JP2009074651A - 流体の流路構造及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間に所定のパターンの線材14と16とを配設し、これら第1のブロック部材10、第2のブロック部材12、線材14、線材16を一体化することにより、これらの部材間で気密又は液密な流体流路を形成する。
【選択図】図1
Description
第1のブロック部材と、
第2のブロック部材と、
前記第1と第2のブロック部材の間に介装される線材と、
からなり、少なくとも前記第1と第2のブロック部材いずれか一方と前記線材とにより気密または液密な流体用流路が形成されることを特徴とする。
第1と第2のブロック部材は金属製材料からなり、好ましくは軽金属または軽金属合金から構成すれば、耐久性に優れ且つ軽量化が達成され、好適である。
36、104…第3のブロック部材 14…第1の線材
16…第2の線材 18…流体流路
32a〜32d、34a〜34d…ピン部材
56、58a、58b、60a〜60d、106a、106b、108a〜108c、110a〜110c、208a〜208h、210a〜210h、308a〜308c…貫通孔
70、72a、72b…室
78a、78b…湾曲部 82…バッファ部
88a、88b…屈曲部 90…オリフィス
220…レギュレーター 224…圧力ゲージ
226…オン・オフ弁 230…タンク
Claims (17)
- 第1のブロック部材と、
第2のブロック部材と、
前記第1と第2のブロック部材の間に介装される線材と、
からなり、少なくとも前記第1と第2のブロック部材のいずれか一方と前記線材とにより気密または液密な流体用流路が形成されることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1の流体の流路構造において、
第1と第2のブロック部材は金属製材料からなり、好ましくは軽金属または軽金属合金からなることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項2において、
前記軽金属または軽金属合金は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
前記線材は金属製、好ましくはアルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1の流体の流路構造において、
前記第1と第2のブロック部材はステンレススチールからなり、前記線材はステンレススチールからなることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1記載の流体の流路構造において、
線材は前記第1と第2のブロック部材間において挟圧されて該線材と前記第1または第2のブロック部材間で流体用流路が形成されてなることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
前記第1と第2のブロック部材間にさらに1若しくはそれ以上の中間のブロック部材が設けられ、前記第1のブロック部材と前記中間のブロック部材との間または第2のブロック部材と前記中間のブロック部材との間に線材が介装され、前記線材は流体用流路の一部を形成することを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
前記第1の部材と第2のブロック部材の少なくともいずれか一方に前記線材が形成する流路と交叉し且つ互いに連通する流路が形成されていることを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
前記第1と第2のブロック部材はその間に介装されるピン部材により互いに位置決めされることを特徴とする流体の流路構造。 - 前記第1の部材と第2のブロック部材との間に形成される隙間に金属または合成樹脂材を充填し、前記金属または合成樹脂材は流体流路を形成する外側で線材を囲繞することを特徴とする流体の流路構造。
- 前記第1と第2のブロック部材の間に所定のパターンで線材を配置し、前記第1と第2の部材を相対的に接近させて少なくとも該第1と第2のブロック部材のいずれかと前記線材とにより前記所定のパターンで且つ気密または液密な流体用流路を形成することを特徴とする流体の流路構造。
- 請求項1記載の流体の流路構造において、
前記第1と第2のブロック部材のいずれか一方または線材を加熱した状態で前記第1と第2のブロック部材を互いに接近するように相対的に押圧して前記線材との間で流体用流路を形成することを特徴とする流体の流路構造。 - 請求項1記載の流体の流路構造において、
前記第1と第2のブロック部材と線材とは互いにその一部が溶触し、または拡散接合、あるいはろう付けにより一体化されていることを特徴とする流体の流路構造。 - 第1と第2の金属製のブロック部材の間に所定のパターンで線材を位置決めし、前記第1と第2のブロック部材を互いに接近するように相対的に押圧し、前記第1と第2のブロック部材の間に前記線材により流体用流路を形成することを特徴とする流体の流路構造の製造方法。
- 請求項14に記載の流体の流路構造の製造方法において、
前記第1と第2のブロック部材と線材とは互いに押圧されて一体化されることを特徴とする流体の流路構造の製造方法。 - 請求項15に記載の流体の流路構造の製造方法において、
前記第1と第2のブロック部材と線材とは加熱押圧されることにより、または拡散接合、あるいはろう付けにより一体化されることを特徴とする流体の流路構造の製造方法。 - 請求項14乃至16のいずれか1項記載の流体の流路構造の製造方法において、
線材を押圧した後に第1と第2のブロック部材の間に形成される隙間に充填材を充填することを特徴とする流体の流路構造の製造方法。
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Families Citing this family (7)
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---|---|---|---|---|
US20110097488A1 (en) * | 2009-10-27 | 2011-04-28 | Kerr Roger S | Fluid distribution manifold including mirrored finish plate |
JP5715969B2 (ja) * | 2012-01-24 | 2015-05-13 | 株式会社堀場エステック | 流体抵抗デバイス |
US11144075B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-10-12 | Ichor Systems, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US11639865B2 (en) | 2019-08-05 | 2023-05-02 | Ichor Systems, Inc. | Laminar flow restrictor |
JP6352993B2 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-07-04 | 株式会社東芝 | 流路構造及び処理装置 |
US11841036B2 (en) | 2019-08-05 | 2023-12-12 | Ichor Systems, Inc. | Laminar flow restrictor and seal for same |
JP2022543654A (ja) | 2019-08-05 | 2022-10-13 | アイコール・システムズ・インク | 流量制限器用のシール |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07149430A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | Motoyama Seisakusho:Kk | ガス多分岐ユニット |
