JP2009074651A - 流体の流路構造及びその製造方法 - Google Patents

流体の流路構造及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009074651A
JP2009074651A JP2007246021A JP2007246021A JP2009074651A JP 2009074651 A JP2009074651 A JP 2009074651A JP 2007246021 A JP2007246021 A JP 2007246021A JP 2007246021 A JP2007246021 A JP 2007246021A JP 2009074651 A JP2009074651 A JP 2009074651A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
flow path
fluid flow
block
block member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007246021A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009074651A5 (ja
JP5417638B2 (ja
Inventor
Keiichi Minegishi
敬一 峯岸
Yasunori Yoshida
安徳 吉田
Koji Wada
光司 和田
Yoichi Kawamura
陽一 川村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP2007246021A priority Critical patent/JP5417638B2/ja
Priority to US12/208,679 priority patent/US8109296B2/en
Priority to DE102008048147.5A priority patent/DE102008048147B4/de
Publication of JP2009074651A publication Critical patent/JP2009074651A/ja
Publication of JP2009074651A5 publication Critical patent/JP2009074651A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5417638B2 publication Critical patent/JP5417638B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00023Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
    • B81C1/00055Grooves
    • B81C1/00071Channels
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803Modular units
    • F15B13/0807Manifolds
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/05Microfluidics
    • B81B2201/054Microvalves
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/05Microfluidics
    • B81B2201/058Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C2201/00Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
    • B81C2201/01Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
    • B81C2201/0174Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate for making multi-layered devices, film deposition or growing
    • B81C2201/019Bonding or gluing multiple substrate layers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/877With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885Sectional block structure

Abstract

【課題】簡単な構成で加工が容易であり、しかも軽量化に適するとともに、廉価に製造できる流体の流路構造を提供する。
【解決手段】第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間に所定のパターンの線材14と16とを配設し、これら第1のブロック部材10、第2のブロック部材12、線材14、線材16を一体化することにより、これらの部材間で気密又は液密な流体流路を形成する。
【選択図】図1

