JP2009111311A - Multilayered printed wiring board, and manufacturing method of multilayered printed wiring board - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve thermal resistance and thermal shock resistance by raising adhesion between the pattern of an inner layer and the insulating material of an outer layer. <P>SOLUTION: When manufacturing the inner layer 10a of a multilayered printed wiring board having three or more pattern layers in its thickness direction, following treatments are performed. A current carrying layer 13 made of a metal coat is formed on the surface of a base material 11 made of the insulating material. Subsequently, a plated resist 21a is formed in a portion other than a pattern forming portion on the current carrying layer. Then, a pattern 14 is formed in the pattern forming portion other than the plated resist 21a by electrolytic plating using the current carrying layer 13. A rough coat 15 is formed on the surface of the pattern 14 formed by a pattern forming process by forming a dendritic electrodeposition layer and a mat plated layer in turn, The plated resist 21a and the current carrying layer 13 below the plated resist 21a are removed. The inner layer 10a is thus manufacture. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、多層プリント配線板に関し、より詳しくは、はんだ耐熱性や熱衝撃性に優れた多層プリント配線板とその製造方法に関する。   The present invention relates to a multilayer printed wiring board, and more particularly to a multilayer printed wiring board excellent in solder heat resistance and thermal shock resistance and a method for manufacturing the same.

多層プリント配線板は、高密度化を図るべく3層以上のパターン層を有したプリント配線板であって、携帯電話や携帯情報端末などをはじめとしたさまざまな機器に使用されている。   The multilayer printed wiring board is a printed wiring board having three or more pattern layers in order to increase the density, and is used in various devices such as a mobile phone and a portable information terminal.

このような多層プリント配線板は、図6に示したような工程を経て製造される。図示例では、4層の多層プリント配線板101を示している。
まず、樹脂板102aの両面に銅箔102bを積層した銅張り積層板102(図6(a)参照)に貫通孔103を形成した後(図6(b)参照)、貫通孔103の内壁に無電解めっき及び電解めっきによりスルーホールめっき104を施して、銅張り積層板102の両面を通電可能な状態にする(図6(c)参照)。この部分は、最終的に内層間を通電するためのインナスルーホール103aとなる(図6(g)参照)。
Such a multilayer printed wiring board is manufactured through a process as shown in FIG. In the illustrated example, a multilayer printed wiring board 101 having four layers is shown.
First, a through hole 103 is formed in a copper clad laminate 102 (see FIG. 6A) in which a copper foil 102b is laminated on both surfaces of a resin plate 102a (see FIG. 6B), and then the inner wall of the through hole 103 is formed. Through-hole plating 104 is performed by electroless plating and electrolytic plating so that both surfaces of the copper-clad laminate 102 can be energized (see FIG. 6C). This portion finally becomes an inner through hole 103a for energizing the inner layer (see FIG. 6G).

続いて、図示は省略するが、パターンを形成する部分のみに、周知の手段でエッチングレジストを形成したのちエッチングを行って、エッチングレジストを形成した部分に銅箔102bを残す。そしてエッチングレジストの剥離を行い、パターン105を露出させる(図6(d)参照)。   Subsequently, although illustration is omitted, an etching resist is formed only on a portion where a pattern is to be formed by a well-known means, and then etching is performed to leave a copper foil 102b on the portion where the etching resist is formed. Then, the etching resist is removed to expose the pattern 105 (see FIG. 6D).

次に、パターン105上に黒化処理を行う(図6(e)参照)。これは、銅箔からなるパターン105と絶縁材料との密着性を高めるためのもので、パターン105の表面に亜酸化銅の被膜105aを形成する処理である。   Next, a blackening process is performed on the pattern 105 (see FIG. 6E). This is for increasing the adhesion between the pattern 105 made of copper foil and the insulating material, and is a process for forming a cuprous oxide film 105 a on the surface of the pattern 105.

この後は、内層であるパターン付き基材106の両面に外層を形成するためプリプレグ107と銅箔108とを積層したものを重ねて(図6(f)参照)熱プレスする(図6(g)参照)。ついで、貫通孔109をあけた後(図6(h)参照)、上述と同じ工程を経て外層を形成する(図6(h),(i),(j)参照)。図中、111は内外層間を通電するためのスルーホールめっき、109aはスルーホール、112はパターンである。   Thereafter, in order to form the outer layer on both surfaces of the patterned base material 106 which is the inner layer, a laminate of the prepreg 107 and the copper foil 108 is stacked (see FIG. 6F) and hot-pressed (FIG. 6G). )reference). Next, after opening the through hole 109 (see FIG. 6 (h)), the outer layer is formed through the same process as described above (see FIGS. 6 (h), (i), (j)). In the figure, 111 is a through-hole plating for energizing between the inner and outer layers, 109a is a through-hole, and 112 is a pattern.

そして最後に、バフ研磨や黒化処理等によって外層のパターンの表面を粗化したのち、ソルダレジストの塗布、セミキュア、露光、現像といったソルダレジスト処理を行って、ソルダレジスト113を形成する(図6(k)参照)。   Finally, the surface of the outer layer pattern is roughened by buffing, blackening, or the like, and then solder resist processing such as solder resist coating, semi-cure, exposure, and development is performed to form a solder resist 113 (FIG. 6). (See (k)).

すなわち、内層のパターン105は銅箔102bの不要部分を除去することで形成されている。また、内層のパターン105表面の粗化処理は、黒化処理で行われている。   That is, the inner layer pattern 105 is formed by removing unnecessary portions of the copper foil 102b. Further, the roughening process on the surface of the inner layer pattern 105 is performed by a blackening process.

上述のように内層のパターン105の表面は粗化されているため、絶縁材料との十分な密着性が得られそうであるが、必ずしも良好な密着性が得られるものではなかった。上述のように製造された多層プリント配線板101を、車載部品として求められる評価試験(3000サイクル熱衝撃試験(−80〜120℃))にかけたところ、デラミネーションやレジストはがれが散見された。   As described above, since the surface of the inner layer pattern 105 is roughened, sufficient adhesion to the insulating material is likely to be obtained, but good adhesion is not necessarily obtained. When the multilayer printed wiring board 101 manufactured as described above was subjected to an evaluation test (3000 cycle thermal shock test (−80 to 120 ° C.)) required as an in-vehicle component, delamination and resist peeling were observed.

