JP2010028107A - Printed circuit board, and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-density printed circuit board which uses an inexpensive inter-layer insulating base material and has high adhesion secured between electroless plating and the inter-layer insulating base material and allows microwire formation using a semi-additive method, in order to make a mobile device small in size, thin in thickness, light in weight, high in definition, multiple in function or the like. <P>SOLUTION: With respect to the printed circuit board, a resin layer which has irregularities having a maximum height roughness Rz of 1 to 7 μm and has a composition different from that of the inter-layer insulating base material is formed on at least one surface of the inter-layer insulating base material, and a conductor layer is formed on the resin layer by electroless plating. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に広く用いられる高密度プリント配線基板に関するものである。   The present invention relates to a high-density printed wiring board widely used in various electronic devices such as personal computers, mobile communication telephones, and video cameras.

近年の電子機器は、小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等の要求が強く、それに伴い各種部品を実装するプリント配線基板も、さらなる小型、多層化、配線の微細化が望まれている。微細配線を形成する方法として、絶縁樹脂上に無電解めっきによる薄い電気伝導層(以下、シード層)を形成し、フォトレジストで画像形成した後に、電解銅めっきによりめっき配線を形成し、その後レジスト剥離、シード層をエッチングすることにより微細な配線を形成するセミアディティブ法が知られている。   In recent years, electronic devices are strongly demanded to be small, thin, lightweight, high definition, multi-functional, etc. Along with this, printed wiring boards on which various components are mounted are desired to be further miniaturized, multilayered, and miniaturized. Yes. As a method for forming a fine wiring, a thin conductive layer (hereinafter referred to as a seed layer) is formed on an insulating resin by electroless plating, an image is formed with a photoresist, a plated wiring is formed by electrolytic copper plating, and then a resist is formed. A semi-additive method is known in which fine wiring is formed by peeling and etching the seed layer.

以下従来のセミアディティブ法を用いたプリント配線基板について、図5を用いて説明する。図5は、従来のセミアディティブ法を用いたプリント配線基板の製造方法を説明する断面図である。   Hereinafter, a printed wiring board using a conventional semi-additive method will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a printed wiring board using a conventional semi-additive method.

図5において、図5(a)に示すような両面に銅の配線が形成され上下層をスルーホールにて接続しているコア基板1の両面に、例えばガラス織布エポキシ材などからなる層間絶縁基材3と銅箔2とを用意し(図5(b))、熱プレスを用いて貼り合わせる(図5(c))。次いで銅箔2をエッチングにて溶解させ(図5(d))、その後レーザーにてブラインドビアホール4を形成する(図5(e))。次いでデスミア処理にてレーザーによる樹脂残渣を除去した後、0.1〜1μmの無電解銅めっきによるシード層5を形成する(図5(f))。さらにドライフィルム6をラミネートし、露光、現像を経て導体パターンを形成しない領域にフォトレジストによる画像を形成した後(図5(g))、電解銅めっきにより銅の配線形成とブラインドビアのめっきを行い、導体パターン7を形成する(図5(h))。その後ドライフィルム6を剥離し(図5(i))、シード層5をエッチングすることによりプリント配線基板を得る(図5(j))。   In FIG. 5, an interlayer insulation made of, for example, a glass woven epoxy material is formed on both surfaces of the core substrate 1 in which copper wiring is formed on both surfaces as shown in FIG. The base material 3 and the copper foil 2 are prepared (FIG. 5B), and bonded together using a hot press (FIG. 5C). Next, the copper foil 2 is dissolved by etching (FIG. 5D), and then the blind via hole 4 is formed by a laser (FIG. 5E). Next, the resin residue by the laser is removed by a desmear process, and then a seed layer 5 is formed by electroless copper plating of 0.1 to 1 μm (FIG. 5F). Further, after laminating a dry film 6 and forming an image with a photoresist in an area where a conductor pattern is not formed through exposure and development (FIG. 5G), copper wiring formation and blind via plating are performed by electrolytic copper plating. Conductive pattern 7 is formed (FIG. 5H). Thereafter, the dry film 6 is peeled off (FIG. 5 (i)), and the seed layer 5 is etched to obtain a printed wiring board (FIG. 5 (j)).

なお、この発明の出願に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1〜4が知られている。   For example, Patent Documents 1 to 4 are known as prior art document information related to the application of the present invention.

特開2001−192844号公報JP 2001-192844 A 特開2007−273615号公報JP 2007-273615 A 特開2007−273615号公報JP 2007-273615 A 特開平11−298121号公報JP 11-298121 A

しかしながら、従来の方法では、層間絶縁基材3とシード層5との密着性が弱く、導体パターン7が製造工程中に剥がれたり、実装する部品の保持強度が弱いという問題があった。これは、無電解めっきの下地となる前記層間絶縁基材3上に微細な凹凸を形成することが困難であり、無電解めっきと基材との十分なアンカー効果が得られないことが原因であった。   However, in the conventional method, there is a problem that the adhesion between the interlayer insulating base material 3 and the seed layer 5 is weak, the conductor pattern 7 is peeled off during the manufacturing process, and the holding strength of the components to be mounted is weak. This is because it is difficult to form fine irregularities on the interlayer insulating base material 3 serving as a base for electroless plating, and a sufficient anchor effect between the electroless plating and the base material cannot be obtained. there were.