Description

本発明は流体の流路構造及びその製造方法に関し、一層詳細には、例えば、複数の金属製のブロック部材により線材を挟持し、この線材により前記ブロック部材間に流体の流路を形成するための流体の流路構造及びその製造方法に関する。
電磁弁マニホールドやエゼクタ装置等では、従来から金属製の立方体や直方体からなるボディに流体用流路が形成される。この流体用流路を設けるにあたって種々の方法が採用されている。
例えば、特許文献1には一組の胴体部にフォトエッチング加工やプレス加工により流路を形成した後、別々に製作した蓋と底とを積層して接合する技術的思想が開示されている(特許文献1段落[0003][0007])。
特許文献2は金属板2a、2b及び2cで積層体を形成し、上面の金属板2aと下面の金属板2cには複数の穴3a、3bが設けられ、これら二つの金属板2a、2cの間の金属板2bにレーザ光を用いて複数の流路4を形成して流体圧マニホールド1を製造する技術的思想が開示されている(特許文献2段落[0020])。
特許文献3はマニホールドの製造方法を開示し、特に、ベース部材1を構成する一組の分割ベース片4、5に流体通路3を研削加工により形成する技術的思想が示されている(特許文献3段落[0010])。
特開平8−35506号公報 特開平11−125378号公報 特開2003−62671号公報
ところで、前記の如き従来技術では、例えば、特許文献1に示されるようにフォトエッチング加工により溝を形成しようとすると、その準備も含めて工程が複雑であり、また溝完成までに相当な時間が必要とされる。プレス加工によれば、型に要するコストが多大となる。特許文献2のレーザ光による場合も装置が大型化し且つ製造コストの高騰は避けられない。
さらに特許文献3のように、溝を形成する際に、研削加工によれば複雑な溝形状の刻設が必要となり、製造工程が煩雑となり、その作業時間も相当長きに渡る。結局、生産効率もさほどに向上しない。
さらに、一般的には流体流路を形成する場合にドリルが用いられることがある。例えば、図16に示すように1つの金属製のブロック部材1の内部に第1の流路2と第2の流路3とにより屈曲した流路4を形成しようとする際に、次のような工程が必要とされる。先ず、図示しないドリルによりブロック部材1の1側面1aに第1の流路2を穿設する。次いで、第2の側面1bからドリルで第2の流路3を穿設する。そして、第1の流路2と第2の流路3との連結部分を閉塞すべく盲栓5を用いる。
すなわち、ブロック部材1の内部に屈曲した流体流路を形成しようとすると工程が複雑化し、盲栓を用いる如く部品点数も増加する。しかも、流体流路2、3が細い、例えば、直径が1mm以下の場合にはドリルも細くなり、切削時にドリルの軸がぶれて正確に流路を形成することが難しい。ましてや、ブロック部材1内部に湾曲した流体流路をドリルによって形成することは不可能である。
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであって、線材を用いることによって流体流路を大きな自由度をもって形成することが可能であり、それによって装置の小型化、軽量化が達成されると共に廉価に製造することができ、しかも生産効率を高めることが可能な流体の流路構造及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る流体の流路構造は、
第1のブロック部材と、
第2のブロック部材と、
前記第1と第2のブロック部材の間に介装される線材と、
からなり、少なくとも前記第1と第2のブロック部材いずれか一方と前記線材とにより気密または液密な流体用流路が形成されることを特徴とする。
前記の流体の流路構造において、
第1と第2のブロック部材は金属製材料からなり、好ましくは軽金属または軽金属合金から構成すれば、耐久性に優れ且つ軽量化が達成され、好適である。
この場合、軽金属または軽金属合金が、アルミニウムまたはアルミニウム合金であれば廉価で且つ加工が容易である。
しかも、前記線材は金属製、好ましくはアルミニウムまたはアルミニウム合金から構成すれば、第1と第2ブロック部材とに馴染みが良い。
一方、前記第1と第2のブロック部材がステンレススチールからなり、前記線材はステンレススチールで構成してもよい。
この場合、線材は前記第1と第2のブロック部材間において挟圧されて該線材と前記第1または第2のブロック部材間で流体用流路が形成されれば加工が容易である。
しかも、前記第1と第2のブロック部材間にさらに1若しくはそれ以上の中間のブロック部材が設けられ、前記第1のブロック部材と前記中間のブロック部材との間または第2のブロック部材と前記中間のブロック部材との間に線材が介装され、前記線材は流体用流路の一部を形成すれば、コンパクトでありながら複雑な流路構造を得ることができる。
特に、前記第1の部材と第2のブロック部材の少なくともいずれか一方に前記線材が形成する流路と交叉し且つ互いに連通する流路が形成されていれば、流路構造を三次元に展開することができる。
さらに、前記第1と第2のブロック部材はその間に介装されるピン部材により互いに位置決めされていれば、製造上品質の良い製品が得られる。
そして、前記第1の部材と第2のブロック部材との間に形成される隙間に金属または合成樹脂材を充填し、前記金属または合成樹脂材は流体流路を形成する外側で線材を囲繞すれば、前記間隙に塵芥が浸入することなく液溜まりもないので、クリーンルームや食品業界でも利用できる。
また、前記第1と第2のブロック部材の間に所定のパターンで線材を配置し、前記第1と第2の部材を相対的に接近させて少なくとも該第1と第2のブロック部材のいずれかと前記線材とにより前記所定のパターンで且つ気密または液密な流体用流路を形成すると、製造工程が簡素化される。
しかも、前記第1と第2のブロック部材のいずれか一方または線材を加熱した状態で前記第1と第2のブロック部材を互いに接近するように相対的に押圧して前記線材との間で流体用流路を形成すれば、加工が容易で気密又は液密な流体構造が容易に得られる。
特に、前記第1と第2のブロック部材と線材とは互いにその一部が溶触し、または拡散接合、あるいはろう付けにより一体化されていると一層気密性または液密性に富む流体構造が得られる。
本発明は、さらに、第1と第2の金属製のブロック部材の間に所定のパターンで線材を位置決めし、前記第1と第2のブロック部材を互いに接近するように相対的に押圧し、前記第1と第2のブロック部材の間に前記線材により流体用流路を形成することを特徴とする。
この製造方法において、前記第1と第2のブロック部材と線材とは互いに押圧されて一体化されると、製造プロセスが簡易となる効果が得られる。
しかも、前記第1と第2のブロック部材と線材とは加熱押圧されることにより、または拡散接合、あるいはろう付けにより一体化されると製造が容易である。特に、拡散接合によれば、線材とブロック部材との間の接触面積が小さく抑えられ小さな力で接合界面での塑性変形が生じ易く、接合されやすい。
この場合、線材を押圧した後に第1と第2のブロック部材の間に形成される隙間に充填材を充填すれば清浄度に優れた流体の流路構造が得られる。
本発明によれば、線材をブロック部材間に線材を挟持するだけで複雑な形状の流体流路を大きな設計自由度をもって簡易に且つ廉価に製造でき、しかも全体としても小型化、軽量化が達成される。
次に、本発明に係る流体の流路構造についてその製造方法との関係で好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
まず、本発明の基本原理について図1を参照する。図1において、参照符号10は第1のブロック部材を示し、参照符号12は第2のブロック部材を示す。第1のブロック部材10と第2のブロック部材12は金属製の板体、さらに好ましくは、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる。これらのブロック部材10、12はステンレス製であってもよい。図1において、参照符号14は第1の線材を示し、参照符号16は第2の線材を示す。第1の線材14と第2の線材16は、例えば、軽合金、好ましくはアルミニウムもしくはアルミニウム合金からなる単線で構成すると気密性又は液密性に富む流路構造が得られる。前記のように、ブロック部材10、12をステンレス製とすると前記第1と第2の線材14、16もまたステンレス製であるのが好ましい。一体化する際に馴染み易いからである。
