JP2009080142A - 光モジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】半導体レーザと光ファイバが直接光結合され半導体レーザと光ファイバとの間を透明樹脂により埋めてある状態で、半導体レーザの出射光により透明樹脂を変質させて、半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路またはレンズを形成することにより光結合効率を高めることができる光モジュールを提供する。
【解決手段】半導体レーザ10と光ファイバ30を直接光結合している光モジュールであり、半導体レーザ10と光ファイバ30の間を透明樹脂20により埋めて、半導体レーザ10を駆動して半導体レーザ10から出射光を発生するときに、出射光の照射条件を調整することにより、透明樹脂20の半導体レーザ10の光出射部近傍の屈折率を、透明樹脂20の光出射部近傍以外の部分の屈折率よりも高めることで半導体レーザ10の出射光を光ファイバ30に導く光導波路200が形成されている。
【選択図】図3

Description

本発明は、光モジュールに関する。特に、半導体レーザと光ファイバが直接光結合され半導体レーザと光ファイバとの間を透明樹脂により埋めてある状態で、半導体レーザの出射光により透明樹脂を部分的に変質させて、半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路またはレンズを形成することにより光結合効率を高めることができる光モジュールに関する。
半導体レーザと光ファイバを用いた光モジュールが、例えば光信号伝送用に開発されている。光モジュールにおいて、半導体レーザから出力された出射光を光ファイバに光結合させる方法が従来からいろいろと提案されている。例えば、出射光をレンズ等の集光手段を用いて集光し、光ファイバに光結合させる方法や、半導体レーザの出射端面に光ファイバの端面を近接させる方法等が提案されている。
集光手段を用いた方法として、特許文献1では、半導体レーザアレイとレンズアレイとを金属ブロックに搭載してLDアセンブリを構成し、LDアセンブリを側壁に窓を有するパッケージに収容封止し、側壁の外側に取着する光ファイバアレイとLDアセンブリとを光結合されてなる半導体レーザモジュールであって、パッケージの側壁の内側面に金属ブロックがレーザ溶接されてなる構成である半導体レーザモジュールが提案されている。
特開平6−308358号公報
しかしながら、上述したような集光手段を用いた方法では、半導体レーザ、集光手段、光ファイバを同時にそれぞれの光軸に合わせる必要があるため、組み立てに時間とコストが要した。
そこで、本発明者は、半導体レーザが発生する光を光ファイバの端部に対してレンズを介さずに、半導体レーザと光ファイバを直接光結合して、半導体レーザと光ファイバとの間を透明樹脂で埋めることを提案している。しかし、半導体レーザと光ファイバの間を単に透明樹脂で埋める構成であると、次のような現象が生じることがある。
本発明者は、半導体レーザの出力端での出射光出力が一定になるように半導体レーザを動作させた場合に、動作環境温度が−20℃では出射光出力が時間の経過とともに増大していくことを見いだした。このように出射光出力が時間の経過とともに増大するのは、半導体レーザに供給する入力電流値と出射光の波長は一定であり、半導体レーザ自体の劣化ではないことから、半導体レーザと光ファイバの間に配置された透明樹脂が、半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光結合状態の変化による可能性が高い。
本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、半導体レーザと光ファイバが直接光結合され半導体レーザと光ファイバとの間を透明樹脂により埋めてある状態で、半導体レーザの出射光により透明樹脂を変質させて、半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路またはレンズを形成することにより光結合効率を高めることができる光モジュールを提供することを目的とする。
上述した従来の問題点を解決すべく下記の発明を提供する。
本発明の第1の態様にかかる光モジュールは、半導体レーザと光ファイバが直接光結合する光モジュールであって、前記半導体レーザと前記光ファイバとの間を透明樹脂により埋めて、前記半導体レーザから出力させた出射光の照射条件を調整することにより、前記透明樹脂の前記半導体レーザの光出射部近傍の第1部分の屈折率を、前記第1部分を除いた前記透明樹脂の第2部分の屈折率より高くさせ、前記第1部分が、前記半導体レーザの前記出射光を前記光ファイバに導くための、光導波路またはレンズを形成することを特徴とする。
