JP2009074167A - 水素発生装置の電極連結方法及びこれを用いた水素発生装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】電極間の抵抗を減少させることにより水素の流量を増加させることができ、電極間の間隔を最小化することにより水素発生装置の嵩を減らすことができる水素発生装置の電極連結方法及びそれを用いた水素発生装置を提供する。
【解決手段】水素発生装置500の電極連結方法は、電子を発生させる第1電極300の一側に第1端子層306を蒸着する段階と、第1端子層306に電線310の一側を接合する段階と、電子を受けて水素を発生させる第2電極400の一側に第2端子層406を蒸着する段階と、第2端子層406に電線310の他側を接合する段階と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図10

Description

本発明は水素発生装置の電極連結方法及びこれを用いた水素発生装置に関する。
燃料電池は燃料、すなわち、水素、LNG、LPG、メタノールなどの燃料と空気の化学エネルギーとを電気化学的反応により電気及び熱に直接変換させる装置である。既存の発電技術が燃料の燃焼、蒸気発生、タービン駆動、発電機駆動の過程を経ることとは異なって、燃焼過程や駆動装置がないため、効率が高く、さらに環境問題を生じさせない新たな概念の発電技術である。
図1は燃料電池の作動原理を示す図である。図1を参照すると、燃料電池100の燃料極110はアノードであり、空気極130はカソードである。燃料極110は水素(H)の供給を受けて水素イオン(H)と電子(e)とに分解される。水素イオンは膜120を経て空気極130に移動する。膜120は電解質層である。電子は外部回路140を経て電流を発生させる。そして、空気極130にて水素イオンと電子、そして空気中の酸素とが結合して水になる。前述した燃料電池100における化学反応式は下記の化学式1で表される。
[化1]
燃料極110:H→2H+2e
空気極130:1/2 O+2H+2e→H
全体反応:H+1/2 O→H
すなわち、燃料極110から分離された電子が外部回路を経て電流を発生させることにより電池の機能を果たすことになる。このような燃料電池100はSOとNOなどの大気汚染物質をほとんど排出せず、二酸化炭素の発生も少なくいため、無公害発電であり、さらに低騷音、無振動などの長所がある。
燃料電池100は、燃料極110から電子を発生させるために水素を含有している一般燃料から燃料電池100が要求する、水素を多く含有するガスに変化させる水素発生装置を要する。
水素発生装置として一般的に知られている水素貯蔵タンクなどを利用すると嵩が大きくなり、保管に危険がある。
したがって、最近注目を集めている携帯電話やノートパソコンなどの携帯用電子機器が高容量の電源供給装置を要求するにつれ、燃料電池はこれらの要求に対応しなくてはならなく、嵩が小さいながらも高い性能を有する必要がある。
国際民間航空機関(ICAO:International Civil Aviation Organization)から飛行機搬入が承認された、メタノールやギ酸などを用いて燃料を改質し水素を発生させたり、メタノールやエタノール、ギ酸などを燃料電池にて直接燃料として使用する方式が用いられている。
しかし、前者は高い改質温度を要し、システムが複雑になり、駆動電力が消耗されて純粋水素以外の不純物(CO、CO)が含まれるという問題点がある。そして、後者は両極化学反応が低く、炭化水素(hydrocarbon)の膜を通してのクロスオーバ(cross-over)により電力密度が非常に低くなるという問題点がある。
これに比して電気化学反応(electro chemical reaction)を用いた水素発生装置は、室温で純粋な水素を生成することができる。また、カートリッジとステック(stack)だけで簡単にシステムを構成することができ、電流を制御する方式から水素生成量を制御するので、別途のBOPユニットがなくても所望の水素流量を制御できるという特徴がある。
従来の水素発生装置において、電極と電極との間の連結方式としてはクリップを用いていた。すなわち、クリップは電線に固定され電極とコントロールユニット、あるいは電極と電極との間を連結する。しかし、電極とクリップとの間の接触抵抗が大きいため、流れる電流量が少なくなり、それにより水素発生量が減少するという問題点があった。
本発明は前述した従来の問題点を解決するためになされたものであり、電極間の抵抗を減少させることにより水素の流量を増加することができ、電極間の間隔を最小化することにより水素発生装置の嵩を減らすことができる水素発生装置の電極連結方法及びそれを用いた水素発生装置を提供することを目的とする。
本発明の一実施形態によれば、電子を発生させる第1電極の一側に第1端子層を蒸着する段階と、第1端子層に電線の一側を接合する段階と、電子を受けて水素を発生させる第2電極の一側に第2端子層を蒸着する段階と、第2端子層に電線の他側を接合する段階と、を含む水素発生装置の電極連結方法が提供される。
