JP2009105456A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックス基板と、前記セラミックス基板の表面に直接接合され、主としてアルミニウムからなる金属板と、前記金属板上に接合された半導体素子とを具備する半導体装置において、前記金属板の主面における前記半導体素子が接合される部分に、複数の溝が設けられているもの。
【選択図】図13
Description
参考例1
厚さ0.5mm、純度99%以上のアルミニウム板を用意し、エッチングによりこのアルミニウム板の外周縁部より1mmまでの部分の厚さを0.25mmとした。その後、このアルミニウム板を厚さ0.7mmの窒化アルミニウム基板に直接接合してセラミックス回路基板を作製した。
厚さ0.5mm、純度99%以上のアルミニウム板を用意し、エッチングによりこのアルミニウム板の外周縁部内側に複数の孔を設けた。孔の直径は0.5mm、各孔の間隔は、0.5mm、かつ孔の縁部が外周縁部より0.5mmとなるようにした。このアルミニウム板を厚さ0.7mmの窒化アルミニウム基板に直接接合してセラミックス回路基板を作製した。
厚さ0.5mm、純度99%以上のアルミニウム板を用意し、エッチングによりこのアルミニウム板の外周縁部内側に複数の溝を設けた。溝の深さは0.25mm、溝の幅は0.05mm、かつ溝の縁部が外周縁部より0.5mmとなるようにした。このアルミニウム板を厚さ0.7mmの窒化アルミニウム基板に直接接合してセラミックス回路基板を作製した。
厚さ0.5mm、純度99%以上のアルミニウム板を用意し、このアルミニウム板を厚さ0.7mmの窒化アルミニウム基板に直接接合してセラミックス回路基板を作製した。
実施例1〜4
厚さ0.5mm、縦3cm×横3cm、純度99%以上のアルミニウム板を用意し、図18に示すように、このアルミニウム板の中央部に複数の溝を設けた。溝の深さ(H)、幅(W)、長さ(E)及び間隔(L)は表1に示すように調整した。また、溝は、溝方向と垂直な方向の両縁部から5mmの部分には設けなかった。
厚さ0.5mm、縦3cm×横3cm、純度99%以上のアルミニウム板を用い、このアルミニウム板の一方の面に溝加工を施さないまま、ハンダを用いてSiペレットを接合し、他方の面に窒化アルミニウム基板を直接接合により接合し半導体装置を作製した。Siペレットは、実施例1〜4で用いたものと同様のものを用いた。
参考例1のアルミニウム板をAl−10wt%Si板に変えたものを参考例4、参考例1の窒化アルミニウム基板を窒化ケイ素基板に変えたものを参考例5、参考例1のアルミニウム板をAl−10wt%Si板に変えさらに窒化アルミニウム基板を窒化ケイ素基板に変えたものを参考例6とした。
2……セラミックス基板
3……アルミニウム板
3a……外周縁部
3b……薄肉部
5……孔
7……溝
9……ハンダ層
10……半導体素子
11……溝
Claims (4)
- セラミックス基板と、前記セラミックス基板の表面に直接接合され、主としてアルミニウムからなる金属板と、前記金属板上に接合された半導体素子とを具備する半導体装置において、
前記金属板の主面における前記半導体素子が接合される部分には、複数の溝が設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 前記複数の溝は、深さが前記金属板の実装面となる部分の厚さの1/6以上5/6以下、幅が0.05mm以上1.0mm以下、隣接する溝との間隔が0.05mm以上5.0mm以下、かつ長さが前記半導体素子よりも長いことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記セラミックス基板はアルミナ、窒化アルミニウム及び窒化ケイ素からなる群から選ばれた少なくとも1種の材料から主としてなることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置。
- 前記主としてアルミニウムからなる金属板は、Al−Si合金板であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体装置。
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