JP2009134030A5 - - Google Patents
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Claims (21)
- 可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、シロキサン(Si−O)結合を含む原子構造を有するSi骨格と、前記Si骨格に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Si骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記接合膜を構成する全原子からH原子を除いた原子のうち、Si原子の含有率とO原子の含有率の合計が、10〜90原子%である請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記接合膜中のSi原子とO原子の存在比は、3:7〜7:3である請求項1または2に記載のアクチュエータ。
- 前記Si骨格の結晶化度は、45%以下である請求項1ないし3のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記脱離基は、H原子、B原子、C原子、N原子、O原子、P原子、S原子およびハロゲン系原子、またはこれらの各原子が前記Si骨格に結合するよう配置された原子団からなる群から選択される少なくとも1種で構成されたものである請求項1ないし4のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記脱離基は、アルキル基である請求項5に記載のアクチュエータ。
- 前記接合膜は、プラズマ重合により形成されたものである請求項1ないし6のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記接合膜は、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されている請求項7に記載のアクチュエータ。
- 前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物である請求項8に記載のアクチュエータ。
- 前記接合膜の平均厚さは、1〜1000nmである請求項1ないし9のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、前記金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とするアクチュエータ。 - 可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記接合膜は、流動性を有しない固体状のものである請求項1ないし12のいずれかに記載のアクチュエータ。
- さらに、前記センサからの信号を受信して、前記可動板の挙動として、前記可動板の振動の振幅、振動数および変位量のうちの少なくとも1つを検知する挙動検知手段を有する請求項1ないし13のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記センサは、前記接合膜を介して前記支持部に接合された、前記可動板の側方からその回動空間に向け光を発光する発光部と、前記接合膜を介して前記支持部に接合された、前記発光部で発光された光を受光する受光部とを有しており、
前記挙動検知手段は、前記受光部によって受光された光の強度に基づいて、前記可動板の挙動を光学的に検知するように構成されている請求項14に記載のアクチュエータ。 - 前記発光部は、発光素子および光導波路を有し、前記発光素子が前記光導波路を介して前記回動空間へ光を照射するように構成されており、
前記接合膜を介して、前記光導波路が前記支持部に接合されている請求項15に記載のアクチュエータ。 - 前記受光部は、受光素子および光導波路を有し、前記受光素子が前記光導波路を介して受光するように構成されており、
前記接合膜を介して、前記光導波路が前記支持部に接合されている請求項15または16に記載のアクチュエータ。 - 前記光導波路は、ガラス材料を主材料として構成されている請求項16または17に記載のアクチュエータ。
- 前記支持部は、シリコン材料を主材料として構成されている請求項15ないし18のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 請求項1ないし19のいずれかに記載のアクチュエータと、
前記可動板に設けられ、光反射性を有する光反射部とを有することを特徴とする光スキャナ。 - 請求項20に記載の光スキャナを備え、前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成されていることを特徴とする画像形成装置。
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JP2007309557A JP2009134030A (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007309557A JP2009134030A (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009134030A JP2009134030A (ja) | 2009-06-18 |
JP2009134030A5 true JP2009134030A5 (ja) | 2011-01-13 |
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Family Applications (1)
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JP2007309557A Withdrawn JP2009134030A (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
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JP2007233192A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
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2007
- 2007-11-29 JP JP2007309557A patent/JP2009134030A/ja not_active Withdrawn
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