KR101283685B1 - 환경가스 센서 및 그의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 환경가스 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 환경가스 센서는 절연 기판; 상기 절연 기판 상에 형성된 금속 전극; 및 상기 금속 전극 상에 이종의 나노섬유가 서로 직교하게 정렬된 감지층을 포함하며, 이종의 나노섬유가 서로 직교하여 정렬된 감지층으로 2종의 가스를 동시에 감지할 수 있다.
환경가스, 센서, 2종의 가스, 나노섬유

Description

환경가스 센서 및 그의 제조방법{Environment Gas Sensor and Method for Preparing the Same}
본 발명은 환경가스 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 이종의 나노섬유를 서로 직교하여 형성시킨 감지층을 통해 2종의 가스를 동시에 측정할 수 있는 환경가스 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
최근의 생활 환경오염 및 건강에 대한 관심의 증가로 각종 환경 유해가스의 감지에 대한 필요성이 크게 증가하고 있다. 독성가스와 폭발성 가스 검지의 수요에 의해 계속된 발전을 이루어온 유해성 가스 센서는 오늘날에는 건강관리, 생활환경 모니터링, 산업건강 및 안전, 가전과 스마트 홈, 식량과 농업, 제조공정, 국방과 테러 등에 대한 인간 삶의 질 향상 등의 요구로 많은 수요가 발생하고 있다.
따라서 가스센서는 재해 없는 미래사회 구현을 위한 수단이 될 것이며, 이에 따라 환경 유해가스의 보다 정확한 측정과 제어가 요구되고 있다.
또한 유비쿼터스 센서 시스템, 환경 감시 시스템 등 새로운 서비스가 가시화 되고 있는 현 상황에, 이러한 가스 센서가 실용화 되기 위해서는 몇 가지 조건을 만족해야 한다. 첫째, 민감도로서 검지 감도가 높고 낮은 농도의 가스 검출을 할 수 있어야 한다. 둘째, 선택성으로서 선택적으로 특정 가스를 검지해야 하며, 공존하는 가스에 의한 영향이 없어야 한다. 세째, 안정성으로서 온도, 습도 등 주위 분위기에 영향을 받지 않아야 하며, 시간에 따라서 퇴화되지 않도록 안정된 감도를 지녀야 한다. 네째, 응답 속도로서 가스 반응이 빠르고 여러 번 반복할 수 있어야 한다. 다섯째 다기능성과 저소비전력이 요구된다. 이러한 요건을 충족시키기 위해 다양한 센서 신소재 및 가스 센서 개발 노력이 이루어지고 있다.
가스 센서 중 세라믹을 이용한 가스 센서로써 대표적인 것은 반도체식 가스 센서, 고체 전해질식 가스 센서, 접촉연소식 가스 센서 등이 있는데, 이들은 각기 형태, 구조 및 재료 면에서 구별되는 특징을 가진다. 특히 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2), 산화텅스텐(WO3), 산화티타늄(TiO2), 산화인듐(In2O3) 등과 같은 산화물 반도체 세라믹는 H2, CO, O2, CO2, NOx, 독가스, 휘발성 유기 가스, 암모니아, 환경 가스, 습도 등과 같은 환경 가스와 접촉하게 되면 금속 산화물 표면에서 일어나는 가스흡착 및 산화/환원 반응에 의해 전기 비저항이 변하는 특성을 이용한 환경가스 센서에 대한 많은 연구가 진행되고 있으며, 일부 상업적 가스 센서로 활용되고 있다.
최근 벌크(bulk) 물질의 특성과 다른 산화물 나노 박막, 나노입자, 나노선, 나노섬유, 나노튜브, 나노 다공성, 나노벨트 등의 나노 구조의 산화물 반도체를 이 용한 가스 센서 개발에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 이들 나노 구조체 물질의 작은 크기(small size), 극히 큰 표면적(surface-to-volume ratio)은 빠른 반응 시간, 초고감도의 센서 제작을 가능하게 한다. 이런 새로운 물질은 빠른 응답 속도, 고민감도, 고선택성, 저저전력의 우수한 특성을 갖는 가스 센서 개발을 가능케 하는 가능성을 가진다.
그러나 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2), 산화텅스텐(WO3), 산화티타늄(TiO2), 산화인듐(In2O3) 등의 산화물의 나노구조체를 이용한 가스 센서의 경우 단일 가스만을 감지할 수 있는 구조로 되어 있으며, 다양한 환경가스를 동시에 측정할 수 없다. 다양한 환경가스를 감지하기 위해 어레이 구조의 센서가 요구되고 있다.
