JP2009141179A - 強誘電体メモリ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造工程における強誘電体キャパシタの特性の劣化を抑制することができる強誘電体メモリ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】強誘電体メモリ装置100は、基板12と、基板12の上方に形成され、下部電極層52、強誘電体層54および上部電極層56を有する強誘電体キャパシタ50と、強誘電体キャパシタ50を覆う層間絶縁層84と、層間絶縁層84を貫通し、上部電極層56に接続されたコンタクト部60と、コンタクト部60を構成するプラグ層64と、を含み、プラグ層64は、導電性の金属酸化物からなる。
【選択図】図1
【解決手段】強誘電体メモリ装置100は、基板12と、基板12の上方に形成され、下部電極層52、強誘電体層54および上部電極層56を有する強誘電体キャパシタ50と、強誘電体キャパシタ50を覆う層間絶縁層84と、層間絶縁層84を貫通し、上部電極層56に接続されたコンタクト部60と、コンタクト部60を構成するプラグ層64と、を含み、プラグ層64は、導電性の金属酸化物からなる。
【選択図】図1
Description
本発明は、強誘電体メモリ装置およびその製造方法に関する。
強誘電体メモリ装置を製造する過程においては、強誘電体キャパシタの特性の劣化を防止することが重要である。強誘電体キャパシタは、水素等の還元種と接触することにより、その特性が劣化することが知られている。そのため、強誘電体キャパシタは、一般に、水素バリア層で覆われている。
強誘電体キャパシタの上部電極層とコンタクト部が接続する領域は、導通を確保するため、水素バリア層の一部が除去されている。また、コンタクト部の製造工程は、一般に、タングステン等の金属を化学気相成長(CVD)法で形成するため、水素等の還元種が用いられる。そのため、コンタクト部の製造工程では、コンタクト部を介して強誘電体キャパシタに水素等の還元種が侵入し、強誘電体キャパシタの特性の劣化が起こりやすい。
製造工程における強誘電体キャパシタの特性の劣化を抑制するためには、コンタクト部を介した強誘電体キャパシタへの水素等の還元種の侵入を防止することが重要である。このような課題を解決する技術として、例えば、特開2006−222389号公報がある。
特開2006−222389号公報
本発明の目的は、製造工程における強誘電体キャパシタの特性の劣化を抑制することができる強誘電体メモリ装置およびその製造方法を提供することにある。
本発明に係る強誘電体メモリ装置は、
基板と、
前記基板の上方に形成され、下部電極層、強誘電体層および上部電極層を有する強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタを覆う層間絶縁層と、
前記層間絶縁層を貫通し、前記上部電極層に接続されたコンタクト部と、
前記コンタクト部を構成するプラグ層と、を含み、
前記プラグ層は、導電性の金属酸化物からなることができる。
基板と、
前記基板の上方に形成され、下部電極層、強誘電体層および上部電極層を有する強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタを覆う層間絶縁層と、
前記層間絶縁層を貫通し、前記上部電極層に接続されたコンタクト部と、
前記コンタクト部を構成するプラグ層と、を含み、
前記プラグ層は、導電性の金属酸化物からなることができる。
本発明に係る強誘電体メモリ装置は、プラグ層が導電性の金属酸化物からなることにより、プラグ層の形成工程において水素等の還元種を排除できるため、強誘電体キャパシタの特性の劣化を抑制することができる。
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの(以下「A」という)の「上方」に他の特定のもの(以下「B」という)を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。
本発明に係る強誘電体メモリ装置において、
前記プラグ層は、ニオブを添加したチタン酸ストロンチウム、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、ルテニウム酸ストロンチウム、ランタン酸ニッケルおよび酸化イリジウムの少なくとも1つの材料からなることができる。
前記プラグ層は、ニオブを添加したチタン酸ストロンチウム、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、ルテニウム酸ストロンチウム、ランタン酸ニッケルおよび酸化イリジウムの少なくとも1つの材料からなることができる。
本発明に係る強誘電体メモリ装置は、
さらに、前記プラグ層以外の他のコンタクト部を構成するプラグ層が、導電性の金属酸化物からなることができる。
さらに、前記プラグ層以外の他のコンタクト部を構成するプラグ層が、導電性の金属酸化物からなることができる。
本発明に係る強誘電体メモリ装置の製造方法は、