そこで、流体流路を構成するために、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間に第1の線材14と第2の線材16とを介装し、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とを、相対的に互いに接近するように加圧する。その結果、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12及び第1の線材14と第2の線材16との間で気密もしくは液密な空間、すなわち、流体流路18が形成されるに至る(図1b参照)。この場合、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とは線材14、16とを挟持した状態で図示しないボルトで緊締してもよい。
第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とを相対的に加圧接近させる場合、これらの第1のブロック部材10と第2のブロック部材12及び、好ましくは、第1の線材14と第2の線材16とを所定温度で加熱しておくと、互いに加圧した際に一体化されやすくなり、しかも、気密または液密性に優れた流体流路18が得られることは容易に諒解されよう。
加熱加圧工程に代えて、例えば、これら3者を拡散接合させてもよいことは勿論である。この場合、第1の線材14と第2の線材16とを、図1cに示すように、互いに接するように位置決めしたうえで第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とを加圧して一体化すれば、第1のブロック部材10と第1の線材14、第2の線材16との間で流路20aが形成されると共に、その下方にあって第2のブロック部材12と前記第1の線材14、第2の線材16との間で流路20bが形成される。前記流路18、流路20a、20bはその大きさを線材14、16の間隔、あるいは線材の太さ、すなわち、直径の選択や、その断面形状の選択、例えば、断面を四角形、菱形、楕円形等任意に選択して形成することができる。この場合、線材14、16は押出、引抜成形や射出成形、プレス成形、MIM粉末冶金、ダイカスト成形、機械加工によって得ても良い。第1のブロック部材10と第2のブロック部材12も同様である。このように、極めて簡単な工程で1もしくはそれ以上の流体流路を形成することができる。しかも、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12の流路形成面を予め精密な平坦面、例えば、鏡面仕上げとしておけば、流路形成後の平坦加工が不要となり好適である。なお、図1a〜図1cでは、第1のブロック部材10、第2のブロック部材12を平坦な板材として描出し、また、線材14、16も真線状の単線で示しているが、これは、本発明を原理として説明するためのものである。第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とを電磁弁マニホールドの如く矩形体とし、線材14、16を湾曲あるいは屈曲させたり、複数本の流体流路にする等、種々の変更が可能なことは勿論である。以上のような原理に則り、更にその応用例について説明する。
図2aは、図1aに対応するものであり、同一の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説明は省略し、以下同様とする。この場合、図1aと図2aを対比すれば明らかなとおり、第1の線材14、第2の線材16に対して、図2に示す構造では第1の線材22a、第2の線材22bを前記第1の線材14、第2の線材16よりも直径が小さく、しかも中空状の線材23a、23bで構成し、流体用流路24を得ている(図2b参照)。直径の小さい線材を選択することにより、図1bに示す流路構造よりもさらに小型化した、すなわち、縦方向に厚さの小さい流体構造を得ることができる。しかも、中空状の線材23a、23bを用いたので第1と第2の線材22a、22bで挟圧するとき押しつぶされて加工がし易い利点がある。勿論、線材23a、23bの中空部分もまた流体の流路とすることができる。
図3は、図1及び図2に用いられている線材が断面円形状であったのに対し、断面が正三角形状の線材26a、26bで構成した点が異なる。線材の形状が異なっても本発明が成立する一例を示している。この観点から、前記に指摘した通り、線材の形状は必要に応じて四角形、長円形等任意の断面形状のものでよい。
すなわち、本発明によれば、線材の断面形状やその大きさを用途に応じて任意に選択することができ、これによって流体の流路構造の設計の自由度が著しく向上するという利点がある。
図4は、図1cのさらなる変形例である。この場合、図1cでは第1の線材14と第2の線材16とによって流体流路20a、20bを形成していたが、図4の実施の形態では、線材の数を3本以上とし、これによって流路30a、30bを所望の数だけ形成することができる。換言すれば、複数の線材を第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間に挟持して一体化すれば互いに隣り合う線材との間で流体流路を多数組形成することができ、これによって、例えば、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12と線材14、16との間で所望の数の流路を形成したマニホールドを得ることができる。
図5は、別の実施の形態を示す。この場合、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間にピン部材32a、32b、32c及び32dを植設し、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とを接近させる時、これらの部材に形成された孔33a〜33dを用いて前記ピン部材32a〜32dを挿入し、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とを接合する際に、これらのピン部材32a〜32dによって位置決めするように構成している。さらに、ピン部材34a〜34dを用い、また第1のブロック部材10と第2のブロック部材12にもそれぞれ孔35a〜35dを形成し、前記と同様に植設すれば、前記ピン部材32a〜32dとの間に第1の線材14と第2の線材16とを挟持することができ(図5b参照)、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12の位置決めのみならず、第1の線材14と第2の線材16との位置決めも可能となる。もちろん、ピン部材32a〜32dに比してピン部材34a〜34dの直径を小さくすることも当然に考えられる。これらの線材14と16によって形成される流路の流路抵抗を少なくするためである。
図6は更なる実施の形態を示し、この場合、図5に示される第1のブロック部材10に代えて第3のブロック部材36を用いている。第3のブロック部材36は、図6aから容易に諒解されるように断面がコ字状であり、その脚部38a、38bによって第1の線材14と第2の線材16の外側でその位置を規制する。従って、線材14、16はピン部材34a〜34dと前記脚部38a、38bによって位置決め固定されることになる。
これに代えて、図7に示すように、線材14、16の別の位置決め方法も考えられる。すなわち、この図7に示す実施の形態では、前記実施の形態で用いられていた第2のブロック部材12の平坦形状に代えて、前記の第2のブロック部材12にそれぞれ第1の線材14と、第2の線材16の形状に対応させた浅い溝40a、40bを設けている。これによって、図7bに示すように、第1と第2のブロック部材10、12と線材14、16の確実な位置決めが達成されると共に、流路の流体に対する気密性もしくは液密性も一層向上するに至る。もちろん、この溝40a、40bに代えて、線材14、16の外側にそれに沿うように突部を設けてもよい。その突部によって線材14、16の外側への変位が規制されるからである。