上記問題を解決するために、微細な凹凸を均一に形成できるセミアディティブ法専用の層間絶縁基材が開発されているが、基材が高価なために一部の半導体パッケージ基板に利用されるのみであり、一般のプリント配線基板に適用することが困難であった。   In order to solve the above problems, a semi-additive method-dedicated interlayer insulating base material that can uniformly form fine irregularities has been developed. However, since the base material is expensive, it is only used for some semiconductor package substrates. Therefore, it was difficult to apply to a general printed wiring board.

また、基材と導体パターンとの密着性を確保するために、シード層に無電解銅めっきではなく、熱プレスした極薄銅箔(1.5〜5μm)を用いる方法もあるが、シード層が無電解めっきに比べ厚いために、シード層を除去するエッチングが困難であり、微細な配線形成に不適であるという問題があった。   In addition, in order to ensure adhesion between the substrate and the conductor pattern, there is a method of using a hot-pressed ultrathin copper foil (1.5 to 5 μm) instead of electroless copper plating as the seed layer. However, since it is thicker than electroless plating, etching to remove the seed layer is difficult, and there is a problem that it is not suitable for forming fine wiring.

本発明は、上記課題を鑑みて成されたものであり、安価な層間絶縁基材を用い、無電解めっきと層間絶縁基材との高い密着性を確保し、セミアディティブ法を用いた微細配線形成が可能なプリント配線基板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, uses an inexpensive interlayer insulating base material, ensures high adhesion between the electroless plating and the interlayer insulating base material, and uses a semi-additive method for fine wiring An object is to provide a printed wiring board that can be formed.

上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも一面に、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸を設けた第1の樹脂層と、前記第1の凹凸の上に設けた、第2の樹脂層と、前記第2の樹脂層の上に設けた、前記第1の凹凸よりRzが小さい第2の凹凸と、前記第2の凹凸の上に設けた導体層と、を有するプリント配線基板である。   In order to achieve the above object, the present invention provides a first resin layer provided with a first unevenness having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less on at least one surface, and on the first unevenness. A second resin layer provided on the second resin layer, a second unevenness having a smaller Rz than the first unevenness, and a conductor layer provided on the second unevenness; The printed wiring board having

このような構成により、第1の樹脂層の表面に設けた最大高さ粗さRz=1〜7μmの第1の凹凸を、アンカーとすることで、第1の樹脂層と第2の樹脂層との間の密着力を高める。   With such a configuration, the first resin layer and the second resin layer are formed by using the first unevenness with the maximum height roughness Rz = 1 to 7 μm provided on the surface of the first resin layer as an anchor. Increase adhesion between the two.

また第2の樹脂層の表面に、第1の凹凸の最大高さ粗さRzより、小さい最大高さ粗さRzの第2の凹凸を設けることで、導体層と第2の樹脂層との強固な密着性を得ることができる。   Further, by providing the second resin layer with the second unevenness having a maximum height roughness Rz smaller than the maximum height roughness Rz of the first unevenness, the conductor layer and the second resin layer Strong adhesion can be obtained.

以上のように本発明は、安価な層間絶縁基材を用いて、セミアディティブ法を用いた微細な配線形成が可能となるため、小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等を実現するために必要な高密度プリント配線基板を安価に提供することが可能となる。   As described above, according to the present invention, it is possible to form a fine wiring using a semi-additive method using an inexpensive interlayer insulating base material, thereby realizing a small size, a thin shape, a light weight, a high definition, a multi-functionality, and the like. Therefore, it is possible to provide a high-density printed wiring board necessary for this purpose at a low cost.

本発明の実施の形態におけるプリント配線基板を示す断面図Sectional drawing which shows the printed wiring board in embodiment of this invention 第1の樹脂層と、導体パターンと、その間に設けられた第2の樹脂層の界面における凹凸を模式的に説明する拡大断面図The expanded sectional view which explains typically the unevenness | corrugation in the interface of the 1st resin layer, a conductor pattern, and the 2nd resin layer provided in the meantime 本発明の実施の形態の高密度プリント配線基板の製造プロセスの一例を示す断面図Sectional drawing which shows an example of the manufacturing process of the high-density printed wiring board of embodiment of this invention 本発明の実施の形態の高密度プリント配線基板の製造プロセスの一例を示す断面図Sectional drawing which shows an example of the manufacturing process of the high-density printed wiring board of embodiment of this invention 従来のセミアディティブ法を用いたプリント配線基板の製造方法を説明する断面図Sectional drawing explaining the manufacturing method of the printed wiring board using the conventional semi-additive method

(実施の形態)
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1(A)は本発明の実施の形態における高密度プリント配線基板の断面図、図1(B)は拡大断面図である。   FIG. 1A is a cross-sectional view of a high-density printed wiring board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view.

図1において、11は第1の樹脂層、12は第1の凹凸、13は第2の樹脂層、14は第2の凹凸、15はシード層、16は導体パターン、17は導体層、18はコア基板、19はプリント配線基板である。   In FIG. 1, 11 is a first resin layer, 12 is a first unevenness, 13 is a second resin layer, 14 is a second unevenness, 15 is a seed layer, 16 is a conductor pattern, 17 is a conductor layer, 18 Is a core substrate, and 19 is a printed wiring board.

図1(A)に示すように、本発明の実施の形態における高密度プリント配線基板は、コア基板18の表面に、第1の樹脂層11や第2の樹脂層13、シード層15等を介して、最表層に導体パターン16からなるパターンを形成している。   As shown in FIG. 1A, in the high-density printed wiring board according to the embodiment of the present invention, the first resin layer 11, the second resin layer 13, the seed layer 15, etc. are provided on the surface of the core substrate 18. Thus, a pattern composed of the conductor pattern 16 is formed on the outermost layer.

