JP2009145754A - 焦点調節装置および顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 標本のパターン形状にかかわらずに高い合焦精度を確保できる焦点検出装置を提供する。
【解決手段】 焦点調節装置は、標本に対してパターン光を投影する投影部と、結像光学系と、焦点検出部と、駆動部と、演算部と、制御部とを備える。焦点検出部は、標本からの反射光から結像光学系によって形成される像のコントラスト量に基づいて、対物レンズの焦点位置と標本との光軸方向のズレを示すデフォーカス信号を生成する。駆動部は、デフォーカス信号に基づいて対物レンズと標本との間隔を調整する。演算部は、対物レンズの移動量に対するデフォーカス信号の出力の変化の割合を求める。制御部は、対物レンズの焦点深度と変化の割合とを用いて、標本の観察時に合焦範囲となるデフォーカス信号の出力値を決定する。
【選択図】 図1
【解決手段】 焦点調節装置は、標本に対してパターン光を投影する投影部と、結像光学系と、焦点検出部と、駆動部と、演算部と、制御部とを備える。焦点検出部は、標本からの反射光から結像光学系によって形成される像のコントラスト量に基づいて、対物レンズの焦点位置と標本との光軸方向のズレを示すデフォーカス信号を生成する。駆動部は、デフォーカス信号に基づいて対物レンズと標本との間隔を調整する。演算部は、対物レンズの移動量に対するデフォーカス信号の出力の変化の割合を求める。制御部は、対物レンズの焦点深度と変化の割合とを用いて、標本の観察時に合焦範囲となるデフォーカス信号の出力値を決定する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微鏡装置などに適用される焦点調節装置に関する。
顕微鏡装置などに適用されるレンズの焦点検出方式の一つとして、コントラスト検出方式が公知である(特許文献1参照)。このコントラスト検出方式は、焦点調節が可能な範囲(引き込み範囲)が狭いが、例えばスリット投影方式の焦点調節と比べて高精度な合焦動作が可能であるという特徴を有している。
特許第3423091号公報
しかし、コントラスト検出方式の焦点調節では、標本上にあるパターン形状が存在する場合、フォーカス信号にパターン形状の成分が重畳し、合焦範囲の判定に影響を与える場合がある点でなお改善の余地があった。
本発明は上記従来技術の課題を解決するためのものである。本発明の目的は、標本のパターン形状にかかわらずに高い合焦精度を確保できる焦点検出装置を提供することにある。
一の形態の焦点調節装置は、標本に対してパターン光を投影する投影部と、結像光学系と、焦点検出部と、駆動部と、演算部と、制御部とを備える。焦点検出部は、標本からの反射光から結像光学系によって形成される像のコントラスト量に基づいて、対物レンズの焦点位置と標本との光軸方向のズレを示すデフォーカス信号を生成する。駆動部は、デフォーカス信号に基づいて対物レンズと標本との間隔を調整する。演算部は、対物レンズの移動量に対するデフォーカス信号の出力の変化の割合を求める。制御部は、対物レンズの焦点深度と変化の割合とを用いて、標本の観察時に合焦範囲となるデフォーカス信号の出力値を決定する。
上記の一の形態において、焦点検出部は、初期状態での合焦範囲内の第1焦点位置と、第1焦点位置と異なる第2焦点位置とでデフォーカス信号をそれぞれ取得してもよい。そして、制御部は、第1焦点位置および第2焦点位置でのデフォーカス信号を用いて求めた変化の割合に応じて合焦範囲を初期状態から変更するとともに、該変更後の合焦範囲に基づいて合焦動作を実行してもよい。
上記の一の形態において、合焦範囲の調整指示を受け付ける入力部を焦点調節装置がさらに備えてもよい。また、焦点検出部は、調整指示に応じて、各々の対物レンズの焦点位置を相違させてデフォーカス信号を複数回取得するサンプリング動作を実行してもよい。そして、演算部は、サンプリング動作で取得した各々のデフォーカス信号の出力値と焦点位置との対応関係から変化の割合を求めてもよい。
上記の一の形態において、駆動部は、間隔を調整するときの合焦速度を、変化の割合に応じて変化させてもよい。
