JP2009075057A - 絶対圧測定用圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】小型で安価な耐環境性に優れた絶対圧測定用圧力センサを提供する。
【解決手段】絶対圧測定用圧力センサ1は、第2主面側にダイヤフラム部2を有するシリコン基板3と、シリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面に配置された圧力検出回路4と、シリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面に対し第1主面が間隔を空けて対向配置された多層基板5と、シリコン基板3の第1主面周縁部と多層基板5の第1主面周縁部とを接合し、シリコン基板3の第1主面と多層基板5の第1主面とにより気密空間Sを形成する封止部材6と、ダイヤフラム部2と多層基板5間に配置され、圧力検出回路4の出力信号を多層基板5を貫通する電気配線7a,8,7bに伝達する導電性部材9と、多層基板5の第2主面側に配置され、電気配線7bに伝達された出力信号を外部基板に伝達する実装パッド10とを備える。
【選択図】図3
【解決手段】絶対圧測定用圧力センサ1は、第2主面側にダイヤフラム部2を有するシリコン基板3と、シリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面に配置された圧力検出回路4と、シリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面に対し第1主面が間隔を空けて対向配置された多層基板5と、シリコン基板3の第1主面周縁部と多層基板5の第1主面周縁部とを接合し、シリコン基板3の第1主面と多層基板5の第1主面とにより気密空間Sを形成する封止部材6と、ダイヤフラム部2と多層基板5間に配置され、圧力検出回路4の出力信号を多層基板5を貫通する電気配線7a,8,7bに伝達する導電性部材9と、多層基板5の第2主面側に配置され、電気配線7bに伝達された出力信号を外部基板に伝達する実装パッド10とを備える。
【選択図】図3
Description
本発明は、絶対圧測定用圧力センサに関する。
従来より、センサチップをガラス台座に搭載してパッケージ内に組み込み、パッケージに形成された導圧穴を通じてパッケージ内に被測定圧力を導いてセンサチップにより絶対圧を測定する絶対圧測定用圧力センサが知られている(特許文献1参照)。
特開平6−213742号公報
従来の絶対圧測定用圧力センサは、パッケージ内にセンサチップを組み込むことにより形成されているために、センサ自体が大型化すると共に安価に構成することが難しい。またセンサチップにワイヤボンディングを接続することによりセンサチップの出力信号を取り出す構成になっているために、振動や熱サイクル等によってワイヤボンディングがセンサチップから剥離することがあり、信頼性の面で問題がある。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は小型で安価な耐環境性に優れた絶対圧測定用圧力センサを提供することにある。
本発明に係る絶対圧測定用圧力センサは、第2主面側をエッチング加工することにより形成されたダイヤフラム部を有するセンサチップと、センサチップの第1主面側のダイヤフラム部表面に配置され、ダイヤフラム部に加えられた圧力を検出する圧力検出回路と、センサチップの第1主面側のダイヤフラム部表面に対し第1主面が間隔を空けて対向配置された多層基板と、センサチップの第1主面周縁部と多層基板の第1主面周縁部とを接合し、センサチップの第1主面と多層基板の第1主面とにより気密空間を形成する封止部材と、圧力検出回路の出力信号を多層基板を貫通する電気配線に伝達する導電性部材と、多層基板の第2主面側に配置され、電気配線に伝達された出力信号を外部基板に伝達する実装パッドとを備える。
本発明に係る絶対圧測定用圧力センサによれば、パッケージやワイヤボンディングを用いることなくセンサを構成することができるので、小型で安価な耐環境性に優れた絶対圧測定用圧力センサを提供することができる。
以下、図1乃至図4を参照して、本発明の実施形態となる絶対圧測定用圧力センサの構成について説明する。なお図1は絶対圧測定用圧力センサの上面図、図2は絶対圧測定用圧力センサの下面図、図3は図1に示す線分AAにおける絶対圧測定用圧力センサの高さ方向断面図、図4は図3に示す線分BBにおける絶対圧測定用圧力センサの面内方向断面図を示す。
本発明の実施形態となる絶対圧測定用圧力センサ1は、第2主面側をエッチング加工することにより形成された矩形形状のダイヤフラム部2を有するシリコン基板3と、シリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面に配置された歪みゲージからなる圧力検出回路4と、シリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面に対し第1主面が間隔を空けて対向配置された基板5a,5bからなる多層基板5とを備える。
絶対圧測定用圧力センサ1は、シリコン基板3の第1主面周縁部と多層基板5の第1主面周縁部とを接合し、シリコン基板3の第1主面と多層基板5の第1主面とにより気密空間Sを形成する導電性ペーストからなる封止部材6と、ダイヤフラム部2と多層基板5間に配置され、圧力検出回路4の出力信号を多層基板5を貫通する電気配線7a,8,7bに伝達する導電性ペーストからなる導電性部材9と、多層基板5の第2主面側に配置され、電気配線7bに伝達された出力信号を外部基板(図示せず)に伝達する実装パッド10とを備える。
この絶対圧測定用圧力センサ1では、圧力検出回路4が、気密空間S内の圧力とシリコン基板3の第1主面側のダイヤフラム部2表面側の圧力の差圧を絶対圧として検出し、導電性部材9,電気配線7a,8,7b,及び実装パッド10を介して検出信号を外部基板に出力する。このような構成によれば、パッケージやワイヤボンディングを用いることなくセンサを構成することができるので、小型で安価な耐環境性に優れた絶対圧測定用圧力センサを提供することができる。なお気密空間Sは略真空雰囲気に保たれていることが望ましい。このような構成によれば、外部環境の温度変化によって気密空間S内の圧力が変化することを防止できるので、差圧を精度高く検出することができる。
図3に示すように、シリコン基板3の第2主面側のダイヤフラム部2表面をゲル状の保護部材11により覆うことが望ましい。このような構成によれば、急激な圧力変化によってダイヤフラム部2が破損することを防止し、耐環境性をより向上させることができる。図4に示すように、絶対圧測定用センサ1を外部基板に固定すると共に実装パッド10に伝達された出力信号を外部基板に伝達する半田バンプ12を実装パッド表面10上に備えることが望ましい。このような構成によれば、絶対圧測定用センサ1を外部基板に実装することが容易になると共に実装面積を最小にすることができる。