また図1(B)は、第1の樹脂層11と、導体パターン16とが、第2の樹脂層13やシード層15を介して密着している様子を示す拡大断面図である。   FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view showing a state where the first resin layer 11 and the conductor pattern 16 are in close contact with each other through the second resin layer 13 and the seed layer 15.

図1(A)(B)に示すように、第1の樹脂層11の少なくとも一方の面に、第1の凹凸12を設ける。また第1の樹脂層11の表面に設けた第1の凹凸12の上に、第2の樹脂層13を設けている。そして第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14の上に、シード層15と導体パターン16とからなる導体層17を設けている。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the first unevenness 12 is provided on at least one surface of the first resin layer 11. A second resin layer 13 is provided on the first irregularities 12 provided on the surface of the first resin layer 11. A conductor layer 17 including a seed layer 15 and a conductor pattern 16 is provided on the second unevenness 14 provided on the surface of the second resin layer 13.

なお図1(A)(B)において、導体層17は、シード層15と導体パターン16と、から形成しているが、この構成に限定する必要は無い。   1A and 1B, the conductor layer 17 is formed of the seed layer 15 and the conductor pattern 16, but it is not necessary to limit to this configuration.

また図1(B)に示すように、第2の凹凸14は、第1の凹凸12より微細、すなわち最大高さRaを小さく、あるいは凹凸のピッチを小さくしているが、これは互いの密着強度を高めるためであり、後述する図2で説明する。ここで第1の凹凸12の最大高さ粗さRzは、1μm以上7μm以下が望ましい。第1の凹凸12のRzが1μm未満の場合、第1の樹脂層11と第2の樹脂層13との界面のアンカー効果に影響を及ぼす場合がある。また第1の凹凸12のRzが7μmを超えると、第2の樹脂層13の厚みに影響を与える可能性がある。またRzが7μmを超えると第2の樹脂層13と導体層17との接着力(あるいはアンカー効果)に影響を与える場合がある。   In addition, as shown in FIG. 1B, the second unevenness 14 is finer than the first unevenness 12, that is, the maximum height Ra is reduced or the unevenness pitch is reduced. This is to increase the strength, and will be described later with reference to FIG. Here, the maximum height roughness Rz of the first unevenness 12 is preferably 1 μm or more and 7 μm or less. When Rz of the first unevenness 12 is less than 1 μm, the anchor effect at the interface between the first resin layer 11 and the second resin layer 13 may be affected. Moreover, when Rz of the 1st unevenness | corrugation 12 exceeds 7 micrometers, the thickness of the 2nd resin layer 13 may be affected. On the other hand, if Rz exceeds 7 μm, the adhesive force (or anchor effect) between the second resin layer 13 and the conductor layer 17 may be affected.

なお本発明のプリント配線基板19は、必要に応じて、最外層にソルダーレジストを形成し、また最外層の配線上にニッケル、金めっきなどを施しても良い。   In the printed wiring board 19 of the present invention, if necessary, a solder resist may be formed on the outermost layer, and nickel, gold plating or the like may be applied on the outermost layer wiring.

本発明の層間絶縁基材となる第1の樹脂層11は、例えばガラス繊維の織布にエポキシ樹脂を含浸させた一般的なプリプレグであるが、有機繊維や、BT樹脂などを用いてもよい。   The first resin layer 11 serving as an interlayer insulating base material of the present invention is, for example, a general prepreg in which a glass fiber woven fabric is impregnated with an epoxy resin, but organic fiber, BT resin, or the like may be used. .

本発明では、第2の樹脂層13と第1の樹脂層11との界面に、Rz=1μm以上7μm以下の第1の凹凸12を形成するために、層間絶縁基材となる第1の樹脂層11に、第2の樹脂層13を形成する面にあらかじめRzを1μm以上7μm以下に粗化させた銅箔を用いて積層する。なおこの粗化した銅箔の粗化処理面上に、予め層間絶縁基材となる第1の樹脂層11とは異なる組成の第2の樹脂層13を薄く形成しておくことは有用である。   In the present invention, in order to form the first unevenness 12 with Rz = 1 μm or more and 7 μm or less at the interface between the second resin layer 13 and the first resin layer 11, the first resin serving as an interlayer insulating base material The layer 11 is laminated on the surface on which the second resin layer 13 is formed using a copper foil having Rz roughened to 1 μm or more and 7 μm or less in advance. It is useful to previously form a thin second resin layer 13 having a composition different from that of the first resin layer 11 serving as an interlayer insulating base material on the roughened surface of the roughened copper foil. .

第2の樹脂層13は、層間絶縁基材となる第1の樹脂層11と、導体パターン16(あるいは導体パターン16の表面に設けたシード層15)とを接着する機能を有しており、樹脂単独、もしくはシリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、チタン酸バリウムなどからなる無機フィラーを含んでも良い。   The second resin layer 13 has a function of adhering the first resin layer 11 serving as an interlayer insulating base and the conductor pattern 16 (or the seed layer 15 provided on the surface of the conductor pattern 16), The resin alone or an inorganic filler made of silica, alumina, aluminum hydroxide, barium titanate or the like may be included.

