JP2009076821A - 検査式作成支援システム、検査式作成支援方法、および検査式作成支援プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体製造装置4から収集される各種パラメータ値はパラメータ履歴データベース24に蓄積される。クライアント3の検査式入力部32に新規に入力された検査式Kは監視サーバ2に送信される。監視サーバ2では、検査式解析部26によって検査式Kのツリー構造化が行われる。そして、パラメータ履歴データベース24に蓄積されている過去パラメータ値PBが検査式Kに代入され、その結果がツリー構造のノード毎に算出される。検査式解析部26では、ノード毎の算出結果に基づいて、グラフ作成用データGDが生成される。そのグラフ作成用データGDはクライアント3に送信され、パラメータグラフ表示部33によって時系列のグラフとして表示される。
【選択図】図3
Description
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得手段と、
前記変数値取得手段によって取得された値を変数値として保持する変数値保持部と、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力手段と、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出手段と、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得手段と、
前記変数値抽出手段によって抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得手段と、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示手段と
を備えることを特徴とする。
前記親子関係取得手段は、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係を取得することを特徴とする。
前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎の前記ノード値をグラフで表示することを特徴とする。
前記ノード値表示手段によって表示されるグラフは、前記各ノード毎の前記ノード値が時系列でプロットされたものであることを特徴とする。
前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎に前記ノード値の表示/非表示を切り替えるノード値表示切替手段を有することを特徴とする。
前記変数値取得手段は、前記検査式に含まれる変数の値をリアルタイムで取得することを特徴とする。
前記所定の装置は、半導体製造装置であることを特徴とする。
少なくとも前記変数値取得手段、前記変数値保持部、および前記変数値抽出手段を備えるサーバと、少なくとも前記検査式入力手段および前記ノード値表示手段を備えるクライアントとによって構成されることを特徴とする。
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと
を備えることを特徴とする。
前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする。
前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする。
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする。
前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする。
前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする。
<1.1 検査式作成支援システムの全体構成およびハードウェア構成>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る検査式作成支援システム全体の概略構成図である。この検査式作成支援システムは、監視サーバ2と呼ばれるコンピュータとクライアント3と呼ばれる1または複数のコンピュータとによって構成されている。本実施形態における検査式作成支援システムは、半導体製造装置4の稼動状況(正常に稼動しているか否か)を検査するための検査式の作成を支援するものである。従って、半導体製造装置4そのものについては検査式作成支援システムの構成要素ではないが、半導体製造装置4と監視サーバ2とがイーサネット(富士ゼロックス株式会社の登録商標)や省配線等のネットワークによって接続されている。
図3は、本実施形態における検査式作成支援システムの機能ブロック図である。監視サーバ2は、第1通信制御部21とパラメータ監視部22とパラメータ履歴管理部23とパラメータ履歴データベース24と第2通信制御部25と検査式解析部26とを備えている。クライアント3は、通信制御部31と検査式入力部32とパラメータグラフ表示部33とを備えている。半導体製造装置4は、通信制御部41を備えている。以下、監視サーバ2、クライアント3、および半導体製造装置4内の各構成要素の動作について説明する。
第1通信制御部21は、この監視サーバ2と半導体製造装置4とのデータ通信のために機能する。具体的には、第1通信制御部21は、半導体製造装置4の通信制御部41から送られる現在パラメータ値PAを受け取り、当該現在パラメータ値PAをパラメータ監視部22とパラメータ履歴管理部23とに与える。なお、現在パラメータ値PAとは、検査式に用いられているパラメータについてのリアルタイムで半導体製造装置4から収集される値のことである。また、半導体製造装置4から収集されるパラメータの値は一般的には複数あり、それら複数のパラメータの値をまとめて「現在パラメータ値PA」という。