ここで、対物レンズが捉えた像を観察するための顕微鏡光学系と、上記の一の形態に係る焦点調節装置とを備える顕微鏡装置も本発明の技術的範囲に含まれる。なお、上記の焦点調節装置の構成を、焦点調節方法の形式に変換して表現したものや、上記の焦点調節方法を焦点調節装置に後付けで実行させるためのファームウェアプログラムおよびそのプログラム記憶媒体も本発明の具体的態様として有効である。
本発明の焦点調節装置では、対物レンズの駆動量に対するデフォーカス信号の出力の変化の割合と対物レンズの焦点深度とを用いて合焦範囲を決定し、標本のパターン形状にかかわらずに高い合焦精度を確保できる。
<本実施形態の焦点検出装置の構成>
図1は、本実施形態におけるコントラスト検出方式の焦点検出装置の構成例を示している。図2は、図1の焦点検出装置が組み込まれる顕微鏡装置の構成例を示している。なお、本実施形態では、例えば、液晶方式やプラズマ方式等のフラット表示デバイスに用いるガラス基板や、ウェハなどを主な観察対象とする工業用の顕微鏡装置の例を説明する。
図1は、本実施形態におけるコントラスト検出方式の焦点検出装置の構成例を示している。図2は、図1の焦点検出装置が組み込まれる顕微鏡装置の構成例を示している。なお、本実施形態では、例えば、液晶方式やプラズマ方式等のフラット表示デバイスに用いるガラス基板や、ウェハなどを主な観察対象とする工業用の顕微鏡装置の例を説明する。
まず、図2を参照しつつ顕微鏡装置の概要を説明する。簡単のため、図2では、図1に示す焦点調節装置の大部分(図1におけるダイクロイックミラー4の先)の図示を省略している。図2の顕微鏡装置は、観察用の可視光を射出する光源31と、光源31の像を第1対物レンズ3の瞳へ投影する照明光学系32と、照明光学系32からの可視光を第1対物レンズ3へ導くハーフミラー33と、第1対物レンズ3が捉えた標本2からの可視光(観察光)を結像する観察光学系34と、観察光学系34が形成する可視像を撮像する撮像素子35とを備えている。
次に、図1に戻って、本実施形態の焦点検出装置の光学系の構成を説明する。この焦点検出装置は、標本2へ投光したパターン光に基づいて合焦動作を行うアクティブ方式を採用する。
図1に示すLED7は、コントラスト検出方式用の赤外光を発する(以下、この赤外光を「AF光」と称する)。LED7から発せられたAF光は、スリット板8、コレクタレンズ9、ハーフミラー10、色収差補正レンズ6、ダイクロイックミラー4および第1対物レンズ3を経て、ステージ1上に載置された標本2を照射する。ここで、上述したスリット板8の中央には、図1(a)で示した18本のスリット開口が形成されている。よって、AF光は、標本2の標本面2aの近傍にストライプ状の赤外像(以下、この赤外像を「ストライプ像」と称する)を形成する。
そして、標本2からの反射光は、第1対物レンズ3、ダイクロイックミラー4、色収差補正レンズ6、ハーフミラー10、第2対物レンズ17および3分割プリズム18を経て、3つの光路La,Lb,Lcにそれぞれ分岐される。そして、3分割プリズム18で分岐された光路La,Lb,Lcは、ラインセンサ22の互いに異なる領域22a,22b,22cへ個別に入射し、第1対物レンズ3から第2対物レンズ17までの結像光学系による作用により、領域22a,22b,22cにそれぞれストライプ像を結像させる。なお、ラインセンサ22のライン方向は、ストライプ像のピッチ方向と互いに交差するように設定されている。
但し、光路La,Lb,Lcはそれぞれ標本2からラインセンサ22までの光学的な距離が異なるので、光路La,Lb,Lcによるストライプ像の結像位置は、それぞれ光軸方向にずれることとなる。例えば、図1に示すように、光路Lb中のストライプ像がラインセンサ22上に存在するときには、光路Laによるストライプ像はラインセンサ22の後側に形成され、光路Lcによるストライプ像はラインセンサ22の前側に形成される。したがって、ラインセンサ22の領域22aに形成されるストライプ像と、領域22bに形成されるストライプ像と、領域22cに形成されるストライプ像との間では、ボケの程度(つまりコントラスト)が互いに相違する。
また、これらのストライプ像のコントラストの大小関係は、第1対物レンズ3のデフォーカス量に応じて変化する。よって、領域22a,22b,22cの各々に形成されるストライプ像のコントラストの大小関係(好ましくは領域22a,22cに形成されるストライプ像のコントラストの大小関係)から、コントラスト検出方式のデフォーカス信号を生成できる。