なお、第2の樹脂層13の厚みは、0.5μm以上4.0μm以下が望ましい。厚みが4.0μmを超えると第2の樹脂層13の物性が、層間絶縁基材等に影響し、基板の絶縁材としての物性が劣化したり、多層基板の薄層化の阻害要因になる場合がある。また0.5μm未満であると第2の樹脂層13の表面に形成された、第1の凹凸12より微細な第2の凹凸14による無電解めっきとの十分な密着性が得られない場合がある。   In addition, as for the thickness of the 2nd resin layer 13, 0.5 micrometer or more and 4.0 micrometers or less are desirable. When the thickness exceeds 4.0 μm, the physical properties of the second resin layer 13 affect the interlayer insulating base material and the like, and the physical properties as the insulating material of the substrate are deteriorated, or the thinning of the multilayer substrate is hindered. There is a case. If the thickness is less than 0.5 μm, sufficient adhesion to the electroless plating by the second unevenness 14 formed on the surface of the second resin layer 13 and finer than the first unevenness 12 may not be obtained. is there.

次に図2を用いて、第1の樹脂層11の表面に設けた第1の凹凸12a、12b、12cと、第2の樹脂層13の導体層17側(あるいは第1の樹脂層11の面とは反対側)の表面に設けた第2の凹凸14a、14b、14cとの関係について、説明する。   Next, referring to FIG. 2, the first unevenness 12a, 12b, 12c provided on the surface of the first resin layer 11 and the conductor layer 17 side of the second resin layer 13 (or of the first resin layer 11). The relationship between the second irregularities 14a, 14b, and 14c provided on the surface opposite to the surface will be described.

図2は、第1の樹脂層11と、導体パターン16と、その間に設けられた第2の樹脂層13の界面における凹凸を模式的に説明する拡大断面図である。   FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view schematically illustrating irregularities at the interface of the first resin layer 11, the conductor pattern 16, and the second resin layer 13 provided therebetween.

図2において、第1の樹脂層11の、少なくとも一面には、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸12a、12b、12cが形成されている。なお第1の凹凸12aは、第1の凹凸12の高さ(あるいはRz)を模式的に示す。また矢印で示した12bは第1の凹凸12の谷−谷間のピッチ(あるいは距離)を、矢印で示した12cは第1の凹凸12の山−山間のピッチ(あるいは距離)を、それぞれ模式的に示している。   In FIG. 2, at least one surface of the first resin layer 11 is formed with first irregularities 12a, 12b, and 12c having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less. The first unevenness 12a schematically indicates the height (or Rz) of the first unevenness 12. Further, 12b indicated by an arrow is a typical pitch (or distance) between the valleys of the first unevenness 12, and 12c indicated by an arrow is a typical pitch (or distance) between the peaks of the first unevenness 12, respectively. It shows.

第1の凹凸12の上側には、第2の樹脂層13が設けられている。そして第2の樹脂層13の上側には、第1の凹凸12より微細な第2の凹凸14a、14b、14cが形成されている。また第2の凹凸14a、14b、14cの上側には導体層17が形成されている。なお第2の凹凸14aは、第2の凹凸14の高さ(あるいはRz)を模式的に示す。また矢印で示した14bは第2の凹凸14の山−山間のピッチ(あるいは距離)を、矢印で示した14cは第2の凹凸14の谷−谷間のピッチ(あるいは距離)を、それぞれ模式的に示している。   A second resin layer 13 is provided on the upper side of the first unevenness 12. On the upper side of the second resin layer 13, second irregularities 14 a, 14 b, and 14 c that are finer than the first irregularities 12 are formed. A conductor layer 17 is formed on the upper side of the second irregularities 14a, 14b, and 14c. The second unevenness 14a schematically indicates the height (or Rz) of the second unevenness 14. Further, 14b indicated by an arrow schematically represents the pitch (or distance) between the peaks and peaks of the second irregularities 14, and 14c indicated by an arrow schematically represents the pitch (or distance) between the valleys and valleys of the second irregularities 14. It shows.

図2に示すように、第1の凹凸(12a、12b、12cのどれか一つ以上)を第2の凹凸(14a,14b、14cのどれか一つ以上)より大きくすることで、互いの密着性を高める。   As shown in FIG. 2, the first unevenness (one or more of 12a, 12b, 12c) is made larger than the second unevenness (any one or more of 14a, 14b, 14c). Increase adhesion.

なお図2における第1の凹凸12の高さ(例えば最大高さ粗さRz、12aとして図2では模式的に示している)より、第2の凹凸14の高さ(例えばRz、14aとして図2では模式的に示している)を小さくすること、すなわち第1の凹凸12a、12b、12cより、第2の凹凸14a、14b、14cを微細とすることが望ましい。こうして互いの密着力を高める。なお界面における表面粗さの測定が難しい場合、サンプル断面を顕微鏡やSEM(走査型電子顕微鏡)等で観察し、その界面形状(例えば、断面写真等)で、第1の凹凸12a、12b、12cと、第2の凹凸14a、14b、14cとの大きさや形状を比較しても良い。またこの断面写真等から得られたデータを元に、Rz等の表面粗さやピッチ、距離等を計算しても良い。なお第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14a,14b,14cは、第2の樹脂13と、シード層15との界面で評価すれば良いが、シード層15の検出が難しい場合、第2の樹脂層13と導体パターン16(あるいはシード層15を含む導体層17)との界面で評価しても良い。   Note that the height of the second unevenness 14 (for example, Rz, 14a) is shown based on the height of the first unevenness 12 in FIG. 2 (for example, schematically shown in FIG. 2 as the maximum height roughness Rz, 12a). 2 is schematically shown), that is, it is desirable to make the second unevenness 14a, 14b, 14c finer than the first unevenness 12a, 12b, 12c. In this way, mutual adhesion is increased. When it is difficult to measure the surface roughness at the interface, the sample cross-section is observed with a microscope, SEM (scanning electron microscope), etc., and the first irregularities 12a, 12b, 12c are observed with the interface shape (for example, cross-sectional photographs). The size and shape of the second unevenness 14a, 14b, 14c may be compared. Further, surface roughness such as Rz, pitch, distance, and the like may be calculated based on data obtained from the cross-sectional photograph. The second irregularities 14a, 14b, and 14c provided on the surface of the second resin layer 13 may be evaluated at the interface between the second resin 13 and the seed layer 15, but it is difficult to detect the seed layer 15. In this case, the evaluation may be performed at the interface between the second resin layer 13 and the conductor pattern 16 (or the conductor layer 17 including the seed layer 15).