これにより、半導体レーザから出力させた出射光の照射条件(例えば、雰囲気温度、波長、照射時間等)を調整して、光が照射されている透明樹脂の一部(半導体レーザの光出射部近傍の第1部分)を積極的に変質させ、即ち、屈折率が高くなるように変質させ、この変質させた透明樹脂の一部が半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路またはレンズを形成することにより光結合効率を高めることができる。
本発明の第2の態様にかかる光モジュールは、半導体レーザと光ファイバが直接光結合する光モジュールであって、前記半導体レーザと前記光ファイバとの間を透明樹脂により埋めて、前記半導体レーザから出力された第1の出射光の照射条件、及び、前記光ファイバから出力された第2の出射光の照射条件を調整することにより、共有領域を有した前記半導体レーザの光出射部近傍と前記光ファイバの光出射部近傍とからなる前記透明樹脂の第1部分の屈折率を、前記第1部分を除いた前記透明樹脂の第2部分の屈折率より高くさせ、前記第1部分が、前記半導体レーザの前記第1の出射光を前記光ファイバに導くための、光導波路を形成することを特徴とする。
これにより、半導体レーザ及び光モジュールから出力させた出射光の照射条件を調整して、光が照射されている透明樹脂の一部(半導体レーザの光出射部近傍の第1部分)を積極的に短時間に変質させ、この変質させた透明樹脂の一部が半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路を形成することにより光結合効率を高めることができる。また、短時間で光導波路を形成することができる。
本発明の第3の態様にかかる光モジュールは、本発明の第1または2の態様にかかる光モジュールにおいて、前記透明樹脂は、シリコーン樹脂であることを特徴とする。
本発明の第4の態様にかかる光モジュールは、本発明の第1から3のいずれか1つの態様にかかる光モジュールにおいて、前記出射光の照射条件の調整は、少なくとも前記出射光の波長、雰囲気温度、及び前記出射光の照射時間を調整し、少なくとも酸素分子を含む雰囲気で、前記酸素を活性化させる波長領域を少なくとも含む波長領域の波長となるように、前記出射光の波長及び前記雰囲気温度を調整することを特徴とする。
これにより、例えば、シリコーン樹脂において、酸素が活性化(3重項状態から1重項状態になる)し、場合によってラジカル反応が起こり、メチル基等の低分子側鎖を切り、主鎖を重合化することにより、高密度化、光屈折率化を図ることができる。
従って、半導体レーザや光ファイバから出力させた出射光の照射条件を調整して、光が照射されている透明樹脂の一部(半導体レーザの光出射部近傍の第1部分)を積極的に変質させ、この変質させた透明樹脂の一部が半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路またはレンズを形成することにより光結合効率を高めることができる。
本発明の第5の態様にかかる光モジュールは、本発明の第4の態様にかかる光モジュールにおいて、前記出射光の波長及び前記雰囲気温度の調整は、前記雰囲気温度を室温よりも低温にして、前記酸素を活性化させる波長領域になるように前記出射光の波長を調整することを特徴とする。
ここで、室温は25℃である。雰囲気温度を低くすると、半導体レーザや光ファイバから出力された出射光の波長は、短くなる。例えば、1.3μm帯のレーザダイオード(LD:Laser Diode)を、1.2687μm以下の波長を含んだ光が発生するような雰囲気温度(例えば、−40℃のように室温よりも低い温度)で通電する。
本発明の第6の態様にかかる光モジュールは、本発明の第4の態様にかかる光モジュールにおいて、前記雰囲気温度は室温のままで、前記酸素を活性化させる波長領域の波長となる前記出射光を前記半導体レーザから発生させることを特徴とする。
例えば、雰囲気温度を室温の状態で、分布帰還型半導体レーザ(DFB−LD:Distributed Feedback Laser Diode)により、1.2687μm以下の波長で通電する。
本発明の第7の態様にかかる光モジュールは、本発明の第4から6のいずれか1つの態様にかかる光モジュールにおいて、前記酸素を活性化させる波長領域は、1.2687μm以下であることを特徴とする。
本発明によれば、例えば、シリコーン樹脂において、酸素が活性化(3重項状態から1重項状態になる)し、場合によってラジカル反応が起こり、メチル基等の低分子側鎖を切り、主鎖を重合化することにより、高密度化、光屈折率化を図ることができる。