なお、スリット板8に形成されるスリット開口の本数、つまりストライプ像のストライプ本数は、標本2のパターンに応じて変えることができる。また、3分割プリズム18の半透過面19の反射率、半透過面20の反射率、反射面21の反射率の組み合わせは、3つの光路La,Lb,Lcを伝搬する光量が略等しくなるように予め最適化されている。また、第2対物レンズ17とラインセンサ22との位置関係は、第1対物レンズ3のデフォーカス量がゼロであるときに、光路Lbで形成されるストライプ像がラインセンサ22上に形成されるよう予め調整されている。
次に、図1における焦点検出装置の回路構成を説明する。焦点検出装置は、上述のLED7およびラインセンサ22と、信号処理部23と、CPU24と、上下動駆動部25と、メモリ26と、入力部27とを有している。ラインセンサ22の出力は信号処理部23と接続されている。また、LED7、信号処理部23、駆動部25、メモリ26および入力部27は、それぞれCPU24に接続されている。なお、入力部27は、ユーザーからの各種入力を受け付ける。
信号処理部23は、内部にバンドパスフィルタを備え、ラインセンサ22の各領域(22a,22b,22c)における出力信号から直流成分または所定値以下の空間周波数成分を除去し、各領域のコントラスト信号を取得する。なお、本明細書では、投光したパターン光の標本による反射光の像のうち、所定値以上の空間周波数成分からなる像信号をコントラスト信号という。
そして、信号処理部23は、全領域のコントラスト信号をピークホールドして得られるピーク電圧信号V110と、領域22aのコントラスト信号の積分信号Vaと、領域22bのコントラスト信号の積分信号Vbと、領域22cのコントラスト信号の積分信号VcをCPU24へ出力する。
CPU24は、焦点検出装置の各部を統括的に制御するプロセッサである。例えば、CPU24は、信号処理部23から得た信号に基づいてデフォーカス信号を生成し、そのデフォーカス信号に応じて上下動駆動部25を動作させる。また、CPU24は、LED7の光量の制御や、ラインセンサ22の電荷蓄積時間(走査時間)の制御を行う。
さらに、CPU24は、第1対物レンズ3の移動量に対するデフォーカス信号の出力の変化の割合を求める。そして、CPU24は、第1対物レンズ3の焦点深度と上記の変化の割合とを用いて、デフォーカス信号の合焦範囲の閾値を決定する(この点については後述する)。
上下動駆動部25は、CPU24から指定された駆動方向、駆動量および駆動速度に基づいて第1対物レンズ3を光軸方向へ駆動させる。この上下動駆動部25の動作によって、第1対物レンズ3の焦点調節が行われる。また、上下動駆動部25はエンコーダ(不図示)を内蔵し、第1対物レンズ3の焦点位置を示す位置信号をCPU24に対して出力する。なお、上下動駆動部25は第1対物レンズ3の代わりにステージ1を駆動させてもよいが、本実施形態では上下動駆動部25が第1対物レンズ3を駆動させる前提で説明を行う。
メモリ26は、標本2の観察時において、第1対物レンズ3の焦点位置とデフォーカス信号の出力値との対応関係を示すAFデータを記録する。また、メモリ26には、第1対物レンズ3の焦点深度のデータが予め記憶されている。
<本実施形態における焦点検出の説明>
まず、図3〜図5を参照しつつ、CPU24の信号生成動作を説明する。図3〜図5の各図は、第1対物レンズ3のデフォーカス量と、ラインセンサ22における領域22a,22b,22cの信号との関係を示している。また、図3〜図5の各図において、(a)はデフォーカス量、(b)は光路La,Lb,Lcの振る舞い、(c)は、領域22a,22b,22cの各位置(横軸)に対するコントラスト信号の強度(縦軸)、(d)はそれらコントラスト信号の積分値を示している。なお、各図の(c),(d)において、横軸はラインセンサ上の位置(左側が原点)であり、縦軸が積分値である。
まず、図3〜図5を参照しつつ、CPU24の信号生成動作を説明する。図3〜図5の各図は、第1対物レンズ3のデフォーカス量と、ラインセンサ22における領域22a,22b,22cの信号との関係を示している。また、図3〜図5の各図において、(a)はデフォーカス量、(b)は光路La,Lb,Lcの振る舞い、(c)は、領域22a,22b,22cの各位置(横軸)に対するコントラスト信号の強度(縦軸)、(d)はそれらコントラスト信号の積分値を示している。なお、各図の(c),(d)において、横軸はラインセンサ上の位置(左側が原点)であり、縦軸が積分値である。