図8は本発明のさらに別の実施の形態を示す。この実施の形態では、特に、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間に線材42をU字状に湾曲し、さらに第1のブロック部材10に円形の孔44の下端を形成し、この孔44を前記線材42によって形成されたU字状の空間内部に臨ませている。そして、線材42の2つの端部によって形成される開口部46に、例えば、弁体を装着すれば、孔44から供給される圧力流体が、線材42のU字形状によって形成された通路48を通り、開口部46から図示しない弁体に至る。従って、開口部46に前記弁体を臨ませておけば、その弁体の作用下に、例えば、圧力流体を通過せしめたり、あるいは遮断をすることができる。
図9はさらに本発明の別の実施の形態を示す。この図9に示す実施の形態においては、少なくとも平坦状の第1のブロック部材50、第2のブロック部材52(中間のブロック部材)、及び第3のブロック部材54が用いられ、第1のブロック部材50には、貫通孔56が形成され、第2のブロック部材52には貫通孔58a、58bが形成され、第3のブロック部材54には貫通孔60a〜60dが形成される。
そして、第1のブロック部材50と第2のブロック部材52には、前記貫通孔58a、58bを囲繞するように第1の線材66が設けられ、前記第2のブロック部材52と第3のブロック部材54の間には前記貫通孔60a、60bを囲繞する線材68a、貫通孔60cと60dを囲繞する線材68bが設けられる。これら第1のブロック部材50、第2のブロック部材52、第3のブロック部材54をそれぞれ線材66、68a、68bを介装した状態で積層し、これらを加熱加圧して一体化することにより、図9bに示す構造体が得られる。
すなわち、貫通孔56から流入される圧力流体は前記線材66によって構成される室70に到達し、この室70の圧力流体はさらに貫通孔58a、58bを介して、次なる第2ブロック部材52と第3ブロック部材54との間の室72a、72bに到達する。室72a、72bでは、前記線材68a、68bによって気密性もしくは液密性が保たれているために、さらにその圧力流体は貫通孔60a、60bを介して他の流体圧機器にそれぞれ同圧で分流され、さらにまた線材68bによって囲繞される室72bの圧力流体も貫通孔60c、60dで分流されて他の圧力流体機器に送ることができる。この実施の形態から明らかなとおり、極めて簡単な構造で圧力流体の分流回路を構成することができる。
このように積層構造を採用する場合に第1と第2のブロック部材50と52の間、第2のブロック部材52と第3のブロック部材54の間にあって、線材66や線材68a、68bの外側に金属や合成樹脂材71を充填すると良い。隙間に塵芥が入らないからであり、また液溜まりが生じにくい。クリーンルームや食品関連事業に好適である。
このような観点から、図10に別の実施形態を示す。この実施形態では、図9bに示す合成樹脂材71に代えてスペーサ73を用いている。すなわち、スペーサ73は、例えば、第1と第2のブロック部材50、52と同じ大きさを有し、且つ線材66の直径と同じ厚さを有している。そして、その中央部には前記線材66を受容する長円状の孔部75を有している。
以上のような構成において、第1と第2のブロック部材50、52の間に前記スペーサ73を介装し、該スペーサ73の孔部75内に線材66を配置する。すなわち、線材66はスペーサ73によって位置決め固定される。このため、第1と第2のブロック部材50、52、スペーサ73、線材66を押圧して一体化する際に、線材66の位置ずれがなく、しかもスペーサ73により第1と第2のブロック部材50、52間に塵芥が入り込むことが回避できる。
図11は本発明の更なる実施の形態を示す。すなわち、この実施の形態によれば、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間に線材76a、76bが所定間隔離間して配置され、これらの線材76a、76bはその途上で互いに離間するように湾曲部78a、78bが設けられている。そして、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12の間に前記線材76a、76bを介装して、これら3つの部材を一体化すれば、図10bに示す構造体が得られる。すなわち、線材76a、76bの一方の端部に入口側流体流路80aが得られ、線材76a、76bの他方の端側に出口側流体流路80bが得られる。すなわち、線材76a、76bは全体として流体流路を構成する。そして、前記流体流路80a、80bの間に、流体流路の一部として圧力流体を貯留するタンク部、もしくはバッファ部82を形成することができる。従来、第1のブロック部材10や第2のブロック部材12に対する切削加工によってこの種のタンク部もしくはバッファ部を設けることは極めて複雑な加工工程と長い時間を要していたが、斯様に線材76a、76bを所望の部位で湾曲させ、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12とで挟圧せしめれば極めて簡単にこの種のバッファ部82を形成することができる。
図12a、図12bは本発明の更なる別の実施の形態を示す。この場合、前記図11に示すようなバッファ部に代えて逆に通路を狭めるオリフィスを形成する点で異なる。すなわち、第1のブロック部材10と第2のブロック部材12との間で線材86a、86bを設ける。線材86a、86bの所定間隔離間して第2のブロック部材12上に配置し、前記線材86a、86bの途上を互いに接近するように屈曲部88a、88bを設ける。このように構成される線材86a、86bを前記のように第1のブロック部材10と第2のブロック部材12によって挟圧して、図12bに示す構造体を得る。すなわち、図から容易に諒解されるように、流体流路の一部を構成する屈曲部88a、88bはあたかもオリフィスを形成する構造となる。
このように、線材86a、86bを屈曲部88a、88bを介して互いに接近せしめて所望の間隔の狭い流路を形成することにより、この狭い流路をオリフィス90として用いることができる。
この変形例として、例えば、図12cに示すように線材86bの屈曲部88bを途上で切断し、それと同一の断面からなる線材92a、92bを得て、その先端部により開口部94を形成する。そして、前記開口部94を図示しない吸着パッド等に接続する。このような構成では、線材86a、86bの一端から圧縮空気を送給し、前記オリフィス90によって、該圧縮空気を絞って他端から勢いよく噴出させれば、開口部94から空気が吸引されて、その反対側は負圧になる。すなわち、これはエゼクタとして機能し、このために図示しない吸着パッドを用いて、例えば、搬送装置として用いることも可能である。
図13は本発明の更なる実施の形態を示す。この実施の形態は図9a、図9bに示した流体の流路構造と対応しているが、第1のブロック部材100と第2のブロック部材102と第3のブロック部材104とを有し、第1のブロック部材100は貫通孔106a、106bを備え、第2のブロック部材102は貫通孔108a、108b及び108cを有する。そして、第3のブロック部材104は貫通孔110a、110b及び110cを有する。第1のブロック部材100と第2のブロック部材102との間に前記貫通孔106a、106bを囲繞するように線材112が長円状に設けられ、第2のブロック部材102と第3のブロック部材104の間に前記貫通孔108a〜108cを囲繞するように線材114a、114b、116a、116b、そして118a、118bが設けられる。図から容易に諒解されるように、線材114aと線材114b、線材116aと線材116b、線材118aと線材118bはそれぞれ互いに積層されて第2のブロック部材102と、第3のブロック部材104の間に介装される。従って、第1のブロック部材100、第2のブロック部材102及び第3のブロック部材104を線材112、114a、114b、116a、116b及び118a、118bと互いに押圧して一体化すれば、図13bに示すような構造体が得られる。すなわち、この実施の形態から容易に諒解されるように、積層される線材114a、114bあるいは116a、116bさらには118a、118bは貫通孔108a、108b、108cの直径方向とは直交する流体用流路を形成することができる。換言すれば、線材は平面的な流体流路をブロック部材間に設けるのみでなく、積層することによって容易に部材の延在方向とは直行する方向あるいは交叉する方向に流体の流路を形成することができる。なお、前記第1と第2と第3のブロック部材100、102、104の間の隙間には図9bに示すような合成樹脂材71や図10に示すスペーサ73を介装してもよいことは勿論である。
