JP2009121907A - 磁気回転体およびその製造方法ならびに磁気回転体を用いたエンコーダ装置 - Google Patents
磁気回転体およびその製造方法ならびに磁気回転体を用いたエンコーダ装置 Download PDFInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 22
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Abstract
【解決手段】本発明に係る磁気回転体(メモリー円板17)は、回転軸2と一体に回転するように設けられる回転部材18を備え、この回転部材18の少なくとも一部にはパターン検出手段(発光素子26,受光素子27)により読み込まれる被検出パターン(反射パターン21)が設けられ、回転部材18の材質は、それ自体の回転状態を磁気回転検出手段(磁気センサ24)に検出可能にさせる磁性体であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
[発明の実施の形態1]
[発明の実施の形態2]
[発明の実施の形態3]
2 回転軸
3 ハウジング
6 カバー部材
14 ハブ
17 メモリー円板(磁気回転体)
18 回転部材
21 反射パターン(被検出パターン)
24 磁気センサ(磁気回転検出手段)
26 発光素子(パターン検出手段)
27 受光素子(パターン検出手段)
31 Niメッキ層
32 Alメッキ層
33 非反射膜
34 露出反射部
Claims (4)
- 回転軸と一体に回転するように設けられる回転部材を備え、前記回転部材の少なくとも一部にはパターン検出手段により読み込まれる被検出パターンが設けられ、前記回転部材の材質は、それ自体の回転状態を磁気回転検出手段に検出可能にさせる磁性体であることを特徴とする磁気回転体。
- 前記被検出パターンは、前記回転部材の少なくとも一部を鏡面研磨し、この鏡面研磨した面に反射膜と非反射膜とを順次形成してから前記非反射膜を部分的に削除して反射パターンを形成した反射検出式であることを特徴とする請求項1に記載の磁気回転体。
- 請求項1又は2に記載の磁気回転体の製造方法であって、
前記回転部材を希土類磁石で形成し、
前記回転部材のパターンニング面にNiメッキ層を施し、
前記Niメッキ層の表面を鏡面研磨し、
前記鏡面研磨したNiメッキ層の表面に反射率85%以上のAlメッキ層を施し、
前記Alメッキ層の表面にCr蒸着により非反射膜を形成し、
前記Cr蒸着により形成した非反射膜をエッチングにより部分的に削除して露出反射部を形成することにより、反射検出式の被検出パターンとしての反射パターンを形成することを特徴とする磁気回転体の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の磁気回転体をメモリー円板として用いたことを特徴とするエンコーダ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009121907A true JP2009121907A (ja) | 2009-06-04 |
JP5239303B2 JP5239303B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP5239303B2 (ja) |
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