，在凹部5e的开口宽度W2宽时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度低的液状物85而使弯液面鼓出。例如，当凹部5e的开口宽度W1为40μm时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度为0.98％的液状物85而使弯液面鼓出，与之相对，当凹部5e的开口宽度W2为80μm时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度为0.54％的液状物85而使弯液面鼓出。因此，可以消除当开口宽度为2倍时与弯液面鼓出的量相当的液状物85的量达到4倍，而由此导致功能层形成材料浓度相同时有机功能层86膜厚不同的问题。

为了实现这样的方法，本方式中如图8所示，在液状物喷出装置300中，液状物供给部310具备分别供给三种功能层形成材料浓度不同的液状物85a、85b、85c的三个浓度不同液状物供给部311a、311b、311c。另外，对喷出头330而言，作为喷嘴开口327，具备与浓度不同液状物供给部311a、311b、311c分别连接、喷出功能层形成材料浓度不同的液状物85a、85b、85c的三种浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c。

这里，对一个凹部5e从三种浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c中分别喷出三种液状物85a、85b、85c，并且基于液状物喷出装置300的控制部对驱动部的指令，在喷出头330中根据凹部5e的开口宽度的大小，控制从不同浓度喷嘴开口327a、327b、327c喷出液状物85a、85b、85c的喷出量均衡度。因此，各浓度的液状物85a、85b、85c被混合而向凹部5e中充填最佳浓度的液状物85。

例如，在将三种液状物85a、85b、85c的各功能层形成材料浓度分别设为0.5％、1.0％、1.5％，并从浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c逐一向一个凹部5e喷出10ng的液滴数分别为a滴、b滴、c滴(合计14滴)时，如果设定液体数满足下式，即：

液状物的充填量＝10ng×a滴+10ng×b滴+10ng×c滴＝一定

则功能层形成材料的充填量可由下式进行表示，即：

功能层形成材料的量＝0.5％×10ng×a滴+1.0％×10ng×b滴+1.5％×10ng×c滴，

因此，能够将充填到凹部5e的液状物85的功能层形成材料浓度调整为规定的值。

另外，在从浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c喷出的液滴的量分别为d(ng)、e(ng)、f(ng)，液状物85a、85b、85c的各功能层形成材料浓度分别为0.5％、1.0％、1.5％，且从浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c分别向一个凹部5e喷出的液滴数为a滴、b滴、c滴(合计14滴)的情况下，如果设定液滴数满足下式，即：

液状物的充填量＝dng×a滴+eng×b滴+fng×c滴＝一定

则功能层形成材料的充填量可由下式进行表示，即：

功能层形成材料的量＝0.5％×dng×a滴+1.0％×eng×b滴+1.5％×fng×c滴，

因此，能够将充填到凹部5e的液状物85的功能层形成材料浓度调整为规定的值。

根据该构成，即便凹部5e的开口宽度具有不同程度的差异，仍能够向任何开口宽度的凹部5e中充填功能层形成材料浓度为最佳的液状物85。

(实施方式2)

本方式的基本构成与实施方式1相同，如图4、图6、图7和图8所示，在制造分辨率高的电光学装置100时、和制造分辨率低的电光学装置100时，都在充填工序中从液状物喷出装置300向由隔壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，在凹部5e内充填液状物85，之后在固定工序中从液状物85除去溶剂成分，形成有机功能层86。在进行该工序时，本方式也与实施方式1相同，如图6和图7所示，在凹部5e的开口宽度W1窄时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度高的液状物85而使弯液面鼓出。与之相对，当凹部5e的开口宽度W2宽时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度低的液状物85而使弯液面鼓出。因此，即使在与弯液面鼓出量相当的液状物85的量不与凹部5e的开口宽度呈比例关系的情况下，也能够消除有机功能层86的膜厚不同的问题。

为了实现该方法，本方式中与实施方式1相同，如图8所示，在液状物喷出装置300中，液状物供给部310具备分别供给三种功能层形成材料浓度不同的液状物85a、85b、85c的三个浓度不同液状物供给部311a、311b、311c。另外，对于喷出头330而言，作为喷嘴开口327，具备与浓度不同液状物供给部311a、311b、311c分别连接、喷出功能层形成材料浓度不同的液状物85a、85b、85c的三种浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c。