第1端子層を蒸着する段階は、スパッタリング(sputtering)方式で行われ、第1端子層は金(Au)、白金(Pt)などの貴金属からなることができ、10〜10000nmの厚みで蒸着することができる。
ここで、第1端子層を蒸着する段階以前に、第1電極の一側に対応する開口部が形成されたマスクを第1電極に積層することができる。
また、第1端子層を蒸着する段階以前に、第1電極の一側に第1接着層を蒸着することができる。
この際、第1接着層はチタン(Ti)、クロム(cr)、ニッケル(Ni)、及びアルミニウム(Al)からなることができ、1〜1000nmの厚みで蒸着することができる。
第2端子層を蒸着する段階以前に、第2電極の一側に対応する開口部が形成されたマスクを第2電極に積層することができる。
また、第2端子層を蒸着する段階以前に、第2端子層の一側に第2接着層を蒸着することができる。また、電線を接合する段階は、ソルダリング(soldering)方式で行うことができる。
本発明の他の実施形態によれば、電解質水溶液を収容する電解槽と、電解槽内に収容され電子を発生させ、一側に第1端子層が形成される第1電極と、第1電極と所定距離離隔するように電解槽内に収容され、電子と電解質水溶液を用いて水素を発生させ、一側に第2端子層が形成される第2電極と、一側は第1端子層にソルダリングされ、他側は第2端子層にソルダリングされて電子を移動させる電線と、を備える水素発生装置が提供される。
ここで、第1端子層と第1電極との間に介在される第1接着層をさらに備えることができる。また、第2端子層と第2電極との間に介在される第2接着層をさらに備えることができる。
第1端子層は金(Au)、白金(Pt)などの貴金属からなることができ、10〜10000nmの厚みで形成することができる。
また、第1接着層はチタン(Ti)、クロム(cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)からなることができ、1〜1000nmの厚みで形成することができる。
本発明による水素発生装置の電極連結方法及びそれを用いた水素発生装置は、電極の接触抵抗を減少させることにより水素の流量を増加することができ、薄膜蒸着による電極間の間隔を最小化することにより水素発生装置の嵩を減らすことができる。
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるため、特定実施例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、本発明がこれらの特定の実施形態に限定されるものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。本発明を説明するに当たって、係る公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
「第1」、「第2」などの用語は、多様な構成要素を説明するのに用いることに過ぎなく、前記構成要素が前記用語により限定されるものではない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的だけに用いられる。
本願で用いた用語は、ただ特定の実施例を説明するために用いたものであって、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文の中で明らかに表現しない限り、複数の表現を含む。本願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組み合わせたものの存在を指定するものであって、一つまたはその以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除するものではないと理解しなければならない。
以下、本発明の実施例を添付した図面を参照して詳しく説明する。高分子型燃料電池(PEMFC)の水素発生に用いられる方法は、アルミニウムの酸化反応、金属ボロハイドライド系の加水分解、及び金属電極体反応に分けることができ、その中、水素発生を効率的に調節する方法としては金属電極体を用いる方法がある。図2は金属電極体を用いた水素発生装置を示す概念図である。
図2に示すように、アノード(陽極)220のマグネシウムとカソード(陰極)230のステンレススチール(stainless steel)とが電解槽210の電解水溶液215に浸されている。
水素発生装置200の原理は、ステンレススチール230よりイオン化傾向の大きいマグネシウム電極220から電子が生成されて、生成された電子がステンレススチール230へ移動される。移動された電子は電解水溶液215と結合して水素を生成することができる。
前述した水素発生装置200における化学反応式は下記の化学式2で表される。
[化2]
アノード220:Mg→Mg2++2e