従って、半導体レーザや光ファイバから出力させた出射光の照射条件を調整して、光が照射されている透明樹脂の一部(半導体レーザの光出射部近傍の第1部分)を積極的に変質させ、この変質させた透明樹脂の一部が半導体レーザの出射光を光ファイバへ導くための光導波路またはレンズを形成することにより光結合効率を高めることができる。
この発明の一実施態様を、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施態様は説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと同等なもので置換した実施態様を採用することが可能であるが、これらの実施態様も本発明の範囲に含まれる。
図1は、本発明を適用可能な光モジュールの好ましい実施形態を示す断面図である。図1に示す光モジュールは、一例として光送受信モジュールであり、図1の例では出力光信号L1を送信し、入力光信号L2を受信することができる。
図1に示す光モジュール1は、概略的には本体部2とフェルール部3を有している。まず、本体部2の構造について説明する。
図1に示す本体部2は、基板5と、半導体レーザ10と、モニター用受光素子11と、受光部12と、透明樹脂20と、光ファイバ30などを有している。
基板5は、例えば金属リードフレーム材であり、基板5は絶縁性を有するベース部材6の上に配置されている。基板5の上には、発光部基板7と、受光した光信号処理部8が搭載されている。発光部基板7は例えばシリコン基板である。
発光部基板7の上には、半導体レーザ10とモニター用受光素子11が搭載されており、半導体レーザ10とモニター用受光素子11は、外部接続端子9を介して外部の回路に対して電気的に接続されている。
半導体レーザ10は、例えばファブリペロー半導体レーザ(FPLD:Fabry−Perot Laser Diode)、端面発光レーザ(Edge Emitting Laser)などのレーザダイオード(LD)チップを用いることができ、例えば1.310μmの波長を有する出力光信号(上り信号)L1を出力する。モニター用受光素子11は、半導体レーザ10の発生する出力光信号L1の光出力をモニターする。ここで、モニター用受光素子11は、例えばフォトダイオードである。
図1に示す受光部12は、光ファイバ30を通じて入力された入力光信号L2を受光する。ここで、受光部12は、例えばフォトダイオードである。光ファイバ30の途中には、WDM(波長分割多重)フィルタ21が配置されており、光ファイバ30を通じて入射されてきた入力光信号L2は、WDMフィルタ21により反射されて受光部12に入る。WDMフィルタ21は、出力光信号L1を通過させて、入力光信号L2を選択的に反射する機能を有する。入力光信号(下り信号)L2は、例えば1.550μmあるいは1.490μmの波長を有する。
図1に示す光ファイバ30は、光モジュール1内において光導波路を形成している。
光ファイバ30の光入射端部31は、半導体レーザ10の光出射部に対応して配置されている。光ファイバ30は、コア32とこのコア32の周囲を覆うクラッド33を有している。光ファイバ30は、樹脂成形体19のΩ型断面を有する溝部34内に嵌め込まれており、光ファイバ30の光入射端部31は半導体レーザ10の光出射部に対して高精度に位置決めして保持されている。
図1に示す透明樹脂20としては、例えばシリコーン樹脂を用いることができる。このシリコーン樹脂は、シロキサン結合を骨格とした高分子有機化合物(ポリマー)の総称であり、無色・無臭で撥水性がある。以下、透明樹脂20として、シリコーン樹脂を例に挙げて説明する。
図1に示すように、半導体レーザ10とモニター用受光素子11と光ファイバ30の一部分と受光部12は、透明樹脂20により、封止して保護されている。透明樹脂20にはさらに樹脂成形体19が配置されている。本体部2のホルダ50は、光ファイバ30の途中の部分とフェルール部3を保持している。
次に、フェルール部3の構造について説明する。フェルール部3は、2つのフェルール41,42とスリーブ43を有している。フェルール41は、光ファイバ30の他端部36と、別の接続用の光ファイバ55の端部37を直接光接続している。
図1に示すように、光モジュール1は、発光部60と、光ファイバ保持部61と、出力端部62の各領域に分けることができる。発光部60は、半導体レーザ10とモニター用受光素子11を含む領域であり、光ファイバ保持部62は、光ファイバ30を透明樹脂20で保持している領域である。出力端部62は、ホルダ50とフェルール部3を含む領域である。