なお図2において、第1の凹凸12、第2の凹凸14は、互いに略平行に記載しているが、これに限定する必要は無い。例えば、図1(A)(B)に記載したように、第1の凹凸12の一つの凹部に、第2の凹凸14の凹凸が複数個、入るような形状であっても良い。また図1(A)(B)に示すように、第1の凹凸12を曲面状(あるいは立体状)とし、この中に第2の凹凸14からなる複数の凹凸を入れても良い。   In FIG. 2, the first unevenness 12 and the second unevenness 14 are described substantially parallel to each other, but it is not necessary to limit to this. For example, as described in FIGS. 1A and 1B, a shape in which a plurality of concave and convex portions of the second concave and convex portion 14 are included in one concave portion of the first concave and convex portion 12 may be used. Further, as shown in FIGS. 1A and 1B, the first unevenness 12 may be curved (or three-dimensional), and a plurality of unevenness including the second unevenness 14 may be inserted therein.

次いで、本実施の形態の高密度プリント配線基板の製造プロセスの1実施例について、図3、図4を用いて詳細に説明する。   Next, an example of the manufacturing process of the high-density printed wiring board according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS.

図3、図4は、共に本発明の実施の形態の高密度プリント配線基板の製造プロセスの一例を示す断面図である。図3、図4において、20は配線パターン、21はスルーホールめっき、22はプリプレグ、23は粗面化銅箔、24はブラインドビア、25はドライフィルム、26は電解めっき層(電気めっき層と呼ばれることもある)である。   3 and 4 are sectional views showing an example of a manufacturing process of the high-density printed wiring board according to the embodiment of the present invention. 3 and 4, 20 is a wiring pattern, 21 is through-hole plating, 22 is a prepreg, 23 is a roughened copper foil, 24 is a blind via, 25 is a dry film, 26 is an electrolytic plating layer (an electroplating layer and Sometimes called).

まず、コア基板18(例えば絶縁材0.6mm厚さ、銅箔18μm厚さ)を作製するため、NCドリルにて例えば0.3mmΦの穴を形成し、スルーホールめっき21を施したのち、サブトラクティブ法を用いて配線パターン20を形成した両面配線基板を用意する(図3(A))。ついで、ビルドアップ層を作製するため、コア基板18の両面に、一般的なガラス繊維エポキシ基材である層間絶縁基材としてのプリプレグ22(例えば60μm厚さ)と、あらかじめ第1の凹凸12を形成するための粗化面(Rz=1〜7μm)、およびこの粗化面上に第2の樹脂層13が形成された粗面化銅箔23(例えば12μm厚さ)とを用意し(図3(B))、例えば圧力5MPa、温度200℃で2時間保持して、熱プレスを行った(図3(C))。こうしてプリプレグ22を硬化不溶化し第1の樹脂層11とした後、室温に冷却し塩化鉄エッチング液を用いて例えば温度40℃、1分間処理し、両面の銅箔(例えば、粗面化銅箔23)を溶解させ、第1の樹脂層11上にRz=1〜7μmの第1の凹凸12を形成する。こうして第1の凹凸12の上に、第2の樹脂層13を転写した基板を得る(図3(D))。   First, in order to produce the core substrate 18 (for example, an insulating material having a thickness of 0.6 mm and a copper foil having a thickness of 18 μm), a hole having a diameter of, for example, 0.3 mmΦ is formed with an NC drill, and through-hole plating 21 is performed. A double-sided wiring board on which the wiring pattern 20 is formed using the active method is prepared (FIG. 3A). Next, in order to produce a build-up layer, a prepreg 22 (for example, 60 μm thickness) as an interlayer insulating base material which is a general glass fiber epoxy base material and first unevenness 12 in advance are formed on both surfaces of the core substrate 18. A roughened surface for forming (Rz = 1 to 7 μm) and a roughened copper foil 23 (for example, 12 μm thickness) in which the second resin layer 13 is formed on this roughened surface are prepared (see FIG. 3 (B)), for example, the pressure was kept at 5 MPa and the temperature was kept at 200 ° C. for 2 hours, and hot pressing was performed (FIG. 3C). Thus, the prepreg 22 is cured and insolubilized to form the first resin layer 11, and then cooled to room temperature and treated with an iron chloride etchant at a temperature of 40 ° C. for 1 minute, for example. 23) is dissolved, and first irregularities 12 with Rz = 1 to 7 μm are formed on the first resin layer 11. Thus, a substrate having the second resin layer 13 transferred onto the first unevenness 12 is obtained (FIG. 3D).

次いで、炭酸ガスレーザーにて所定の位置にブラインドビア24を形成した後、膨潤(例えば60℃、5分)、粗化(例えば80℃、10分)、中和(例えば45℃、5分)のデスミア処理を行う。   Next, after forming the blind via 24 at a predetermined position with a carbon dioxide laser, swelling (for example, 60 ° C., 5 minutes), roughening (for example, 80 ° C., 10 minutes), neutralization (for example, 45 ° C., 5 minutes) Perform desmear processing.