カソード230:2HO+2e→H+2(OH)
全体反応:Mg+2HO→Mg2++H+2(OH)
これは主としてマグネシウム電極220がMg2+イオンにイオン化されることにより得られた電子を、再び、導線を通じて他の金属体に移動させて(例えば、アルミニウム、あるいはステンレススチール)水の分解反応で水素を発生させる方法であって、連結された導線の短絡で、使用される電極体間の間隔及び大きさに応じて水素の発生をオンデマンド(On-demand)で調節することができる。
図3は本発明の一実施例による電極製造方法を示すフローチャートであり、図4乃至図9は本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。図4乃至図9を参照すると、第1電極300、マスク302、第1端子層306、及び第1接着層304が示されている。
本発明は電極に薄膜の端子層を蒸着し、ソルダリング方式で電線を接合して電極間の連結を具現することにより、電極間の抵抗を減少することができ、水素の流量を増加させることができる。また、電極間の間隔を最小化することにより水素発生装置の嵩を減らすことができる。
以下では、本発明の理解と説明の便宜のために第1電極300がマグネシウム(Mg)からなり、第2電極400がステンレススチール(Stainless Steel)からなったものを中心にして説明する。
第1電極300は活性電極である。第1電極300においては、マグネシウム(Mg)電極と水(HO)とのイオン化エネルギーの差によりマグネシウム電極が水中に電子(e)を出してマグネシウムイオン(Mg2+)に酸化される。
本発明の電極に電線を接合するために、先ず、図4に示すように、電子を発生させる第1電極300を用意し、段階S10で、図5に示すように、電子を発生させる第1電極300の一側に対応する開口部が形成されたマスク302を第1電極300に積層する。ここで、第1電極300の一側とは、第1電極300において、電線を接合するために後述する第1端子層306と第1接着層304とがスパッタリングされる領域を意味し、その領域の模様と大きさは限定されない。
次に、段階S20で、図6に示すように、マスク302上の第1電極300が露出される一側に第1接着層304を蒸着する。この際、蒸着する方法は、スパッタリング方式で行われるが、これに限定されず、蒸発蒸着法、化学気相蒸着法(CVD)によっても薄膜蒸着できることは勿論である。
また、第1接着層304はチタン(Ti)、クロム(cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)の中のいずれか一つからなることができ、本実施例ではチタンを例として説明する。ここで、第1接着層304は、第1電極300と後述する第1端子層306との間に介在され、第1電極300と第1端子層306との接合を円滑にする役割をする。
すなわち、第1電極300のマグネシウム基板に、スパッタリング方式を用いて第1接着層304のチタン層を薄膜蒸着する。これは、第1電極300のマグネシウム基板に第1端子層306の金薄膜層を直接蒸着し難いからである。したがって、第1電極300のマグネシウム基板と第1端子層306の金薄膜層との間に第1接着層304のチタン層を介在することにより、第1接着層304のチタン層が第1電極300のマグネシウム基板と第1端子層306の金薄膜層とを円滑に接合させるようにする。
また、第1接着層304は1〜1000nmの厚みで蒸着されることができる。第1接着層304が1nm未満の厚みで蒸着されると、第1電極300と第1端子層306との接合を円滑にすることができなく、第1接着層304が1000nmを超える厚みで蒸着されると、第1電極300に薄膜蒸着層を具現できないという問題点が発生する。
次に、段階S30で、図7に示すように、第1電極300の第1接着層304に第1端子層306を蒸着する。すなわち、第1接着層304のチタン層に端子層306の金薄膜層を蒸着する。第1端子層306の金薄膜層は、第1電極300のマグネシウム基板に電線310をソルダリング(soldering)する際に、効果的にソルダリングできるようにする。
ここで、第1端子層306は金(Au)、白金(Pt)などの貴金属(noble metal)の中のいずれか一つからなることができ、10〜10000nmの厚みで蒸着することができる。
第1端子層306の厚みが10nm未満であると、電線の接合が容易ではなく、第1端子層306の厚みが10000nm以上であると、第1電極300に薄膜蒸着層を具現できないという問題点がある。
次に、段階S40で、図8に示すように、マスク302を除去し、図9に示すように、第1端子層306に電線310の一側をソルダリング方式で接合して電線固定部分308を形成する。
また、第1電極300から形成された電子を受けて水素を発生させる第2電極の電線固定方式は第1電極300と同じ方法で行われることができる。