この原因としては、第1に、内外層のパターンの粗化が黒化処理やバフ研磨によって行われるため、アンカー効果が弱いということが考えられる。
第2に、パターンの形成が銅箔における不要部分の除去により行われるものであることが考えられる。すなわち、図7(a)に示したように、銅箔102aの上にエッチングレジスト114を形成した後、エッチングを行い、エッチングレジスト114を除去してから(図7(b)参照)黒化処理を行う(図7(c)参照)。エッチングでは、銅箔102aの表面側と下面側でエッチングの深さに差が出るため、図7(d)に示したごとく、抜き勾配が形成されたような台形状の断面になる。
As a cause of this, firstly, since the roughening of the pattern of the inner and outer layers is performed by blackening treatment or buffing, it is considered that the anchor effect is weak.
Second, it is considered that the pattern is formed by removing unnecessary portions from the copper foil. That is, as shown in FIG. 7A, after forming an etching resist 114 on the copper foil 102a, etching is performed and the etching resist 114 is removed (see FIG. 7B). (See FIG. 7C). In the etching, since the etching depth differs between the front surface side and the lower surface side of the copper foil 102a, as shown in FIG. 7D, a trapezoidal cross section having a draft is formed.

なお、下記特許文献1のように、絶縁層上にめっきレジストを形成した後、絶縁層上に無電解めっきにより導電層を形成する方法が開示されている。   As disclosed in Patent Document 1 below, a method is disclosed in which after a plating resist is formed on an insulating layer, a conductive layer is formed on the insulating layer by electroless plating.

また、下記特許文献2のように、銅箔の表面粗化処理方法において、樹枝状銅電着層を形成したし上で、電解処理により樹枝状銅をコブ状銅に変化させるというものも提案されている。   Also, as disclosed in Patent Document 2 below, in the copper foil surface roughening treatment method, a dendritic copper electrodeposition layer is formed and then the dendritic copper is changed to bumpy copper by electrolytic treatment. Has been.

特開平8−148808号公報JP-A-8-148808 特開2005−353920号公報JP 2005-353920 A

しかし、特許文献1の方法では、無電解めっきにより形成された導電層の密着強度を向上できるとされているが、この導電層の上にさらに積層される絶縁層との密着性については開示されていない。また特許文献2の方法には、樹枝状銅電着層を形成した後に電解処理を行って銅箔の表面を粗化する方法が記載されているが、これは、銅箔をエッチングによって除去したときに樹脂基材に残銅現象が発生しないようにするためもので、銅箔の上に積層される絶縁層との密着性を向上させ、デラミネーション等を防止するものではない。   However, in the method of Patent Document 1, it is said that the adhesion strength of a conductive layer formed by electroless plating can be improved, but the adhesion with an insulating layer further laminated on this conductive layer is disclosed. Not. Moreover, although the method of patent document 2 describes the method of roughening the surface of copper foil by performing electrolytic treatment after forming a dendritic copper electrodeposition layer, this removed the copper foil by etching. This is to prevent the residual copper phenomenon from occurring on the resin base material, and it does not improve adhesion to the insulating layer laminated on the copper foil and prevent delamination or the like.

そこで、この発明は、新規な工程によって内層のパターンと外層の絶縁材料との密着性を高め、はんだ耐熱性や熱衝撃性を向上することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to improve the solder heat resistance and thermal shock resistance by improving the adhesion between the inner layer pattern and the outer insulating material by a novel process.

そのための手段は、厚さ方向に3層以上のパターン層を有する多層プリント配線板の内層の製造方法であって、少なくとも表面が絶縁材料からなる基材の表面に、金属被膜からなる通電層を形成する通電層形成工程と、通電層の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジストを形成するめっきレジスト形成工程と、めっきレジスト以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層を利用した電解めっきによってパターンを形成するパターン形成工程と、該パターン形成工程によって形成されたパターンの表面に、順に行われる樹枝状電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜を形成する粗面被膜形成工程と、上記めっきレジストと、めっきレジスト形成部分における通電層を除去する除去工程とを有する多層プリント配線板の内層の製造方法である。   A means therefor is a method for producing an inner layer of a multilayer printed wiring board having three or more pattern layers in the thickness direction, and at least a surface of a base material made of an insulating material is provided with a conductive layer made of a metal film. An electroplating layer forming step, a plating resist forming step for forming a plating resist on a portion other than the pattern forming portion on the energizing layer, and an electrolysis using the above energizing layer for a pattern forming portion other than the plating resist. A pattern forming step for forming a pattern by plating, and a rough surface coating for forming a rough surface coating by sequentially forming a dendritic electrodeposition layer and a matte plating layer on the surface of the pattern formed by the pattern forming step Multilayer printed wiring having a forming step, the plating resist, and a removing step for removing the conductive layer in the plating resist forming portion Which is the inner layer of the manufacturing method.

別の手段は、厚さ方向に3層以上のパターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、少なくとも表面が絶縁材料からなる基材の表面に、金属被膜からなる通電層を形成する通電層形成工程と、通電層の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジストを形成するめっきレジスト形成工程と、めっきレジスト以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層を利用した電解めっきによってパターンを形成するパターン形成工程と、該パターン形成工程によって形成されたパターンの表面に、順に行われる樹枝状電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜を形成する粗面被膜形成工程と、上記めっきレジストと、めっきレジスト形成部分における通電層を除去する除去工程とを有する多層プリント配線板の製造方法である。   Another means is a method for producing a multilayer printed wiring board having three or more pattern layers in the thickness direction, and at least the surface is formed with a conductive layer made of a metal film on the surface of a base material made of an insulating material. An electroplating layer forming step, a plating resist forming step for forming a plating resist on a portion other than the pattern forming portion on the energizing layer, and an electroplating using the above energizing layer on a pattern forming portion other than the plating resist A pattern forming step for forming a pattern, and a rough surface film forming step for forming a rough surface film by forming a dendritic electrodeposition layer and a matte plating layer in order on the surface of the pattern formed by the pattern forming step And a method for producing a multilayer printed wiring board, comprising: a plating resist; and a removal step of removing the conductive layer in the plating resist forming portion A.