図6(a),(b)に示すように、多層基板5を構成する基板5bの側面に切り欠き部13を形成し、電気配線8と実装パッド10とを電気メッキにより電気的に接続する、又は電気配線8を基板5bの側壁部まで延伸させることにより、電気配線7bを形成せずに電気配線8と実装パッド10とを直接電気的に接続してもよい。このような構成によれば、電気配線7bを形成するためのビアホールが不要になるので、気密空間Sの密閉度が向上し、信頼性及び耐環境性をより向上させることができる。
図7に示すように、多層基板5を基板5a,5b,5cにより形成し、多層基板5内の一部領域において基板5cを挟持する電気配線8a,8bを形成することにより、多層基板5内にコンデンサを形成するようにしてもよい。このような構成にょれば、従来は外付け部品であったパスコンデンサやローパスフィルタ(インダクタや受動回路素子)をセンサ内部に取り込むことができるので、実装面積を小さくすることができる。
図8に示すように、シリコン基板3の第2主面側のダイヤフラム部2表面に外気を導入する外気導入孔14を有するガラス基板15をシリコン基板3の第2主面側に陽極接合してもよい。なおガラス基板15として、シリコン基板3と線膨張係数が近いパイレックス(登録商標)材等を用いることが望ましい。このような構成によれば、絶対圧測定用センサ1の剛性を上げ、高い測定精度を実現することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす記述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論である。
1:絶対圧測定用圧力センサ
2:ダイヤフラム部
3:シリコン基板
4:圧力検出回路
5:多層基板
5a,5b,5c:基板
6:封止部材
7a,7b,8,8a,8b:電気配線
9:導電性部材
10:実装パッド
11:保護部材
12:半田バンプ
13:切り欠き部
14:外気導入孔
15:ガラス基板
S:気密空間
2:ダイヤフラム部
3:シリコン基板
4:圧力検出回路
5:多層基板
5a,5b,5c:基板
6:封止部材
7a,7b,8,8a,8b:電気配線
9:導電性部材
10:実装パッド
11:保護部材
12:半田バンプ
13:切り欠き部
14:外気導入孔
15:ガラス基板
S:気密空間
Claims (7)
- 第2主面側をエッチング加工することにより形成されたダイヤフラム部を有するセンサチップと、
前記センサチップの第1主面側のダイヤフラム部表面に配置され、ダイヤフラム部に加えられた圧力を検出する圧力検出回路と、
前記センサチップの第1主面側のダイヤフラム部表面に対し第1主面が間隔を空けて対向配置された多層基板と、
前記センサチップの第1主面周縁部と前記多層基板の第1主面周縁部とを接合し、センサチップの第1主面と多層基板の第1主面とにより気密空間を形成する封止部材と、
前記圧力検出回路の出力信号を多層基板を貫通する電気配線に伝達する導電性部材と、
前記多層基板の第2主面側に配置され、前記電気配線に伝達された出力信号を外部基板に伝達する実装パッドと
を備えることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。 - 請求項1に記載の絶対圧測定用圧力センサにおいて、前記気密空間が略真空雰囲気に保たれていることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。
- 請求項1又は請求項2に記載の絶対圧測定用圧力センサにおいて、前記センサチップの第2主面側のダイヤフラム部表面を覆うゲル状の保護部材を備えることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。
- 請求項1乃至請求項3のうち、いずれか1項に記載の絶対圧測定用圧力センサにおいて、絶対圧測定用センサを前記外部基板に固定すると共に前記実装パッドに伝達された出力信号を外部基板に伝達する半田バンプを実装パッド表面上に備えることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。
- 請求項1乃至請求項4のうち、いずれか1項に記載の絶対圧測定用圧力センサにおいて、前記多層基板の側面に形成された切り欠き部と、前記切り欠き部に設けられ、前記電気配線と前記実装パッドとを電気的に接続する導通部材とを備えることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。
- 請求項1乃至請求項5のうち、いずれか1項に記載の絶対圧測定用圧力センサにおいて、前記多層基板内に形成されたインダクタ又は受動回路素子を備えることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。
- 請求項1乃至請求項6のうち、いずれか1項に記載の絶対圧測定用圧力センサにおいて、前記センサチップの第2主面に接合され、前記センサチップの第2主面側のダイヤフラム部表面に外気を導入する外気導入孔を有するガラス基板を備えることを特徴とする絶対圧測定用圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007246944A JP2009075057A (ja) | 2007-09-25 | 2007-09-25 | 絶対圧測定用圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007246944A JP2009075057A (ja) | 2007-09-25 | 2007-09-25 | 絶対圧測定用圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009075057A true JP2009075057A (ja) | 2009-04-09 |
Family
ID=40610153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007246944A Pending JP2009075057A (ja) | 2007-09-25 | 2007-09-25 | 絶対圧測定用圧力センサ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2009075057A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110749394A (zh) * | 2019-11-21 | 2020-02-04 | 龙微科技无锡有限公司 | 一种高可靠压力传感器 |
-
2007
- 2007-09-25 JP JP2007246944A patent/JP2009075057A/ja active Pending
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