図14には、本発明の更にまた別の実施の形態を示す。この流体装置200はアルミニウム等の軽金属もしくはアルミニウム合金等からなる部材すなわち板材202を有し、さらに、この第1の板材202に積層される第2の板材204、第3の板材206を有する。第2板材204、第3板材206は前記第1板材202と同様の部材で構成されるとよい。第2板材204には、その延在方向に直行する方向で貫通孔208a〜208hが形成され、第2板材204にも同様に貫通孔210a〜210hが形成される。第1板材202と第2板材204との間には、特に、貫通孔208aと208bと間に線材212a、212bが図示のように形成され、また貫通孔208cと208dの間に線材212cと212dが設けられ、貫通孔208eと208fとの間に線材212eと212fが設けられ、また貫通孔208gと貫通孔208hとの間に線材212gと線材212hが設けられる。第2板材204と第3板材206の間に、図14に示すように、それぞれの貫通孔に対応して線材214a〜214pが設けられる。貫通孔210aと210bとの間にはレギュレーター220が設けられ、また貫通孔210c210dの間に孔部221を有する第4の板材222を介して圧力ゲージ224が設けられ、貫通孔210eと210fとの間にオン・オフ弁226が設けられ、貫通孔210gと210hの間に比較的大径な線材228a、228bによって囲繞されるタンク230が設けられる。タンク230はその上面が第4の板材232によって閉塞されている。すなわち、第1の板材202、第2の板材204、第3の板材206また第4の板材222、第5の板材232と線材、あるいは、レギュレーター220、圧力ゲージ224、オン・オフ弁226を用いて必要な流体装置が形成されることになる。このような図14に示す装置では、断面図には線材が図と直行するように延在してそれぞれレギュレーター220、圧力ゲージ224、オン・オフ弁226、タンク230に連通しているため、加工が容易であり且つ切削加工等により圧力流体用の通路を形成する必要がないために、簡易に且つ廉価にこの種の装置を製造することができる。
図15は本発明のさらに別の実施の形態を示す。図15aは電磁弁マニホールド構造を示し、特にこの実施の形態ではポペット弁からなる主弁300を図15bの矢印X方向に移動させるための圧力流体供給回路を構成している。すなわち、参照符号302は第1の板体であり、参照符号304は第2の板体を示す。第2の板体304には供給ポート305a、第1の排気ポート305b、及び第2の排気ポート305cが形成される。第1板体302と第2板体304に間に線材306a〜306dが狭圧されており、前記第2板体304には更に貫通孔308a、308b、308cが設けられている。そして、第1板体302と線材306a、306bによって形成される通路310aは貫通孔308aに連通し、第1板体302と線材306b、306cによって形成される通路310bは貫通孔308bに連通し、第1板体302と線材306c、306dによって形成される通路310cは貫通孔308cに連通する。なお、図において参照符号320a〜320cはそれぞれ電磁弁を示す。貫通孔308a、308cは第1排気ポート305b、第2排気ポート305cに連通し、貫通孔308bは供給ポート305aに連通している。図から容易に諒解されるように、第1板体302と第2板体304及び線材306a〜306dによってマニホールドが容易に形成されることは十分に諒解されよう。
以上のように、本発明によれば線材を用いることによって容易に流体用流路を形成することができる。しかも線材を用いているために、従来技術のように長く細い穴を形成する必要もなく、それによってこの種の流体圧機器の小型化、軽量化が達成されるに至る。しかも、線材を用いるのみであることから、その取り扱いが容易であり、複雑な形状の流体流路を容易に形成することが可能となり、しかも設計の自由度が大きくなり、且つ廉価に製造することができることは言うまでもない。
本発明の流体の流路構造の原理を示す図であり、図1aは各構成部材の一部切断分解斜視図、図1bは図1aの構成部材を組み立てた状態の斜視図、図1cは図1bに示す流体の流路構造の変形例の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の1実施形態を示し、図2aは各構造部材の一部切断分解斜視図、図2bは図2aの構成部材を組み立てた状態の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態の一部切断斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態の一部切断斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、図5aは各構成部材の一部切断分解斜視図、図5bは図5aの構成部材を組み立てた状態の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、図6aは各構成部材の一部切断分解斜視図、図6bは図6aの構成部材を組み立てた状態の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、図7aは各構成部材の一部切断分解斜視図、図7bは図7aの構成部材を組み立てた状態の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態の一部切断斜視図である。 本発明の流体の流露構造の他の実施形態を示し、図9aは各構成部材の分解斜視図、図9bは図9aの構成部材を組み立て、且つ充填部材を設けた状態の縦断面説明図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、その各構成部材の分解斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、図11aは各構成部材の分解斜視図、図11bは図11aの構成部材を組み立てた状態の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、図12aは各構成部材の分解斜視図、図12bは図12aの構成部材を組み立てた状態の斜視図、図12cは図12bに示す流体の流路構造の変形例の斜視図である。 本発明の流体の流路構造の他の実施形態を示し、図13aは各構成部材の分解斜視図、図13bは図13aの構成部材を組み立てた状態の斜視図である。 本発明の流体の流路構造を用いた流体圧材器の要部縦断面説明図である。 本発明の流体の流路構造を用いた電磁弁マニホールドを示し、図15aはその一部省略斜視図、図15bはその一部省略縦断面図である。 従来技術の流体の流路構造を示す概略斜視説明図である。
符号の説明
10、100…第1のブロック部材 12、102…第2のブロック部材
36、104…第3のブロック部材 14…第1の線材
16…第2の線材 18…流体流路
32a〜32d、34a〜34d…ピン部材
56、58a、58b、60a〜60d、106a、106b、108a〜108c、110a〜110c、208a〜208h、210a〜210h、308a〜308c…貫通孔
70、72a、72b…室
78a、78b…湾曲部 82…バッファ部
88a、88b…屈曲部 90…オリフィス
220…レギュレーター 224…圧力ゲージ
226…オン・オフ弁 230…タンク