この多層プリント配線板の製造方法は、上記除去工程後に、絶縁材料からなる絶縁板を積層して熱プレスする絶縁層被覆工程と、該絶縁層被覆工程で被覆した絶縁層の表面に、金属被膜からなる通電層を形成する外層形成用通電層形成工程と、通電層の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジストを形成する外層形成用めっきレジスト形成工程と、めっきレジスト以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層を利用した電解めっきによってパターンを形成する外層用パターン形成工程と、該外層用パターン形成工程によって形成されたパターンの表面に、順に行われる樹枝状電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜を形成する外層用粗面被膜形成工程と、上記めっきレジストと、めっきレジスト形成部分における通電層を除去する外層形成用除去工程と、ソルダレジストを形成するソルダレジスト形成工程が行われるものであるとよい。   The method for producing a multilayer printed wiring board includes an insulating layer coating step in which an insulating plate made of an insulating material is laminated and heat-pressed after the removing step, and a metal film is formed on the surface of the insulating layer coated in the insulating layer coating step. An outer layer forming energizing layer forming step for forming an energizing layer, an outer layer forming plating resist forming step for forming a plating resist on portions other than the pattern forming portion on the energizing layer, and pattern formation on portions other than the plating resist A pattern forming process for an outer layer in which a pattern is formed by electrolytic plating using the above-described current-carrying layer, and a dendritic electrodeposition layer and a matte layer which are sequentially formed on the surface of the pattern formed by the pattern forming process for the outer layer In the outer surface rough surface film forming step of forming a rough surface film by forming the plating layer, the plating resist, and the plating resist forming portion And an outer layer forming removal step of removing the conductive layer, may in which the solder resist forming step of forming a solder resist are performed.

さらに別の手段は、多層プリント配線板の内層であって、パターンの表面にこぶ状の凹凸を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の内層である。
この多層プリント配線板の内層にあっては、パターンの側面が略垂直に切り立った形状であるとよい。
Still another means is an inner layer of the multilayer printed wiring board, which is provided with a knurled unevenness on the surface of the pattern.
In the inner layer of this multilayer printed wiring board, it is preferable that the side surface of the pattern has a substantially vertical shape.

別の手段は、該多層プリント配線板の内層を備えた多層プリント配線板である。   Another means is a multilayer printed wiring board having an inner layer of the multilayer printed wiring board.

以上のように、この発明によれば、通電部とめっきレジストとによってパターンを形成し、形成されたパターンの上に、樹枝状電着層と無光沢めっきとによって粗面被膜を形成し、めっきレジストと不要な通電部とを除去するので、パターンの側面は垂直または略垂直に立ち、粗面被膜はこぶ状の凹凸となる。   As described above, according to the present invention, a pattern is formed by the current-carrying portion and the plating resist, and a rough surface film is formed on the formed pattern by the dendritic electrodeposition layer and the matte plating. Since the resist and unnecessary current-carrying portions are removed, the side surfaces of the pattern stand vertically or substantially vertically, and the rough surface film has knurled irregularities.

このため、パターンと、パターンの上に重ねられる絶縁層との密着強度を向上でき、デラミネーションなどの発生を抑え、高いはんだ耐熱性や熱衝撃性を得ることができる。   For this reason, the adhesion strength between the pattern and the insulating layer stacked on the pattern can be improved, the occurrence of delamination and the like can be suppressed, and high solder heat resistance and thermal shock resistance can be obtained.

また、パターンはめっきで形成するので、銅箔をエッチングするエッチング工程を省略できる。この結果、多層プリント配線板の製造に要する設備に対するコストを低減することが可能となる。   Moreover, since the pattern is formed by plating, an etching process for etching the copper foil can be omitted. As a result, it is possible to reduce the cost for the equipment required for manufacturing the multilayer printed wiring board.

この発明を実施するための一形態を、以下図面を用いて説明する。
図1は、多層プリント配線板の製造方法と多層プリント配線板の内層の製造方法の要部を示す説明図であり、図2はパターンの表面に形成される粗面被膜の断面構造を示す模式図、図3は内層のパターンの粗面被膜の形成とその作用状態を示す模式図で、図4は、外層を形成する工程を示す説明図である。
An embodiment for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view showing a main part of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board and a method for manufacturing an inner layer of the multilayer printed wiring board, and FIG. 2 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a rough coating formed on the surface of the pattern. FIGS. 3 and 3 are schematic views showing the formation of the rough surface coating of the inner layer pattern and its action state, and FIG. 4 is an explanatory view showing the process of forming the outer layer.

これらの図に示されたように、内層10aのパターン14と絶縁材料との密着性を高め、はんだ耐熱性や熱衝撃性を向上するという目的を、少なくとも表面が絶縁材料からなる基材11の表面に、金属被膜からなる通電層13を形成する通電層形成工程(図1(c)参照)と、通電層13の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジスト21aを形成するめっきレジスト形成工程(図1(e)参照)と、めっきレジスト21a以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層13を利用した電解めっきによってパターン14を形成するパターン形成工程(図1(f)参照)と、該パターン形成工程によって形成されたパターン14の表面に、順に行われる樹枝状銅電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜15を形成する粗面被膜形成工程(図1(g)参照)と、上記めっきレジスト21aと、めっきレジスト形成部分における通電層13を除去する除去工程(図1(h)参照)とを有する方法にて実現した。
上記の基材11は、パターンが形成されたパターン付き基材であるもよい。
As shown in these drawings, for the purpose of improving the adhesion between the pattern 14 of the inner layer 10a and the insulating material and improving the solder heat resistance and thermal shock resistance, at least the surface of the base material 11 made of the insulating material is used. A conductive layer forming step (see FIG. 1C) for forming a conductive layer 13 made of a metal coating on the surface, and a plating resist forming step for forming a plating resist 21a on a portion other than the pattern forming portion on the conductive layer 13 (See FIG. 1 (e)), and a pattern forming step (see FIG. 1 (f)) for forming a pattern 14 on the pattern forming portion other than the plating resist 21a by electrolytic plating using the above-described conductive layer 13. The rough coating 15 is formed on the surface of the pattern 14 formed by the pattern formation step by forming a dendritic copper electrodeposition layer and a matte plating layer sequentially. The surface coating formation process (see FIG. 1 (g)), was achieved by the method having the above-described plating resist 21a, and a removal step of removing the energization layer 13 in the plating resist formation portion (see FIG. 1 (h)).
The substrate 11 may be a patterned substrate on which a pattern is formed.

