JP2009122078A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 検査対象物に照明光を照射する照明部、該照明部により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部、及び、前記検査対象物を載置して検査を行うためのステージ、を有する検査部と、
   前記検査対象物を、前記ステージに受け渡すと共に該ステージから受け取るための搬送部と、
   を備える外観検査装置において、
   前記撮像部の光軸は、前記検査対象物から前記撮像部へ向う光路中で前記搬送部から離れる方向に偏向されている、
   ことを特徴とする外観検査装置。
   
2. 前記照明部の光軸は、前記検査対象物から前記照明部へ向う光路中で前記搬送部から離れる方向に偏向されていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
   
3. 前記撮像部及び前記照明部は、共通の回動軸を中心に回動することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の外観検査装置。
   
4. 前記撮像部と共通の回動軸を中心に回動する前記照明部は、明視野観察又は回折光による観察を行なう検査に用いられることを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。
   
5. 前記撮像部の回動軸を含む鉛直な平面に対し前記搬送部の反対側に、明視野観察用照明部及び暗視野観察用照明部の少なくとも一方を更に備えることを特徴とする請求項１から求項４のいずれか１項記載の外観検査装置。
   
6. 前記ステージは、前記検査対象物を前記搬送部から受け取ると共に該搬送部に受け渡す搬送位置と前記撮像部により前記検査対象物が撮像される撮像位置との間を移動することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の外観検査装置。
   
7. 前記撮像部は、前記検査対象物の表面を撮像する表面撮像部であり、
   前記検査部は、前記表面撮像部を有する表面検査部であり、
   前記外観検査装置は、前記検査対象物の裏面を撮像する裏面撮像部を有する裏面検査部を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
   
8. 前記表面検査部と前記裏面検査部とは、互いに平行に配置され、
   前記搬送部は、前記表面検査部及び前記裏面検査部に前記検査対象物を搬送する、ことを特徴とする請求項７記載の外観検査装置。
   
9. 前記表面検査部は、前記搬送部から搬送される検査対象物を、前記ステージに受け渡されるまで支持する上ハンドと、該上ハンドの下方に配置され、前記ステージから受け渡される検査対象物を、前記搬送部により搬送されるまで支持する下ハンドと、を更に有することを特徴とする請求項７又は請求項８記載の外観検査装置。
   
10. 前記搬送部は、表面が上方を向いた状態のまま前記検査対象物を前記表面検査部から前記裏面検査部に搬送し、
    前記裏面撮像部は、前記検査対象物の裏面を該検査対象物の下方から撮像する、 ことを特徴とする請求項７から請求項９のいずれか１項記載の外観検査装置。
    
11. 前記裏面検査部は、前記搬送部により搬送される検査対象物が搭載され、該検査対象物の周縁を支持する複数の搭載部を有し、
    該複数の搭載部は、下方にかけて前記検査対象物側に傾斜する傾斜面と、該傾斜面の下端から鉛直下方に延びる鉛直面と、該鉛直面の下端に設けられ前記検査対象物が載置される載置部と、を有する、ことを特徴とする請求項１０記載の外観検査装置。
    
12. 前記撮像部の光軸は、前記検査対象物から前記撮像部へ向う光路中でミラーにより前記搬送部から離れる方向に偏向されている、ことを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
    
13. 前記照明部の光軸は、前記検査対象物から前記照明部へ向う光路中でミラーにより前記搬送部から離れる方向に偏向されていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。