JP2009139362A - ナノ結晶複合酸化物薄膜と、これを具備した環境ガスセンサー及び環境ガスセンサーの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る環境ガスセンサー用ナノ結晶複合酸化物薄膜は、互いに独立された結晶相を有する異種の酸化物ナノ結晶粒子からなる複合酸化物薄膜とこれを利用した環境有害ガス検知のための静電容量型ガスセンサを提供する。前記酸化物は、ABO3型ペロブスカイト酸化物、ZnO、CuO、NiO,SnO2、TiO2、CoO2、In2O3,WO3,MgO,CaO,La2O3,Nd2O3,Y2O3,CeO2,PbO,ZrO2,Fe2O3,Bi2O3,V2O5,Vo2,Nb2O5,Co3O4及びAl2O3よりなる群から少なくとも2種類以上が選択され、酸化物ナノ結晶粒子は、直径が1nm及至100nmである。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施例に係る静電容量型環境ガスセンサーの斜視図である。
環境ガスセンサー用ナノ結晶CuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜
CuO酸化物セラミックターゲットとNbドーピングされたBaTiO3酸化物セラミックターゲットを用意した。異種の複合酸化物ターゲットは、1/6等分された3つのCuO酸化物セラミックAと3つのNbドーピングされたBaTiO3酸化物セラミックBをABABAB構造で組合/製作して使用した。次いで、CuOとNbドーピングされたBaTiO3酸化物セラミックが組み合わせられた複合酸化物セラミックターゲットを利用して0.5mm厚さのMgO(001)単結晶基板上にパルスレーザーアブレーション方法を用いてナノ結晶複合酸化物薄膜を製造した。パルスレーザービームの周期と複合酸化物ターゲットの回転数を同期化して、CuO酸化物とNbドーピングされたBaTiO3酸化物を交互に前記基板上に蒸着した。この時、異種の複合酸化物薄膜は、室温から800℃の蒸着温度で形成することができ、また、室温で蒸着し、300℃以上の温度で熱処理して形成されることができる。本実施例では、蒸着温度を室温、300℃、400℃、500℃及び600℃に異にし、600℃で熱処理して144nmの厚さでナノ結晶複合酸化物薄膜を形成した。
図4は、実施例1乃至5から得た薄膜のθ−2θ X−線回折パターンを調査して示すグラフである。
環境ガスセンサー用ナノ結晶CuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜
CuOとNbドーピングされたBaTiO3酸化物セラミックが組み合わせられた複合酸化物セラミックターゲットは、上記実施例1と同様に用意し、0.5mm厚さのSiO2/Si基板上にパルスレーザーアブレーション方法を用いてナノ結晶複合酸化物薄膜を製造した。パルスレーザービームの周期と複合酸化物ターゲットの回転数を同期化して、CuO酸化物とNbドーピングされたBaTiO3酸化物を交互に前記基板上に蒸着した。本実施例では、蒸着温度を室温、300℃、400℃、500℃、550℃及び600℃に異にし、600℃で熱処理して144nmの厚さでナノ結晶複合酸化物薄膜を形成した。
図7は、実施例6乃至11から得たCuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜のθ−2θ X−線回折パターンを示すグラフである。図7を参照すれば、(a)は、NbドーピングされたBaTiO3酸化物セラミックターゲット、(b)は、CuO酸化物セラミックターゲット、(c)は、室温で蒸着し、600℃で熱処理して形成されたCuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜、そして(d)、(e)、(f)、(g)、(h)は、それぞれ300℃、400℃、500℃、550℃、600℃の蒸着温度で成長されたCuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜のX−線回折パターンである。図7によれば、ナノ結晶のCuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜は、CuO薄膜の結晶相とNbドーピングされたBaTiO3薄膜の結晶相が分離されたことを確認することができる。したがって、異種のナノ結晶複合酸化物薄膜が形成されたことが分かる。
0.5mm厚さのSiO2/Si基板上にインターデジタルトランスジュサー(Interdigital Transducer)電極金属を100nmの厚さで形成し、次いで、電極金属上に、実施例7で製造されたCuO−NbドーピングされたBaTiO3複合酸化物薄膜を形成し、図1のような構造の静電容量型環境ガスセンサーを製作した。
環境ガスセンサー用ナノ結晶ZnO−NiO複合酸化物薄膜
