JP2009147288A - 真空内溶接処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空内溶接処理装置1は、真空チャンバ100と、この真空チャンバ100内に配設され、ワークを載置してX方向に移動可能なキャリア400と、真空チャンバ100外に配設されるキャリア駆動手段と、真空チャンバ内に配設されてY方向に移動可能な溶接ヘッド300と、真空チャンバ400外に配設される溶接ヘッド駆動手段540と、溶接ヘッド300に配設されてZ方向に相対移動可能なZ方向可動部材と、Z方向可動部材に保持されてワークを溶接する溶接ローラと、Y方向と平行に真空チャンバ100内に配設される第1ローラ駆動軸600と、真空チャンバ100外に配設される第1ローラ駆動軸駆動手段620と、溶接ヘッド300に配設されて第1ローラ駆動軸600の動力をZ方向可動部材のZ方向移動動力に変換する第1変換手段360と、を備える。
【選択図】図1
Description
10・・・ワーク
100・・・真空チャンバ
200・・・処理手段
201・・・交換用処理手段
300・・・溶接ヘッド
310・・・Z方向可動部材
320・・・Y方向可動部材
340・・・保持手段
350・・・着脱切替部材
360・・・第1変換手段
370・・・第2変換手段
372・・・誘導溝
372A・・・Y方向誘導領域
372B・・・Y方向静止領域
380・・・第3変換手段
382・・・凸部
384・・・平滑部
400・・・キャリア
540・・・溶接ヘッド駆動手段
600・・・第1ローラ駆動軸
610・・・第2ローラ駆動軸
620・・・第1ローラ駆動軸駆動手段
630・・・第2ローラ駆動軸駆動手段
740・・・キャリア駆動手段
Claims (10)
- 自身の内部を真空雰囲気に保つ真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配設され、ワークを載置してX方向に移動可能なキャリアと、
前記真空チャンバ外に配設されて前記キャリアを移動させるキャリア駆動手段と、
前記真空チャンバ内に配設されて前記X方向とは直角なY方向に移動可能な溶接ヘッドと、
前記真空チャンバ外に配設されて前記溶接ヘッドを移動させる溶接ヘッド駆動手段と、
前記溶接ヘッドに配設されて前記X方向および前記Y方向と直角なZ方向に相対移動可能なZ方向可動部材と、
前記Z方向可動部材に保持されて前記ワークを溶接する溶接ローラと、
前記Y方向と平行に前記真空チャンバ内に配設される第1ローラ駆動軸と、
前記真空チャンバ外に配設されて前記第1ローラ駆動軸を駆動する第1ローラ駆動軸駆動手段と、
前記溶接ヘッドに配設されて前記第1ローラ駆動軸の動力を前記Z方向可動部材のZ方向移動動力に変換する第1変換手段と、
を備えることを特徴とする、真空内溶接処理装置。 - 前記Z方向可動部材を前記ワークに向けて付勢する付勢手段をさらに備え、
前記Z方向可動部材は、前記付勢手段の付勢力によって前記第1変換手段と接続されることを特徴とする、
請求項1に記載の真空内溶接処理装置。 - 前記Z方向可動部材は、前記ワークからの反発力を前記付勢手段によって吸収可能な自由度を持って前記第1変換手段に接続されていることを特徴とする、
請求項1または2に記載の真空内溶接処理装置。 - 前記第1変換手段は、前記第1ローラ駆動軸と共に回転するカムであることを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれかに記載の真空内溶接処理装置。 - 前記溶接ローラは、前記溶接ヘッド上において前記Z方向に加えて前記Y方向に相対移動可能とされ、さらに、
前記Y方向と平行に前記真空チャンバ内に配設される第2ローラ駆動軸と、
前記真空チャンバ外に配設されて前記第2ローラ駆動軸を駆動する第2ローラ駆動軸駆動手段と、
前記溶接ヘッドに配設されて前記第2ローラ駆動軸の動力を前記溶接ローラのY方向移動動力に変換する第2変換手段と、を備えることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれかに記載の真空内溶接処理装置。 - 前記溶接ヘッドに配設されて前記Y方向に相対移動可能なY方向可動部材をさらに備え、
前記溶接ローラは、前記Y方向可動部材に保持されていることを特徴とする、
請求項5に記載の真空内溶接処理装置。 - 前記溶接ローラは、前記溶接ヘッドに2つ配設され、
前記第2変換手段は、前記第2ローラ駆動軸の動力によって2つの前記溶接ローラ間の距離を変化させることを特徴とする、
請求項5または6に記載の真空内溶接処理装置。 - 2つの前記溶接ローラ間の距離を変更することで、前記溶接ローラの前記ワークと接触する部分を変更することを特徴とする、
請求項7に記載の真空内溶接処理装置。 - 前記第2変換手段は、前記第2ローラ駆動軸と共に回転するカムであることを特徴とする、
請求項5乃至8のいずれかに記載の真空内溶接処理装置。 - 前記ワークが前記X方向の一側から前記キャリアに載置され、溶接処理された後に前記X方向の他側から搬出されるように構成されることを特徴とする、
請求項1乃至9のいずれかに記載の真空内溶接処理装置。
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