図2は、図1に示した光モジュール1の回路の一例を示した図である。
図2は、光ファイバ30と、半導体レーザ10と、モニター用受光素子11と、受光部12と、入力光信号L2の光信号処理部8と、レーザダイオードドライバ回路70を示している。
レーザダイオードドライバ回路70は、半導体レーザ10に駆動用の電流を供給して半導体レーザ10を駆動する。駆動された半導体レーザ10は、出力光信号L1を発生する。発生した出力光信号L1は、光ファイバ30を通じて相手側に送られる。
また、半導体レーザ10により発生された出力光信号L1は、モニター用受光素子11により受光される。レーザダイオードドライバ回路70は、モニター用受光素子11によって受光された出力光信号L1の光信号出力をモニターすることにより、一定の光信号出力を有する出力光信号L1を出力する。
一方、受光側の入力光信号L2は、相手側から光ファイバ30を通じて送られてきて、WDMフィルタ21により反射されてバンドパスフィルタ75を通った後に、受光部12に入る。受光された入力光信号L2は、光信号処理部8により所定の処理が行われる。このバンドパスフィルタ75は、1.480μm〜1.500μmのみの波長を有する入力光信号を通す。
図3は、図1の部分Xを示す模式的な図である。部分Xは、半導体レーザ10、光ファイバ30の光入射端部31、及び透明樹脂20の一部分を示している。半導体レーザ10と光ファイバ30との間は、透明樹脂20により埋めてあり、半導体レーザ10と光ファイバ30は透明樹脂20により封止されている。
図3において、半導体レーザ10と光ファイバ30の光入射端部31の距離Mは、例えば15μmである。また、半導体レーザ10の出力光信号L1の光出力は、例えば10mWである。
図1に示す光モジュール1において、図3に示すように、半導体レーザ10が駆動されて半導体レーザ10から出射光である出力光信号L1を発生するときに、出射光の照射条件を調整することにより、透明樹脂20の半導体レーザ10の光出射部100の近傍の第1部分120が変質して、Siの架橋密度が上がって硬くなる。
この第1部分120の樹脂密度の増加により、透明樹脂20の光出射部近傍の第1部分120の屈折率を、透明樹脂20の光出射部近傍100以外の第2部分130の屈折率よりも高めて、半導体レーザ10の出射光を光ファイバ30の光入射端部31に導く光導波路200が形成されている。
例えば、出射光の照射条件の要素としては、少なくとも出射光の波長、雰囲気温度、及び出射光の照射時間が挙げられる。また、少なくとも酸素分子を含む雰囲気で、酸素を活性化させる波長領域を少なくとも含む波長領域の波長となるように、出射光の波長及び雰囲気温度を調整する。
これは、半導体レーザ10からの出射光の波長が、酸素を1重項励起状態にする波長領域(1.2687μm以下の波長領域)であるとき、出射光のエネルギーにより雰囲気中の酸素が活性化し、即ち、3重項励起状態から1重項励起状態になり、メチル基を側鎖に有するメチルレジン系シリコーン樹脂と反応するためである。
即ち、シリコーン樹脂において、酸素が活性化(3重項状態から1重項状態になる)し、場合によってラジカル反応が起こり、メチル基等の低分子側鎖を切り、主鎖を重合化させるためである。
図4は、メチルレジン系シリコーン樹脂の変質メカニズムを説明するための図である。図4に示すように、酸素雰囲気において、メチル基を側鎖に有するメチルレジン系シリコーン樹脂(状態1)に、1.2687μm以下の波長領域を満足する波長の出射光を半導体レーザ10から出力すると、メチル基である側鎖を切って1重項励起状態の酸素と結合し(状態2)、主鎖を重合化する(状態3)。
図1及び図3に示したように、半導体レーザ10が、1.310μmの波長を有する出力光信号L1を出力する場合は、雰囲気温度を室温よりも低温にすることにより、1.310μmの波長から1.2687μm以下の波長に変化させ、変化した1.2687μm以下の波長を有する出力光信号L1により、透明樹脂20の第1部分120を変質させ、樹脂密度を増加させる。
図5は、半導体レーザ10の光出射部100から出力される光信号L1のパワーが、時間が経過するのに伴って上昇していく例を示す図である。図5では、雰囲気温度(環境温度ともいう)が0℃、―20℃、−40℃の場合を示している。
図5に示すように、雰囲気温度が下がるほど、時間に対して、光信号L1のパワーが大きい結果となった。これは、雰囲気温度が0℃のとき、光信号L1の波長は1.290μm近傍となり、−20℃のとき、光信号L1の波長は1.280μm近傍となり、−40℃のとき、光信号L1の波長は1.270μm近傍となるためである。