通信制御部31は、この監視サーバ2とクライアント3とのデータ通信のために機能する。具体的には、通信制御部31は、検査式入力部32から与えられる検査式(新規検査式)Kを受け取り、当該検査式Kを監視サーバ2の第2通信制御部25に送信する。また、通信制御部31は、監視サーバ2の第2通信制御部25から送られるグラフ作成用データGDを受け取り、当該グラフ作成用データGDをパラメータグラフ表示部33に与える。さらに、通信制御部31は、監視サーバ2の第2通信制御部25から送られる異常通知ALを受け取り、所定のディスプレイ(不図示)に装置4の稼動状況が異常である旨の表示を行わせる。
通信制御部41は、この半導体製造装置4内でリアルタイムで取得される各種パラメータの値(例えば、IOデバイスやアナログデバイスのデータ、装置コントローラ上のデータ)を現在パラメータ値PAとして監視サーバ2の第1通信制御部21に送信する。
次に、監視サーバ2で行われる半導体製造装置4の稼動状況を検査する処理(以下、「装置検査処理」という。)について説明する。図4は、装置検査処理の手順を示すフローチャートである。監視サーバ2の動作開始後、ステップS110では、第1通信制御部21によって、半導体製造装置4の通信制御部41から送られる現在パラメータ値PAの受信が行われる。ステップS120では、第1通信制御部21からパラメータ監視部22への現在パラメータ値PAの伝達が行われる。ステップS130では、パラメータ監視部22によって、現在パラメータ値PAを用いた検査式の実行が行われる。
次に、本実施形態における検査式作成支援処理の手順について説明する。図5は、検査式作成支援処理の概略手順を示すフローチャートである。ステップS20では、クライアント3において検査式入力受付処理が行われる。検査式入力受付処理では、ユーザーによる新規な検査式Kの入力が行われ、当該検査式Kがクライアント3から監視サーバ2に送信される。ステップS30では、監視サーバ2においてグラフ作成用データ生成処理が行われる。グラフ作成用データ生成処理では、検査式Kに含まれるパラメータについての過去の値(過去パラメータ値PB)が取得され、当該過去パラメータ値PBを用いて検査式Kを実行することにより、検査式Kの妥当性をグラフを示してユーザーに判断させるためのグラフ作成用データGDの生成が行われる。ステップS40では、クライアント3において結果表示処理が行われる。結果表示処理では、過去パラメータ値PBを用いて検査式Kを実行した結果のグラフによる表示が行われる。以下、検査式入力受付処理、グラフ作成用データ生成処理、および結果表示処理の詳細な手順について説明する。
図6は、検査式入力受付処理の手順を示すフローチャートである。ステップS210では、ユーザーによる検査式Kの入力が行われる。検査式Kの入力は、例えば図7に示すようなダイアログ(以下、「検査式入力ダイアログ」という。)70を用いて行われる。検査式入力ダイアログ70には、ユーザーが検査式Kを入力するためのテキストボックス(以下、「検査式入力用テキストボックス」という。)71と、検査式入力用テキストボックス71に入力された検査式Kを保存するためのボタン(以下、「保存ボタン」という。)72と、過去パラメータ値PBを用いた検査式Kの実行を指示するためのボタン(以下、「計算ボタン」という。)73と、検査式Kの実行結果(計算結果)を表示するための領域(以下、「計算結果表示領域」という。)74とが含まれている。
図9は、グラフ作成用データ生成処理の手順を示すフローチャートである。ステップS310では、第2通信制御部25によって、クライアント3の通信制御部31から送られる検査式Kが受信される。ステップS320では、第2通信制御部25から検査式解析部26への検査式Kの伝達が行われる。
((A+B)*(C+D))/4<20 ・・・(1)
図14は、結果表示処理の手順を示すフローチャートである。ステップS410では、通信制御部31によって、監視サーバ2の第2通信制御部25から送信されるグラフ作成用データGDが受信される。ステップS420では、通信制御部31からパラメータグラフ表示部33へのグラフ作成用データGDの伝達が行われる。
以上のように、本実施形態によると、クライアント3の検査式入力部32に入力された検査式Kは監視サーバ2に送られる。そして、監視サーバ2では、過去の各時点におけるパラメータ値PBを用いて検査式Kが実行され、その実行結果をグラフ表示するためのグラフ作成用データGDが生成される。そのグラフ作成用データGDは監視サーバ2からクライアント3に送られ、クライアント3のパラメータグラフ表示部33によって、検査式の実行結果のグラフによる表示が行われる。このため、ユーザーは、新規作成した検査式Kを過去の各時点における装置4の検査に擬似的に適用したときの結果を、グラフによって確認することができる。例えば、過去に装置4が異常になった時のパラメータ値を新規作成した検査式Kに代入した結果がグラフで表示されるので、ユーザーは、新規作成した検査式Kによって当該異常が正しく検出されるかを確認することができる。これにより、ユーザーは、新規作成した検査式Kの妥当性を容易に判断することができる。
((A−B)>=100)&&((C*D)<=20) ・・・(2)
((A−B)>=100)&&((C−D)<=20) ・・・(3)