CPU24は、信号処理部23から与えられる積分信号Vaと積分信号Vcとの差分信号(Va−Vc)を生成する。そして、CPU24は、さらに差分信号(Va−Vc)を正規化し、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)を生成する。なお、信号処理部23から与えられるピーク電圧信号V110や積分信号Va,Vcは、コントラスト検出方式のデフォーカス信号の生成状態を評価するための評価値として使用される。
図3(a)に示すように、第1対物レンズ3の焦点位置が標本面2aより奥側(後ピン位置)にあるとき、図3(c)に示すように、領域22cのコントラスト信号にピークが出現する。このとき、図3(d)に示すように、積分信号Va,Vcの大小関係はVa<Vcとなるので、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)は負となる。
図4(a)に示すように、第1対物レンズ3の焦点位置が標本面2a(合焦位置)にあるとき、図4(c)に示すように、領域22bのコントラスト信号にピークが出現する。このとき、図4(d)に示すように、積分信号Va,Vcの大小関係はVa=Vcとなるので、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)はほぼゼロとなる。
図5(a)に示すように、第1対物レンズ3の焦点位置が標本面2aより前側(前ピン位置)にあるとき、図5(c)に示すように、領域22aのコントラスト信号にピーク信号が出現する。このとき、図5(d)に示すように、積分信号Va,Vcの大小関係はVa>Vcとなるので、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)は正となる。
したがって、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)によって焦点調節を行う場合、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)の極性が負であるときには第1対物レンズ3の駆動方向を上方向(標本2から離れる方向)とし、デフォーカス信号(Va−Vc)/(Va+Vc)の極性が正であるときには第1対物レンズ3の駆動方向を下方向(標本2に近づく方向)とすればよい。
次に、図6を参照しつつ、標本2のパターン形状(回路パターンなど)がコントラスト信号に与える影響について説明する。
図6(a)は、パターン形状のない標本2を観察したときの合焦位置のずれに対するコントラスト信号の積分値の軌跡を示している。図6(a)の横軸はデフォーカス量と方向とを示し、縦軸は信号強度を示している。パターン形状のない標本2のストライプ像を観察した場合には、前ピンコントラスト信号の積分値の変化の軌跡(30)と、後ピンコントラスト信号の積分値の変化の軌跡(31)とがそれぞれデフォーカス方向にずれて略同じ形状に形成されることとなる。
一方、図6(b)は、パターン形状を有する標本2を観察したときのコントラスト信号の積分値の変化の軌跡(32,33)を示している。図6(b)の横軸はデフォーカス方向を示し、縦軸は信号強度を示している。なお、図6(b)で観察される標本面2aには、スリット板8のパターン形状に類似したストライプ状のパターン(以下、「標本パターン」と称する)が形成されているものとする。
図6(b)の場合には、AF光によるストライプ像と、標本パターンの像との空間周波数が近似する。そのため、信号処理部23でのバンドパスフィルタ処理後もコントラスト信号に標本パターンの成分が残ってしまい、コントラスト信号の積分値の変化の軌跡は図6(a)と相違することとなる。以下、図6(c)を参照しつつ、図6(b)のコントラスト信号が生成される原理を具体的に説明する。
スリット板8によって標本面2aに形成されたストライプ像の反射光と、標本パターンの反射光とはいずれもラインセンサ22に入射する。そして、信号処理部23は、ラインセンサ22の出力に信号処理を施してコントラスト信号を取得する。