半導体レーザ10から出力される光信号L1の波長は、幅を持つため、雰囲気温度が0℃のとき、即ち、光信号L1の波長は1.290μm近傍であっても、酸素を活性化させる1.2687μm以下の波長も有している。しかし、その分布量は、雰囲気温度が−40℃のときに比較して少ないため、透明樹脂20の第1部分120の変質による樹脂密度の増加が小さい。そのため、雰囲気温度が下がるほど、時間に対して、光信号L1のパワーが大きくなった。
また、図5に示すように、雰囲気温度によって、時間に対して光信号L1のパワーの変化は、一定ではないことがわかる。このため、雰囲気温度によって、光結合効率が最適となる出射光の照射時間を、即ち、パワーが最大となる出射光の照射時間を調整し、これにより、透明樹脂20の第1部分120の変質による樹脂密度を増加させる。
上述したように、半導体レーザ10と光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面が透明樹脂20の光導波路200を通じて直接光結合されて、半導体レーザ10の出射光を光ファイバ30の光入射端部31へ導くための光導波路200を形成することにより光結合効率を高めることができる。
即ち、透明樹脂20の半導体レーザ10の光出射部100の近傍の第1部分120の樹脂密度を増加させることで、透明樹脂20の光出射部近傍の第1部分120は、光信号L1により変質された透明樹脂20の変質部と呼ぶことができるとともに、透明樹脂20の光出射部近傍100以外の第2部分130は透明樹脂20の未変質部と呼ぶことができる。この変質部の光の屈折率は未変質部の光の屈折率に比べて高く、この変質部と未変質部との間には光の屈折率差があることから、透明樹脂20は、この屈折率差を利用して半導体レーザ10の光出射部100と光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面の間に光導波路200を形成できる。
このように透明樹脂20では、半導体レーザ10の光出射部100と光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面の間の変質部の第1部分120が、それ以外の第2部分130に比べて高屈折率化が可能になるので、半導体レーザ10から出力される出射光の照射条件を調整して出射光の波長を1.2687μm以下にすることで、変質部(第1部分120)と未変質部(第2部分130)との屈折率差が大きくなり、透明樹脂20における光導波路を形成できる効果がある。
例えば、光モジュール1の置かれた雰囲気が室温よりも低温であれば、変質部(第1部分120)と未変質部(第2部分130)との屈折率差が大きくなり、透明樹脂20における光導波路を形成できる効果がある。
また、半導体レーザ10を駆動して、透明樹脂20に対して半導体レーザ10から出射光を発生するときに、出射光の波長を1.2687μm以下にすることで、透明樹脂20が変質して、Siの架橋密度が上がって硬くなり光導波路効果が得られる。
また、本発明の光モジュールの透明樹脂は、シリコーン樹脂である。これにより透明樹脂は入手し易く、半導体レーザ10と光ファイバ30の間を容易に確実に埋めて封止できる。
また、半導体レーザ10のLDチップとして分布帰還型半導体レーザ(DFB−LD)を用いて、半導体レーザ10からの出力される出射光の波長を1.2687μm以下の波長に特定する。これにより、雰囲気温度を室温の状態で、透明樹脂20における光導波路を形成できる効果がある。
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されず種々の変形例を採用できる。
上述した図1及び図3に示す光モジュールの例では、半導体レーザ10から出力した出射光により透明樹脂20の第1部分120を変質させ、半導体レーザ10の光出射部100と光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面との間に光導波路200を形成しているが、図6に示すように、半導体レーザ10からだけでなく、光ファイバ30側からも、1.2687μm以下の波長となるような出射光を、光ファイバ30のコア32より出力することにより、光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面の間に光導波路200を形成することもできる。