このような誤りについては、式そのものに構文上の誤りがあるわけではないので、ユーザーが誤りに気づかないことが多い。ここで、或る時点における各パラメータの値が「A=200,B=50,C=120,D=110」となっていれば、上式(2)の実行結果は「偽」となる。一方、上式(3)の実行結果は「真」となる。すなわち、装置4の稼動状況が異常であるにもかかわらず正常に動作している旨の判断がなされることになる。ところが、本実施形態によれば、過去に異常が生じた時の各パラメータの値を検査式Kに代入した結果がグラフとして表示される。このため、ユーザーは、新規作成した検査式Kでは上記或る時点における装置4の異常が検出されないことを認識することができる。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。なお、本実施形態における検査式作成支援システム全体の概略構成およびハードウェア構成については上記第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
図17は、本実施形態における検査式作成支援システムの機能ブロック図である。監視サーバ2は、第1通信制御部21とパラメータ監視部22とパラメータ履歴管理部23とパラメータ履歴データベース24と第2通信制御部25とを備えている。クライアント3は、通信制御部31と検査式入力部32とパラメータグラフ表示部33と検査式解析部34とを備えている。半導体製造装置4は、通信制御部41を備えている。以上のように、本実施形態においては、上記第1の実施形態で監視サーバ2に設けられていた検査式解析部がクライアント3に設けられている。以下、監視サーバ2、クライアント3、および半導体製造装置4内の各構成要素の動作について説明する。
第1通信制御部21とパラメータ監視部22とパラメータ履歴データベース24については、上記第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。パラメータ履歴管理部23は、第1通信制御部21から与えられる現在パラメータ値PAを受け取り、当該現在パラメータ値PAをパラメータ履歴データベース24に格納する。また、パラメータ履歴管理部23は、パラメータ履歴データベース24に格納済みのパラメータ値を過去パラメータ値PBとして読み出し、当該過去パラメータ値PBを第2通信制御部25に与える。
通信制御部31は、この監視サーバ2とクライアント3とのデータ通信のために機能する。具体的には、通信制御部31は、過去パラメータ値PBの送信要求信号Sと検査式解析部34から与えられる検査式Kとを監視サーバ2の第2通信制御部25に送信する。また、通信制御部31は、監視サーバ2の第2通信制御部25から送られる過去パラメータ値PBを受け取り、当該過去パラメータ値PBを検査式解析部34に与える。さらに、通信制御部31は、監視サーバ2の第2通信制御部25から送られる異常通知ALを受け取り、所定のディスプレイ(不図示)に装置4の稼動状況が異常である旨の表示を行わせる。
通信制御部41は、この半導体製造装置4内でリアルタイムで取得される各種パラメータの値(例えば、IOデバイスやアナログデバイスのデータ、装置コントローラ上のデータ)を現在パラメータ値PAとして監視サーバ2の第1通信制御部21に送信する。
次に、本実施形態における検査式作成支援処理の手順について説明する。なお、装置検査処理の手順については、上記第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
図19は、検査式入力受付処理の手順を示すフローチャートである。ステップS510では、上記第1の実施形態と同様に、ユーザーによる検査式Kの入力が行われる。ステップS520では、検査式入力部32から検査式解析部34への検査式Kの伝達が行われる。ステップS530では、検査式解析部34によって、検査式Kのツリー構造化が行われる。なお、ツリー構造化の具体的な手法については、上記第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。ステップS540では、監視サーバ2への過去パラメータ値PBの送信要求が行われる。具体的には、通信制御部31が検査式解析部34より検査式Kを受け取る。そして、通信制御部31は、当該検査式Kと過去パラメータ値PBの送信要求信号Sとを監視サーバ2の第2通信制御部25に送信する。以上のステップが終了すると、監視サーバ2側の処理(図18のステップS60)に進み、クライアント3では、監視サーバ2からの過去パラメータ値PBの送信待ち状態となる。なお、本実施形態においては、ステップS510によって検査式入力ステップが実現され、ステップS530によって親子関係取得ステップが実現されている。
図20は、過去パラメータ値取得処理の手順を示すフローチャートである。ステップS610では、第2通信制御部25によって、クライアント3の通信制御部31から送られる検査式Kと過去パラメータ値PBの送信要求信号Sとが受信される。ステップS620では、第2通信制御部25によって過去パラメータ値PBが取得される。具体的には、第2通信制御部25は、クライアント3の通信制御部31から送られた検査式Kに基づいて、パラメータ履歴管理部23を介してパラメータ履歴データベース24より過去パラメータ値PBを取得する。ステップS630では、第2通信制御部25からクライアント3の通信制御部31への過去パラメータ値PBの送信が行われる。以上のステップが終了すると、クライアント3側での処理(図18のステップS70)に進む。なお、本実施形態においては、ステップS620によって変数値抽出ステップが実現されている。
図21は、グラフ作成・結果表示処理の手順を示すフローチャートである。ステップS710では、通信制御部31によって、監視サーバ2の第2通信制御部25から送信される過去パラメータ値PBが受信される。ステップS720では、通信制御部31から検査式解析部34への過去パラメータ値PBの伝達が行われる。ステップS730では、検査式Kのツリー構造化後のノードのうちの演算子のノードについての演算結果(計算結果)の算出が行われる。なお、演算結果の算出の具体的な手法については、上記第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても、上記第1の実施形態と同様、ユーザーは、新規作成した検査式Kの妥当性を過去のデータに基づいて判断することができる。このため、ユーザーにとって、従来よりも検査式Kの作成が容易になる。その結果、検査式Kの作成に掛かるユーザーの負担が軽減され、作業の効率化を図ることができる。また、誤りのある検査式Kを用いて半導体製造装置4の監視が行われることが抑制され、装置4の稼動状況の判断に関する誤りが軽減される。