このデスミア工程によって、第1の凹凸12の表面に形成した第2の樹脂層13の表面を微細にエッチングする。このように、例えばデスミア処理を経ることにより、第2の樹脂層13の表面がエッチングされ、図1に示すように第1の凹凸12よりもさらに微細な第2の凹凸14を、第2の樹脂層13の表面に形成する(図3(E))。   By this desmear process, the surface of the second resin layer 13 formed on the surface of the first unevenness 12 is finely etched. In this way, for example, by performing a desmear process, the surface of the second resin layer 13 is etched, and the second unevenness 14 that is finer than the first unevenness 12 is formed as shown in FIG. It is formed on the surface of the resin layer 13 (FIG. 3E).

次いで、無電解銅めっき(例えば40℃、20分)を施し、0.5μm厚さの薄い銅めっきのシード層15を得る(図4(A))。次いで、めっきレジストとしてドライフィルム25(例えば25μm厚さ)を、熱ラミネーターを用いて、例えば温度110℃、圧力0.5MPa、搬送速度2m/分にてラミネートし、その後、40μmピッチの所望の微細パターンの像を紫外線露光した後、1%炭酸ナトリウム溶液にて、30℃、20秒間現像して導体パターン16となる電解めっき層を形成しない領域に所望の像を形成する(図4(B))。   Next, electroless copper plating (for example, 40 ° C., 20 minutes) is performed to obtain a thin copper plating seed layer 15 having a thickness of 0.5 μm (FIG. 4A). Next, a dry film 25 (for example, 25 μm thickness) is laminated as a plating resist using a thermal laminator, for example, at a temperature of 110 ° C., a pressure of 0.5 MPa, and a conveyance speed of 2 m / min, and then a desired fineness of 40 μm pitch. After the pattern image is exposed to ultraviolet light, it is developed with a 1% sodium carbonate solution at 30 ° C. for 20 seconds to form a desired image in a region where the electroplating layer to be the conductor pattern 16 is not formed (FIG. 4B). ).

次いで、ビアフィリング用電解銅めっきにて例えば電流密度1A/dm2、90分間めっきして、配線へのめっきとビアフィリングめっきにより電解めっき層26を形成した後(図4(C))、例えば3%水酸化ナトリウム溶液(例えば45℃、50秒間)にて、ドライフィルム25の剥離を行った(図4(D))。 Next, for example, after plating by electrolytic copper plating for via filling at a current density of 1 A / dm 2 for 90 minutes to form an electrolytic plating layer 26 by plating on the wiring and via filling plating (FIG. 4C), for example, The dry film 25 was peeled off with a 3% sodium hydroxide solution (for example, 45 ° C., 50 seconds) (FIG. 4D).

次いで、露出したシード層15を除去するために、クイックエッチング液にて例えば30℃、2分間処理することにより導体パターン16を形成し、本発明のセミアディティブ法による微細なプリント配線基板19を得る(図4(E))。   Next, in order to remove the exposed seed layer 15, the conductive pattern 16 is formed by treating with a quick etching solution, for example, at 30 ° C. for 2 minutes to obtain a fine printed wiring board 19 by the semi-additive method of the present invention. (FIG. 4E).

なお、本実施の形態において、コア基板18を有するプリント配線基板19の構成と製造方法について説明したが、コア基板18を有しない構成であっても良い。   In the present embodiment, the configuration and the manufacturing method of the printed wiring board 19 having the core substrate 18 have been described. However, a configuration without the core substrate 18 may be used.

本発明のプリント配線基板19、及び従来の基板に対し、銅配線と基材間の密着性を評価するために、5mm幅の銅パターンを90度ピール強度試験にて測定した。   In order to evaluate the adhesion between the copper wiring and the base material on the printed wiring board 19 of the present invention and the conventional board, a copper pattern having a width of 5 mm was measured by a 90-degree peel strength test.

従来の基板では、0.4kN/mの密着強度であったが、本発明によるプリント配線基板19では、0.9kN/mと従来のほぼ2倍の密着強度を得ることができた。これは、デスミア処理によって形成された第2の凹凸14が形成された第2の樹脂層13に、無電解銅めっきによるシード層15が析出して形成することにより、基材と銅めっきとのアンカー効果が増大することになり、密着性の向上につながるという効果を有するものである。   In the conventional substrate, the adhesion strength was 0.4 kN / m, but in the printed wiring board 19 according to the present invention, an adhesion strength of 0.9 kN / m, which is almost twice that of the conventional one, could be obtained. This is because the seed layer 15 formed by electroless copper plating is deposited on the second resin layer 13 on which the second unevenness 14 formed by the desmear process is formed. An anchor effect will increase and it has the effect that it leads to the improvement of adhesiveness.

以上のように、少なくとも一面に、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸12を設けた第1の樹脂層11と、前記第1の凹凸12の上に設けた、第2の樹脂層13と、前記第2の樹脂層13の上に設けた、前記第1の凹凸12よりRzが小さい第2の凹凸14と、前記第2の凹凸14の上に設けた導体層17と、を有するプリント配線基板19とすることで、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。   As described above, the first resin layer 11 provided with the first unevenness 12 having the maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less on at least one surface, and the first resin layer 11 provided on the first unevenness 12, Two resin layers 13, a second unevenness 14 having an Rz smaller than the first unevenness 12, and a conductor layer provided on the second unevenness 14. 17, the adhesion between the second resin layer 13 and the conductor layer 17 can be increased.