したがって、段階S50で、第2電極の一側に対応する開口部が形成されたマスクを第2電極に積層し、段階S60で、第2端子層の一側に第2接着層を蒸着する。この際、蒸着される第2接着層は前述した第1電極300に蒸着される第1接着層304と同じ金属層である。したがって、第2電極に蒸着される第2接着層は第1電極300に蒸着される第1接着層304と、その種類と厚みが同じである。
次に、段階S70で、第2電極の第2接着層に第2端子層を蒸着する。ここで第2端子層は第1電極300に蒸着される第1端子層306と同じ金属層であり、その種類と厚みが同じである。
最後に、段階S80で、第2端子層に電線の他側をソルダリング方式で接合する。第2電極の電線ソルダリング方式は前述した第1電極300の電線ソルダリング方式と同様である。
図10は本発明の一実施例による水素発生装置の断面図であり、図11は従来の電極を用いて発生された水素の流量を示したグラフであり、図12は本発明の一実施例による水素発生装置から発生された水素の流量を示したグラフである。
図10を参照すると、第1電極300、第1端子層306、電線固定部分308、408、電線310、第2電極400、第2端子層406、水素発生装置500、コントロールユニット502、電解槽504、電解質水溶液506が示されている。
図10に示すように、電子を発生させる第1電極300と、電子を受けて水素を発生させる第2電極400にそれぞれ第1端子層306及び第2端子層408を薄膜で蒸着し、それぞれの第1端子層306及び第2端子層406にソルダリング方式で電線310を接合して二つの電極を連結する。
図10に示されている第1電極300と第2電極400とは、図4乃至図9に示された電極の製造方法により製造された電極である。
電解槽504の内部には電解質水溶液506が入っている。電解質水溶液506は水素イオンを含んでおり、水素発生装置500は電解質水溶液506に含まれている水素イオンを用いて水素ガスを発生させることができる。
電解質水溶液506としては、LiCl、KCl、NaCl、KNO、NaNO、CaCl、MgCl、KSO、NaSO、MgSO、AgClなどを電解質として使用できる。
第1電極300は電解槽504内部の一面に形成されて電子を発生させる。第1電極300は活性電極である。第1電極300においては、マグネシウム(Mg)電極と水(HO)とのイオン化エネルギーの差により、マグネシウム電極が水中に電子(e)を出してマグネシウムイオン(Mg2+)に酸化される。この際、生成された電子は電線310を通してコントロールユニット502に移動し、電線310を通して第2電極400へ移動することができる。したがって、第1電極300は電子の生成につれ消耗されて、一定時間が経過すると交換するようにする。また、第1電極300は第2電極400に比して相対的にイオン化傾向が大きい金属からなることができる。
第2電極400は第1電極300に隣接して形成することができ、電子と電解質水溶液506とを用いて水素を発生させることができる。第2電極400は非活性電極である。第2電極400は第1電極300のマグネシウムから発生する電子を受けて電解質水溶液506と反応することにより水素を発生させる。
また、第2電極400は非活性電極であるため、第1電極300とは異なって消耗されないので第1電極300の厚みより薄く具現することができる。
第2電極400における化学反応をより詳細に見ると、第2電極においては、水が、第1電極300から移動してきた電子を受けて水素に分解される。
前述した化学反応式は、下記の化学式3で表される。
[化3]
第1電極:Mg→Mg2++2e
第2電極:2HO+2e→H+2(OH)
全体反応:Mg+2HO→Mg(OH)+H
前述の化学反応は多様な要素に応じて反応速度や反応効率が決定される。反応速度を決定する要素としては、第1電極300及び/または第2電極400の電極の面積、電解質水溶液506の濃度、電解質水溶液506の種類、第1電極300及び/または第2電極400の個数、第1電極300と第2電極400との間の連結方法、第1電極300と第2電極400との間の電気的抵抗などがある。
前述した要素を変化させると、反応条件に応じて第1電極300と第2電極400との間に流れる電流量(すなわち、電子量)が変わり、従って化学式3のような電気化学的反応速度が変わることになる。電気化学的反応速度が変わると、第2電極400から発生される水素量にも変化が生ずる。
よって、本発明の実施例によれば、第1電極300と第2電極400との間に流れる電流量を調節することにより、生成される水素量を調節できるようになる。これは下記の数学式1で表されるようにファラデー法則(Faraday’s LAW)により原理的に説明できる。
Figure 2009074167
ここで、Nhydrogenは1秒間に生成される水素量(mol)であり、Vhydrogenは1分間に生成される水素の体積(ml/min)である。iは電流(C/s)、nは反応電子の個数、Eは電子1モル当たりの電荷(C/mol)を示す。