这里，从三种浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c中的任意一个对一个凹部5e喷出液状物85。即，通过液状物喷出装置300的控制部对驱动部的指令来控制喷出头330，使其根据凹部5e的开口宽度的大小，只从浓度不同喷嘴开口327a、327b、327c中的任意一个系列的喷嘴开口向凹部5e喷出液状物。因此，会在凹部5e中只充填三种液状物85a、85b、85c中最佳浓度的液状物85。由此，即便凹部5e的开口宽度不同，也可以避免因与弯液面鼓出量相当的液状物85的影响，导致有机功能层86的膜厚不同的情况发生。另外，在图8所示的例子中，由于构成了三个浓度不同液状物供给部311a、311b、311c，因此即使凹部5e的开口宽度三阶段变化，也可以对应。

(实施方式3)

图9是表示在本发明的实施方式3所涉及的电光学装置100的制造方法以及液状物喷出装置300中，用于如图7所示、使液状物的功能层形成材料浓度最佳化的构成的说明图。

本方式的基本构成与实施方式1相同，如图4、图6和图7所示，在制造分辨率高的电光学装置100时和制造分辨率低的电光学装置100时，都在充填工序中从液状物喷出装置300向由隔壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，在凹部5e内充填液状物85，之后在固定工序中从液状物85除去溶剂成分，形成有机功能层86。在进行该工序之际，本方式也与实施方式1相同，如图6和图7所示，当凹部5e的开口宽度W1较窄时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度较高的液状物85而使弯液面鼓出。与之相对，当凹部5e的开口宽度W2较宽时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度较低的液状物85而使弯液面鼓出。因此，即使在与弯液面鼓出量相当的液状物85的量不与凹部5e的开口宽度呈比例关系的情况下，也能够消除有机功能层86的膜厚不同的问题。

为了实现该方法，本方式中如图9所示，在液状物喷出装置300中，液状物供给部310具备分别供给三种功能层形成材料浓度不同的液状物85a、85b、85c的三个浓度不同液状物供给部311a、311b、311c。另外，喷出头330经由流路切换装置350与浓度不同液状物供给部311a、311b、311c连接。

这里，对一个凹部5e喷出三种液状物85a、85b、85c中的任意一个。即，通过液状物喷出装置300的控制部对流路切换装置350的指令，使流路切换装置350根据凹部5e的开口宽度的大小进行流路320的切换，来切换喷出头330与浓度不同液状物供给部311a、311b、311c的连接。因此，会在凹部5e中只充填三种液状物85a、85b、85c中最佳浓度的液状物85。由此，即便凹部5e的开口宽度不同，也可以避免因与弯液面鼓出量相当的液状物85的影响，导致有机功能层86的膜厚不同的情况发生。另外，在图9所示的例子中，由于构成了三个浓度不同液状物供给部311a、311b、311c，因此即使凹部5e的开口宽度三阶段变化，也可以对应。

(实施方式4)

图10是表示在本发明的实施方式4所涉及的电光学装置100的制造方法以及液状物喷出装置300中，用于如图7所示、使液状物的功能层形成材料浓度最佳化的构成的说明图。

本方式的基本构成与实施方式1相同，如图4、图6和图7所示，在制造分辨率高的电光学装置100时、和制造分辨率低的电光学装置100时，都在充填工序中从液状物喷出装置300向由隔壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，在凹部5e内充填液状物85，之后在固定工序中从液状物85除去溶剂成分，形成有机功能层86。在进行该工序之际，本方式也与实施方式1相同，如图6和图7所示，当凹部5e的开口宽度W1较窄时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度较高的液状物85而使弯液面鼓出。与之相对，当凹部5e的开口宽度W2较宽时，向凹部5e充填功能层形成材料浓度较低的液状物85而使弯液面鼓出。因此，即使在与弯液面鼓出量相当的液状物85的量不与凹部5e的开口宽度呈比例关系的情况下，也能够消除有机功能层86的膜厚不同的问题。

为了实现该方法，本方式中如图10所示，在液状物喷出装置300中，液状物供给部310具备分别储存用于调制液状物85的两种液状材料85e、85f的两个液状材料储存部311e、311f。另外，喷出头330经由混合装置360与液状材料储存部311e、311f连接。