따라서, 기존의 산화물 반도체 소재로 구현된 가스 센서 특성의 장단점을 보완하고, 고민감도, 고선택성, 빠른 응답속도, 장기 안정성의 우수한 특성을 갖는 가스센서 개발을 위해 새로운 센서 소재 및 센서 구조, 공정의 접근이 요구되고 있다. 이와 관련하여 최근 들어 산화물 반도체 나노섬유 및 그 제조 방법, 이를 이용한 가스 센서 개발이 활발히 시도되고 있다.
이에 본 발명자들은 나노섬유의 큰 비표면적을 갖는 특성을 이용하여, 초고감도, 고응답성, 고선택성, 장기 안정성의 환경가스 센서를 개발함에 있어, 이종의 정렬된 나노섬유를 감지층으로 하여 환경가스 센서를 제작하는 경우, 2종의 가스를 동시에 감지할 수 있음을 발견하고 본 발명을 완성하였다.
따라서, 본 발명의 기술적 과제는 2종의 가스를 동시에 감지할 수 있는 환경가스 센서를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 기술적 과제는 2종의 가스를 동시에 감지할 수 있는 환경가스 센서의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 첫 번째 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 절연 기판; 상기 절연 기판 상에 형성된 금속 전극; 및 상기 금속 전극 상에 이종의 나노섬유가 서로 직교하게 배열된 감지층을 포함하는 환경가스 센서를 제공한다.
본 발명에 따른 환경가스 센서에 있어서, 상기 절연기판은 산화물 단결정 기판, 세라믹 기판, 실리콘 반도체 기판, 유리기판, 기판의 뒷면 또는 상부에 마이크로히터가 포함된 절연 기판, 마이크로히터로 내장된 마이크로머신 구조체 기판으로 이루어진 군에서 선택되는 것이 바람직하며, 0.1 내지 1㎜의 두께를 갖는 것이 바람직합니다..
또한, 본 발명에 따른 환경가스 센서에 있어서, 상기 금속 전극은 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 금(Au), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 주석(Sn), 몰리브덴(Mo), 루테늄(Ru) 및 인듐(In)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것이 바람직하고, 그의 두께는 10㎚ 내지 1000㎚인 것 이 바람직하다.
본 발명에 따른 환경가스 센서에 있어서, 상기 이종의 나노섬유의 일종은 n-형 산화물 반도체 화합물이고, 다른 종은 p-형 산화물 반도체 화합물이며, n-형 산화물 반도체 화합물은 ABO3형 페로브스카이트 산화물(BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3), MgO, CaO, TiO2, ZrO2, V2O5, Nb2O5, Ta2O5, MoO3, WO3, ZnO, Al2O3, Ga2O3, In2O3, 및 SnO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되고, p-형 산화물 반도체 화합물은 Y2O3, La2O3, CeO2, Mn2O3, Co2O4, NiO, PdO, Ag2O, Bi2O3,Sb2O3, Cu, 및 TeO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 환경가스 센서에 있어서, 상기 금속 전극은 상기 이종의 나노섬유 중 일종이 정렬되는 한 쌍의 제1 금속전극과, 다른 종이 정렬되는 한 쌍의 제2 금속전극을 포함하며, 상기 정렬되는 나노섬유는 그의 직경이 1㎚ 내지 1000㎚인 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 절연 기판 상에 금속 전극을 형성하는 단계; 상기 금속 전극 상에 전기방사를 통해 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계; 및 상기 정렬된 이종의 나노섬유를 열처리하여 감지층을 형성하는 단계를 포함하는 환경가스 센서의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따른 환경가스 센서의 제조방법에 있어서, 상기 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계는 한 쌍의 제1 금속 전극 상에 일종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 일종의 나노섬유를 정렬하는 단계; 및 한 쌍의 제2 금속 전극 상에 다른 종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 다른 종의 나노섬유를 상기 일종의 나노섬유와 서로 직교하게 정렬하는 단계를 포함하며, 상기 일종의 산화물 반도체는 n-형 반도체 산화물이고, 상기 다른 종의 산화물 반도체는 p-형 반도체 산화물이거나, 또는 상기 일종의 산화물 반도체는 p-형 반도체 산화물이고, 상기 다른 종의 산화물 반도체는 n-형 반도체 산화물인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 환경가스 센서의 제조방법에 있어서, 산화물 반도체/폴리머 복합용액은 산화물 전구체, 폴리머 및 용매를 혼합한 후, 상온 이상의 온도에서 교반하여 제조된다.