前述の化学式3を参照すると、第2電極400にて水素電子二つが反応するので、nは2であり、電子1モルの電荷は約−96485クーロンである。
1分間に生成される水素の体積は、1秒間に生成される水素量に時間(60秒)と水素1モルの体積(22400ml)を乗じて算出することができる。
若し、燃料電池が2Wシステムで使用される場合、水素要求量は42ml/mol程度であり、6Aの電流を必要とする。また、燃料電池が5Wシステムで使用される場合、水素要求量は105ml/mol程度であり、15Aの電流を必要とする。
このように水素発生装置500は第1電極300と第2電極400に流れる電流量を調節すれば、後段に連結される燃料電池が必要としているだけの水素を発生させることが可能になる。
水素発生装置500の第2電極400から水素を発生させる反応速度を決定する前述の要素中、第1電極300と第2電極400との間の電気的抵抗を除いたその他の要素は水素発生装置500を構成する際に決定される要素であるため、後でその要素を変化させることは容易ではない。
また、コントロールユニット502だけではなく、すべての抵抗が最小になると、より多くの電流を流すことができる。しかし、従来にはクリップで電極と電極との間、または電極とコントロールユニットとの間を連結したので、接触抵抗が発生し300〜500mΩの大きい抵抗を発生させた。
接触抵抗が大きくなることに伴い、第1電極と第2電極との間に流れる電流量が著しく減少して、実際に単位電極面積当たりに発生する水素の流量は大きくない。電極のサイズを大きくすれば接触抵抗が大きくても所望の水素流量を得ることができるが、反応器の嵩が増加するため、水素発生装置の小型化が困難になる。
また、接続状態が不安定であって抵抗が一定値を有することができなく、300〜500mΩの間で値が随時に変わるため、一定流量を発生できないという問題点がある。
本発明の水素発生装置500によれば、第1電極300と第2電極400の電線310がソルダリングされる部分に、第1端子層306と第2端子層406の金薄膜層を薄膜蒸着して電極と電極との間の抵抗を減少させることにより所望の水素の流量を得ることができる。
本発明の水素発生装置500を用いて低抵抗計で抵抗を測定すると、10mΩ以内の抵抗値が観察される。
また、電極に端子層をスパッタリング方式で行った後に電線を接合するので、第1電極300と第2電極400との間の間隔が1〜0.5mmに狭められることにより、反応器の嵩を減らすことができるようになり、イオンの移動抵抗が減少するので同じ嵩内で水素流量を増加させることができる。
また、ソルダリング方式で電線310を接合すると、接触力の変化を遮断できるようになり、接触抵抗が変化しなくなって水素発生量の変動を減少させることができる。
図11は従来の電極を用いて発生された水素の流量を示すグラフであって、クリップだけを用いて電極に電線を結合した場合に発生された水素の流量を示すグラフである。
図12は本発明の一実施例による水素発生装置を用いて発生された水素の流量を示すグラフであって、電極300、400に金薄膜層306、406をスパッタリングし、スパッタリングされた部分に電線310を接合することにより接触抵抗を減少させた後に生成された水素の流量を示すグラフである。
図11と図12のテスト条件は、第1電極300と図2電極400との間の間隔を2mmとし、塩化カリウム(KCl)電解質濃度23%の条件で、第1電極三つと第2電極三つを使用し、60ccの電解質水溶液を用いた。
その結果、図11においては、最大水素流量が60cc/minであることが確認でき、図12においては、最大水素流量が120cc/minであって、約2倍ほど水素流量が増加したことが分かる。
すなわち、本発明は第1電極300と第2電極400との間の抵抗を減少させることにより、所望の水素流量を得ることができ、薄膜蒸着により反応器の嵩を減らすことができる。
本発明の実施例において、第1電極300はマグネシウム以外にもアルミニウム(Al)、亜鉛(Zn)、及び鉄(Fe)などの、相対的にイオン化傾向が大きい金属からなることができる。また、第2電極400はステンレススチール以外に白金(Pt)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、鉄(Fe)などからなることができ、第1電極300を構成する金属と比べると相対的にイオン化傾向が小さい金属からなることができる。
コントロールユニット502は電気化学的反応により、第1電極300から生成された電子を第2電極400に伝達する速度、すなわち、電流量を調節する。
コントロールユニット502は、燃料電池が必要としている電力量または水素量の伝達を受けて、その要求値が大きいと、第1電極300から第2電極400へ流れる電子量を増加させ、その要求値が小さいと、第1電極300から第2電極400へ流れる電子量を減少させる。
