JP2010028107A - Printed circuit board, and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に広く用いられる高密度プリント配線基板に関するものである。 The present invention relates to a high-density printed wiring board widely used in various electronic devices such as personal computers, mobile communication telephones, and video cameras.
近年の電子機器は、小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等の要求が強く、それに伴い各種部品を実装するプリント配線基板も、さらなる小型、多層化、配線の微細化が望まれている。微細配線を形成する方法として、絶縁樹脂上に無電解めっきによる薄い電気伝導層(以下、シード層)を形成し、フォトレジストで画像形成した後に、電解銅めっきによりめっき配線を形成し、その後レジスト剥離、シード層をエッチングすることにより微細な配線を形成するセミアディティブ法が知られている。 In recent years, electronic devices are strongly demanded to be small, thin, lightweight, high definition, multi-functional, etc. Along with this, printed wiring boards on which various components are mounted are desired to be further miniaturized, multilayered, and miniaturized. Yes. As a method for forming a fine wiring, a thin conductive layer (hereinafter referred to as a seed layer) is formed on an insulating resin by electroless plating, an image is formed with a photoresist, a plated wiring is formed by electrolytic copper plating, and then a resist is formed. A semi-additive method is known in which fine wiring is formed by peeling and etching the seed layer.
以下従来のセミアディティブ法を用いたプリント配線基板について、図5を用いて説明する。図5は、従来のセミアディティブ法を用いたプリント配線基板の製造方法を説明する断面図である。 Hereinafter, a printed wiring board using a conventional semi-additive method will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a printed wiring board using a conventional semi-additive method.
図5において、図5(a)に示すような両面に銅の配線が形成され上下層をスルーホールにて接続しているコア基板1の両面に、例えばガラス織布エポキシ材などからなる層間絶縁基材3と銅箔2とを用意し(図5(b))、熱プレスを用いて貼り合わせる(図5(c))。次いで銅箔2をエッチングにて溶解させ(図5(d))、その後レーザーにてブラインドビアホール4を形成する(図5(e))。次いでデスミア処理にてレーザーによる樹脂残渣を除去した後、0.1〜1μmの無電解銅めっきによるシード層5を形成する(図5(f))。さらにドライフィルム6をラミネートし、露光、現像を経て導体パターンを形成しない領域にフォトレジストによる画像を形成した後(図5(g))、電解銅めっきにより銅の配線形成とブラインドビアのめっきを行い、導体パターン7を形成する(図5(h))。その後ドライフィルム6を剥離し(図5(i))、シード層5をエッチングすることによりプリント配線基板を得る(図5(j))。
In FIG. 5, an interlayer insulation made of, for example, a glass woven epoxy material is formed on both surfaces of the
なお、この発明の出願に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1〜4が知られている。
For example,
しかしながら、従来の方法では、層間絶縁基材3とシード層5との密着性が弱く、導体パターン7が製造工程中に剥がれたり、実装する部品の保持強度が弱いという問題があった。これは、無電解めっきの下地となる前記層間絶縁基材3上に微細な凹凸を形成することが困難であり、無電解めっきと基材との十分なアンカー効果が得られないことが原因であった。
However, in the conventional method, there is a problem that the adhesion between the interlayer insulating
上記問題を解決するために、微細な凹凸を均一に形成できるセミアディティブ法専用の層間絶縁基材が開発されているが、基材が高価なために一部の半導体パッケージ基板に利用されるのみであり、一般のプリント配線基板に適用することが困難であった。 In order to solve the above problems, a semi-additive method-dedicated interlayer insulating base material that can uniformly form fine irregularities has been developed. However, since the base material is expensive, it is only used for some semiconductor package substrates. Therefore, it was difficult to apply to a general printed wiring board.
また、基材と導体パターンとの密着性を確保するために、シード層に無電解銅めっきではなく、熱プレスした極薄銅箔(1.5〜5μm)を用いる方法もあるが、シード層が無電解めっきに比べ厚いために、シード層を除去するエッチングが困難であり、微細な配線形成に不適であるという問題があった。 In addition, in order to ensure adhesion between the substrate and the conductor pattern, there is a method of using a hot-pressed ultrathin copper foil (1.5 to 5 μm) instead of electroless copper plating as the seed layer. However, since it is thicker than electroless plating, etching to remove the seed layer is difficult, and there is a problem that it is not suitable for forming fine wiring.