基板の上方に、下部電極層、強誘電体層および上部電極層を有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタを覆う層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層をエッチングすることによって、前記上部電極層に到達するコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールに導電性の金属酸化物からなるプラグ層を形成する工程と、を含み、
前記プラグ層を形成する工程は、溶液塗布法により行われることができる。
基板の上方に、下部電極層、強誘電体層および上部電極層を有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタを覆う層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層をエッチングすることによって、前記上部電極層に到達するコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールに導電性の金属酸化物からなるプラグ層を形成する工程と、を含み、
前記プラグ層を形成する工程は、溶液塗布法により行われることができる。
本発明に係る強誘電体メモリ装置の製造方法において、
前記プラグ層を形成する工程は、ゾルゲル法により行われることができる。
前記プラグ層を形成する工程は、ゾルゲル法により行われることができる。
本発明に係る強誘電体メモリ装置の製造方法において、
前記プラグ層を形成する工程は、前記コンタクトホールの内部および前記層間絶縁層の上面に溶液を塗布する工程と、
熱処理によって、前記溶液を導電性の金属酸化物とする工程と、
前記層間絶縁層の上面が露出するように前記金属酸化物を除去する工程と、を含む。
前記プラグ層を形成する工程は、前記コンタクトホールの内部および前記層間絶縁層の上面に溶液を塗布する工程と、
熱処理によって、前記溶液を導電性の金属酸化物とする工程と、
前記層間絶縁層の上面が露出するように前記金属酸化物を除去する工程と、を含む。
以下に本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
1.強誘電体メモリ装置
図1は、本発明の実施形態に係る強誘電体メモリ装置100を模式的に示す断面図である。
図1は、本発明の実施形態に係る強誘電体メモリ装置100を模式的に示す断面図である。
本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100は、基板12と、強誘電体キャパシタ50と、コンタクト部60とを含む。
基板12は、例えば、単結晶シリコン基板を用いることができる。
素子分離領域14は、基板12に形成される。素子分離領域14は、基板12を電気的に絶縁分離する機能を有する。
トランジスタ20は、素子分離領域14によって画定された領域に形成される。トランジスタ20は、ソースまたはドレインを構成する第1および第2不純物領域22,28と、ゲート絶縁膜24と、ゲート絶縁膜上のゲート26と、サイドウォール絶縁層27とを有する。
第1層間絶縁層16は、トランジスタ20上に形成される。コンタクト部30は、第1不純物領域22上に形成される。コンタクト部40は、第2不純物領域28上に形成される。
強誘電体キャパシタ50は、コンタクト部30上に形成される。強誘電体キャパシタ50は、下部電極層52と、強誘電体層54と、上部電極層56とを有する。
下部電極層52の材質は、例えば、白金、ルテニウム、イリジウムおよびこれらの酸化物から選ばれる少なくとも1種を用いることができる。また、下部電極層52は、単一層でもよいし、または例示した物質を積層した複数層でもよい。
強誘電体層54は、複合酸化物からなることができる。この複合酸化物は、ペロブスカイト型の結晶構造を有することができる。このような複合酸化物としては、Pb(Zr,Ti)O3(PZT)が代表的な材料であり、この基本構成にさらに微量の添加元素を含んでもよい。また、複合酸化物としては、ペロブスカイト型の結晶構造を有するSrBi2Ta2O9(SBT)、(Bi,La)4Ti3O12(BLT)、およびPb(Zr1−x−y,Tix)NbyO3(PZTN)(0.0<x≦0.5、0.0<y≦0.2)などを用いることができる。
上部電極層56の材質は、例えば、白金、ルテニウム、イリジウムおよびこれらの酸化物から選ばれる少なくとも1種を用いることができる。また、上部電極層56は、単一層でもよいし、または例示した物質を積層した複数層でもよい。
水素バリア層58は、少なくとも強誘電体キャパシタ50を覆うように形成される。水素バリア層58の材質は、例えば、酸化アルミニウム、窒化シリコンなどの水素バリア性の高い絶縁性材料を用いることができる。水素バリア層58は、特に、強誘電体キャパシタ50が水素等の還元種と接触することを防ぐ機能を有する。
第2層間絶縁層84は、第1層間絶縁層16および水素バリア層58の上に形成される。第2層間絶縁層84の材質は、絶縁性を有する物質であれば任意である。第2層間絶縁層84の材質は、例えば、酸化シリコンを用いることができる。第2層間絶縁層84には、第1コンタクト部60、第2コンタクト部70が形成されている。
