JP2009134028A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009134028A5 JP2009134028A5 JP2007309555A JP2007309555A JP2009134028A5 JP 2009134028 A5 JP2009134028 A5 JP 2009134028A5 JP 2007309555 A JP2007309555 A JP 2007309555A JP 2007309555 A JP2007309555 A JP 2007309555A JP 2009134028 A5 JP2009134028 A5 JP 2009134028A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding film
- movable plate
- optical device
- recess
- atom
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 10
- 125000004429 atoms Chemical group 0.000 claims 7
- 210000002356 Skeleton Anatomy 0.000 claims 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 5
- 125000004430 oxygen atoms Chemical group O* 0.000 claims 4
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 125000005373 siloxane group Chemical group [SiH2](O*)* 0.000 claims 2
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N Simethicone Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000004432 carbon atoms Chemical group C* 0.000 claims 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 125000004435 hydrogen atoms Chemical group [H]* 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims 1
- 125000004433 nitrogen atoms Chemical group N* 0.000 claims 1
- 125000004437 phosphorous atoms Chemical group 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims 1
- 125000004434 sulfur atoms Chemical group 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007309555A JP5141213B2 (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007309555A JP5141213B2 (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009134028A JP2009134028A (ja) | 2009-06-18 |
JP2009134028A5 true JP2009134028A5 (zh) | 2011-01-20 |
JP5141213B2 JP5141213B2 (ja) | 2013-02-13 |
Family
ID=40865956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007309555A Expired - Fee Related JP5141213B2 (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5141213B2 (zh) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5589459B2 (ja) | 2010-03-15 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
JP5458983B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルターの製造方法 |
JP6010275B2 (ja) | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
JP2011191555A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 光フィルターの製造方法、分析機器および光機器 |
JP2011232447A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、光フィルターモジュール、および分析機器 |
JP5640549B2 (ja) | 2010-08-19 | 2014-12-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターの製造方法および光機器 |
JP5640659B2 (ja) | 2010-11-02 | 2014-12-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターの製造方法、及び光機器 |
JP5641220B2 (ja) | 2010-11-12 | 2014-12-17 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
JP5630227B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2014-11-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルターおよび光フィルターの製造方法 |
KR101183882B1 (ko) | 2010-12-27 | 2012-09-19 | 전자부품연구원 | 정전기력 파장 가변 필터 제작방법 |
JP5845588B2 (ja) | 2011-02-09 | 2016-01-20 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置および波長可変干渉フィルターの製造方法 |
JP5909850B2 (ja) | 2011-02-15 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
JP5703813B2 (ja) | 2011-02-16 | 2015-04-22 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
JP2012173314A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および電子機器 |
JP5987573B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法 |
JP5765465B2 (ja) * | 2014-05-02 | 2015-08-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルターの製造方法 |
JP6135707B2 (ja) * | 2015-05-07 | 2017-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
-
2007
- 2007-11-29 JP JP2007309555A patent/JP5141213B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009134028A5 (zh) | ||
JP2009134025A5 (zh) | ||
JP2009220581A5 (ja) | 接合体 | |
JP2009134027A5 (zh) | ||
WO2008009575A3 (en) | Method of bonding | |
JP2016525234A5 (zh) | ||
JP2009098465A5 (zh) | ||
JP2004536722A5 (zh) | ||
JP2011508250A5 (zh) | ||
JP2009134026A5 (zh) | ||
JP6700004B2 (ja) | 光学部材の製造方法 | |
CN107768415A (zh) | 柔性显示器件、显示装置以及制造方法 | |
WO2008108178A1 (ja) | マイクロチップの製造方法 | |
JP2019210446A5 (zh) | ||
WO2008149745A1 (ja) | 接着方法並びにそれを用いて作製したバイオケミカルチップ及び光学部品 | |
CN207303146U (zh) | 柔性显示器件和显示装置 | |
ATE337380T1 (de) | Verfahren zum kleben von substraten unter verwendung einer uv-aktivierbaren klebfolie, sowie eine uv- bestrahlungsvorrichtung. | |
JP2009227778A5 (ja) | 積層体の製造方法 | |
KR101405074B1 (ko) | 커버글라스와 액정 패널의 합착을 위한 점착액 도포방법 | |
KR102051822B1 (ko) | 미디어 패널 및 이의 제조방법 | |
ATE387639T1 (de) | Herstellung einer optischen verbindungsschicht auf einem elektronischen schaltkreis | |
JP6213126B2 (ja) | 接着性組成物およびその接着方法、および接着後の剥離方法 | |
JP2009098464A5 (zh) | ||
JP2013137351A5 (zh) | ||
JP2010030048A5 (zh) |