本発明は、上記課題を鑑みて成されたものであり、安価な層間絶縁基材を用い、無電解めっきと層間絶縁基材との高い密着性を確保し、セミアディティブ法を用いた微細配線形成が可能なプリント配線基板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, uses an inexpensive interlayer insulating base material, ensures high adhesion between the electroless plating and the interlayer insulating base material, and uses a semi-additive method for fine wiring An object is to provide a printed wiring board that can be formed.
上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも一面に、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸を設けた第1の樹脂層と、前記第1の凹凸の上に設けた、第2の樹脂層と、前記第2の樹脂層の上に設けた、前記第1の凹凸よりRzが小さい第2の凹凸と、前記第2の凹凸の上に設けた導体層と、を有するプリント配線基板である。 In order to achieve the above object, the present invention provides a first resin layer provided with a first unevenness having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less on at least one surface, and on the first unevenness. A second resin layer provided on the second resin layer, a second unevenness having a smaller Rz than the first unevenness, and a conductor layer provided on the second unevenness; The printed wiring board having
このような構成により、第1の樹脂層の表面に設けた最大高さ粗さRz=1〜7μmの第1の凹凸を、アンカーとすることで、第1の樹脂層と第2の樹脂層との間の密着力を高める。 With such a configuration, the first resin layer and the second resin layer are formed by using the first unevenness with the maximum height roughness Rz = 1 to 7 μm provided on the surface of the first resin layer as an anchor. Increase adhesion between the two.
また第2の樹脂層の表面に、第1の凹凸の最大高さ粗さRzより、小さい最大高さ粗さRzの第2の凹凸を設けることで、導体層と第2の樹脂層との強固な密着性を得ることができる。 Further, by providing the second resin layer with the second unevenness having a maximum height roughness Rz smaller than the maximum height roughness Rz of the first unevenness, the conductor layer and the second resin layer Strong adhesion can be obtained.
以上のように本発明は、安価な層間絶縁基材を用いて、セミアディティブ法を用いた微細な配線形成が可能となるため、小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等を実現するために必要な高密度プリント配線基板を安価に提供することが可能となる。 As described above, according to the present invention, it is possible to form a fine wiring using a semi-additive method using an inexpensive interlayer insulating base material, thereby realizing a small size, a thin shape, a light weight, a high definition, a multi-functionality, and the like. Therefore, it is possible to provide a high-density printed wiring board necessary for this purpose at a low cost.
(実施の形態)
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1(A)は本発明の実施の形態における高密度プリント配線基板の断面図、図1(B)は拡大断面図である。 FIG. 1A is a cross-sectional view of a high-density printed wiring board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view.
図1において、11は第1の樹脂層、12は第1の凹凸、13は第2の樹脂層、14は第2の凹凸、15はシード層、16は導体パターン、17は導体層、18はコア基板、19はプリント配線基板である。 In FIG. 1, 11 is a first resin layer, 12 is a first unevenness, 13 is a second resin layer, 14 is a second unevenness, 15 is a seed layer, 16 is a conductor pattern, 17 is a conductor layer, 18 Is a core substrate, and 19 is a printed wiring board.