第1コンタクト部60は、強誘電体キャパシタ50上に形成される。第1コンタクト部60は、バリア層62と、プラグ層64とを有する。第1コンタクト部60は、第2層間絶縁層84および水素バリア層58を貫通して、上部電極層56と接続している。すなわち、第1コンタクト部60は、強誘電体キャパシタ50と配線80とを電気的に接続する。
バリア層62は、コンタクトホール66の内壁および上部電極層56の上面に沿って形成される。バリア層62の材質は、例えば、窒化チタンアルミニウムおよび窒化チタンの少なくとも1種を用いることができる。バリア層62は、プラグ層64を構成する物質が第2層間絶縁層84あるいは上部電極層56へ拡散することを防ぐ機能を有する。
プラグ層64は、バリア層62を介してコンタクトホール66の内部に形成される。プラグ層64の材質は、導電性の金属酸化物を用いることができる。プラグ層64の材質は、例えば、ニオブを添加したチタン酸ストロンチウム(以下Nb:STOとする)、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、ルテニウム酸ストロンチウム、ランタン酸ニッケルおよび酸化イリジウムの少なくとも1種を用いることができる。プラグ層64の材質として、Nb:STO(Sr(Ti1−xNbx)O3)を用いる場合、xは、0.01以上であることが好ましい。xの割合に応じてプラグ層64の導電性が定まり、xが0.01未満の場合には、導電性が低すぎるため、強誘電体キャパシタ50と配線80は、電気的接続が不十分となる。
第2コンタクト部70は、コンタクト部40上に形成される。第2コンタクト部70は、バリア層72と、プラグ層74とを有する。バリア層72の材質は、例えば、窒化チタンアルミニウムおよび窒化チタンの少なくとも1種を用いることができる。プラグ層74の材質は、例えば、タングステン、銅などの金属を用いることができる。
配線80は、第1コンタクト部60上に形成される。配線82は、第2コンタクト部70上に形成される。配線80,82の材質は、例えば、アルミニウムを用いることができる。
本実施形態の強誘電体メモリ装置100は、例えば、以下の特徴を有する。
本実施形態の強誘電体メモリ装置100では、強誘電体キャパシタ50上のプラグ層64は、強誘電体層54と同様に、金属酸化物が用いられる。これにより、本実施形態におけるプラグ層64の形成工程は、後述するように、強誘電体キャパシタ50の特性を劣化させる水素等の還元種を排除することができる。したがって、本実施形態の強誘電体メモリ装置100は、製造工程における強誘電体キャパシタ50の特性の劣化を抑制することができる。
2.強誘電体メモリ装置の製造方法
次に、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2〜5は、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2〜5は、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
(1)図2に示すように、基板12に素子分離領域14およびトランジスタ20を形成する。素子分離領域14およびトランジスタ20は、公知技術を適用して形成されることができる。
次に、第1層間絶縁層16およびコンタクト部30,40を形成する。第1層間絶縁層16は、公知技術を適用して形成されることができる。コンタクト部30,40は、例えば、まず、第1層間絶縁層16にフォトリソグラフィ技術によってコンタクトホール36,46を形成したのち、第1層間絶縁層16上およびコンタクトホール36,46の内部にバリア層32,42およびプラグ層34,44を順に積層する。バリア層32,42は、例えば、スパッタ法により形成されることができる。プラグ層34,44は、例えば、化学気相成長(CVD)法により形成されることができる。その後、第1層間絶縁層16上のバリア層32,42およびプラグ層34,44を第1層間絶縁層16が露出するまで除去することにより、コンタクト部30,40を形成することができる。除去工程は、例えば、化学的機械研磨(CMP)法、エッチバック法などにより行われることができる。
(2)図2に示すように、コンタクト部30および第1層間絶縁層16の上に、強誘電体キャパシタ50を形成する。まず、コンタクト部30および第1層間絶縁層16の上に下部電極層52、強誘電体層54、上部電極層56を順に積層する。下部電極層52および上部電極層56は、例えば、スパッタ法、蒸着法などにより形成されることができる。強誘電体層54は、例えば、溶液塗布法(ゾルゲル法、有機金属分解(MOD)法などを含む)、化学気相成長(CVD)法、スパッタ法などにより形成されることができる。その後、下部電極層52、強誘電体層54および上部電極層56を所定の形状にパターニングする。これにより、強誘電体キャパシタ50が形成される。
次に、強誘電体キャパシタ50上に水素バリア層58を形成する。水素バリア層58は、例えば、スパッタ法、化学気相成長(CVD)法などにより形成されることができる。その後、水素バリア層58を、少なくとも強誘電体キャパシタ50を覆うようにパターニングする。