図6(c)の符号30はストライプ像に対応する前ピンコントラスト信号の積分値の軌跡を示している。図6(c)の符号31はストライプ像に対応する後ピンコントラスト信号の積分値の軌跡を示している。また、図6(c)の符号34は標本パターンの像に対応する前ピンコントラスト信号の積分値の軌跡を示している。図6(c)の符号35は標本パターンの像に対応する後ピンコントラスト信号の積分値の軌跡を示している。実際には、ストライプ像のコントラスト信号と標本パターンの像によるコントラスト信号とが合成されるため、前ピン側の合成された積分値の軌跡は符号32のようになり、後ピン側の合成された積分値の軌跡は符号33のようになる(図6(b)参照)。
なお、図6(c)でストライプ像の場合と標本パターンの像の場合とでコントラスト信号が異なるのは、第1対物レンズ3を光束が通過する回数が異なることによる。すなわち、ストライプ像は、標本2へ入射するまでに第1対物レンズ3を1回通過し、標本面2aで反射されてラインセンサ22へ入射するまでに第1対物レンズ3を1回通過する光線で形成される。一方、標本パターンの像は標本2上で生成され、ラインセンサ22へ入射するまでに第1対物レンズ3を1回のみ通過する。よって、ストライプ像は、標本パターンの像の光束よりも第1対物レンズ3で2倍の屈折を受けた光線で形成される。このことから、ストライプ像のコントラスト信号は、第1対物レンズ3により受ける屈折の影響が大きくなり、デフォーカス方向において標本パターンのコントラスト信号の1/2の範囲で現れることとなる。
図7は、標本パターンのない標本2のデフォーカス信号(36)と、標本パターンをもつ標本2のデフォーカス信号(37)との軌跡を示している。図7の横軸はデフォーカス方向を示し、図7の縦軸はデフォーカス信号の出力値を示している。なお、図7に示すデフォーカス信号36,37は、上記のように(Va−Vc)/(Va+Vc)から導出される。
図7において、合焦位置38を交差する領域でのデフォーカス信号の軌跡の傾き(レンズの焦点位置に対するデフォーカス信号の出力値の変化量)は、標本パターンのない標本2の場合(36)に比べて、標本パターンをもつ標本2の場合(37)の方がより緩やかである。
すなわち、標本パターンのない標本2を観察する場合と、標本パターンをもつ標本2を観察する場合とでは、デフォーカス信号の出力値が同じときにレンズの焦点位置が相違することが図7から分かる。そのため、より早く精度の高い合焦動作を行うためには、標本パターンに応じて合焦範囲を調整する必要が生じる。
そこで、本実施形態の焦点検出装置では、合焦動作時に取得したデフォーカス信号と焦点位置との関係に応じて、デフォーカス信号の合焦範囲の閾値を調整する。本実施形態の焦点検出装置では、合焦範囲の閾値を自動調整する第1モードと、ユーザーの指示をトリガとして合焦範囲の閾値を調整する第2モードとを有している。以下、本実施形態の焦点検出装置の動作例を、第1モードと第2モードとに分けてそれぞれ説明する。
<第1モードでの動作説明>
図8は、焦点検出装置の第1モードでの動作例を示す流れ図である。また、図9は、第1モードでの合焦範囲の求め方を説明する図である。
図8は、焦点検出装置の第1モードでの動作例を示す流れ図である。また、図9は、第1モードでの合焦範囲の求め方を説明する図である。
ここで、デフォーカス信号の合焦範囲の閾値は、第1対物レンズ3の焦点位置が焦点深度(60)の端にあるときのデフォーカス信号の出力値である。なお、第1モードの初期状態では、標本パターンのない標本2から取得したデフォーカス信号(40)に基づいて、合焦範囲の閾値Th1が予め設定されるものとする(図9参照)。
ステップS101:CPU24は、LED7を点灯してストライプ状のパターン光を標本2に投光するとともに、ラインセンサ22および信号処理部23を駆動させてストライプ像のコントラスト信号を取得する。
ステップS102:CPU24は、信号処理部23から得た積分信号Va,Vcによりデフォーカス信号(Va−Vc)/(Va +Vc)を生成する。
ステップS103:CPU24は、S102でのデフォーカス信号の出力値と第1対物レンズ3の焦点位置との対応関係を示すAFデータをメモリ26に記録する。なお、AFデータは、後述の焦点調節によって第1対物レンズ3が移動するたびに逐次メモリ26へ記録されることとなる。