図1(A)に示すように、本発明の実施の形態における高密度プリント配線基板は、コア基板18の表面に、第1の樹脂層11や第2の樹脂層13、シード層15等を介して、最表層に導体パターン16からなるパターンを形成している。
As shown in FIG. 1A, in the high-density printed wiring board according to the embodiment of the present invention, the
また図1(B)は、第1の樹脂層11と、導体パターン16とが、第2の樹脂層13やシード層15を介して密着している様子を示す拡大断面図である。
FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view showing a state where the
図1(A)(B)に示すように、第1の樹脂層11の少なくとも一方の面に、第1の凹凸12を設ける。また第1の樹脂層11の表面に設けた第1の凹凸12の上に、第2の樹脂層13を設けている。そして第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14の上に、シード層15と導体パターン16とからなる導体層17を設けている。
As shown in FIGS. 1A and 1B, the
なお図1(A)(B)において、導体層17は、シード層15と導体パターン16と、から形成しているが、この構成に限定する必要は無い。
1A and 1B, the
また図1(B)に示すように、第2の凹凸14は、第1の凹凸12より微細、すなわち最大高さRaを小さく、あるいは凹凸のピッチを小さくしているが、これは互いの密着強度を高めるためであり、後述する図2で説明する。ここで第1の凹凸12の最大高さ粗さRzは、1μm以上7μm以下が望ましい。第1の凹凸12のRzが1μm未満の場合、第1の樹脂層11と第2の樹脂層13との界面のアンカー効果に影響を及ぼす場合がある。また第1の凹凸12のRzが7μmを超えると、第2の樹脂層13の厚みに影響を与える可能性がある。またRzが7μmを超えると第2の樹脂層13と導体層17との接着力(あるいはアンカー効果)に影響を与える場合がある。
In addition, as shown in FIG. 1B, the
なお本発明のプリント配線基板19は、必要に応じて、最外層にソルダーレジストを形成し、また最外層の配線上にニッケル、金めっきなどを施しても良い。
In the printed
本発明の層間絶縁基材となる第1の樹脂層11は、例えばガラス繊維の織布にエポキシ樹脂を含浸させた一般的なプリプレグであるが、有機繊維や、BT樹脂などを用いてもよい。
The
本発明では、第2の樹脂層13と第1の樹脂層11との界面に、Rz=1μm以上7μm以下の第1の凹凸12を形成するために、層間絶縁基材となる第1の樹脂層11に、第2の樹脂層13を形成する面にあらかじめRzを1μm以上7μm以下に粗化させた銅箔を用いて積層する。なおこの粗化した銅箔の粗化処理面上に、予め層間絶縁基材となる第1の樹脂層11とは異なる組成の第2の樹脂層13を薄く形成しておくことは有用である。
In the present invention, in order to form the
第2の樹脂層13は、層間絶縁基材となる第1の樹脂層11と、導体パターン16(あるいは導体パターン16の表面に設けたシード層15)とを接着する機能を有しており、樹脂単独、もしくはシリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、チタン酸バリウムなどからなる無機フィラーを含んでも良い。
The
なお、第2の樹脂層13の厚みは、0.5μm以上4.0μm以下が望ましい。厚みが4.0μmを超えると第2の樹脂層13の物性が、層間絶縁基材等に影響し、基板の絶縁材としての物性が劣化したり、多層基板の薄層化の阻害要因になる場合がある。また0.5μm未満であると第2の樹脂層13の表面に形成された、第1の凹凸12より微細な第2の凹凸14による無電解めっきとの十分な密着性が得られない場合がある。
In addition, as for the thickness of the
次に図2を用いて、第1の樹脂層11の表面に設けた第1の凹凸12a、12b、12cと、第2の樹脂層13の導体層17側(あるいは第1の樹脂層11の面とは反対側)の表面に設けた第2の凹凸14a、14b、14cとの関係について、説明する。
Next, referring to FIG. 2, the
図2は、第1の樹脂層11と、導体パターン16と、その間に設けられた第2の樹脂層13の界面における凹凸を模式的に説明する拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view schematically illustrating irregularities at the interface of the
図2において、第1の樹脂層11の、少なくとも一面には、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸12a、12b、12cが形成されている。なお第1の凹凸12aは、第1の凹凸12の高さ(あるいはRz)を模式的に示す。また矢印で示した12bは第1の凹凸12の谷−谷間のピッチ(あるいは距離)を、矢印で示した12cは第1の凹凸12の山−山間のピッチ(あるいは距離)を、それぞれ模式的に示している。
In FIG. 2, at least one surface of the
第1の凹凸12の上側には、第2の樹脂層13が設けられている。そして第2の樹脂層13の上側には、第1の凹凸12より微細な第2の凹凸14a、14b、14cが形成されている。また第2の凹凸14a、14b、14cの上側には導体層17が形成されている。なお第2の凹凸14aは、第2の凹凸14の高さ(あるいはRz)を模式的に示す。また矢印で示した14bは第2の凹凸14の山−山間のピッチ(あるいは距離)を、矢印で示した14cは第2の凹凸14の谷−谷間のピッチ(あるいは距離)を、それぞれ模式的に示している。
A
図2に示すように、第1の凹凸(12a、12b、12cのどれか一つ以上)を第2の凹凸(14a,14b、14cのどれか一つ以上)より大きくすることで、互いの密着性を高める。 As shown in FIG. 2, the first unevenness (one or more of 12a, 12b, 12c) is made larger than the second unevenness (any one or more of 14a, 14b, 14c). Increase adhesion.