また、上記の除去工程後は、プリプレグ16aを積層して熱プレスする絶縁層被覆工程(図4(a),(b)参照)と、該絶縁層被覆工程で被覆した絶縁層16の表面に、金属被膜からなる通電層19を形成する外層形成用通電層形成工程(図4(d)参照)と、通電層19の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジスト23aを形成する外層形成用めっきレジスト形成工程(図4(e),(f)参照)と、めっきレジスト23a以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層19を利用した電解めっきによってパターン17を形成する外層用パターン形成工程(図4(g)参照)と、該外層用パターン形成工程によって形成されたパターン17の表面に、順に行われる樹枝状銅電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜15を形成する粗面被膜形成工程(図4(h)参照)と、上記めっきレジスト23aと、めっきレジスト形成部分における通電層19を除去する外層形成用除去工程(図4(i)参照)と、ソルダレジスト20を形成するソルダレジスト形成工程(図4(j)参照)とを行えば、多層プリント配線板10が形成できる。   In addition, after the above-described removal step, an insulating layer coating step (see FIGS. 4A and 4B) in which the prepreg 16a is stacked and hot pressed, and the surface of the insulating layer 16 coated in the insulating layer coating step are applied. An outer layer forming energization layer forming step (see FIG. 4D) for forming an energization layer 19 made of a metal coating, and an outer layer formation for forming a plating resist 23a on a portion other than the pattern forming portion on the energization layer 19 Pattern formation for the outer layer in which the pattern 17 is formed by electrolytic plating using the above-described conductive layer 19 on the pattern formation portion other than the plating resist 23a in the plating resist formation step (see FIGS. 4E and 4F). A rough surface is formed by sequentially forming a dendritic copper electrodeposition layer and a dull plating layer on the surface of the pattern 17 formed by the step (see FIG. 4G) and the pattern forming step for the outer layer. A rough surface film forming step for forming the film 15 (see FIG. 4 (h)), a plating resist 23a, and an outer layer forming removing step for removing the conductive layer 19 in the plating resist forming portion (see FIG. 4 (i)). If the solder resist forming step (see FIG. 4J) for forming the solder resist 20 is performed, the multilayer printed wiring board 10 can be formed.

以下、4層の多層プリント配線板10を例に説明する。
図1(a)に示したように、基材11には絶縁性を有する樹脂板が用いられ、この基材11におけるインナスルーホール12aを形成すべき位置には、周知の適宜手段によって貫通孔12が形成される(貫通孔形成工程、図1(b)参照)。基材11は、少なくとも両面が絶縁材料からなっていればよく、コアとして銅板やアルミニウム板を有するものを使用することもできる。
Hereinafter, a four-layer multilayer printed wiring board 10 will be described as an example.
As shown in FIG. 1A, a resin plate having an insulating property is used for the base material 11, and a through hole is formed at a position where the inner through hole 12a is to be formed in the base material 11 by a known appropriate means. 12 is formed (refer to through-hole forming step, FIG. 1B). The base material 11 should just consist of an insulating material at least on both surfaces, and can also use what has a copper plate and an aluminum plate as a core.

次に、必要に応じてデスミア、表面粗化などしてから無電解めっきを施して通電層13を形成する(通電層形成工程、図1(c)参照)。通電層13(無電解めっき)は、うすく均一に形成できる。厚さは、たとえば0.2μm程度でよい。   Next, the conductive layer 13 is formed by performing electroless plating after desmearing, surface roughening, or the like, if necessary (conductive layer forming step, see FIG. 1C). The conductive layer 13 (electroless plating) can be formed thinly and uniformly. The thickness may be about 0.2 μm, for example.

つづいて、基材13の両面に、めっきレジスト21と露光用フィルム22を重ねて、露光・現像を行い、パターンを形成すべき部分以外の部分に、パターン形成のためのめっきレジスト21aを形成する(めっきレジスト形成工程、図1(d),(e))。パターン形成のためのめっきレジスト21aの形成は周知の適宜の方法で行え、たとえばドライフィルムレジストを用いるもよい。露光によって硬化していない部分のめっきレジスト21は現像によって剥離する。また、露光用フィルムはネガ型のものでもポジ型のものでも使用できる。   Subsequently, the plating resist 21 and the exposure film 22 are overlapped on both surfaces of the base material 13, and exposure / development is performed to form a plating resist 21a for pattern formation in a portion other than the portion where the pattern is to be formed. (Plating resist forming process, FIGS. 1D and 1E). The plating resist 21a for pattern formation can be formed by a known appropriate method, for example, a dry film resist may be used. A portion of the plating resist 21 that is not cured by exposure is peeled off by development. The exposure film can be either a negative type or a positive type.

すると、パターンを形成すべき部分に通電層13が露出することになり、続いて、通電層13を利用した電解銅めっきを施すことで、通電層が露出した部分に銅が電析してパターン14が形成される(パターン形成工程、図1(f)参照)。パターン14は、電析によって形成されるので、図3(a)に示したように側面が垂直または略垂直に切り立った断面形状に形成できる。また、先の通電層形成工程では貫通孔12の内壁にも通電層13が形成されるので、貫通孔12の内壁にも電析が起こる。このため、従来のように別途にスルーホールめっきをしなくとも両面を通電可能な状態にすることができる。この部分が、後にインナスルーホール12aとなる。   Then, the conductive layer 13 is exposed at the portion where the pattern is to be formed, and subsequently, copper is deposited on the exposed portion of the conductive layer by performing electrolytic copper plating using the conductive layer 13. 14 is formed (see a pattern forming step, see FIG. 1F). Since the pattern 14 is formed by electrodeposition, as shown in FIG. 3A, the pattern 14 can be formed in a cross-sectional shape in which the side faces are vertical or substantially vertical. In addition, since the conductive layer 13 is also formed on the inner wall of the through hole 12 in the previous conductive layer forming step, electrodeposition occurs on the inner wall of the through hole 12. Therefore, both sides can be made energized without separate through-hole plating as in the prior art. This portion will later become the inner through hole 12a.

