JP2009122461A - 光波長合分波回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光波長合分波回路100は、入力導波路101と、第1のスラブ導波路102と、複数本の導波路を有するアレイ導波路103と、第2のスラブ導波路104と、出力導波路105とを備える。本発明に係るテーパ導波路206が入力導波路101と第1のスラブ導波路102との間に設けられている。また、第2のスラブ導波路104と出力導波路105との間には、直線テーパ207で設けられている。テーパ導波路206は、光波の進行方向軸に対して非対称な形状を有する。
【選択図】図3
Description
を備えるアレイ導波路回折格子で構成された光波長合分波器であって、前記入力導波路、前記テーパ導波路、および前記出力導波路は、それぞれ複数配列され、前記複数のテーパ導波路のうちの少なくとも2つ以上のテーパ導波路は、前記2つ以上のテーパ導波路のそれぞれと接続する入力導波路の中心線を延長した線に関してそれぞれ非対称な形状であり、前記非対称な2つ以上のテーパ導波路には、非対称性の異なる2種類以上のテーパ導波路が含まれ、前記非対称な2つ以上のテーパ導波路は、テーパ導波路形状の内側にギャップが無く、すべてがコアで塗りつぶされた構造であることを特徴とする。
図1は、実施形態1に係る光波長合分波回路の平面図である。光波長合分波回路100は、入力導波路101と、第1のスラブ導波路102と、複数本の導波路を有するアレイ導波路103と、第2のスラブ導波路104と、出力導波路105とを備える。図2は、本実施形態に係るテーパ導波路を備える光波長合分波回路の一部の拡大図である。入力導波路101と第1のスラブ導波路102との接続部分、および第2のスラブ導波路104と出力導波路105との接続部分を拡大して示してある。本発明に係るテーパ導波路206が入力導波路101と第1のスラブ導波路102との間に設けられている。また、第2のスラブ導波路104と出力導波路105との間には、直線テーパ207で設けられている。
図3に、実施例1−1に係るテーパ導波路を示した。本実施例においては、Y=120μm、WS=4.5μm、WE1=WE2=9.0μm、γ1=2.8、γ2=1.2とした。また直線テーパ107は、出力導波路105側の幅4.5μm、第2のスラブ導波路104側の幅7.0μm、テーパの長さ500μmとした。
図6に、実施例1−2にテーパ導波路を示した。本実施例では、Y=150μm、WS=4.5μm、WE1=WE2=8.0μm、γ1=0.3、γ2=0.7、ε1=ε2=2.5とした。直線テーパ207は、出力導波路105側の幅4.5μm、第2のスラブ導波路104側の幅7.0μm、テーパの長さ500μmとした。
図8に、実施例1−3にテーパ導波路を示した。本実施例では、Y=150μm、WS=4.5μm、WE1=8.4μm、WE2=7.6μm、γ1=γ2=0.5、ε1=ε2=2.5とした。また直線テーパ207は、出力導波路105側の幅4.5μm、第2のスラブ導波路104側の幅7.0μm、テーパの長さ500μmとした。
図10は、実施形態2に係る光波長合分波回路が備えるテーパ導波路の形状を説明する図である。本実施形態に係る光波長合分波回路は、テーパ導波路206以外は実施形態1に係る合分波回路と同一の構成である。アレイ導波路103から離れる方向をy軸、テーパ導波路206の幅方向にx軸とし、テーパ導波路206と第1のスラブ導波路102との接続位置(終点)でy=0としている。テーパ導波路206は、入力導波路101側の幅WSかつ第1のスラブ導波路102側の幅WE1+WE2で拡大し、yにおけるx>0側の幅w1が、正実数a1を用いて、
本実施例においてはY=140μm、WS=4.5μm、WE1=WE2=8.0μm、a1=0.012、a2=0.028とした。また直線テーパ207は出力導波路105側の幅4.5μm、第2のスラブ導波路104側の幅7.0μm、テーパの長さ500μmとした。
図12は、実施形態3に係る光波長合分波回路が備えるテーパ導波路の一部の拡大図である。本実施形態に係る光波長合分波回路は、入力導波路101、テーパ導波路1206、出力導波路105、および直線テーパ1207がそれぞれ2本以上配列されている点とテーパ導波路1206の構造を除いて、実施形態1に係る合分波回路と同一の構成である。図12では、例示的に複数の入力導波路101をin(1)〜in(5)、出力導波路105をout(1)〜out(16)と呼び、合分波チャネル数は8としている。この場合、AWGの特性から、in(N)(N=1、2、・・・、5)から入力し、out(M+10−2N)(M=1、2、・・・、8)へ通過する光波長は同一である。