なお図2における第1の凹凸12の高さ(例えば最大高さ粗さRz、12aとして図2では模式的に示している)より、第2の凹凸14の高さ(例えばRz、14aとして図2では模式的に示している)を小さくすること、すなわち第1の凹凸12a、12b、12cより、第2の凹凸14a、14b、14cを微細とすることが望ましい。こうして互いの密着力を高める。なお界面における表面粗さの測定が難しい場合、サンプル断面を顕微鏡やSEM(走査型電子顕微鏡)等で観察し、その界面形状(例えば、断面写真等)で、第1の凹凸12a、12b、12cと、第2の凹凸14a、14b、14cとの大きさや形状を比較しても良い。またこの断面写真等から得られたデータを元に、Rz等の表面粗さやピッチ、距離等を計算しても良い。なお第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14a,14b,14cは、第2の樹脂13と、シード層15との界面で評価すれば良いが、シード層15の検出が難しい場合、第2の樹脂層13と導体パターン16(あるいはシード層15を含む導体層17)との界面で評価しても良い。
Note that the height of the second unevenness 14 (for example, Rz, 14a) is shown based on the height of the
なお図2において、第1の凹凸12、第2の凹凸14は、互いに略平行に記載しているが、これに限定する必要は無い。例えば、図1(A)(B)に記載したように、第1の凹凸12の一つの凹部に、第2の凹凸14の凹凸が複数個、入るような形状であっても良い。また図1(A)(B)に示すように、第1の凹凸12を曲面状(あるいは立体状)とし、この中に第2の凹凸14からなる複数の凹凸を入れても良い。
In FIG. 2, the
次いで、本実施の形態の高密度プリント配線基板の製造プロセスの1実施例について、図3、図4を用いて詳細に説明する。 Next, an example of the manufacturing process of the high-density printed wiring board according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS.
図3、図4は、共に本発明の実施の形態の高密度プリント配線基板の製造プロセスの一例を示す断面図である。図3、図4において、20は配線パターン、21はスルーホールめっき、22はプリプレグ、23は粗面化銅箔、24はブラインドビア、25はドライフィルム、26は電解めっき層(電気めっき層と呼ばれることもある)である。 3 and 4 are sectional views showing an example of a manufacturing process of the high-density printed wiring board according to the embodiment of the present invention. 3 and 4, 20 is a wiring pattern, 21 is through-hole plating, 22 is a prepreg, 23 is a roughened copper foil, 24 is a blind via, 25 is a dry film, 26 is an electrolytic plating layer (an electroplating layer and Sometimes called).
まず、コア基板18(例えば絶縁材0.6mm厚さ、銅箔18μm厚さ)を作製するため、NCドリルにて例えば0.3mmΦの穴を形成し、スルーホールめっき21を施したのち、サブトラクティブ法を用いて配線パターン20を形成した両面配線基板を用意する(図3(A))。ついで、ビルドアップ層を作製するため、コア基板18の両面に、一般的なガラス繊維エポキシ基材である層間絶縁基材としてのプリプレグ22(例えば60μm厚さ)と、あらかじめ第1の凹凸12を形成するための粗化面(Rz=1〜7μm)、およびこの粗化面上に第2の樹脂層13が形成された粗面化銅箔23(例えば12μm厚さ)とを用意し(図3(B))、例えば圧力5MPa、温度200℃で2時間保持して、熱プレスを行った(図3(C))。こうしてプリプレグ22を硬化不溶化し第1の樹脂層11とした後、室温に冷却し塩化鉄エッチング液を用いて例えば温度40℃、1分間処理し、両面の銅箔(例えば、粗面化銅箔23)を溶解させ、第1の樹脂層11上にRz=1〜7μmの第1の凹凸12を形成する。こうして第1の凹凸12の上に、第2の樹脂層13を転写した基板を得る(図3(D))。
First, in order to produce the core substrate 18 (for example, an insulating material having a thickness of 0.6 mm and a copper foil having a thickness of 18 μm), a hole having a diameter of, for example, 0.3 mmΦ is formed with an NC drill, and through-
次いで、炭酸ガスレーザーにて所定の位置にブラインドビア24を形成した後、膨潤(例えば60℃、5分)、粗化(例えば80℃、10分)、中和(例えば45℃、5分)のデスミア処理を行う。 Next, after forming the blind via 24 at a predetermined position with a carbon dioxide laser, swelling (for example, 60 ° C., 5 minutes), roughening (for example, 80 ° C., 10 minutes), neutralization (for example, 45 ° C., 5 minutes) Perform desmear processing.