ステップS104:CPU24は、S102でのデフォーカス信号の出力値が、合焦範囲の閾値(初期状態ではTh1)の範囲内にあるか否かを判定する。上記要件を満たす場合(YES側)にはS106に移行する。一方、上記要件を満たさない場合(NO側)にはS105に移行する。
ステップS105:CPU24は、S102で取得したデフォーカス信号に基づいて、上下動駆動部25を制御して第1対物レンズ3の焦点調節を行う。その後、CPU24はS101に戻って上記動作を繰り返す。
具体的には、S105でのCPU24は、デフォーカス信号の極性が負であるときには第1対物レンズ3の駆動方向を上方向に設定し、デフォーカス信号の極性が正であるときには第1対物レンズ3の駆動方向を下方向に設定する。また、CPU24は、デフォーカス信号の絶対値に応じて第1対物レンズ3の駆動速度を調整する。このとき、CPU24は、デフォーカス信号の絶対値が小さくなるほど第1対物レンズ3の駆動速度を小さく設定し、AFのハンチングを抑制する。
ステップS106:CPU24は、第1対物レンズ3の移動による焦点調節が行われたか否かを判定する。上記要件を満たす場合(YES側)にはS107に移行する。一方、上記要件を満たさない場合(NO側)にはS110に移行する。
ステップS107:CPU24は、AFデータ(S103で生成されたもの)をメモリ26から読み出す。そして、CPU24は、少なくとも2以上のAFデータを用いて、第1対物レンズ3の移動量に対するデフォーカス信号の出力値の変化の割合を求める。このS107で求める変化の割合は、図9に示すデフォーカス信号の軌跡の傾きに相当する。なお、同じ焦点位置で取得したAFデータが多数ある場合には、CPU24はAFデータの値を平均化してから変化の割合を求めても良い。
ステップS108:CPU24は、S107で求めた変化の割合が、現在の合焦範囲の閾値を求めたときのものと異なるか否かを判定する。上記要件を満たす場合(YES側)にはS109に移行する。一方、上記要件を満たさない場合(NO側)にはS110に移行する。
一例として、図9を参照しつつ、合焦範囲の閾値が初期状態のTh1であって、標本パターンの有無が異なる標本2を観察した場合を考える。標本パターンをもつ標本2の場合、デフォーカス信号の軌跡は図9の符号41のものとなる。一方、初期状態の閾値Th1は、標本パターンのない標本2から取得したデフォーカス信号(図9の符号40)に基づいて決定されている。したがって、上記の状況では、閾値Th1を求めたときのデフォーカス信号の軌跡の傾きとS107で求めた変化の割合とが相違するので、S108でのCPU24はYES側の判定を行うこととなる。
なお、現在観察中の標本2に標本パターンがない場合には、閾値Th1を求めたときのデフォーカス信号の軌跡の傾きとS107で求めた変化の割合とが一致するので、S108でのCPU24はNO側の判定を行うこととなる。
ステップS109:CPU24は、S107で求めた変化の割合(デフォーカス信号の軌跡の傾き)を用いて、現在観察中の標本2に対応する合焦範囲の閾値を決定する。具体的には、CPU24は、S107で求めた変化の割合(デフォーカス信号の軌跡の傾き)から、第1対物レンズ3の焦点位置が焦点深度の端にあるときの値を閾値として求める。その後、CPU24は、デフォーカス信号の合焦範囲の閾値をS109で求めた値に更新してS101に戻る。
このとき、CPU24は、上下動駆動部25による合焦速度を、S107で求めた変化の割合に応じて調整してもよい。一例として、CPU24は、焦点位置の差に対してデフォーカス信号の値の変化が小さくなるほど(つまり、図9に示す軌跡の傾きが緩いほど)合焦速度を速く設定する。
ステップS110:CPU24は、前回の合焦動作から所定時間が経過したか否かを判定する。上記要件を満たす場合(YES側)には、CPU24はS101に戻って上記動作を繰り返す。なお、所定時間毎に取得されるデフォーカス信号によって、第1対物レンズ3の焦点位置が合焦範囲から外れたか否かをCPU24が判定することとなる。そして、第1対物レンズ3の焦点位置が合焦範囲から外れた場合には、再び合焦動作が行なわれることとなる。
