JP2009093081A5 - - Google Patents

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JPH0682711A (ja) * 1992-08-31 1994-03-25 Matsushita Electric Works Ltd 走査ミラーの駆動装置
JP3065611B1 (ja) * 1999-05-28 2000-07-17 三菱電機株式会社 マイクロミラ―装置およびその製造方法
JP3974068B2 (ja) * 2003-03-27 2007-09-12 日本信号株式会社 プレーナー型電磁アクチュエータ
JP2006145962A (ja) * 2004-11-22 2006-06-08 Canon Inc 二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器
JP2006154315A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Canon Inc 静電櫛歯型揺動体装置、及びその作製方法

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