在两种液状材料85e、85f中，液状材料85e是浓度比通常使用的功能层形成材料浓度高的液状材料，液状材料85f是溶剂。此外，也可以液状材料85e是浓度比通常使用的功能层形成材料浓度高的液状材料，而液状材料85f是浓度比通常使用的功能层形成材料浓度低的液状材料。这里，将两种液状材料85e、85f以规定比例混合、喷出到一个凹部5e中。此时，当凹部5e的开口宽度较窄时，仅喷出液状材料85e，当凹部5e的开口宽度较宽时，仅喷出低浓度的液状材料85f，而当凹部5e的开口宽度处于中间值时，则可使两种液状材料85e、85f以规定比例混合而进行喷出。任何一种情况都通过液状物喷出装置300的控制部对混合装置360的指令，使混合装置360根据凹部5e的开口宽度的大小切换液状材料85e、85f的混合比。因此，会向凹部5e中喷出与凹部5e的开口宽度的大小对应的浓度的液状物85。由此，即使凹部5e的开口宽度不同，也能够避免因与弯液面鼓出量相当的液状物85的影响，使得有机功能层86的膜厚不同的情况发生。

而且，根据该构成，即便凹部5e的开口宽度具有不同程度的差异，仍可向任意一个开口宽度的凹部5e中充填功能层形成材料浓度最佳的液状物85。

(其它实施方式)

在上述实施方式中，作为应用了本发明的电光学装置100对顶部发光型的有机EL装置进行了说明，但也可以将本发明应用于底部发光型的有机El装置中。

而且，在上述实施方式中，虽然对凹部5e的开口宽度因分辨率的不同而不同的例子进行了说明，但也可在凹部5e的开口宽度因其它事由而不同的情况下应用本发明。另外，在上述实施方式中，虽然是将开口宽度不同的凹部5e形成在不同基板上的示例，但也可以在开口宽度不同的凹部5e形成于同一基板上的情况下应用本发明。

并且，在上述实施方式中，由于以防止因弯液面引起的有机功能层86的膜厚变动为目的，所以，在凹部5e的开口宽度较宽时充填低浓度的液状物85，在凹部5e的开口宽度较窄时充填高浓度的液状物85，但也可以在因隔壁5b的侧面壁的形状的影响或凹部5e的构造的影响，需要消除向凹部5e充填功能层形成材料浓度相同的液状物85时产生的有机功能层86的膜厚变动时，在凹部5e的开口宽度较窄时充填低浓度的液状物85，在凹部5e的开口宽度较宽时充填高浓度的液状物85。

进而，在上述实施方式中，是在形成有机El元件80的有机功能层86之际应用本发明的例子，也可以在电光学装置100具备彩色滤光基板时，将本发明应用到该电光学装置100的彩色滤光基板(电光学装置用基板)或液晶装置100的彩色滤光基板(电光学装置用基板)的制造中。

(向电子设备的搭载例)

下面，对应用了上述实施方式所涉及的电光学装置100的电子设备进行说明。图11(a)表示具备电光学装置100的便携式个人计算机的构成。个人计算机2000具备：作为显示单元的电光学装置100和主体部2010。主体部2010上设置有电源开关2001及键盘2002。图11(b)表示具备电光学装置100的移动电话机的构成。移动电话机3000具备多个操作键3001和滚动键3002以及作为显示单元的电光学装置100。通过操作滚动键3002，可使显示在电光学装置100上的画面滚动。图11(c)表示应用了电光学装置100的信息便携终端(PDA：personalDigital Assistants)的构成。信息便携终端4000具备多个操作键4001和电源开关4002以及作为显示单元的电光学装置100。当操作电源开关4002时，可将通信簿、日程表之类的各种信息显示于电光学装置100上。

此外，作为可应用电光学装置100的电子设备，除了图11所示的之外，还可以列举出数字静态照相机、液晶电视、探视型或监控型的磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、计算器、文字处理机、工作站、可视电话、POS终端、具备触摸屏的设备等。而且，作为各种电子设备的显示部，可以应用上述的电光学装置100。另外，当电光学装置100为有机EL装置时，该有机EL装置还可以在复印机等中作为曝光头而使用。