一方、上記要件を満たさない場合(NO側)には、CPU24は所定時間の経過まで待機する。以上で、図8の流れ図の説明を終了する。
ここで、図9を参照しつつ、標本パターンのない標本2から標本パターンをもつ標本2に観察対象を切り替えた場合の動作を具体的に説明する。この場合において、合焦範囲の閾値は当初はTh1となっている。
標本2の変更に伴って第1対物レンズ3の焦点位置がP1にずれると、次回にCPU24が取得するデフォーカス信号の値がD1となる。D1の絶対値は閾値Th1の絶対値よりも大きいため、CPU24は第1対物レンズ3の焦点調節を行うこととなる。
ここで、第1対物レンズ3の焦点位置がP2に移動した場合、CPU24が取得するデフォーカス信号の値はD2となる。D2の絶対値は閾値Th1の絶対値よりも小さいため、CPU24は第1対物レンズ3の焦点位置が合焦範囲内にあると判定し、合焦動作を一旦停止する。
このとき、CPU24は、AFデータ(焦点位置P1でのデフォーカス信号の値D1,焦点位置P2でのデフォーカス信号の値D2)をメモリ26から読み出す。そして、CPU24は、第1対物レンズ3の移動量に対するデフォーカス信号の出力値の変化の割合(D1−D2)/(P1−P2)を求める。上記のケースにおいて、閾値Th1は図9に示すデフォーカス信号40から求めたものである。その一方で、変化の割合(D1−D2)/(P1−P2)の傾きは、図9に示すデフォーカス信号41のものとほぼ一致する。
そのため、CPU24は、変化の割合(D1−D2)/(P1−P2)に基づいて、第1対物レンズ3の焦点位置が焦点深度(60)の端にあるときのデフォーカス信号の出力値(閾値Th2)を求める。
その後、CPU24は、デフォーカス信号の出力値が新たな閾値Th2の範囲に収まるように合焦動作を行うこととなる。これにより、標本パターンの状態が異なる標本2を前後して観察するとき(ステージ1の移動や標本2の入れ替えがあった場合など)に、いずれの場合でも精度良く合焦動作を行うことが可能となる。
<第2モードでの動作説明>
図10は、焦点検出装置の第2モードでの動作例を示す流れ図である。また、図11は、第2モードでの合焦範囲の求め方を説明する図である。この第2モードでは、例えば、同じ標本2内で視野をスライドさせた場合や標本2を交換した場合などに、ユーザーからの合焦範囲の調整指示をトリガとしてCPU24が合焦範囲の閾値を調整する。
図10は、焦点検出装置の第2モードでの動作例を示す流れ図である。また、図11は、第2モードでの合焦範囲の求め方を説明する図である。この第2モードでは、例えば、同じ標本2内で視野をスライドさせた場合や標本2を交換した場合などに、ユーザーからの合焦範囲の調整指示をトリガとしてCPU24が合焦範囲の閾値を調整する。
ステップS201:CPU24は、合焦範囲の調整指示を受け付けると、第1対物レンズ3の焦点位置をずらしながら、デフォーカス信号を複数回取得するサンプリング動作を実行する。このとき、CPU24は、第1対物レンズ3の焦点位置とデフォーカス信号の出力値との対応関係を示すAFデータをそれぞれメモリ26に記録しておく。
ステップS202:CPU24は、サンプリング動作(S201)で取得した複数のAFデータ(図11でプロットされている点)を用いて、第1対物レンズ3の移動量に対するデフォーカス信号の出力値の変化の割合を求める。
ステップS203:CPU24は、S202で求めた変化の割合(デフォーカス信号の軌跡の傾き)を用いて、現在観察中の標本2に対応する合焦範囲の閾値を決定する。具体的には、CPU24は、S202で求めた変化の割合(デフォーカス信号の軌跡の傾き)から、第1対物レンズ3の焦点位置が焦点深度の端にあるときの値を閾値Th2として求める(図11参照)。その後、CPU24は、初期状態における合焦範囲の閾値Th1をS203で求めた値(Th2)に更新し、図10の一連の処理を終了する。
このとき、CPU24は、上下動駆動部25による合焦速度を、S202で求めた変化の割合に応じて調整してもよい。一例として、CPU24は、焦点位置の差に対してデフォーカス信号の値の変化が小さくなるほど(つまり、図11に示す軌跡の傾きが緩いほど)合焦速度を速く設定する。
この第2モードでは、ステージ1の移動や標本2の入れ替えがあった場合において、ユーザーの操作に応じて、焦点検出装置の合焦範囲を標本2に合わせて迅速に調整できる。
