JP2009139155A - 検査システム、画像検査装置及びその制御方法 - Google Patents
検査システム、画像検査装置及びその制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】制御手段1は、カメラCの画像に所定の異常を検出すると、次のように各駆動手段K1,K2を制御することにより、拡大レンズL5をカメラCとレンズL1の間に挿入する。すなわち、第一の駆動手段K1によりカメラCをレンズL1からいったん解離させ、この状態で、第二の駆動手段K2により拡大レンズL5を、カメラCとレンズL1間の所定の挿入位置へ進出させ、その後、第一の駆動手段K1によりカメラCを拡大レンズL5へ進出させる。
【選択図】図3
Description
本実施形態は、電子部品を対象物(以下「ワーク」とも呼ぶ)として検査する画像検査装置を組み込んだ検査システム(以下「本システム」と呼ぶ)であり、本システムを上方から見た平面図を図1に示す。この図に示すように、まず、本システムは、回転体状のターンテーブルTと、ターンテーブルTを回転させるモータ5と、を有し、テストハンドラとも呼ぶ。また、本システムでは、それぞれワークを真空吸着ノズルなどで保持搬送する搬送手段(ハンドリングユニットなどと呼ばれる)Hを、ターンテーブルTに等しい角度間隔(例えば45度、22.5度など)で複数設ける。
上記のように構成した本実施形態では、概要としては、カメラCとレンズL1の間に拡大レンズL5を同じ向きで挟む形で挿入すればミクロ画像(図3(2))、抜き出せばマクロ画像に切り替わり(図2)、第一及び第二の各駆動手段K1,K2は、拡大レンズL5を挟んだ状態との切替機構である。
以上のように、本実施形態では、大型で高価なズームレンズを常用せず、カメラCと通常のレンズL1の間に拡大レンズL5を必要な場合に挿入して用いるという簡易な構成により、切替え時に対象物とレンズの焦点距離が変わらないのでその調整も要さず、通常のズームレンズより切替えが高速化され、検査のスピードすなわち高生産性を維持したまま、解像度の高いミクロ検査により検査精度も改善可能となり、良品を不良品とする誤検出も排除できる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、次に例示するもの及びそれ以外の実施形態も含むものである。例えば、第一のレンズにおいてはズーム機能は必須ではなく、また、図2では、説明を単純化するためにカメラのレンズを上向きに示したが、実際にはミラーや、ビームスプリッタなどのプリズムなどを用いて、カメラのレンズを横向きや下向きとする構成でもよい。
5…モータ
C…カメラ
H…搬送手段
K1,K2…駆動手段
L1…第一のレンズ
L5…拡大レンズ
P…パーツフィーダ
R…接合用リング
S(S1〜S7)…装置
T…ターンテーブル
W…対象物
Claims (4)
- 電子部品を対象物として検査するための画像を得るカメラ及びレンズを有する画像検査装置において、
第一のレンズに対して前記カメラを進退させる第一の駆動手段と、
前記カメラと前記第一のレンズの間に挟んで用いる拡大レンズを、前記カメラと前記第一のレンズ間の所定の挿入位置と、所定の退避位置と、に進退させる第二の駆動手段と、
前記カメラからの前記画像をもとに前記各駆動手段を制御する制御手段と、
を有し、
前記第二の駆動手段は、前記拡大レンズを光軸に直交するX軸及びY軸で定まる任意の位置に移動させるように構成され、
前記制御手段は、
前記カメラの画像に所定の異常を検出すると、前記第一の駆動手段により前記カメラを前記第一のレンズから解離させ、前記第二の駆動手段により前記拡大レンズを前記挿入位置へ進出させ、前記第一の駆動手段により前記カメラを前記拡大レンズへ進出させ、
前記画像のどの箇所で前記異常が検出されたかに応じ、前記第二の駆動手段を制御することにより、前記拡大レンズを光軸に直交する前記X軸及びY軸方向に移動させることにより、カメラ視野を前記異常の箇所に移動させる
ように構成したことを特徴とする画像検査装置。 - 回転体状のターンテーブルと、前記ターンテーブルを回転させるモータと、を有し、
それぞれ前記対象物を保持搬送する複数の搬送手段を、前記ターンテーブルに等しい角度間隔で設け、
前記ターンテーブル周囲に前記角度間隔に対応して設けた各装置の少なくとも一つが、請求項1記載の画像検査装置である
ことを特徴とする検査システム。 - 前記画像検査装置は、前記第二の駆動手段における前記X軸又はY軸が前記ターンテーブルの中心方向と一致する向きに設置したことを特徴とする請求項2記載の検査システム。
- 電子部品を対象物として検査するための画像を得るカメラ及びレンズと、
第一のレンズに対して前記カメラを進退させる第一の駆動手段と、
前記カメラと前記第一のレンズの間に挟んで用いる拡大レンズを、前記カメラと前記第一のレンズ間の所定の挿入位置と、所定の退避位置と、に進退させるとともに、前記拡大レンズを光軸に直交するX軸及びY軸で定まる任意の位置に移動させるように構成された、第二の駆動手段と、
前記カメラからの前記画像をもとに前記各駆動手段を制御する制御手段と、
を有する画像検査装置の制御方法であって、
前記制御手段により、前記カメラの画像に所定の異常を検出した場合に、
前記第一の駆動手段により前記カメラを前記第一のレンズから解離させる処理ステップと、
前記第二の駆動手段により前記拡大レンズを前記挿入位置へ進出させる処理ステップと、
前記第一の駆動手段により前記カメラを前記拡大レンズへ進出させる処理ステップと、
前記画像のどの箇所で前記異常が検出されたかに応じ、前記第二の駆動手段を制御することにより、前記拡大レンズを光軸に直交する前記X軸及びY軸方向に移動させることにより、カメラ視野を前記異常の箇所に移動させる処理ステップと、
を実行することを特徴とする画像検査装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007314080A JP2009139155A (ja) | 2007-12-04 | 2007-12-04 | 検査システム、画像検査装置及びその制御方法 |
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JP2009139155A true JP2009139155A (ja) | 2009-06-25 |
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JP2007314080A Pending JP2009139155A (ja) | 2007-12-04 | 2007-12-04 | 検査システム、画像検査装置及びその制御方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7126285B1 (ja) * | 2021-09-17 | 2022-08-26 | 上野精機株式会社 | 電子部品の処理装置 |
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JPS6472540A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-17 | Kla Instr Corp | Radiation microscope and method for detecting light emitted from defect in dielectric layer of integrated circuit device |
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-
2007
- 2007-12-04 JP JP2007314080A patent/JP2009139155A/ja active Pending
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