본 발명은 절연기판상에 특정 가스에 감응성을 갖는 일종의 나노섬유와 또 다른 가스에 감응성을 갖는 다른 종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬시킨 구조의 감지층을 포함하는 환경가스 센서로서 2종의 가스를 동시에 감지할 수 있으며, 이에 따라 다양한 환경유해가스의 보다 정확한 측정과 제어가 요구되어지는 차세대 유비쿼터스 센서 시스템, 환경감시 시스템 등에 활용될 수 있다.
이하, 본 발명은 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 환경가스 센서의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 환경가스 센서는 절연 기판(100), 절연 기판 상에 형성되는 금속 전극(200) 및 상기 금속 전극 상에 이종의 나노섬유가 서로 직교하여 정렬된 감지층(300)을 포함한다.
상기 절연 기판(100)은 0.1 내지 1 mm의 두께를 갖는 산화물 단결정 기판(Al2O3, MgO, 또는 SrTiO3), 세라믹 기판(Al2O3 또는 Quartz), 실리콘 반도체 기판(SiO2/Si) 및 유리기판으로 이루어진 군에서 선택될 수 있다.
또한, 상기 절연 기판(100)은 기판의 뒷면 또는 상부에 마이크로히터를 포함하는 것으로 구성될 수 있으며, 또한 마이크로히터가 내장된 마이크로머신(micromachine) 구조체를 선택할 수 있다.
상기 금속 전극(200)은 Pt, Pd, Ag, Au, Ni, Ti, Cr, Al, Cu, Sn, Mo, Ru 및 In으로 이루어진 군에서 선택되는 것이 바람직하며, 그 두께는 10 nm 내지 1000 nm인 것이 바람직하다.
상기 금속 전극(200)은 이종의 나노섬유가 각각 정렬될 수 있는 두 쌍의 금속 전극(210, 220)을 포함할 수 있으며, 두 쌍의 금속 전극(210, 220)은 동일한 물질이거나 또는 서로 다른 물질로 형성될 수 있고, 상기 금속 전극의 각 쌍은 사각형의 절연 기판 상에 서로 마주 보게 위치될 수 있다.
상기 금속 전극(200) 상에 서로 직교하도록 정렬되는 이종의 나노섬유 I(310) 및 나노섬유 Ⅱ(320)는 각기 다른 특정 가스에 고반응성을 갖는 유기 또는 무기 반도체 나노섬유에서 선택되는 것이 바람직하다. 보다 더 바람직하게는 나노 섬유 I(310)과 정렬된 나노섬유 II(320)는 이종의 물질로 구성되는 것이 바람직하며, 또한, 각각 다른 반전도성(n-형 또는 p-형 반도체)을 갖는 반도체로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 정렬된 나노섬유 I (310)과 나노섬유 II(320)는 각각 n-형 반도체인 ABO3형 페로브스카이트 산화물(BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3), MgO, CaO, TiO2, ZrO2, V2O5, Nb2O5, Ta2O5, MoO3, WO3, ZnO, Al2O3, Ga2O3, In2O3, SnO2로 이루어진 군에서, 또는 p형 반도체인 Y2O3, La2O3, CeO2, Mn2O3, Co2O4, NiO, PdO, Ag2O, Bi2O3, Sb2O3, Cu, TeO2 로 이루어진 군에서 선택되는 산화물 반도체 나노섬유를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 나노섬유는 직경이 1㎚ 내지 1000㎚인 것이 비표면적이 증가되어 특정가스에 대한 감응도를 증가시킬 수 있기 때문에 바람직하다.
도 2는 본 발명에 따른 환경가스 센서의 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 환경가스 센서의 제조방법은 절연 기판 상에 금속 전극을 형성하는 단계(S11); 상기 금속 전극 상에 전기방사를 통해 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계(S12); 및 상기 정렬된 이종의 나노섬유를 열처리하여 감지층을 형성하는 단계(S13)를 포함한다.
상기 산화물 나노섬유 가스센서의 제작을 위해서는, 우선 절연기판 상에 금속 전극을 형성한다(S11). 여기서, 금속 전극으로는 Pt, Pd, Ag, Au, Ni, Ti, Cr, Al, Cu, Sn, Mo, Ru 및 In으로 이루어진 군에서 선택되는 것이 바람직하며, 이 분 야의 일반적인 방법을 통해 10 nm 내지 1000 nm의 두께로 형성될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 금속 전극은 이종의 나노섬유가 직교하여 정렬되어지기 때문에, 두 쌍의 금속 전극이 절연 기판 상에 형성되며, 각 쌍의 금속 전극은 마주보도록 위치될 수 있다.