Claims (17)

  1. 第1のブロック部材と、
    第2のブロック部材と、
    前記第1と第2のブロック部材の間に介装される線材と、
    からなり、少なくとも前記第1と第2のブロック部材のいずれか一方と前記線材とにより気密または液密な流体用流路が形成されることを特徴とする流体の流路構造。
  2. 請求項1の流体の流路構造において、
    第1と第2のブロック部材は金属製材料からなり、好ましくは軽金属または軽金属合金からなることを特徴とする流体の流路構造。
  3. 請求項2において、
    前記軽金属または軽金属合金は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする流体の流路構造。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
    前記線材は金属製、好ましくはアルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする流体の流路構造。
  5. 請求項1の流体の流路構造において、
    前記第1と第2のブロック部材はステンレススチールからなり、前記線材はステンレススチールからなることを特徴とする流体の流路構造。
  6. 請求項1記載の流体の流路構造において、
    線材は前記第1と第2のブロック部材間において挟圧されて該線材と前記第1または第2のブロック部材間で流体用流路が形成されてなることを特徴とする流体の流路構造。
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
    前記第1と第2のブロック部材間にさらに1若しくはそれ以上の中間のブロック部材が設けられ、前記第1のブロック部材と前記中間のブロック部材との間または第2のブロック部材と前記中間のブロック部材との間に線材が介装され、前記線材は流体用流路の一部を形成することを特徴とする流体の流路構造。
  8. 請求項1乃至請求項7のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
    前記第1の部材と第2のブロック部材の少なくともいずれか一方に前記線材が形成する流路と交叉し且つ互いに連通する流路が形成されていることを特徴とする流体の流路構造。
  9. 請求項1乃至請求項8のいずれか1項記載の流体の流路構造において、
    前記第1と第2のブロック部材はその間に介装されるピン部材により互いに位置決めされることを特徴とする流体の流路構造。
  10. 前記第1の部材と第2のブロック部材との間に形成される隙間に金属または合成樹脂材を充填し、前記金属または合成樹脂材は流体流路を形成する外側で線材を囲繞することを特徴とする流体の流路構造。
  11. 前記第1と第2のブロック部材の間に所定のパターンで線材を配置し、前記第1と第2の部材を相対的に接近させて少なくとも該第1と第2のブロック部材のいずれかと前記線材とにより前記所定のパターンで且つ気密または液密な流体用流路を形成することを特徴とする流体の流路構造。
  12. 請求項1記載の流体の流路構造において、
    前記第1と第2のブロック部材のいずれか一方または線材を加熱した状態で前記第1と第2のブロック部材を互いに接近するように相対的に押圧して前記線材との間で流体用流路を形成することを特徴とする流体の流路構造。
  13. 請求項1記載の流体の流路構造において、
    前記第1と第2のブロック部材と線材とは互いにその一部が溶触し、または拡散接合、あるいはろう付けにより一体化されていることを特徴とする流体の流路構造。
  14. 第1と第2の金属製のブロック部材の間に所定のパターンで線材を位置決めし、前記第1と第2のブロック部材を互いに接近するように相対的に押圧し、前記第1と第2のブロック部材の間に前記線材により流体用流路を形成することを特徴とする流体の流路構造の製造方法。
  15. 請求項14に記載の流体の流路構造の製造方法において、
    前記第1と第2のブロック部材と線材とは互いに押圧されて一体化されることを特徴とする流体の流路構造の製造方法。
  16. 請求項15に記載の流体の流路構造の製造方法において、
    前記第1と第2のブロック部材と線材とは加熱押圧されることにより、または拡散接合、あるいはろう付けにより一体化されることを特徴とする流体の流路構造の製造方法。
  17. 請求項14乃至16のいずれか1項記載の流体の流路構造の製造方法において、
    線材を押圧した後に第1と第2のブロック部材の間に形成される隙間に充填材を充填することを特徴とする流体の流路構造の製造方法。
JP2007246021A 2007-09-21 2007-09-21 流体の流路構造を備える流体圧機器及びその製造方法 Active JP5417638B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007246021A JP5417638B2 (ja) 2007-09-21 2007-09-21 流体の流路構造を備える流体圧機器及びその製造方法
US12/208,679 US8109296B2 (en) 2007-09-21 2008-09-11 Fluid flow passage structure and manufacturing method thereof
DE102008048147.5A DE102008048147B4 (de) 2007-09-21 2008-09-19 Fluiddurchgangsstruktur und Herstellungsverfahren hierfür