この後、めっきレジスト21aを備えた状態のまま、図2に示したようにパターン14の表面に樹枝状銅電着層15aを形成し、さらにこの上に無光沢めっき層15bを形成して銅からなる粗面被膜15を得る(粗面被膜形成工程、図1(g)参照)。無光沢めっきは周知の方法で行われるが、無光沢銅被膜の電着方法によって行うこともできる。樹枝状銅電着層15aは、周知の方法により電解処理して形成され、樹枝状の深さの深い状態となる。そしてこの上に、無光沢めっき層、すなわち、電析速度を速くして結晶粒の細かいめっき層を形成する。   Thereafter, with the plating resist 21a provided, a dendritic copper electrodeposition layer 15a is formed on the surface of the pattern 14 as shown in FIG. 2, and a matte plating layer 15b is further formed thereon to form a copper A rough surface film 15 is obtained (see rough surface film formation step, FIG. 1 (g)). The matte plating is performed by a known method, but can also be performed by an electrodeposition method of a matte copper coating. The dendritic copper electrodeposition layer 15a is formed by electrolytic treatment by a well-known method, and becomes a dendritic deep state. On this, a matte plating layer, that is, a plating layer with fine crystal grains is formed by increasing the deposition rate.

すると、図2に示したように、樹枝状になった深さの深い表面が覆われ、滑らかに連続するこぶ状の凹凸となる。こぶ状の凹凸としては、こぶの頭部が根元より大きいものも生成し、より高いアンカー効果が得られる。   Then, as shown in FIG. 2, the deep surface having a dendritic shape is covered, resulting in smooth and continuous bumpy irregularities. As a hump-like unevenness, a hump head larger than the root is also generated, and a higher anchor effect is obtained.

このようにして粗面被膜15が形成された後(図3(b)参照)、図3(c)に示したように、パターン形成部分以外に残存している上記のめっきレジスト21aと、このめっきレジスト21aの下に位置する通電層13を除去すべく、剥離と全面エッチングを行う(除去工程、図1(h)参照)。剥離は、たとえば苛性ソーダに浸漬して行い、全面エッチングは硫酸に浸漬するなどして行う。上述のように通電層が0.2μmである場合には、全面エッチングは、たとえば0.3μm程度のエッチングとするとよい。   After the rough surface film 15 is formed in this way (see FIG. 3B), as shown in FIG. 3C, the plating resist 21a remaining in the region other than the pattern forming portion, and this In order to remove the current-carrying layer 13 located under the plating resist 21a, peeling and entire etching are performed (removal process, see FIG. 1 (h)). For example, the peeling is performed by immersing in caustic soda, and the entire surface etching is performed by immersing in sulfuric acid. As described above, when the current-carrying layer is 0.2 μm, the entire surface etching is preferably, for example, about 0.3 μm.

全面エッチングにより、通電層の除去とともに、こぶ状の凹凸の表面もわずかに削られるが、こぶの形状が変化するほどではない。   The whole surface etching removes the current-carrying layer and also slightly removes the surface of the hump-like unevenness, but the shape of the hump does not change so much.

また、樹枝状めっきの際に通電層との付着が十分でなく、無光沢めっきでも十分に覆われていなかった部分は、後で粉末状に剥がれ落ちることがあるが、全面エッチングによってその粉末状の部分はあらかじめ落としてしまうことができ、後の絶縁層被覆の工程で剥がれ落ちることがなくなる。   In addition, when the dendritic plating is not sufficiently adhered to the current-carrying layer, the portion that was not sufficiently covered even with the matte plating may be peeled off in a powder form later. This part can be removed in advance, and it will not be peeled off in the subsequent coating process of the insulating layer.

このような工程を経ると、両面にパターン14を有する4層の多層プリント配線板10の内層10aが形成できる(図1(h),図4(j)参照)。   Through these steps, the inner layer 10a of the four-layer multilayer printed wiring board 10 having the patterns 14 on both sides can be formed (see FIGS. 1 (h) and 4 (j)).

ここで、内層10aとは、多層プリント配線板10にあって複数の層状の金属からなるパターンのうち、最も表面に近い層以外の層のことである。   Here, the inner layer 10a is a layer other than the layer closest to the surface among the patterns made of a plurality of layered metals in the multilayer printed wiring board 10.

このようにして得られた内層10aの外側に対しては、外側に形成される別の金属層からなる導電パターンと絶縁する必要があるので、絶縁層16が密着して形成されるとともに、その上にパターン17が形成される(図4(j)参照)。外層10bの形成は、上述の内層10aの形成と同様に行うことができるほか、従来の方法などによっても行える。   Since the outer side of the inner layer 10a thus obtained needs to be insulated from the conductive pattern made of another metal layer formed on the outer side, the insulating layer 16 is formed in close contact, and the A pattern 17 is formed thereon (see FIG. 4J). The formation of the outer layer 10b can be performed in the same manner as the formation of the inner layer 10a described above, and can also be performed by a conventional method or the like.

まず、内層10aの形成と同様に行う前者の例(図4参照)を説明したのち、後者の例(図5参照)を説明する。   First, after explaining the former example (see FIG. 4) performed in the same manner as the formation of the inner layer 10a, the latter example (see FIG. 5) will be explained.

図4(a)に示したように、内層10aの両面にプリプレグ16aと離型紙25を積層し、熱プレス(図4(b)参照)する(絶縁層被覆工程)。プリプレグ16aは絶縁層16を形成するためのもので、離型紙25は、熱プレスをしたときにプリプレグ16aの樹脂同士がくっつかないようにするためのものである。熱プレスは、上述のようにして積層したものを複数組重ねて同時に行うからである。   As shown in FIG. 4A, the prepreg 16a and the release paper 25 are laminated on both surfaces of the inner layer 10a, and hot-pressed (see FIG. 4B) (insulating layer coating step). The prepreg 16a is for forming the insulating layer 16, and the release paper 25 is for preventing the resins of the prepreg 16a from sticking to each other when hot pressing is performed. This is because the hot pressing is performed simultaneously by stacking a plurality of layers laminated as described above.