ZnO酸化物セラミックターゲットとNiO酸化物セラミックターゲットを用意した。ZnO−NiO複合酸化物ターゲットは、1/6等分された3つのZnO酸化物セラミックAと3つのNiO酸化物セラミックBをABABAB構造で組合/製作して使用した。次いで、ZnOとNiO酸化物セラミックが組み合わせられた複合酸化物セラミックターゲットを利用して0.5mm厚さのSiO2/Si基板上にパルスレーザーアブレーション方法を用いてナノ結晶複合酸化物薄膜を製造した。パルスレーザービームの周期と複合酸化物ターゲットの回転数を同期化して、ZnO酸化物とNiO酸化物を交互に前記基板上に蒸着した。本実施例では、室温でZnO−NiO複合酸化物薄膜を蒸着し、400℃、450℃、500℃、550℃、600℃で熱処理して120nmの厚さでナノ結晶ZnO−NiO複合酸化物薄膜を形成した。
0.5mm厚さのSiO2/Si基板上にインターデジタルトランスジュサー(Interdigital Transducer)電極金属を100nmの厚さで形成し、次いで、電極金属上に、実施例13乃至17で製造された400℃、450℃、500℃、550℃、600℃で熱処理して得たナノ結晶ZnO−NiO複合酸化物薄膜を形成し、図1のような構造の静電容量型環境ガスセンサーを製作した。
110 基板
120 金属電極(Interdigitated transducer)
130 電極パッド
140 ナノ結晶の複合酸化物薄膜
200 異種の酸化物セラミックターゲット
210 酸化物セラミックターゲットA
220 酸化物セラミックターゲットB
300 二重ビーム、2種ターゲットを含むパルスレーザー蒸着器
310 ターゲットホルダー
320 酸化物セラミックターゲットA
330 酸化物セラミックターゲットB
340 基板
350 基板ホルダー及びヒーター
350 レンズ
370 パルスレーザービーム
380 フルム
Claims (13)
- 互いに独立された結晶相を有する異種の酸化物ナノ結晶粒子からなる環境ガスセンサー用ナノ結晶複合酸化物薄膜。
- 前記酸化物は、ABO3型ペロブスカイト酸化物(BaTiO3、金属ドーピングされたBaTiO3、SrTiO3、BaSnO3)、ZnO、CuO、NiO、SnO2、TiO2、CoO、In2O3、WO3、MgO、CaO、La2O3、Nd2O3、Y2O3、CeO2、PbO、ZrO2、Fe2O3、Bi2O3、V2O5、VO2、Nb2O5、Co3O4及びAl2O3よりなる群から少なくとも2種以上が選択されることを特徴とする請求項1に記載の環境ガスセンサー用ナノ結晶複合酸化物薄膜。
- 前記異種の酸化物ナノ結晶粒子は、直径が1nm乃至100nmであることを特徴とする請求項1に記載の環境ガスセンサー用ナノ結晶複合酸化物薄膜。
- 基板と、
前記基板上に形成された金属電極と、
前記金属電極上に異種の酸化物ナノ結晶粒子からなる複合酸化物薄膜と、
を含む環境ガスセンサー。 - 前記基板は、酸化物単結晶及びセラミック基板(MgO、LaAl2O3、及びAl2O3)、シリコン半導体基板(Si、SiO2)、及びガラス基板よりなる群から選択されるいずれか1つであることを特徴とする請求項4に記載の環境ガスセンサー。
- 前記基板は、0.1乃至1mmの厚さを有することを特徴とする請求項4に記載の環境ガスセンサー。
- 前記金属電極は、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタニウム(Ti)、銅(Cu)及びクロム(Cr)よりなる群から選択される1つ以上を含むことを特徴とする請求項4に記載の環境ガスセンサー。
- 前記ナノ結晶複合酸化物薄膜は、互いに独立された結晶相を有する異種の酸化物ナノ結晶粒子からなり、前記酸化物は、ABO3型ペロブスカイト酸化物(BaTiO3、金属ドーピングされたBaTiO3、SrTiO3、BaSnO3)、ZnO、CuO、NiO、SnO2、TiO2、CoO、In2O3、WO3、MgO、CaO、La2O3、Nd2O3、Y2O3、CeO2、PbO、ZrO2、Fe2O3、Bi2O3、V2O5、VO2、Nb2O5、Co3O4及びAl2O3よりなる群から少なくとも2種以上が選択されることを特徴とする請求項4に記載の環境ガスセンサー。
- 前記ナノ結晶複合酸化物薄膜は、1乃至1000nmの厚さを有することを特徴とする請求項4に記載の環境ガスセンサー。
- 基板上に金属電極を形成する段階と、
前記金属電極上に異種の酸化物ナノ結晶粒子を成長させて、ナノ結晶複合酸化物薄膜を形成する段階と、
を含む環境ガスセンサーの製造方法。 - 前記異種の酸化物ナノ結晶粒子の成長は、異種の酸化物セラミックターゲットを利用してパルスレーザー蒸着法またはスパッタ法を用いて行われることを特徴とする請求項10に記載の環境ガスセンサーの製造方法。
- 前記異種の酸化物ナノ結晶粒子の成長は、2つの酸化物セラミックターゲットを利用して二重レーザービームを有するパルスレーザー蒸着法を用いて行われることを特徴とする請求項10に記載の環境ガスセンサーの製造方法。
- 前記ナノ結晶複合酸化物薄膜を形成する段階は、室温乃至800℃の蒸着温度で進行されることを特徴とする請求項10に記載の環境ガスセンサーの製造方法。
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