実施例3−1では、テーパ導波路1206の第1のスラブ導波路102との接続部における配列間隔を30μm、直線テーパ1207の第2のスラブ導波路104との接続部における配列間隔は15μmとした。
実施例3−2では、テーパ導波路1206の第1のスラブ導波路102との接続部における配列間隔を30μm、直線テーパ1207の第2のスラブ導波路104との接続部における配列間隔は15μmとした。
実施例3−3では、テーパ導波路1206の第1のスラブ導波路102との接続部における配列間隔を30μm、直線テーパ1207の第2のスラブ導波路104との接続部における配列間隔は15μmとした。
実施形態4に係る光波長合分波回路は、テーパ導波路1206の構造を除いて、実施形態3に係る合分波回路と同一の構成である。i(i=1、2・・・、N)番目の入力導波路in(i)に接続するテーパ導波路1206は、アレイ導波路103から離れる方向をy軸、テーパ導波路1206の幅方向にx軸とし、テーパ導波路1206と第1のスラブ導波路102との接続位置でy=0としたとき、入力導波路101側の幅WSかつ第1のスラブ導波路102側の幅WE1(i)+WE2(i)で拡大し、yにおけるx>0側の幅幅w1(i)が、正実数a1(i)を用いて、
実施例4−1では、テーパ導波路1206の第1のスラブ導波路102との接続部における配列間隔を30μm、直線テーパ1207の第2のスラブ導波路104との接続部における配列間隔は15μmとした。
102、2202 第1のスラブ導波路
103、2203 アレイ導波路
104、2204 第2のスラブ導波路
105、2205 出力導波路
206、1206、2406 テーパ導波路
207、1207、2407 直線テーパ
2301 シリコン基板
2302 導波路コア
2303 クラッド
Claims (10)
- 複数本の導波路を有するアレイ導波路と、
前記アレイ導波路の第1および第2の端部にそれぞれ接続された第1および第2のスラブ導波路と、
前記第1のスラブ導波路に接続された入力導波路と、
前記第2のスラブ導波路に接続された出力導波路と、
前記入力導波路と前記第1のスラブ導波路とを接続するテーパ導波路と
を備えるアレイ導波路回折格子で構成された光波長合分波器であって、
前記テーパ導波路は、前記入力導波路の中心線を延長した線に関して非対称な形状であり、テーパ導波路形状の内側にギャップが無く、すべてがコアで塗りつぶされた構造であることを特徴とする光波長合分波回路。 - 前記テーパ導波路は、ε1≧2、ε2≧2、γ1<1、γ2<1という条件を満たすことを特徴とする請求項2に記載の光波長合分波回路。
- 複数本の導波路を有するアレイ導波路と、
前記アレイ導波路の第1および第2の端部にそれぞれ接続された第1および第2のスラブ導波路と、
前記第1のスラブ導波路に接続された入力導波路と、
前記第2のスラブ導波路に接続された出力導波路と、
前記入力導波路と前記第1のスラブ導波路とを接続するテーパ導波路と
を備えるアレイ導波路回折格子で構成された光波長合分波器であって、
前記入力導波路、前記テーパ導波路、および前記出力導波路は、それぞれ複数配列され、
前記複数のテーパ導波路のうちの少なくとも2つ以上のテーパ導波路は、前記2つ以上のテーパ導波路のそれぞれと接続する入力導波路の中心線を延長した線に関してそれぞれ非対称な形状であり、
前記非対称な2つ以上のテーパ導波路には、非対称性の異なる2種類以上のテーパ導波路が含まれ、
前記非対称な2つ以上のテーパ導波路は、テーパ導波路形状の内側にギャップが無く、すべてがコアで塗りつぶされた構造であることを特徴とする光波長合分波回路。 - 前記複数のテーパ導波路のうちの少なくとも1つ以上のテーパ導波路は、前記1つ以上のテーパ導波路のそれぞれと接続する入力導波路の中心線を延長した線に関してそれぞれ対称な形状であることを特徴とする請求項5に記載の光波長合分波回路。
- 前記入力導波路および前記テーパ導波路を、それぞれN(Nは2以上の整数)本備え、
前記複数のテーパ導波路はすべて、前記複数のテーパ導波路のそれぞれと接続する入力導波路の中心線を延長した線に関してそれぞれ非対称であり、かつ互いに異なる形状であり、