つぎに、必要な箇所に貫通孔18をあけた後(貫通孔形成工程、図4(c)参照)、必要に応じてデスミア、表面粗化などしてから無電解めっきを施して通電層19を形成する(通電層形成工程、図4(d)参照)。通電層19(無電解めっき)は、うすく均一に形成できる。厚さは、たとえば0.2μm程度でよい。   Next, after the through-hole 18 is made in a necessary location (through-hole forming step, see FIG. 4C), the electroconductive layer 19 is subjected to electroless plating after desmearing or surface roughening as necessary. (Refer to FIG. 4D). The conductive layer 19 (electroless plating) can be formed thinly and uniformly. The thickness may be about 0.2 μm, for example.

つづいて、通電層19が露出した両面に、めっきレジスト23と露光用フィルム24を重ねて、露光・現像を行い、パターンを形成すべき部分以外の部分に、パターン形成のためのめっきレジスト23aを形成する(めっきレジスト形成工程、図4(e),(f)参照)。   Subsequently, the plating resist 23 and the exposure film 24 are overlapped on both surfaces where the conductive layer 19 is exposed, and exposure / development is performed. A plating resist 23a for pattern formation is formed on a portion other than the portion where the pattern is to be formed. (Plating resist forming process, see FIGS. 4E and 4F).

すると、パターンを形成する部分に通電層19が露出することになり、続いて、通電層19を利用した電解銅めっきを施すことで、通電層19が露出した部分に銅が電析してパターン17が形成される(パターン形成工程、図4(g)参照)。パターン14は、電析によって形成されるので、側面が切り立った断面形状に形成できる。また、先の通電層形成工程では貫通孔18の内壁にも通電層19が形成されるので、貫通孔18の内壁にも電析が起こる。このため、従来のように別途にスルーホールめっきをしなくとも両面を通電可能な状態にすることができる。この部分が、後にスルーホール18aになる部分である。   Then, the conductive layer 19 is exposed at the portion where the pattern is to be formed, and subsequently, by performing electrolytic copper plating using the conductive layer 19, copper is electrodeposited on the portion where the conductive layer 19 is exposed. 17 is formed (see a pattern forming step, see FIG. 4G). Since the pattern 14 is formed by electrodeposition, it can be formed in a cross-sectional shape with sharp side surfaces. Further, since the conductive layer 19 is also formed on the inner wall of the through hole 18 in the previous conductive layer forming step, electrodeposition occurs on the inner wall of the through hole 18. Therefore, both sides can be made energized without separate through-hole plating as in the prior art. This portion is a portion that later becomes the through hole 18a.

この後、めっきレジスト23aを備えた状態のまま、パターン17の表面に、図2に示したように樹枝状銅電着層15aを形成し、さらにこの上に無光沢めっき層15bを形成して粗面被膜15を得る(粗面被膜形成工程、図4(h)参照)。   Thereafter, with the plating resist 23a provided, a dendritic copper electrodeposition layer 15a is formed on the surface of the pattern 17 as shown in FIG. 2, and a matte plating layer 15b is further formed thereon. A rough surface film 15 is obtained (see rough surface film forming step, see FIG. 4H).

このようにして粗面被膜15が形成され後、パターン形成部分以外に残存している上記のめっきレジスト23aと、このめっきレジスト23aの下に位置する通電層19を除去すべく、剥離と全面エッチングを行う(除去工程、図4(i)参照)。   After the rough surface film 15 is formed in this way, peeling and whole surface etching are performed in order to remove the plating resist 23a remaining in the portion other than the pattern forming portion and the conductive layer 19 located under the plating resist 23a. (Removal step, see FIG. 4I).

最後に、周知の方法(ソルダレジストの塗布、セミキュア、露光、現像)にしてソルダレジスト20を形成する(ソルダレジスト形成工程、図4(j)参照)。このソルダレジスト20の形成に先立って、パターン17の表面を粗化する必要はない。   Finally, a solder resist 20 is formed by a known method (solder resist coating, semi-cure, exposure, development) (solder resist forming step, see FIG. 4 (j)). Prior to the formation of the solder resist 20, it is not necessary to roughen the surface of the pattern 17.

このあと、ガイド穴加工、端面整形などの必要な処理がなされる。   Thereafter, necessary processing such as guide hole processing and end face shaping is performed.

後者の例では、図5(a)に示したように、内層10aの両面にプリプレグ16aと銅箔17aを積層する。そして、熱プレスを行って一体化する(絶縁層被覆工程、図5(a),(b)参照)。この後、貫通孔18をあけてから(貫通孔形成工程、図5(c)参照)、デスミアなど必要な作業を適宜行い、スルーホールめっき18bを行って両面を通電可能な状態にする(スルーホールめっき工程、図5(d)参照)。この部分が、後にスルーホール18aとなる(図5(h)〜(j)参照)。   In the latter example, as shown in FIG. 5A, the prepreg 16a and the copper foil 17a are laminated on both surfaces of the inner layer 10a. Then, they are integrated by performing a hot press (insulating layer coating step, see FIGS. 5A and 5B). Thereafter, after the through hole 18 is opened (through hole forming step, see FIG. 5C), necessary work such as desmear is appropriately performed, and through hole plating 18b is performed so that both surfaces can be energized (through). Hole plating process, see FIG. 5 (d)). This portion will later become the through hole 18a (see FIGS. 5H to 5J).

つづいて、銅箔17aが露出している両面に、エッチングレジスト26と露光用フィルム27を重ねて(図5(e)参照)、露光・現像を行い、パターンを形成すべき部分に、エッチングレジスト26a(図5(f)参照)を形成する(エッチングレジスト形成工程)。   Subsequently, an etching resist 26 and an exposure film 27 are overlapped on both surfaces where the copper foil 17a is exposed (see FIG. 5E), and exposure and development are performed. 26a (see FIG. 5F) is formed (etching resist forming step).

この後エッチングを行って、エッチングレジスト26aが被覆されていない部分の銅箔17aを除去する(エッチング工程、図5(g)参照)。   Thereafter, etching is performed to remove the portion of the copper foil 17a not covered with the etching resist 26a (see the etching process, FIG. 5G).