Claims (13)

1.一种电光学装置的制造方法，具备向基板上形成的凹部内喷出溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将该液状物充填到所述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分，使所述功能层形成材料固定在所述凹部内的固定工序，其特征在于，

在所述充填工序中，作为液状物，充填功能层形成材料浓度根据所述凹部的开口宽度的大小而不同的液状物。

2.根据权利要求1所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，

在所述液状物充填工序中，将所述液状物充填到在所述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为所述液状物，与开口宽度相对宽的所述凹部相比，对开口宽度相对窄的所述凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物。

3.根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，

当根据开口宽度的大小使向所述凹部充填的所述液状物的功能层形成材料浓度不同时，

作为所述液状物，不仅向所述凹部内喷出功能层形成材料浓度不同的多种液状物，还根据所述开口宽度的大小使该多种液状物向所述凹部内的喷出量均衡度不同。

4.根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，

当根据开口宽度的大小使向所述凹部充填的所述液状物的功能层形成材料浓度不同时，

根据所述开口宽度的大小使向所述凹部内喷出的所述液状物的功能层形成材料浓度不同。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，

所述开口宽度不同的凹部，形成在不同的基板上。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，

所述功能层形成材料在所述基板上形成有机电致发光元件的有机功能层。

7.一种液状物喷出装置，具有供给在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物的液状物供给部；和经由流路与该液状物供给部连接，且具备向电光学装置用基板上形成的凹部内喷出所述液状物的喷嘴开口的喷出头；其特征在于，

所述喷出头根据所述凹部的开口宽度的大小，使向所述凹部内充填的所述液状物的功能层形成材料浓度不同。

8.根据权利要求7所述的液状物喷出装置，其特征在于，

对于所述喷出头而言，将所述液状物充填到在所述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为所述液状物，与开口宽度相对宽的所述凹部相比，对开口宽度相对窄的所述凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物。

9.根据权利要求7或8所述的液状物喷出装置，其特征在于，

所述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的多种所述液状物的浓度不同液状物供给部，

所述喷出头作为所述喷嘴开口而具备多个浓度不同喷嘴开口，该多个浓度不同喷嘴开口分别与所述多个浓度不同液状物供给部连接，向所述凹部喷出功能层形成材料浓度不同的所述液状物，

不仅从所述多个浓度不同喷嘴开口分别向所述凹部喷出所述多种类的所述液状物，还根据所述凹部的开口宽度的大小，控制从所述多个浓度不同喷嘴开口喷出所述液状物的喷出量均衡度。

10.根据权利要求7或8所述的液状物喷出装置，其特征在于，

所述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的多种所述液状物的浓度不同液状物供给部，

所述喷出头作为所述喷嘴开口而具备多个浓度不同喷嘴开口，该多个浓度不同喷嘴开口分别与所述多个浓度不同液状物供给部连接，喷出功能层形成材料的浓度不同的所述液状物，

不仅从所述多个浓度不同喷嘴开口中的任意一个向所述凹部喷出所述液状物，还根据凹部的开口宽度的大小，控制应该从所述多个浓度不同喷嘴开口中的哪一个浓度不同喷嘴开口喷出所述液状物。

11.根据权利要求7或8所述的液状物喷出装置，其特征在于，

所述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的多种所述液状物的浓度不同液状物供给部，

不仅从所述喷嘴开口向所述凹部喷出所述多个浓度不同液状物供给部中任意一个所存储的所述液状物，还根据凹部的开口宽度的大小，控制应该从所述喷嘴开口喷出存储于所述多个浓度不同液状物供给部中哪一个的液状物。

12.根据权利要求7或8所述的液状物喷出装置，其特征在于，

所述液状物供给部具备多个分别存储用于调制所述液状物的多种液状材料的液状材料储存部，

不仅混合所述多种液状材料而作为所述液状物向所述喷出头供给外，还根据所述凹部的开口宽度的大小，控制所述多种液状材料的混合比。

13.根据权利要求7～12中任意一项所述的液状物喷出装置，其特征在于，

开口宽度不同的所述凹部形成在不同的所述电光学装置用基板上。

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