i(i=1、2・・・、N)番目の前記テーパ導波路は、
前記アレイ導波路の方向に向かって拡大しており、長さY、前記入力導波路との接続点の幅WS、前記第1のスラブ導波路との接続点の幅WE1(i)+WE2(i)であり、
前記テーパ導波路と前記第1のスラブ導波路との接続点からの距離yの位置における、前記非対称な形状の一方の側での幅w1(i)が、正実数γ1(i)および正実数ε1(i)を用いて、
γ1(i)≠γ2(i)、WE1(i)≠WE2(i)、ε1(i)≠ε2(i)のうちの少なくとも1つの条件を満足する非対称な一般化スーパー楕円関数形状であること特徴とする請求項5に記載の光波長合分波回路。 - 前記入力導波路および前記テーパ導波路を、それぞれK+L+1(K、Lは1以上の整数)本備え、
i(i=1、2、・・・、K+L+1)番目の前記テーパ導波路は、
前記アレイ導波路の方向に向かって拡大しており、長さY、前記入力導波路との接続点の幅WS、前記第1のスラブ導波路との接続点の幅幅WE1(i)+WE2(i)であり、
前記テーパ導波路と前記第1のスラブ導波路との接続点からの距離yの位置における、前記非対称な形状の一方の側での幅w1(i)が、正実数γ1(i)および正実数ε1(i)を用いて、
1≦i≦Kの各iに関して、γ1(i)>γ2(i)、WE1(i)>WE2(i)、ε1(i)>ε2(i)のうちの少なくとも1つの条件を満足し、i=K+1に関して、γ1(i)=γ2(i)、WE1(i)=WE2(i)、ε1(i)=ε2(i)の条件を満足し、K+2≦i≦K+L+1の各iに関して、γ1(i)<γ2(i)、WE1(i)<WE2(i)、ε1(i)<ε2(i)のうちの少なくとも1つの条件を満足する非対称および対称な一般化スーパー楕円関数形状であること特徴とする請求項6に記載の光波長合分波回路。 - 前記入力導波路および前記テーパ導波路を、それぞれN(Nは2以上の整数)本備え、
i(i=1、2、・・・、N)番目の前記テーパ導波路は、
前記アレイ導波路の方向に向かって拡大しており、長さY、前記入力導波路との接続点の幅WS、前記第1のスラブ導波路との接続点の幅幅WE1(i)+WE2(i)であり、
前記テーパ導波路と前記第1のスラブ導波路との接続点からの距離yの位置における、前記非対称な形状の一方の側での幅w1(i)が、正実数a1(i)を用いて、
a1(i)≠a2(i)、WE1(i)≠WE2のうちの少なくとも1つの条件を満足する非対称な指数関数形状であることを特徴とする請求項5に記載の光波長合分波回路。 - 前記入力導波路および前記テーパ導波路を、それぞれK+L+1(K、Lは1以上の整数)本備え、
i(i=1、2、・・・、K+L+1)番目の前記テーパ導波路は、
前記アレイ導波路の方向に向かって拡大しており、長さY、前記入力導波路との接続点の幅WS、前記第1のスラブ導波路との接続点の幅WE1(i)+WE2(i)であり、
前記テーパ導波路と前記第1のスラブ導波路との接続点からの距離yの位置における、前記非対称な形状の一方の側での幅w1(i)が、正実数a1(i)を用いて、
1≦i≦Kの各iに関して、a1(i)>a2(i)、WE1(i)>WE2(i)のうちの少なくとも1つの条件を満足し、i=K+1に関して、a1(i)=a2(i)、WE1(i)=WE2の条件を満足し、K+2≦i≦K+L+1の各iに関して、a1(i)<a2(i)、WE1(i)<WE2(i)のうちの少なくとも1つの条件を満足する非対称および対称な指数関数形状であることを特徴とする請求項6に記載の光波長合分波回路。
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JP2015001626A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光波長合分波回路 |
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JPH09297228A (ja) * | 1996-05-01 | 1997-11-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子 |
JP2007286077A (ja) * | 2004-05-20 | 2007-11-01 | Nec Corp | 光合分波器 |
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