<実施形態の補足事項>
(1)上記実施形態の焦点調節装置において、標本2へ投影するパターンの形状は点状など他の形状に代えてもよい。
(1)上記実施形態の焦点調節装置において、標本2へ投影するパターンの形状は点状など他の形状に代えてもよい。
(2)上記実施形態では、CPU24がハードウェア的に焦点検出動作を行う例を説明した。しかし、メモリ26などに記憶されたファームウエアプログラムをCPU24が実行することで、上記実施形態での焦点検出動作をソフトウエア的に実行するものでもよい。つまり、既存の焦点検出装置のファームウエアプログラムを更新することで、本実施形態の焦点検出装置の動作を実現するようにしてもよい。
なお、本発明は、その精神またはその主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。そのため、上述した実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明は、特許請求の範囲によって示されるものであって、本発明は明細書本文にはなんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内である。
1…ステージ,2…標本,3…第1対物レンズ,4…ダイクロイックミラー,7…LED,8…スリット板,9…コレクタレンズ,10…ハーフミラー,18…3分割プリズム,22…ラインセンサ,23…信号処理部,24…CPU,25…上下動駆動部,26…メモリ,27…入力部,34…観察光学系
Claims (5)
- 標本に対してパターン光を投影する投影部と、
前記標本からの反射光を基に前記パターン光による像を形成する結像光学系と、
前記結像光学系によって異なる位置に形成される像のコントラスト量に基づいて、前記結像光学系による合焦位置と前記標本との光軸方向のズレを示すデフォーカス信号を生成する焦点検出部と、
前記デフォーカス信号に基づいて前記対物レンズと前記標本との間隔を調整する駆動部と、
前記結像光学系を構成する対物レンズの移動量に対する前記デフォーカス信号の出力の変化量を求める演算部と、
前記結像光学系の焦点深度と前記変化の割合とに基づいて、前記標本の観察時に合焦範囲となる前記デフォーカス信号の出力値の範囲を決定する制御部と、
を備えることを特徴とする焦点調節装置。 - 請求項1に記載の焦点調節装置において、
前記焦点検出部は、初期状態での合焦範囲内の第1焦点位置と、前記第1焦点位置と異なる第2焦点位置とで前記デフォーカス信号をそれぞれ取得し、
前記制御部は、前記第1焦点位置および前記第2焦点位置での前記デフォーカス信号を用いて求めた前記変化の割合に応じて前記合焦範囲を前記初期状態から変更するとともに、該変更後の合焦範囲に基づいて合焦動作を実行することを特徴とする焦点調節装置。 - 請求項1に記載の焦点調節装置において、
合焦範囲の調整指示を受け付ける入力部をさらに備え、
前記焦点検出部は、前記調整指示に応じて、各々の前記対物レンズの焦点位置を相違させて前記デフォーカス信号を複数回取得するサンプリング動作を実行し、
前記演算部は、前記サンプリング動作で取得した各々の前記デフォーカス信号の出力値と前記焦点位置との対応関係から前記変化の割合を求めることを特徴とする焦点調節装置。 - 請求項1に記載の焦点調節装置において、
前記駆動部は、前記間隔を調整するときの合焦速度を、前記変化の割合に応じて変化させることを特徴とする焦点調節装置。 - 対物レンズが捉えた像を観察するための顕微鏡光学系と、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の焦点調節装置と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。
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- 2007-12-17 JP JP2007324841A patent/JP2009145754A/ja not_active Withdrawn
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