更に前記導体層17の一部以上は、無電解めっき、スパッタ、蒸着のいずれか一つ以上で形成することで、第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14の細部まで、導体層17の一部以上を設けることができ、第2の樹脂層13に対する導体層17のアンカー効果を高めることができる。   Further, a part or more of the conductor layer 17 is formed by any one or more of electroless plating, sputtering, and vapor deposition, so that the details of the second unevenness 14 provided on the surface of the second resin layer 13 are as follows. A part or more of the conductor layer 17 can be provided, and the anchor effect of the conductor layer 17 with respect to the second resin layer 13 can be enhanced.

なお第1の樹脂層11と、第2の樹脂層13と、樹脂、フィラー、樹脂もしくはフィラーの構成割合、の一つ以上を異なるもの(なお1wt%以上異なること)とすることが望ましい。これは1wt%未満の組成割合では、第1の樹脂層11や第2の樹脂層13中での、各構成部材のバラツキ(例えば、偏析、分散バラツキ等)の影響を受けやすいためである。なお第1の樹脂層11と、第2の樹脂層13との間で、樹脂、フィラー、樹脂もしくはフィラー自体を変更した場合、構成割合を変える必要はない。このように、第1の樹脂層11に設けた第1の凹凸より、第2の樹脂層13に設けた第2の凹凸14の方を微細化することで、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。   Note that it is desirable that one or more of the first resin layer 11 and the second resin layer 13 be different from each other in the resin, filler, resin or filler component ratio (which differs by 1 wt% or more). This is because a composition ratio of less than 1 wt% is easily affected by variations (for example, segregation, dispersion variations, etc.) of the constituent members in the first resin layer 11 and the second resin layer 13. When the resin, filler, resin, or filler itself is changed between the first resin layer 11 and the second resin layer 13, it is not necessary to change the component ratio. Thus, by making the second unevenness 14 provided in the second resin layer 13 finer than the first unevenness provided in the first resin layer 11, the second resin layer 13 and Adhesion with the conductor layer 17 can be increased.

なお第2の樹脂層13の厚さは0.5μm以上4.0μm以下の範囲内とすることで、第1の樹脂層11に設けた第1の凹凸12と、第2の樹脂層13に設けた第2の凹凸14との干渉を低減することができると共に、プリント配線板の薄型化を実現する。   The thickness of the second resin layer 13 is in the range of 0.5 μm or more and 4.0 μm or less, so that the first unevenness 12 provided in the first resin layer 11 and the second resin layer 13 Interference with the provided second unevenness 14 can be reduced and the printed wiring board can be made thinner.

前記導体層17の一部以上を、無電解めっきで形成すると共に、この無電解めっきが、銅、ニッケル、パラジウム、の少なくともいずれか1つもしくは複数の金属からなるものとすることで、第2の樹脂層13の表面に設けた第2の凹凸14の細部まで、シード層15あるいは導体層17の一部以上を設けることができ、第2の樹脂層13に対する導体層17のアンカー効果を高めることができる。   A part or more of the conductor layer 17 is formed by electroless plating, and the electroless plating is made of at least one or a plurality of metals of copper, nickel, and palladium. A part or more of the seed layer 15 or the conductor layer 17 can be provided up to the details of the second unevenness 14 provided on the surface of the resin layer 13, and the anchor effect of the conductor layer 17 on the second resin layer 13 is enhanced. be able to.

また第1の樹脂層11と第2の樹脂層13との界面に設けた第1の凹凸12のピッチより、第2の樹脂層13と導体層17との界面に設けた第2の凹凸14のピッチを小さくすることで、第1の凹凸12より、第2の凹凸14の方を確実に微細化でき、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。   Further, the second unevenness 14 provided at the interface between the second resin layer 13 and the conductor layer 17 is determined by the pitch of the first unevenness 12 provided at the interface between the first resin layer 11 and the second resin layer 13. By reducing the pitch, the second unevenness 14 can be reliably miniaturized rather than the first unevenness 12, and the adhesion between the second resin layer 13 and the conductor layer 17 can be increased.

第1の樹脂層11と、最大高さ粗さRz=1μm以上7μm以下の凹凸を有する銅箔(例えば、粗面化銅箔23)と、この銅箔の表面に設けた第2の樹脂層13とを、用意する工程と、前記第1の樹脂層11と、前記銅箔とを熱プレスにより積層する工程と、前記銅箔をエッチングにより溶解する工程と、前記第2の樹脂層13の表面に第2の凹凸14を形成する工程と、前記第2の樹脂層13の表面に導体層17を形成する工程と、を、少なくとも備えたプリント配線基板19の製造方法によって、実施の形態等で説明したプリント配線基板19を製造することができる。   1st resin layer 11, copper foil (for example, roughened copper foil 23) which has unevenness | corrugation of maximum height roughness Rz = 1 micrometer or more and 7 micrometers or less, and the 2nd resin layer provided in the surface of this copper foil 13, a step of laminating the first resin layer 11 and the copper foil by hot pressing, a step of dissolving the copper foil by etching, and the second resin layer 13. The method of forming the printed wiring board 19 including at least the step of forming the second unevenness 14 on the surface and the step of forming the conductor layer 17 on the surface of the second resin layer 13, the embodiment, etc. The printed wiring board 19 described in the above can be manufactured.