JP2003062671A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Suwa Netsukogyo Kk | マニホールドの製造方法 |
JP2006266576A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Calsonic Kansei Corp | 積層型熱交換器及びその製造方法 |
JP2006264163A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Sekiso Kanagata Kenkyusho:Kk | 真空成形金型及びその製造方法 |
WO2007049332A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Shimadzu Corporation | フローセル及びその製造方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2871886A (en) * | 1955-04-26 | 1959-02-03 | Monarch Machine Tool Co | Manifold |
DE1127924B (de) | 1959-08-21 | 1962-04-19 | Daimler Benz Ag | Kreuzstrom-Plattenwaermetauscher mit Zwischengliedern als Abstandshalter fuer die Platten |
US3407846A (en) * | 1966-07-14 | 1968-10-29 | Aro Corp | Circuit board and control module for fluid logic circuit mechanism |
GB1171025A (en) | 1967-02-25 | 1969-11-19 | Sperry Rand Ltd | Improvements in or relating to the Manufacture of Fluid Flow Manifold Blocks. |
DE1917727C3 (de) * | 1969-04-05 | 1974-08-01 | Samson Apparatebau Ag, 6000 Frankfurt | Leitungssystem für hydraulisch oder pneumatisch arbeitende Schalt-, Steuer- oder Regeleinrichtungen |
GB1255896A (en) | 1970-02-18 | 1971-12-01 | Honeywell Inc | Fluidic oscillators |
DE2156929A1 (de) | 1970-11-17 | 1972-05-31 | Bekaert Sa Nv | Fluidisches Schaltungselement |
NL150557B (nl) * | 1971-09-15 | 1976-08-16 | Samson Apparatebau Ag | Leidingsysteem voor met gasvormig of vloeibaar drukmiddel werkende regel-, stuur- of meetinrichtingen. |
US4509553A (en) * | 1983-09-02 | 1985-04-09 | General Motors Corporation | Fluid flow selector valve |
JPS63220987A (ja) | 1987-03-06 | 1988-09-14 | Natl Res Inst For Metals | アルミニウム及びアルミナセラミツクスの拡散接合法 |
JPH0562034A (ja) | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Toshiba Corp | 定期券発行機 |
ZA943085B (en) | 1994-05-04 | 1995-01-13 | Hwu Chyn Herng | Forced flow-guding device having perforated mesh surface branch guiding tubes |
JPH0835506A (ja) | 1994-07-26 | 1996-02-06 | Nitsukooshi Prod Kk | 流体素子または流体制御器と、その製造方法 |
JP2996904B2 (ja) | 1995-09-19 | 2000-01-11 | 川崎重工業株式会社 | 配管接続用ブロックの製作方法 |
JPH11125378A (ja) | 1997-10-20 | 1999-05-11 | Ihara Science Corp | 流体圧マニホールドおよびその製造方法 |
JP2001201275A (ja) | 2000-01-21 | 2001-07-27 | Daikin Ind Ltd | 二重管式熱交換器 |
JP4750258B2 (ja) | 2000-10-24 | 2011-08-17 | 古河スカイ株式会社 | 流体回路部材の製造方法 |
-
2007
- 2007-09-21 JP JP2007246021A patent/JP5417638B2/ja active Active
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2008
- 2008-09-11 US US12/208,679 patent/US8109296B2/en active Active
- 2008-09-19 DE DE102008048147.5A patent/DE102008048147B4/de active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07149430A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | Motoyama Seisakusho:Kk | ガス多分岐ユニット |
JP2003062671A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Suwa Netsukogyo Kk | マニホールドの製造方法 |
JP2006266576A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Calsonic Kansei Corp | 積層型熱交換器及びその製造方法 |
JP2006264163A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Sekiso Kanagata Kenkyusho:Kk | 真空成形金型及びその製造方法 |
WO2007049332A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Shimadzu Corporation | フローセル及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5417638B2 (ja) | 2014-02-19 |
US8109296B2 (en) | 2012-02-07 |
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