JP2009145129A - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面検査装置1は、ステージ20を用いて設定した複数の設定角度において、照明系30が繰り返しパターンを有するウェハ10の表面に直線偏光を照射するとともに、受光系40がウェハ10からの正反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出し、複数の設定角度毎に検出した偏光成分に基づいて画像処理部50がウェハ10の繰り返しパターンにおける欠陥の種類を特定するようになっている。
【選択図】図1
Description
10 ウェハ(被検基板) 12 繰り返しパターン
20 ステージ(角度設定部) 30 照明系(照明部)
40 受光系(検出部) 50 画像処理部(検査部)
L 直線偏光
Claims (6)
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に直線偏光を照射する照明部と、
前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの正反射光のうち前記直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、
前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部と、
前記繰り返しパターンの繰り返し方向と前記被検基板の表面における前記直線偏光の振動方向とのなす角度を所定の設定角度に設定可能な角度設定部とを備え、
前記角度設定部により設定された複数の前記設定角度において、前記照明部が前記被検基板の表面に前記直線偏光を照射するとともに、前記検出部が前記正反射光のうち前記直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出し、前記検出部により前記複数の前記設定角度毎に検出した前記偏光成分に基づいて前記検査部が前記欠陥の種類を特定することを特徴とする表面検査装置。 - 前記検査部は、前記検出部により検出した前記偏光成分の光量変化率を前記複数の前記設定角度毎に算出し、前記複数の前記設定角度毎に算出した前記光量変化率に基づいて前記欠陥の種類を特定することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記欠陥の種類は、前記繰り返しパターンの少なくとも一部が前記被検基板の表面内で一方に傾斜する傾斜依存性を有する欠陥であることを特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の表面検査装置。
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に直線偏光を照射する照明工程と、
前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの正反射光のうち前記直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査工程と、
前記繰り返しパターンの繰り返し方向と前記被検基板の表面における前記直線偏光の振動方向とのなす角度を所定の設定角度に設定する角度設定工程と、
前記角度設定工程により設定された複数の前記設定角度において、前記被検基板の表面に前記直線偏光を照射するとともに、前記正反射光のうち前記直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出し、前記複数の前記設定角度毎に検出した前記偏光成分に基づいて前記欠陥の種類を特定する特定工程とを有することを特徴とする表面検査方法。 - 前記特定工程では、前記検出工程により検出した前記偏光成分の光量変化率を前記複数の前記設定角度毎に算出し、前記複数の前記設定角度毎に算出した前記光量変化率に基づいて前記欠陥の種類を特定することを特徴とする請求項4に記載の表面検査方法。
- 前記欠陥の種類は、前記繰り返しパターンの少なくとも一部が前記被検基板の表面内で一方に傾斜する傾斜依存性を有する欠陥であることを特徴とする請求項4もしくは請求項5に記載の表面検査方法。
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