(3)図2に示すように、水素バリア層58および第1層間絶縁層16の上に第2層間絶縁層84を形成する。第2層間絶縁層84は、公知技術を適用して形成されることができる。第2層間絶縁層84は、化学的機械研磨(CMP)法などにより第2層間絶縁層84の上面を平坦化されることができる。
(4)図2に示すように、強誘電体キャパシタ50上にコンタクトホール66を形成する。コンタクトホール66は、例えば、フォトリソグラフィ技術などにより形成されることができる。コンタクトホール66は、第2層間絶縁層84および水素バリア層58を貫通し、上部電極層56が露出するように形成されることができる。
(5)図3に示すように第2層間絶縁層84上、コンタクトホール66の内壁および上部電極層56の上面に、バリア層62およびプラグ層64を順に積層する。バリア層62は、例えば、スパッタ法などにより形成されることができる。
プラグ層64は、溶液塗布法(ゾルゲル法、有機金属分解(MOD)法などを含む)により形成されることができる。例えば、ゾルゲル法を適用してNb:STOを形成する場合には、まず、ストロンチウム、ニオブ、およびチタンのゾルゲル原料を含む前駆体をスピンコート等によって塗布する。ストロンチウムの原料としては、酢酸ストロンチウムやオクチル酸ストロンチウムなどのカルボン酸塩等が挙げられる。チタンの原料としては、オクチル酸チタンなどのカルボン酸塩や、チタニウムイソプロポキシドなどのアルコキシド等が挙げられる。ニオブの原料としては、オクチル酸ニオブなどのカルボン酸塩や、ニオブエトキシドなどのアルコキシド等が挙げられる。その後、酸素雰囲気において熱処理を行い、Nb:STOを形成する。熱処理の温度は、例えば、500℃〜700℃程度であることができる。溶液塗布法は、埋め込み性が良いため、コンタクト部60の微細化への対応が可能となる。また、溶液塗布法は、スパッタ法等と比較して成膜での下地へのダメージが少ないため、強誘電体キャパシタ50への成膜でのダメージを抑制することができる。
図4に示すように、第2層間絶縁層84上のバリア層62およびプラグ層64を除去する。バリア層62およびプラグ層64は、第2層間絶縁層84が露出するまで除去される。バリア層62およびプラグ層64の除去は、例えば、化学的機械研磨(CMP)法などにより行われることができる。
(6)図5に示すように、コンタクト部40上に第2コンタクト部70を形成する。第2コンタクト部70は、例えば、まず、第2層間絶縁層84にフォトリソグラフィ技術によってコンタクトホール76を形成したのち、第2層間絶縁層84上およびコンタクトホール76の内部にバリア層72およびプラグ層74を形成する。バリア層72は、例えば、スパッタ法により形成されることができる。プラグ層74は、例えば、化学気相成長(CVD)法により形成されることができる。その後、第2層間絶縁層84上のバリア層72およびプラグ層74を第2層間絶縁層84が露出するまで除去することにより、コンタクト部70を形成することができる。除去工程は、例えば、化学的機械研磨(CMP)法、エッチバック法などにより行われることができる。
(7)図1に示すように、配線80,82を形成する。配線層80,82は、例えば、スパッタ法などにより形成されることができる。配線層80,82は、公知の方法によりパターニングされ、所望の領域に形成されることができる。
以上の工程により、図1に示すように、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100を製造することができる。
本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100の製造方法では、強誘電体キャパシタ50上のプラグ層64は、溶液塗布法により、水素等の還元種を用いることなく形成することができる。これにより、本実施形態におけるプラグ層64の形成工程は、強誘電体キャパシタ50の特性を劣化させる水素等の還元種を排除することができる。したがって、本実施形態の強誘電体メモリ装置100は、製造工程における強誘電体キャパシタ50の特性の劣化を抑制することができる。
3.変形例に係る強誘電体メモリ装置およびその製造方法
次に、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100およびその製造方法の変形例について、説明する。なお、上述した本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100およびその製造方法と異なる点について主に説明し、同様の点については同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
次に、本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100およびその製造方法の変形例について、説明する。なお、上述した本実施形態に係る強誘電体メモリ装置100およびその製造方法と異なる点について主に説明し、同様の点については同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