上記各実施形態においては、監視サーバ2とクライアント3とで処理が分散して行われているが、本発明はこれに限定されない。例えば、図3において、検査式入力部32およびパラメータグラフ表示部33を監視サーバ2に備える構成とし、監視サーバ2単独で検査式作成支援システムが実現されるようにしても良い。
3…クライアント
4…半導体製造装置
21…第1通信制御部
22…パラメータ監視部
23…パラメータ履歴管理部
24…パラメータ履歴データベース
25…第2通信制御部
26,34…検査式解析部
31…(クライアントの)通信制御部
32…検査式入力部
33…パラメータグラフ表示部
70…検査式入力ダイアログ
71…検査式入力用テキストボックス
74…計算結果表示領域
Claims (14)
- 定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援システムであって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得手段と、
前記変数値取得手段によって取得された値を変数値として保持する変数値保持部と、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力手段と、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出手段と、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得手段と、
前記変数値抽出手段によって抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得手段と、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示手段と
を備えることを特徴とする、検査式作成支援システム。 - 前記親子関係取得手段は、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係を取得することを特徴とする、請求項1に記載の検査式作成支援システム。
- 前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎の前記ノード値をグラフで表示することを特徴とする、請求項1または2に記載の検査式作成支援システム。
- 前記ノード値表示手段によって表示されるグラフは、前記各ノード毎の前記ノード値が時系列でプロットされたものであることを特徴とする、請求項3に記載の検査式作成支援システム。
- 前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎に前記ノード値の表示/非表示を切り替えるノード値表示切替手段を有することを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項に記載の検査式作成支援システム。
- 前記変数値取得手段は、前記検査式に含まれる変数の値をリアルタイムで取得することを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項に記載の検査式作成支援システム。
- 前記所定の装置は、半導体製造装置であることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項に記載の検査式作成支援システム。
- 少なくとも前記変数値取得手段、前記変数値保持部、および前記変数値抽出手段を備えるサーバと、少なくとも前記検査式入力手段および前記ノード値表示手段を備えるクライアントとによって構成されることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項に記載の検査式作成支援システム。
- 定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援方法であって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと
を備えることを特徴とする、検査式作成支援方法。 - 前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする、請求項9に記載の検査式作成支援方法。
- 前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする、請求項9または10に記載の検査式作成支援方法。
- 定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援プログラムであって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする、検査式作成支援プログラム。 - 前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする、請求項12に記載の検査式作成支援プログラム。
- 前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする、請求項12または13に記載の検査式作成支援プログラム。
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