このデスミア工程によって、第1の凹凸12の表面に形成した第2の樹脂層13の表面を微細にエッチングする。このように、例えばデスミア処理を経ることにより、第2の樹脂層13の表面がエッチングされ、図1に示すように第1の凹凸12よりもさらに微細な第2の凹凸14を、第2の樹脂層13の表面に形成する(図3(E))。
By this desmear process, the surface of the
次いで、無電解銅めっき(例えば40℃、20分)を施し、0.5μm厚さの薄い銅めっきのシード層15を得る(図4(A))。次いで、めっきレジストとしてドライフィルム25(例えば25μm厚さ)を、熱ラミネーターを用いて、例えば温度110℃、圧力0.5MPa、搬送速度2m/分にてラミネートし、その後、40μmピッチの所望の微細パターンの像を紫外線露光した後、1%炭酸ナトリウム溶液にて、30℃、20秒間現像して導体パターン16となる電解めっき層を形成しない領域に所望の像を形成する(図4(B))。
Next, electroless copper plating (for example, 40 ° C., 20 minutes) is performed to obtain a thin copper
次いで、ビアフィリング用電解銅めっきにて例えば電流密度1A/dm2、90分間めっきして、配線へのめっきとビアフィリングめっきにより電解めっき層26を形成した後(図4(C))、例えば3%水酸化ナトリウム溶液(例えば45℃、50秒間)にて、ドライフィルム25の剥離を行った(図4(D))。
Next, for example, after plating by electrolytic copper plating for via filling at a current density of 1 A / dm 2 for 90 minutes to form an
次いで、露出したシード層15を除去するために、クイックエッチング液にて例えば30℃、2分間処理することにより導体パターン16を形成し、本発明のセミアディティブ法による微細なプリント配線基板19を得る(図4(E))。
Next, in order to remove the exposed
なお、本実施の形態において、コア基板18を有するプリント配線基板19の構成と製造方法について説明したが、コア基板18を有しない構成であっても良い。
In the present embodiment, the configuration and the manufacturing method of the printed
本発明のプリント配線基板19、及び従来の基板に対し、銅配線と基材間の密着性を評価するために、5mm幅の銅パターンを90度ピール強度試験にて測定した。
In order to evaluate the adhesion between the copper wiring and the base material on the printed
従来の基板では、0.4kN/mの密着強度であったが、本発明によるプリント配線基板19では、0.9kN/mと従来のほぼ2倍の密着強度を得ることができた。これは、デスミア処理によって形成された第2の凹凸14が形成された第2の樹脂層13に、無電解銅めっきによるシード層15が析出して形成することにより、基材と銅めっきとのアンカー効果が増大することになり、密着性の向上につながるという効果を有するものである。
In the conventional substrate, the adhesion strength was 0.4 kN / m, but in the printed
以上のように、少なくとも一面に、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸12を設けた第1の樹脂層11と、前記第1の凹凸12の上に設けた、第2の樹脂層13と、前記第2の樹脂層13の上に設けた、前記第1の凹凸12よりRzが小さい第2の凹凸14と、前記第2の凹凸14の上に設けた導体層17と、を有するプリント配線基板19とすることで、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。
As described above, the
更に前記導体層17の一部以上は、無電解めっき、スパッタ、蒸着のいずれか一つ以上で形成することで、第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14の細部まで、導体層17の一部以上を設けることができ、第2の樹脂層13に対する導体層17のアンカー効果を高めることができる。
Further, a part or more of the
なお第1の樹脂層11と、第2の樹脂層13と、樹脂、フィラー、樹脂もしくはフィラーの構成割合、の一つ以上を異なるもの(なお1wt%以上異なること)とすることが望ましい。これは1wt%未満の組成割合では、第1の樹脂層11や第2の樹脂層13中での、各構成部材のバラツキ(例えば、偏析、分散バラツキ等)の影響を受けやすいためである。なお第1の樹脂層11と、第2の樹脂層13との間で、樹脂、フィラー、樹脂もしくはフィラー自体を変更した場合、構成割合を変える必要はない。このように、第1の樹脂層11に設けた第1の凹凸より、第2の樹脂層13に設けた第2の凹凸14の方を微細化することで、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。
Note that it is desirable that one or more of the
なお第2の樹脂層13の厚さは0.5μm以上4.0μm以下の範囲内とすることで、第1の樹脂層11に設けた第1の凹凸12と、第2の樹脂層13に設けた第2の凹凸14との干渉を低減することができると共に、プリント配線板の薄型化を実現する。
The thickness of the
前記導体層17の一部以上を、無電解めっきで形成すると共に、この無電解めっきが、銅、ニッケル、パラジウム、の少なくともいずれか1つもしくは複数の金属からなるものとすることで、第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14の細部まで、シード層15あるいは導体層17の一部以上を設けることができ、第2の樹脂層13に対する導体層17のアンカー効果を高めることができる。
