JP2009076705A - ロードロック装置および真空処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードロック装置6,7は、真空の搬送室5に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器31と、搬送室5との間を開閉可能に設けられた第1のゲートバルブG1と、大気雰囲気の搬入出室8との間を開閉可能に設けられた第2のゲートバルブG2と、容器31内の圧力を搬送室5に対応する真空と大気圧に調整する圧力調整機構48と、容器31内に設けられウエハWを載置する載置台32と、載置台に設けられたウエハWを加熱する加熱機構60とを具備し、加熱機構60は、固体発光素子64が搭載された加熱源65を有する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るロードロック装置が搭載されたマルチチャンバタイプの真空処理システムの概略構造を示す水平断面図である。
図2は、本実施形態に係るロードロック装置を示す断面図である。ロードロック装置6(7)は、容器31を有し、容器31内にはウエハWを載置する載置台32が脚部33に支持された状態で設けられている。
真空処理ユニット>ロードロック装置>搬入出室
となり、これにより良好なスループットで処理を行うことができる。
5;搬送室
6,7;ロードロック装置
8;搬入出室
12,16;搬送装置
20;プロセスコントローラ
31;容器
32;載置台
36;排気口
37;パージガス導入口
41;排気管
42;排気速度調整バルブ
43;真空ポンプ
45;パージガス導入配管
46;流量調節バルブ
47;パージガス源
48;圧力制御部
55;冷却媒体流路
60;加熱機構
61;支持部材
64;固体発光素子
65;加熱源
66;支持体
67;固体発光素子アレイ
68;電極
70;光透過部材
71;透明樹脂
72;冷却媒体流路
G,G1,G2;ゲートバルブ
W;ウエハ
Claims (12)
- 真空に保持された真空室と、大気雰囲気の空間との間で基板を搬送するためのロードロック装置であって、
真空室に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器と、
前記真空室との間を開閉可能に設けられた第1の開閉機構と、
前記大気雰囲気の空間との間を開閉可能に設けられた第2の開閉機構と、
前記第1の開閉機構が開けられて前記容器内が前記真空室と連通する際に、前記容器内の圧力を前記真空室に対応する圧力に調整し、前記第2の開閉機構が開けられて前記容器内が前記大気雰囲気の空間と連通する際に、前記容器内の圧力を大気圧に調整する圧力調整機構と、
前記容器内に設けられ基板を載置する載置台と、
前記載置台に設けられた基板を加熱する加熱機構と
を具備し、
前記加熱機構は、固体発光素子が搭載された加熱源を有することを特徴とするロードロック装置。 - 前記加熱機構は、前記加熱源と前記載置台との間に設けられた光透過部材をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のロードロック装置。
- 前記固体発光素子は、LED素子またはレーザー素子であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のロードロック装置。
- 前記加熱機構は、固体発光素子を冷却する冷却機構をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のロードロック装置。
- 前記真空室は、真空処理室に基板を搬送する搬送機構を備えた搬送室であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のロードロック装置。
- 前記載置台は、載置された基板を冷却する冷却機構を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のロードロック装置。
- その中が真空に保持されその中で基板に対して真空処理が施される真空処理ユニットと、
前記真空処理ユニットが接続され、その中が真空に保持されて前記真空処理ユニットに基板を搬入し搬出する搬送装置を備えた搬送室と、
基板を搬入および搬出するための大気雰囲気に保持された搬入出部と、
前記搬送室と前記搬入出部との間で基板を搬送するためのロードロック装置と
を具備する処理システムであって、
前記ロードロック装置は、
前記搬送室に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器と、
前記容器内と前記搬送室との間を開閉可能に設けられた第1の開閉機構と、
前記容器内と前記搬入出部との間を開閉可能に設けられた第2の開閉機構と、
前記第1の開閉機構が開けられて前記容器内が前記搬送室と連通する際に、前記容器内の圧力を前記搬送室に対応する圧力に調整し、前記第2の開閉機構が開けられて前記容器内が前記搬入出部と連通する際に、前記容器内の圧力を大気圧に調整する圧力調整機構と、
前記容器内に設けられ基板を載置する載置台と、
前記載置台に設けられた基板を加熱する加熱機構と
を具備し、
前記加熱機構は、固体発光素子が搭載された加熱源を有することを特徴とする真空処理システム。 - 前記加熱機構は、前記加熱源と前記載置台との間に設けられた光透過部材をさらに有することを特徴とする請求項7に記載の真空処理システム。
- 前記固体発光素子は、LED素子またはレーザー素子であることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の真空処理システム。
- 前記加熱機構は、固体発光素子を冷却する冷却機構をさらに有することを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載の真空処理システム。
- 前記載置台は、載置された基板を冷却する冷却機構を有することを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか1項に記載の真空処理システム。
- 前記搬送室に前記処理ユニットが複数接続されていることを特徴とする請求項7から請求項11のいずれか1項に記載の真空処理システム。
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