JP2009134027A5 - - Google Patents

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JP5640659B2 (ja) * 2010-11-02 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターの製造方法、及び光機器
JP5630227B2 (ja) 2010-11-15 2014-11-26 セイコーエプソン株式会社 光フィルターおよび光フィルターの製造方法
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6356689B1 (en) * 2000-03-25 2002-03-12 Lucent Technologies, Inc. Article comprising an optical cavity
JP4185409B2 (ja) * 2002-06-27 2008-11-26 松下電器産業株式会社 光導波路の製造方法
JP3714338B2 (ja) * 2003-04-23 2005-11-09 ウシオ電機株式会社 接合方法
JP4742503B2 (ja) * 2004-02-27 2011-08-10 セイコーエプソン株式会社 成膜方法

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