次に、エッチングレジスト26aの剥離を行う(剥離工程、図5(h)参照)。剥離は苛性ソーダに浸漬するなどして行う。   Next, the etching resist 26a is peeled off (see the peeling step, FIG. 5H). Peeling is performed by dipping in caustic soda.

この後、両面をバフ研磨等により粗化処理して(粗化工程、図5(i)参照)、最後に、ソルダレジスト処理を行って、ソルダレジスト20を形成する(ソルダレジスト形成工程、図5(j)参照)。   Thereafter, both surfaces are roughened by buffing or the like (roughening step, see FIG. 5 (i)), and finally, a solder resist treatment is performed to form a solder resist 20 (solder resist forming step, FIG. 5 (j)).

以上のような工程を経て製造された多層プリント配線板10の内層10aでは、図3(c)に示したように、側面が垂直にまたは略垂直に切り立った形状のパターン14となる。そして、その上面には、こぶ状の凹凸を有する粗面被膜15が形成されている。このため、図3(d)に示したように、後で絶縁層16を被覆したときに、プリプレグの樹脂がパターン14の隙間に入り込むとともに、パターン14の粗面被膜15との間でアンカー効果が得られる。しかも、パターン14は、下方から順に電析して層状に形成されるので、パターン14間に入った樹脂(絶縁層16)との間でもアンカー効果が得られる。   In the inner layer 10a of the multilayer printed wiring board 10 manufactured through the above processes, as shown in FIG. 3C, the pattern 14 has a shape in which the side surfaces are vertically or substantially vertically cut. And the rough surface film 15 which has a knurled unevenness | corrugation is formed in the upper surface. For this reason, as shown in FIG. 3D, when the insulating layer 16 is coated later, the resin of the prepreg enters the gap of the pattern 14 and the anchor effect with the rough surface coating 15 of the pattern 14. Is obtained. In addition, since the pattern 14 is electrodeposited in order from below, it is formed in a layer shape, so that an anchor effect can be obtained even with the resin (insulating layer 16) that has entered between the patterns 14.

このため、内層10aのパターン14と、パターン14の上に重ねられる絶縁層16との密着強度を向上できる。この結果、このような内層10aを用いて製造された多層プリント配線板10では、内層10aのパターン14と絶縁層16との間のデラミネーションなどの発生が抑えられ、高いはんだ耐熱性や熱衝撃性を得ることができる。   For this reason, the adhesion strength between the pattern 14 of the inner layer 10a and the insulating layer 16 superimposed on the pattern 14 can be improved. As a result, in the multilayer printed wiring board 10 manufactured using such an inner layer 10a, the occurrence of delamination between the pattern 14 of the inner layer 10a and the insulating layer 16 is suppressed, and high solder heat resistance and thermal shock are achieved. Sex can be obtained.

上記の図1、図4に示した方法で製造した多層プリント配線板10に対して車載部品として求められる評価試験(3000サイクル熱衝撃試験(−80〜120℃))を行ったところ、デラミネーションやレジストはがれは確認されなかった。   When an evaluation test (3000 cycle thermal shock test (−80 to 120 ° C.)) required as an in-vehicle component was performed on the multilayer printed wiring board 10 manufactured by the method shown in FIGS. 1 and 4, delamination No resist peeling was confirmed.

また、スルーホールめっきや銅箔のエッチングを不要とすることができ、製造コストを低減することも可能となる。   Further, it is possible to eliminate the need for through-hole plating and copper foil etching, and it is possible to reduce the manufacturing cost.

さらに、従来のような黒化処理が不要となるので、外層10bでランドやパッドなどの銅を露出させる部分について被膜を除去する必要がなく、作業性が向上する。   Further, since the conventional blackening process is not required, it is not necessary to remove the coating from the outer layer 10b where copper is exposed such as lands and pads, thereby improving workability.

図4に示したように、内層10aと同様の工程を経て外層10bを製造した場合には、製造に際してスルーホールめっきや銅箔のエッチングを完全に不要とすることができ、製造コストの低減などの点でさらなる効果を得ることができる。また、外層10bのパターン17の形状とその上面の粗面被膜15との相乗効果により、ソルダレジスト20との密着性も高められ、製品不良をなくすことができる。   As shown in FIG. 4, when the outer layer 10b is manufactured through the same steps as the inner layer 10a, it is possible to completely eliminate the need for through-hole plating or copper foil etching during the manufacturing process, thereby reducing the manufacturing cost, etc. Further effects can be obtained in this respect. Further, due to the synergistic effect of the shape of the pattern 17 of the outer layer 10b and the rough surface coating 15 on the upper surface, the adhesion with the solder resist 20 is also improved, and product defects can be eliminated.

この発明の構成と、上記の一形態の構成との対応において、
この発明の樹枝状電着層は、上記の樹枝状銅電着層15aに対応し、
絶縁板は、プリプレグ16aに対応するも、
この発明は、上記の構成にのみに限定されるものではなく、その他の形態を採用することができる。
たとえば、複数層のパターン層を有したものを基材として使用すれば、上記の4層よりも多い多層プリント配線板を得ることができる。
In correspondence between the configuration of the present invention and the configuration of the above-described one form,
The dendritic electrodeposition layer of the present invention corresponds to the above-mentioned dendritic copper electrodeposition layer 15a,
The insulating plate corresponds to the prepreg 16a,
The present invention is not limited to the above configuration, and other forms can be adopted.
For example, if a substrate having a plurality of pattern layers is used as a substrate, a multilayer printed wiring board having more than the above four layers can be obtained.

多層プリント配線板の内層の製造工程の要部を示す説明図。Explanatory drawing which shows the principal part of the manufacturing process of the inner layer of a multilayer printed wiring board. パターンの表面に形成される粗面被膜の断面構造を示す模式図。The schematic diagram which shows the cross-section of the rough surface film formed in the surface of a pattern. 内層のパターンの粗面被膜の形成とその作用状態を示す模式図。The schematic diagram which shows formation of the rough surface film of the pattern of an inner layer, and its action state. 多層プリント配線板の外層を形成する工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows the process of forming the outer layer of a multilayer printed wiring board. 多層プリント配線板の外層を形成する工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows the process of forming the outer layer of a multilayer printed wiring board. 従来の多層プリント配線板の製造工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows the manufacturing process of the conventional multilayer printed wiring board. 従来のパターン部分を示す説明図。Explanatory drawing which shows the conventional pattern part.