A part or more of the
また第1の樹脂層11と第2の樹脂層13との界面に設けた第1の凹凸12のピッチより、第2の樹脂層13と導体層17との界面に設けた第2の凹凸14のピッチを小さくすることで、第1の凹凸12より、第2の凹凸14の方を確実に微細化でき、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。
Further, the
第1の樹脂層11と、最大高さ粗さRz=1μm以上7μm以下の凹凸を有する銅箔(例えば、粗面化銅箔23)と、この銅箔の表面に設けた第2の樹脂層13とを、用意する工程と、前記第1の樹脂層11と、前記銅箔とを熱プレスにより積層する工程と、前記銅箔をエッチングにより溶解する工程と、前記第2の樹脂層13の表面に第2の凹凸14を形成する工程と、前記第2の樹脂層13の表面に導体層17を形成する工程と、を、少なくとも備えたプリント配線基板19の製造方法によって、実施の形態等で説明したプリント配線基板19を製造することができる。
なお第2の樹脂層13表面に、微細な第2の凹凸14を形成する工程は、少なくとも、デスミア処理、プラズマ処理、酸処理、アルカリ処理の中の少なくとも1つ以上を含むものとすることで、第2の樹脂層13の表面に設ける第2の凹凸14を、第1の樹脂層11の表面に設ける第1の凹凸12より、確実に微細化でき、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。
The step of forming the fine
本発明にかかるプリント配線基板は、安価な層間絶縁基材を用いて、セミアディティブ法を用いた微細な配線形成が可能となるため、小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等を実現するために必要な高密度プリント配線基板を安価に提供することが可能となる。 The printed wiring board according to the present invention enables the formation of fine wiring using a semi-additive method using an inexpensive interlayer insulating base material, thus realizing small size, thinness, light weight, high definition, multi-functionality, etc. Therefore, it is possible to provide a high-density printed wiring board necessary for this purpose at a low cost.
11 第1の樹脂層
12 第1の凹凸
13 第2の樹脂層
14 第2の凹凸
15 シード層
16 導体パターン
17 導体層
18 コア基板
19 プリント配線基板
20 配線パターン
21 スルーホールめっき
22 プリプレグ
23 粗面化銅箔
24 ブラインドビア
25 ドライフィルム
26 電気めっき層
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記第1の凹凸の上に設けた、第2の樹脂層と、
前記第2の樹脂層の上に設けた、前記第1の凹凸よりRzが小さい第2の凹凸と、
前記第2の凹凸の上に設けた導体層と、
を有するプリント配線基板。 A first resin layer having at least one surface provided with first irregularities having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less;
A second resin layer provided on the first unevenness;
A second unevenness provided on the second resin layer and having a smaller Rz than the first unevenness;
A conductor layer provided on the second unevenness;
A printed wiring board.
最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の凹凸面を有する銅箔の、前記凹凸面に第2の樹脂層を設ける工程と、
第1の樹脂層と、前記銅箔の前記第2の樹脂面とを、熱プレスにより積層する工程と、
前記銅箔をエッチングにより除去する工程と、
前記第2の樹脂表面に第2の凹凸を形成する工程と、
前記第2の樹脂層表面に導体層を形成する工程と、
を、少なくとも備えたプリント配線基板の製造方法。 A first insulating layer;
A step of providing a second resin layer on the concavo-convex surface of a copper foil having a concavo-convex surface having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less;
Laminating the first resin layer and the second resin surface of the copper foil by hot pressing;
Removing the copper foil by etching;
Forming second irregularities on the second resin surface;
Forming a conductor layer on the surface of the second resin layer;
A method of manufacturing a printed wiring board comprising at least
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