이어서, 상기 금속 전극 상에 전기방사를 통해 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬한다(S12).
상기 금속 전극 상에 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계는 한 쌍의 제1 금속 전극 상에 일종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 일종의 나노섬유를 정렬하는 단계; 및 한 쌍의 제2 금속 전극 상에 다른 종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 다른 종의 나노섬유를 상기 일종의 나노섬유와 서로 직교하게 정렬하는 단계를 통해 수행될 수 있다.
여기서, 복합용액은 금속산화물 또는 금속산화물 전구체를, 폴리머 물질과 용매를 혼합하여 얻을 수 있으며, 전기방사용으로 사용되기 위해서는 점도가 1000 내지 3000 cps인 것이 바람직하다. 또한, 폴리머 물질과 용매는 극성 고분자-극성 용매 또는 비극성 고분자-비극성 용매의 조합일 수 있다. 복합 용액은 실온 이상의 온도(예를 들면, 25 내지 100℃)에서 혼합되며, 장시간(구체적으로 3 내지 24시간) 동안 용액을 교반하여야 비드(bead)가 없는 나노섬유를 제조할 수 있다.
복합용액을 구성하는 금속산화물로는 n-형 산화물 반도체인 ABO3형 페로브스카이트 산화물(BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3), MgO, CaO, TiO2, ZrO2, V2O5, Nb2O5, Ta2O5, MoO3, WO3, ZnO, Al2O3, Ga2O3, In2O3, 및 SnO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되고, p-형 산화물 반도체 화합물은 Y2O3, La2O3, CeO2, Mn2O3, Co2O4, NiO, PdO, Ag2O, Bi2O3,Sb2O3, Cu, 및 TeO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것이 사용될 수 있다.
또한, 폴리머로는 폴리비닐페놀(PVP), 폴리비닐알콜(PVA), 폴리비닐아세트산(PVAc), 폴리스티렌(PS), 폴리에틸렌옥사이드(PEO), 폴리에테르 우레탄(PU), 폴리카보네이트(PC), 폴리-L-락타이드(PLLA), 폴리비닐카바졸(PVC), 폴리비닐 클로라이드(PVC), 폴리카프로락탐, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 또는 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN)가 사용될 수 있고, 용매로는 에탄올, 아세톤, 디메틸포름아미드(DMF), 테트라히드로퓨란(THF), 이소프로필 알코올(IPA), 물, 클로로포름, 포름산, 디에틸포름아미드(DEF), 디메틸아세트아미드(DMA), 디클로로메탄, 톨루엔, 및 아세트산을 사용하는 것이 바람직하다.
복합용액은 전기방사장치의 실리더에 넣어져 분사노즐을 통해 방사되며, 이 경우, 분사노즐에 1kV 내지 30kV의 전압을 인가하여, 복합용액이 방사되면서 접지된 콜렉터 위의 기판에 수집되면서, 직경이 1 내지 1000 ㎚인 나노섬유가 얻어질 수 있다.
이어, 상기 정렬된 이종의 나노섬유를 열처리하여 감지층을 형성한다.(S13). 여기서 열처리는 용매의 제거 및 결정화를 위한 것이며, 100 내지 1000℃의 고온에서 수행되어지는 것이 바람직하다.
이하, 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예로 한정되는 것은 아니다.
실시예
0.5 mm 두께의 쿼츠 기판 상에 한 쌍의 금속 전극(Pt)을 서로 마주보게 100 nm의 두께로 형성하고, 이어서 또 다른 한 쌍의 금속 전극(Pt)을 서로 마주보게 100nm의 두께로 형성하였다. 이어서, 금속 산화물 ZnO 전구체와 폴리비닐페놀(poly(4-vinyl phenol), 이하 PVP) 폴리머, 에탄올을 5:3:1의 중량비로 칭량하여 혼합하고, 60℃의 온도에서 24 시간 동안 교반하여 1200 cps의 점도를 갖는 ZnO/PVP 복합 용액을 준비하였다. 이어서, ZnO/PVP 폴리머 복합용액을 전기방사장치를 통해 방사하여 한 쌍의 금속 전극 상에 일종의 나노섬유를 정렬하였다. 이어서, 금속 산화물 NiO 전구체와, 폴리비닐페놀 폴리머, 에탄올을 5:3:1의 중량비로 칭량하여 혼합하고, 60℃의 온도에서 24시간 동안 교반하여 1200 cps의 점도를 갖는 NiO/PVP 복합 용액을 준비하였다. 이어서, NiO/PVP 폴리머 복합용액을 전기방사장치를 통해 방사하여 다른 한 쌍의 금속전극 상에 상기 한 쌍의 금속 전극 상에 정렬된 일종의 나노섬유와 서로 직교하도록 다른 종의 나노섬유를 정렬하였다. 상기 환경가스 센서의 제조를 위한 이종의 나노섬유를 직교되게 형성한 표면을 광학현미경으로 촬영하여 그 결과를 도 3에 나타내었다. 또 3에 따르면, 이종의 나노섬유가 직교하여 형성됨을 확인할 수 있었다.