符号の説明Explanation of symbols

10…多層プリント配線板
10a…内層
10b…外層
11…基材
13…通電層
14…パターン
15…粗面被膜
15a…樹枝状銅電着層
15b…無光沢めっき層
16…絶縁層
16a…プリプレグ
17…パターン
19…通電層
20…ソルダレジスト
21a,23a…めっきレジスト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Multilayer printed wiring board 10a ... Inner layer 10b ... Outer layer 11 ... Base material 13 ... Current supply layer 14 ... Pattern 15 ... Rough surface coating 15a ... Dendritic copper electrodeposition layer 15b ... Matte plating layer 16 ... Insulating layer 16a ... Prepreg 17 ... Pattern 19 ... Conducting layer 20 ... Solder resist 21a, 23a ... Plating resist

Claims (6)

厚さ方向に3層以上のパターン層を有する多層プリント配線板の内層の製造方法であって、
少なくとも表面が絶縁材料からなる基材の表面に、金属被膜からなる通電層を形成する通電層形成工程と、
通電層の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジストを形成するめっきレジスト形成工程と、
めっきレジスト以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層を利用した電解めっきによってパターンを形成するパターン形成工程と、
該パターン形成工程によって形成されたパターンの表面に、順に行われる樹枝状電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜を形成する粗面被膜形成工程と、
上記めっきレジストと、めっきレジスト形成部分における通電層を除去する除去工程を有する
多層プリント配線板の内層の製造方法。
A method for producing an inner layer of a multilayer printed wiring board having three or more pattern layers in the thickness direction,
An energization layer forming step of forming an energization layer made of a metal film on the surface of the base material made of an insulating material at least on the surface;
A plating resist forming step of forming a plating resist on a portion other than the pattern forming portion on the conductive layer;
A pattern forming step of forming a pattern by electrolytic plating using the above-described energization layer on a pattern forming portion other than a plating resist,
A rough surface film forming step of forming a rough surface film by forming a dendritic electrodeposition layer and a matte plating layer sequentially performed on the surface of the pattern formed by the pattern forming step;
The manufacturing method of the inner layer of the multilayer printed wiring board which has the removal process which removes the said electrically-conductive layer in a plating resist and the plating resist formation part.
厚さ方向に3層以上のパターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、
少なくとも表面が絶縁材料からなる基材の表面に、金属被膜からなる通電層を形成する通電層形成工程と、
通電層の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジストを形成するめっきレジスト形成工程と、
めっきレジスト以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層を利用した電解めっきによってパターンを形成するパターン形成工程と、
該パターン形成工程によって形成されたパターンの表面に、順に行われる樹枝状電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜を形成する粗面被膜形成工程と、
上記めっきレジストと、めっきレジスト形成部分における通電層を除去する除去工程を有する
多層プリント配線板の製造方法。
A method for producing a multilayer printed wiring board having three or more pattern layers in the thickness direction,
An energization layer forming step of forming an energization layer made of a metal film on the surface of the base material made of an insulating material at least on the surface;
A plating resist forming step of forming a plating resist on a portion other than the pattern forming portion on the conductive layer;
A pattern forming step of forming a pattern by electrolytic plating using the above-described energization layer on a pattern forming portion other than a plating resist,
A rough surface film forming step of forming a rough surface film by forming a dendritic electrodeposition layer and a matte plating layer sequentially performed on the surface of the pattern formed by the pattern forming step;
The manufacturing method of the multilayer printed wiring board which has the removal process which removes the said electrically-conductive layer in the said plating resist and a plating resist formation part.
前記除去工程後に、絶縁材料からなる絶縁板を積層して熱プレスする絶縁層被覆工程と、
該絶縁層被覆工程で被覆した絶縁層の表面に、金属被膜からなる通電層を形成する外層形成用通電層形成工程と、
通電層の上におけるパターン形成部分以外の部分にめっきレジストを形成する外層形成用めっきレジスト形成工程と、
めっきレジスト以外の部分のパターン形成部分に、上記の通電層を利用した電解めっきによってパターンを形成する外層用パターン形成工程と、
該外層用パターン形成工程によって形成されたパターンの表面に、順に行われる樹枝状電着層と無光沢めっき層との形成によって粗面被膜を形成する外層用粗面被膜形成工程と、
上記めっきレジストと、めっきレジスト形成部分における通電層を除去する外層形成用除去工程と、
ソルダレジストを形成するソルダレジスト形成工程を有する
請求項2に記載の多層プリント配線板の製造方法。
After the removing step, an insulating layer covering step of laminating an insulating plate made of an insulating material and hot pressing,
An outer layer forming energization layer forming step of forming an energization layer made of a metal film on the surface of the insulating layer coated in the insulating layer coating step;
A plating resist forming step for forming an outer layer for forming a plating resist on a portion other than the pattern forming portion on the conductive layer;
A pattern forming step for an outer layer that forms a pattern by electrolytic plating using the above-described energization layer on a pattern forming portion other than a plating resist,
On the surface of the pattern formed by the outer layer pattern forming step, a rough surface film forming step for outer layer that forms a rough surface film by forming a dendritic electrodeposition layer and a matte plating layer sequentially performed,
The plating resist, and the outer layer forming removal step for removing the energization layer in the plating resist forming portion,
The manufacturing method of the multilayer printed wiring board of Claim 2 which has the soldering resist formation process which forms a soldering resist.
多層プリント配線板の内層であって、パターンの表面にこぶ状の凹凸を備えたことを特徴とする
多層プリント配線板の内層。
An inner layer of a multilayer printed wiring board, wherein the inner surface of the multilayer printed wiring board is provided with bumpy irregularities on the surface of the pattern.
パターンの側面が略垂直に切り立った形状である
請求項4に記載の多層プリント配線板の内層。
The inner layer of the multilayer printed wiring board according to claim 4, wherein a side surface of the pattern is formed in a substantially vertical shape.
請求項4または請求項5に記載の多層プリント配線板の内層を備えた
多層プリント配線板。
A multilayer printed wiring board comprising an inner layer of the multilayer printed wiring board according to claim 4 or 5.
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