JP2009115345A - 薬液用熱交換装置 - Google Patents
薬液用熱交換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009115345A JP2009115345A JP2007286564A JP2007286564A JP2009115345A JP 2009115345 A JP2009115345 A JP 2009115345A JP 2007286564 A JP2007286564 A JP 2007286564A JP 2007286564 A JP2007286564 A JP 2007286564A JP 2009115345 A JP2009115345 A JP 2009115345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical
- outer plate
- plate portion
- liquid contact
- heat exchanger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
【解決手段】 インナプレート部2とアウタプレート部3,4により独立した接液ユニット部Uaを構成するとともに、伝熱性を有する装着プレート7,8の一面7f,8fに温調器5,6を取付けることにより独立した温調ユニット部Ub,Ucを構成し、装着プレート7,8の他面7i,8iをアウタプレート部3,4の外面3f,4fに当接させ、かつ所定の固定具9…,9…により温調ユニット部Ub,Ucを接液ユニット部Uaに対して着脱可能に固定する。
【選択図】 図1
Description
Claims (8)
- 所定の厚さを有し、かつ表裏面に貫通する空間を有するインナプレート部の表裏面を、伝熱性を有する一対のアウタプレート部により挟み、内部に薬液が流通する熱交換室を設けるとともに、前記アウタプレート部の外面に温調器を付設してなる薬液用熱交換装置において、前記インナプレート部と前記アウタプレート部により独立した接液ユニット部を構成するとともに、伝熱性を有する装着プレートの一面に前記温調器を取付けることにより独立した温調ユニット部を構成し、前記装着プレートの他面を前記アウタプレート部の外面に当接させ、かつ所定の固定具により前記温調ユニット部を前記接液ユニット部に対して着脱可能に固定してなることを特徴とする薬液用熱交換装置。
- 前記装着プレートの他面と前記アウタプレート部の外面間には伝熱性グリスを介在させることを特徴とする請求項1記載の薬液用熱交換装置。
- 前記温調器は、ペルチェ素子による少なくとも一つ以上の電子モジュールを有する冷却器又は加熱器を用いることを特徴とする請求項1記載の薬液用熱交換装置。
- 前記インナプレート部は、耐薬品性素材により一体形成することを特徴とする請求項1記載の薬液用熱交換装置。
- 前記インナプレート部は、耐薬品性素材以外の素材により形成し、表面に耐薬品性素材をライニングすることを特徴とする請求項1記載の薬液用熱交換装置。
- 前記アウタプレート部は、伝熱性素材により形成したアウタプレート本体部と、このアウタプレート本体部の内面に付設し、かつ耐薬品性素材により形成した接液層部により構成することを特徴とする請求項1記載の薬液用熱交換装置。
- 前記接液層部は、アウタプレート本体部の内面にライニングした耐薬品性皮膜部であることを特徴とする請求項6記載の薬液用熱交換装置。
- 前記接液層部は、耐薬品性素材により形成した接液プレート部と、この接液プレート部を前記インナプレート部に固定する固定部材により構成し、前記アウタプレート本体部を前記装着プレートに兼用させることを特徴とする請求項6記載の薬液用熱交換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007286564A JP2009115345A (ja) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | 薬液用熱交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007286564A JP2009115345A (ja) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | 薬液用熱交換装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009115345A true JP2009115345A (ja) | 2009-05-28 |
Family
ID=40782678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007286564A Pending JP2009115345A (ja) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | 薬液用熱交換装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009115345A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102076110B1 (ko) * | 2019-11-15 | 2020-02-11 | 방민철 | 반도체 제조를 위한 약액의 온도제어장치 |
KR102094009B1 (ko) * | 2020-01-13 | 2020-03-26 | 방민철 | 반도체 제조를 위한 약액의 온도제어장치 |
WO2020100596A1 (ja) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 株式会社Kelk | 温調装置 |
KR20220035301A (ko) * | 2020-09-13 | 2022-03-22 | 글로벌라이트 주식회사 | 반도체 처리액 온도 유지 장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09105596A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-04-22 | Orion Mach Co Ltd | 耐薬品性熱交換器 |
JP2003002209A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Santoku Kagaku Kogyo Kk | 小型ドラム缶の搬送方法 |
JP2003049992A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Shikoku Electric Power Co Inc | 管内液体の凍結装置 |