図1に示す強誘電体メモリ装置100の例では、第1コンタクト部60は導電性の金属酸化物からなり、第2コンタクト部70はタングステン等の金属からなるが、本変形例では、第2コンタクト部70は、第1コンタクト部60と同じ導電性の金属酸化物から形成されることができる。
本変形例に係る強誘電体メモリ装置の製造方法について、上述した製造方法に沿って、図面を参照しながら説明する。
前記(1)〜(3)の工程は、強誘電体メモリ装置100と同様に適用できる。
前記(4)の工程は、本変形例の製造方法においては、以下の工程に置き換える。
図6に示すように、強誘電体キャパシタ50上にコンタクトホール66を形成し、コンタクト部40上にコンタクトホール76を形成する。コンタクトホール66,76は、例えば、フォトリソグラフィ技術などにより形成されることができる。
前記(5)の工程は、基本的に強誘電体メモリ装置100と同様に適用できる。前記(5)の工程により、第1コンタクト部60を形成するとともに、第2コンタクト部70を形成することができる。
前記(6)の工程は、本変形例の製造方法においては、省略することができる。
前記(7)の工程は、強誘電体メモリ装置100と同様に適用できる。
以上の工程により、本変形例に係る強誘電体メモリ装置を製造することができる。
本変形例に係る強誘電体メモリ装置100の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
本変形例に係る強誘電体メモリ装置の製造方法によれば、第1コンタクト部60を形成するとともに、第2コンタクト部70を形成することができる。そのため、簡易なプロセスで、強誘電体メモリ装置を製造することができる。
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には容易に理解できよう。したがって、このような変形例は、全て本発明の範囲に含まれるものとする。
12 基板、14 素子分離領域、16 第1層間絶縁層、20 トランジスタ、22 第1不純物領域、24 ゲート絶縁膜、26 ゲート、27 サイドウォール絶縁層、28 第2不純物領域、30 コンタクト部、32 バリア層、34 プラグ層、36 コンタクトホール、40 コンタクト部、42 バリア層、44 プラグ層、46 コンタクトホール、50 強誘電体キャパシタ、52 下部電極層、54 強誘電体層、56 上部電極層、58 水素バリア層、60 第1コンタクト部、62 バリア層、64 プラグ層、66 コンタクトホール、70 第2コンタクト部、72 バリア層、74 プラグ層、76 コンタクトホール、80,82 配線、84 第2層間絶縁層、100 強誘電体メモリ装置
Claims (6)
- 基板と、
前記基板の上方に形成され、下部電極層、強誘電体層および上部電極層を有する強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタを覆う層間絶縁層と、
前記層間絶縁層を貫通し、前記上部電極層に接続されたコンタクト部と、
前記コンタクト部を構成するプラグ層と、を含み、
前記プラグ層は、導電性の金属酸化物からなる、強誘電体メモリ装置。 - 請求項1記載の強誘電体メモリ装置において、
前記プラグ層は、ニオブを添加したチタン酸ストロンチウム、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、ルテニウム酸ストロンチウム、ランタン酸ニッケルおよび酸化イリジウムの少なくとも1つの材料からなる、強誘電体メモリ装置。 - 請求項1または2記載の強誘電体メモリ装置において、
さらに、前記プラグ層以外の他のコンタクト部を構成するプラグ層が、導電性の金属酸化物からなる、強誘電体メモリ装置。 - 基板の上方に、下部電極層、強誘電体層および上部電極層を有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタを覆う層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層をエッチングすることによって、前記上部電極層に到達するコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールに導電性の金属酸化物からなるプラグ層を形成する工程と、を含み、
前記プラグ層を形成する工程は、溶液塗布法により行われる、強誘電体メモリ装置の製造方法。 - 請求項4記載の強誘電体メモリ装置の製造方法において、
前記プラグ層を形成する工程は、ゾルゲル法により行われる、強誘電体メモリ装置の製造方法。 - 請求項4または5記載の強誘電体メモリ装置の製造方法において、
前記プラグ層を形成する工程は、前記コンタクトホールの内部および前記層間絶縁層の上面に溶液を塗布する工程と、
熱処理によって、前記溶液を導電性の金属酸化物とする工程と、
前記層間絶縁層の上面が露出するように前記金属酸化物を除去する工程と、を含む、強誘電体メモリ装置の製造方法。
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