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007246021A JP5417638B2 (ja) 2007-09-21 2007-09-21 流体の流路構造を備える流体圧機器及びその製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009074651A true JP2009074651A (ja) 2009-04-09
JP2009074651A5 JP2009074651A5 (ja) 2010-11-04
JP5417638B2 JP5417638B2 (ja) 2014-02-19

Family

ID=40470380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007246021A Active JP5417638B2 (ja) 2007-09-21 2007-09-21 流体の流路構造を備える流体圧機器及びその製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8109296B2 (ja)
JP (1) JP5417638B2 (ja)
DE (1) DE102008048147B4 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110097488A1 (en) * 2009-10-27 2011-04-28 Kerr Roger S Fluid distribution manifold including mirrored finish plate
JP5715969B2 (ja) * 2012-01-24 2015-05-13 株式会社堀場エステック 流体抵抗デバイス
US11144075B2 (en) 2016-06-30 2021-10-12 Ichor Systems, Inc. Flow control system, method, and apparatus
US11639865B2 (en) 2019-08-05 2023-05-02 Ichor Systems, Inc. Laminar flow restrictor
JP6352993B2 (ja) * 2016-08-10 2018-07-04 株式会社東芝 流路構造及び処理装置
US11841036B2 (en) 2019-08-05 2023-12-12 Ichor Systems, Inc. Laminar flow restrictor and seal for same
JP2022543654A (ja) 2019-08-05 2022-10-13 アイコール・システムズ・インク 流量制限器用のシール