即ち、照射時間に対して、半導体レーザ10側から出射光による透明樹脂20の変質部210の境界を光ファイバ30のコア32の端面に連続的に近づけるとともに、光ファイバ30側かから出射光による透明樹脂20の変質部220の境界を半導体レーザ10の光出射部100に連続的に近づけることにより、半導体レーザ10の光出射部100と光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面との間に光導波路200となる、少なくとも変質部210と変質部220とを含む、変質した透明樹脂20の第1部分120を短時間で形成することができる。
また、例えば、図1に示す光モジュールの例では、光信号の送信と受信が可能な光送受信モジュールであるが、これに限らず、光モジュールは光信号を送信できる光送信モジュールであってもよい。
また、図1に示すに示す光モジュール1は、出力光信号L1を発生して光ファイバ30を通じて出力し、光ファイバ30を通じて入力された入力光信号L2を受光できる。しかし、これに限らず、図7に示すように、半導体レーザ10と光導波路としての光ファイバ30Aを備えており、半導体レーザ10と光ファイバ30を直接光結合していて、半導体レーザ10と光ファイバ30Aの間が透明樹脂20により埋めてあれば、本発明は適用できる。
また、透明樹脂20の種類は、シリコーンに限らず、他の種類を採用できる。
本発明を適用可能な光モジュールの好ましい実施形態を示す断面図である。 図1に示した光モジュール1の回路の一例を示した図である。 図1の部分Xを模式的に示す図である。 メチルレジン系シリコーン樹脂の変質メカニズムを説明するための図である。 半導体レーザ10の光出射部100から出力される光信号L1のパワーが、時間が経過するのに伴って上昇していく例を示す図である。 半導体レーザ10及び光ファイバ30から出射光を出力して、光ファイバ30の光入射端部31のコア32の端面の間に光導波路200を形成する例を示す図である。 本発明を適用可能な光モジュールの好ましい別の実施形態を示す断面図である。
符号の説明
1 光モジュール
2 本体部
3 フェルール部
10 半導体レーザ
20 透明樹脂
30 光ファイバ
120 第1部分(透明樹脂の変質部)
130 第2部分(透明樹脂の未変質部)
200 光導波路

Claims (7)

  1. 半導体レーザと光ファイバが直接光結合する光モジュールであって、
    前記半導体レーザと前記光ファイバとの間を透明樹脂により埋めて、前記半導体レーザから出力させた出射光の照射条件を調整することにより、前記透明樹脂の前記半導体レーザの光出射部近傍で、半導体レーザの光軸方向に伸びた第1部分の屈折率を、前記第1部分を除いた前記透明樹脂の第2部分の屈折率より高くさせ、前記第1部分が、前記半導体レーザの前記出射光を前記光ファイバに導くための、光導波路またはレンズを形成することを特徴とする光モジュール。
  2. 半導体レーザと光ファイバが直接光結合する光モジュールであって、
    前記半導体レーザと前記光ファイバとの間を透明樹脂により埋めて、前記半導体レーザから出力された第1の出射光の照射条件、及び、前記光ファイバから出力された第2の出射光の照射条件を調整することにより、共有領域を有した前記半導体レーザの光出射部近傍と前記光ファイバの光出射部近傍とからなる前記透明樹脂の第1部分の屈折率を、前記第1部分を除いた前記透明樹脂の第2部分の屈折率より高くさせ、前記第1部分が、前記半導体レーザの前記第1の出射光を前記光ファイバに導くための、光導波路を形成することを特徴とする光モジュール。
  3. 前記透明樹脂は、シリコーン樹脂であることを特徴とする請求項1または2に記載の光モジュール。
  4. 前記出射光の照射条件の調整は、少なくとも前記出射光の波長、雰囲気温度、及び前記出射光の照射時間を調整し、少なくとも酸素分子を含む雰囲気で、前記酸素を活性化させる波長領域を少なくとも含む波長領域の波長となるように、前記出射光の波長及び前記雰囲気温度を調整することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光モジュール。
  5. 前記出射光の波長及び前記雰囲気温度の調整は、前記雰囲気温度を室温よりも低温にして、前記酸素を活性化させる波長領域になるように前記出射光の波長を調整することを特徴とする請求項4に記載の光モジュール。
  6. 前記雰囲気温度は室温のままで、前記酸素を活性化させる波長領域の波長となる前記出射光を前記半導体レーザから発生させることを特徴とする請求項4に記載の光モジュール。
  7. 前記酸素を活性化させる波長領域は、少なくとも1.2687μmの波長を含んでいることを特徴とする請求項4から6のいずれか1項に記載の光モジュール。
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