なお第2の樹脂層13表面に、微細な第2の凹凸14を形成する工程は、少なくとも、デスミア処理、プラズマ処理、酸処理、アルカリ処理の中の少なくとも1つ以上を含むものとすることで、第2の樹脂層13の表面に設ける第2の凹凸14を、第1の樹脂層11の表面に設ける第1の凹凸12より、確実に微細化でき、第2の樹脂層13と、導体層17との密着力を高めることができる。   The step of forming the fine second irregularities 14 on the surface of the second resin layer 13 includes at least one of desmear treatment, plasma treatment, acid treatment, and alkali treatment. The second unevenness 14 provided on the surface of the second resin layer 13 can be more surely made finer than the first unevenness 12 provided on the surface of the first resin layer 11, and the second resin layer 13 and the conductor layer 17 can be reduced. It is possible to increase the adhesive strength with.

本発明にかかるプリント配線基板は、安価な層間絶縁基材を用いて、セミアディティブ法を用いた微細な配線形成が可能となるため、小型、薄型、軽量、高精細、多機能化等を実現するために必要な高密度プリント配線基板を安価に提供することが可能となる。   The printed wiring board according to the present invention enables the formation of fine wiring using a semi-additive method using an inexpensive interlayer insulating base material, thus realizing small size, thinness, light weight, high definition, multi-functionality, etc. Therefore, it is possible to provide a high-density printed wiring board necessary for this purpose at a low cost.

11 第1の樹脂層
12 第1の凹凸
13 第2の樹脂層
14 第2の凹凸
15 シード層
16 導体パターン
17 導体層
18 コア基板
19 プリント配線基板
20 配線パターン
21 スルーホールめっき
22 プリプレグ
23 粗面化銅箔
24 ブラインドビア
25 ドライフィルム
26 電気めっき層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 1st resin layer 12 1st unevenness | corrugation 13 2nd resin layer 14 2nd unevenness | corrugation 15 Seed layer 16 Conductive pattern 17 Conductive layer 18 Core substrate 19 Printed wiring board 20 Wiring pattern 21 Through-hole plating 22 Prepreg 23 Rough surface Copper foil 24 Blind via 25 Dry film 26 Electroplating layer

Claims (8)

少なくとも一面に、最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の第1の凹凸を設けた第1の樹脂層と、
前記第1の凹凸の上に設けた、第2の樹脂層と、
前記第2の樹脂層の上に設けた、前記第1の凹凸よりRzが小さい第2の凹凸と、
前記第2の凹凸の上に設けた導体層と、
を有するプリント配線基板。
A first resin layer having at least one surface provided with first irregularities having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less;
A second resin layer provided on the first unevenness;
A second unevenness provided on the second resin layer and having a smaller Rz than the first unevenness;
A conductor layer provided on the second unevenness;
A printed wiring board.
前記導体層の一部以上は、無電解めっき、スパッタ、蒸着のいずれか一つ以上で形成したものである請求項1記載のプリント配線基板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein at least a part of the conductor layer is formed by any one or more of electroless plating, sputtering, and vapor deposition. 前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層とは、少なくとも、樹脂、フィラー、樹脂もしくはフィラーの構成割合の一つ以上が1重量%以上異なる請求項1記載のプリント配線基板。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the first resin layer and the second resin layer differ in at least one of resin, filler, resin, or filler by at least 1 wt%. 第2樹脂層の厚さが0.5μm以上4.0μm以下であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線基板。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the thickness of the second resin layer is 0.5 μm or more and 4.0 μm or less. 無電解めっきが、銅、ニッケル、パラジウム、の少なくともいずれか1つもしくは複数の金属からなることを特徴とする請求項2に記載のプリント配線基板。 The printed wiring board according to claim 2, wherein the electroless plating is made of at least one of copper, nickel, and palladium, or a plurality of metals. 第1の樹脂と第2の樹脂の界面に設けた第1の凹凸のピッチより、第2の樹脂と導体層との界面に設けた第2の凹凸のピッチが小さい請求項1に記載のプリント配線基板。 The print according to claim 1, wherein the pitch of the second unevenness provided at the interface between the second resin and the conductor layer is smaller than the pitch of the first unevenness provided at the interface between the first resin and the second resin. Wiring board. 第1の絶縁層と、
最大高さ粗さRzが1μm以上7μm以下の凹凸面を有する銅箔の、前記凹凸面に第2の樹脂層を設ける工程と、
第1の樹脂層と、前記銅箔の前記第2の樹脂面とを、熱プレスにより積層する工程と、
前記銅箔をエッチングにより除去する工程と、
前記第2の樹脂表面に第2の凹凸を形成する工程と、
前記第2の樹脂層表面に導体層を形成する工程と、
を、少なくとも備えたプリント配線基板の製造方法。
A first insulating layer;
A step of providing a second resin layer on the concavo-convex surface of a copper foil having a concavo-convex surface having a maximum height roughness Rz of 1 μm or more and 7 μm or less;
Laminating the first resin layer and the second resin surface of the copper foil by hot pressing;
Removing the copper foil by etching;
Forming second irregularities on the second resin surface;
Forming a conductor layer on the surface of the second resin layer;
A method of manufacturing a printed wiring board comprising at least
前記第2の樹脂表面に微細な凹凸を形成する工程は、少なくとも、デスミア処理、プラズマ処理、酸処理、アルカリ処理の中の少なくとも1つ以上を含むものである請求項7に記載のプリント配線基板の製造方法。 The process for forming fine irregularities on the surface of the second resin includes at least one or more of desmear treatment, plasma treatment, acid treatment, and alkali treatment. Method.
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