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07149430A (ja) * 1993-11-30 1995-06-13 Motoyama Seisakusho:Kk ガス多分岐ユニット
JP2003062671A (ja) * 2001-08-24 2003-03-05 Suwa Netsukogyo Kk マニホールドの製造方法
JP2006266576A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Calsonic Kansei Corp 積層型熱交換器及びその製造方法
JP2006264163A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Sekiso Kanagata Kenkyusho:Kk 真空成形金型及びその製造方法
WO2007049332A1 (ja) * 2005-10-25 2007-05-03 Shimadzu Corporation フローセル及びその製造方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2871886A (en) * 1955-04-26 1959-02-03 Monarch Machine Tool Co Manifold
DE1127924B (de) 1959-08-21 1962-04-19 Daimler Benz Ag Kreuzstrom-Plattenwaermetauscher mit Zwischengliedern als Abstandshalter fuer die Platten
US3407846A (en) * 1966-07-14 1968-10-29 Aro Corp Circuit board and control module for fluid logic circuit mechanism
GB1171025A (en) 1967-02-25 1969-11-19 Sperry Rand Ltd Improvements in or relating to the Manufacture of Fluid Flow Manifold Blocks.
DE1917727C3 (de) * 1969-04-05 1974-08-01 Samson Apparatebau Ag, 6000 Frankfurt Leitungssystem für hydraulisch oder pneumatisch arbeitende Schalt-, Steuer- oder Regeleinrichtungen
GB1255896A (en) 1970-02-18 1971-12-01 Honeywell Inc Fluidic oscillators
DE2156929A1 (de) 1970-11-17 1972-05-31 Bekaert Sa Nv Fluidisches Schaltungselement
NL150557B (nl) * 1971-09-15 1976-08-16 Samson Apparatebau Ag Leidingsysteem voor met gasvormig of vloeibaar drukmiddel werkende regel-, stuur- of meetinrichtingen.
US4509553A (en) * 1983-09-02 1985-04-09 General Motors Corporation Fluid flow selector valve
JPS63220987A (ja) 1987-03-06 1988-09-14 Natl Res Inst For Metals アルミニウム及びアルミナセラミツクスの拡散接合法
JPH0562034A (ja) 1991-08-30 1993-03-12 Toshiba Corp 定期券発行機
ZA943085B (en) 1994-05-04 1995-01-13 Hwu Chyn Herng Forced flow-guding device having perforated mesh surface branch guiding tubes
JPH0835506A (ja) 1994-07-26 1996-02-06 Nitsukooshi Prod Kk 流体素子または流体制御器と、その製造方法
JP2996904B2 (ja) 1995-09-19 2000-01-11 川崎重工業株式会社 配管接続用ブロックの製作方法
JPH11125378A (ja) 1997-10-20 1999-05-11 Ihara Science Corp 流体圧マニホールドおよびその製造方法
JP2001201275A (ja) 2000-01-21 2001-07-27 Daikin Ind Ltd 二重管式熱交換器
JP4750258B2 (ja) 2000-10-24 2011-08-17 古河スカイ株式会社 流体回路部材の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07149430A (ja) * 1993-11-30 1995-06-13 Motoyama Seisakusho:Kk ガス多分岐ユニット
JP2003062671A (ja) * 2001-08-24 2003-03-05 Suwa Netsukogyo Kk マニホールドの製造方法
JP2006266576A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Calsonic Kansei Corp 積層型熱交換器及びその製造方法
JP2006264163A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Sekiso Kanagata Kenkyusho:Kk 真空成形金型及びその製造方法
WO2007049332A1 (ja) * 2005-10-25 2007-05-03 Shimadzu Corporation フローセル及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5417638B2 (ja) 2014-02-19
US8109296B2 (en) 2012-02-07
US20090078329A1 (en) 2009-03-26
DE102008048147A1 (de) 2009-05-07
DE102008048147B4 (de) 2021-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5417638B2 (ja) 流体の流路構造を備える流体圧機器及びその製造方法
US6786708B2 (en) Laminated devices and methods of making same
EP1458977B2 (de) Peristaltische mikropumpe
EP2207963B1 (de) Pumpe und pumpenanordnung pumpenmodul
US6033191A (en) Micromembrane pump
CN205918569U (zh) 微型流体控制装置
EP2389529B1 (de) Ventil, insbesondere für ein bauelement der mikrofluidtechnik
KR101922627B1 (ko) 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서 및 마이크로플루이딕스칩 조립체
EP2205869B1 (de) Membranpumpe
JP2016509151A (ja) 流体回路および関連する製造方法
WO2013046330A1 (ja) マイクロダイヤフラムポンプ
US7923124B2 (en) Laminated structure for a fluid
DE4221089A1 (de) Mikroventil
KR20000068314A (ko) 연료 분사 밸브 및 연료 분사 밸브용 밸브시트 제조 방법
WO1995008716A2 (en) Micromachined valve apparatus
JP2018001453A (ja) 液体供給部品の製造方法、製造装置、液体供給部品、および液体吐出ヘッド
JP2007077843A (ja) 噴射弁及びオリフィスの加工方法
KR102305303B1 (ko) 전공 밸브 어셈블리
Paul et al. Comparison of two passive microvalve designs for microlamination architectures
EP1827695A1 (de) Vorrichtung zur förderung von fluiden, verfahren zur herstellung derselben und pipette mit einer solchen vorrichtung
WO2010031559A1 (de) Mikrofluidisches ventil, mikrofluidische pumpe, mikrofluidisches system und ein herstellungsverfahren
JP5826009B2 (ja) マイクロポンプ実装用の基板およびマイクロポンプ組立体
JP4310540B2 (ja) 合成樹脂製多孔流路板及びその製造方法
CN113227618B (zh) 用于高传导性阀的控制板
CN100430611C (zh) 具有接合形壳体的阀

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100915

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100915

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120329

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120403

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120604

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130108

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130308

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131001

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131031

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5417638

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250