WO2006067838A1 (ja) * | 2004-12-21 | 2006-06-29 | Advantest Corporation | ペルチェ素子駆動方法および回路、ペルチェモジュールの取付構造ならびに電子部品ハンドリング装置 |
JP2007087774A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Orion Mach Co Ltd | 液体温調装置 |
-
2007
- 2007-11-02 JP JP2007286564A patent/JP2009115345A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09105596A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-04-22 | Orion Mach Co Ltd | 耐薬品性熱交換器 |
JP2003002209A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Santoku Kagaku Kogyo Kk | 小型ドラム缶の搬送方法 |
JP2003049992A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Shikoku Electric Power Co Inc | 管内液体の凍結装置 |
WO2006067838A1 (ja) * | 2004-12-21 | 2006-06-29 | Advantest Corporation | ペルチェ素子駆動方法および回路、ペルチェモジュールの取付構造ならびに電子部品ハンドリング装置 |
JP2007087774A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Orion Mach Co Ltd | 液体温調装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020100596A1 (ja) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 株式会社Kelk | 温調装置 |
JP2020087979A (ja) * | 2018-11-15 | 2020-06-04 | 株式会社Kelk | 温調装置 |
CN113039629A (zh) * | 2018-11-15 | 2021-06-25 | 株式会社Kelk | 调温装置 |
JP7236845B2 (ja) | 2018-11-15 | 2023-03-10 | 株式会社Kelk | 温調装置 |
CN113039629B (zh) * | 2018-11-15 | 2024-04-12 | 株式会社Kelk | 调温装置 |
US11978621B2 (en) | 2018-11-15 | 2024-05-07 | Kelk Ltd. | Temperature adjustment device with spacers |
KR102076110B1 (ko) * | 2019-11-15 | 2020-02-11 | 방민철 | 반도체 제조를 위한 약액의 온도제어장치 |
KR102094009B1 (ko) * | 2020-01-13 | 2020-03-26 | 방민철 | 반도체 제조를 위한 약액의 온도제어장치 |
CN113113327A (zh) * | 2020-01-13 | 2021-07-13 | 方珉喆 | 半导体制造用化学药液的温度控制装置 |
KR20220035301A (ko) * | 2020-09-13 | 2022-03-22 | 글로벌라이트 주식회사 | 반도체 처리액 온도 유지 장치 |
KR102477211B1 (ko) * | 2020-09-13 | 2022-12-13 | 글로벌라이트 주식회사 | 반도체 처리액 온도 유지 장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5159529A (en) | Composite liquid cooled plate for electronic equipment | |
KR100928893B1 (ko) | 약액용 온도 조절 장치 | |
US6991335B2 (en) | Liquid crystal projector | |
JP2009115345A (ja) | 薬液用熱交換装置 | |
US20090080159A1 (en) | Heat sink and cooling unit using the same | |
JP4977912B2 (ja) | 流体温調装置 | |
US20180005921A1 (en) | Information processing device and cooling unit | |
US9562703B2 (en) | In-line ultrapure heat exchanger | |
KR20010070176A (ko) | 파이프쿨러 및 그 파이프쿨러를 이용한 소형 온도조절기 | |
TW201634872A (zh) | 燈頭總成及其組裝方法 | |
US10978753B2 (en) | Battery module | |
JP4820721B2 (ja) | 薬液用熱交換器 | |
US20030172657A1 (en) | Fluid temperature control apparatus | |
KR101456813B1 (ko) | 가열 장치 | |
JPH10507593A (ja) | 電気モジュール用の冷却装置 | |
JP2009019805A (ja) | 流体温調装置 | |
US20180339507A1 (en) | Led print curing apparatus | |
KR102460881B1 (ko) | 온조 장치 | |
JP3724763B2 (ja) | 半導体処理液用冷却加熱装置 | |
JP7236846B2 (ja) | 温調装置及び温調装置の製造方法 | |
CN115707210A (zh) | 液冷式散热模块及具有该液冷式散热模块的电子装置 | |
US20200161825A1 (en) | Liquid cooled laser optical bench for thermal pointing stability | |
US20060228238A1 (en) | Coolant pump for x-ray device | |
JPH08193766A (ja) | 薬液温度調節用熱交換器 | |
KR101993798B1 (ko) | 열교환기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100927 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120926 |