도 1은 본 발명에 따른 이종의 나노섬유가 직교하여 정렬된 환경가스 센서의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 이종의 나노섬유가 직교하여 정렬된 환경 가스 센서의 제작과정을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 제작된 이종의 나노섬유가 직교되게 형성된 나노섬유 표면을 촬영한 광학 현미경 사진이다.

Claims (15)

  1. 절연 기판;
    상기 절연 기판 상에 형성된 금속 전극; 및
    상기 금속 전극 상에, 각각 다른 특정 가스에 고반응성을 갖는 이종의 나노섬유가 서로 직교하게 정렬된 감지층을 포함하고,
    이종의 가스를 동시에 감지하는 환경가스 센서.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 절연 기판은 산화물 단결정 기판, 세라믹 기판, 실리콘 반도체 기판, 유리기판, 기판의 뒷면 또는 상부에 마이크로히터가 포함된 절연 기판, 마이크로히터로 내장된 마이크로머신 구조체 기판으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 절연 기판은 0.1 내지 1㎜의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  4. 제 1항에 있어서.
    상기 금속 전극은 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 주석(Sn), 몰리브덴(Mo) 및 인듐(In)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 금속 전극의 두께는 10㎚ 내지 1000㎚인 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 이종의 나노섬유는 유기 또는 무기 반도체 나노섬유로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 이종의 나노섬유 중 일종은 n-형 산화물 반도체 화합물이고, 다른 종은 p-형 산화물 반도체 화합물인 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  8. 제 7항에 있어서,
    n-형 산화물 반도체 화합물은 ABO3형 페로브스카이트 산화물(BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3), MgO, CaO, TiO2, ZrO2, V2O5, Nb2O5, Ta2O5, MoO3, WO3, ZnO, Al2O3, Ga2O3, In2O3, 및 SnO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되고, p-형 산화물 반도체 화합물은 Y2O3, La2O3, CeO2, Mn2O3, Co2O4, NiO, PdO, Ag2O, Bi2O3,Sb2O3, Cu, 및 TeO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 금속 전극은 상기 이종의 나노섬유 중 일종이 정렬되는 한 쌍의 제1 금속 전극과, 다른 종이 정렬되는 한 쌍의 제2 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 나노섬유는 그의 직경이 1㎚ 내지 1000㎚인 것을 특징으로 하는 환경가스 센서.
  11. 환경가스 센서의 제조방법에 있어서,
    절연 기판 상에 금속 전극을 형성하는 단계;
    상기 금속 전극 상에 전기방사를 통해 각각 다른 특정 가스에 고반응성을 갖는 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계; 및
    상기 정렬된 이종의 나노섬유를 열처리하여 감지층을 형성하는 단계
    를 포함하고,
    상기 환경가스 센서는 이종의 가스를 동시에 감지하는
    환경가스 센서의 제조방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계는
    한 쌍의 제1 금속 전극 상에 일종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 일종의 나노섬유를 정렬하는 단계; 및
    한 쌍의 제2 금속 전극 상에 다른 종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 다른 종의 나노섬유를 상기 일종의 나노섬유와 서로 직교하게 정렬하는 단계를 포함하는 환경가스 센서의 제조방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 일종의 산화물 반도체는 n-형 반도체 산화물이고, 상기 다른 종의 산화물 반도체는 p-형 반도체 산화물인 환경가스 센서의 제조방법.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 일종의 산화물 반도체는 p-형 반도체 산화물이고, 상기 다른 종의 산화물 반도체는 n-형 반도체 산화물인 환경가스 센서의 제조방법.
  15. 제 12항에 있어서,
    상기 산화물 반도체/폴리머 복합용액은 금속산화물 또는 금속산화물 전구체, 폴리머 및 용매를 혼합한 후, 상온 이상의 온도에서 교반하여 제조되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서의 제조방법.
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