例えば、コントロールユニット502は可変抵抗で構成されて、可変抵抗値を変化させることにより第1電極300と第2電極400との間に流れる電流量を調節したり、オン/オフスィッチで構成されて、オン/オフタイミングを調節することにより第1電極300と第2電極400との間に流れる電流量を調節することができる。
本発明は前述した水素発生装置500から生成された水素の供給を受けて、水素の化学エネルギーを電気エネルギーに変換することにより直流電流を生産する燃料電池を備える燃料電池発電システムを提供できることは勿論である。
前記では本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できよう。
燃料電池の作動原理を示す図である。 水素発生装置を示す概念図である。 本発明の一実施例による電極製造方法を示すフローチャートである。 本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。 本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。 本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。 本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。 本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。 本発明の一実施例による電極製造方法の断面図である。 本発明の一実施例による水素発生装置の断面図である。 従来の電極により発生された水素の流量を示すグラフである。 本発明の一実施例による水素発生装置から発生された水素の流量を示すグラフである。
符号の説明
300 第1電極
302 マスク
304 第1接着層
306、406 第1端子層
308、408 電線固定部分
310 電線
400 第2電極
500 水素発生装置
502 コントロールユニット
504 電解槽
506 電解質水溶液

Claims (18)

  1. 電子を発生させる第1電極の一側に第1端子層を蒸着する段階と、
    前記第1端子層に電線の一側を接合する段階と、
    前記電子を受けて水素を発生させる第2電極の一側に第2端子層を蒸着する段階と、
    前記第2端子層に前記電線の他側を接合する段階と、
    を含む水素発生装置の電極連結方法。
  2. 前記第1端子層を蒸着する段階が、スパッタリング方式で行われることを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  3. 前記第1端子層が、金(Au)または白金(Pt)のうちのいずれか一つを含むことを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  4. 前記第1端子層が、10〜10000nmの厚みで蒸着されることを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  5. 前記第1端子層を蒸着する段階以前に、
    前記第1電極の前記一側に対応する開口部が形成されたマスクを前記第1電極に積層する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  6. 前記第1端子層を蒸着する段階以前に、
    前記第1電極の前記一側に第1接着層を蒸着する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  7. 前記第1接着層が、チタン(Ti)、クロム(cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)からなる群より選ばれる少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項6に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  8. 前記第1接着層が、1〜1000nmの厚みで蒸着されることを特徴とする請求項6に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  9. 前記第2端子層を蒸着する段階以前に、
    前記第2電極の前記一側に対応する開口部が形成されたマスクを第2電極に積層する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  10. 前記第2端子層を蒸着する段階以前に、
    前記第2端子層の前記一側に第2接着層を蒸着する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  11. 前記電線を接合する段階が、ソルダリング方式で行われることを特徴とする請求項1に記載の水素発生装置の電極連結方法。
  12. 電解質水溶液を収容する電解槽と、
    前記電解槽内部に収容され電子を発生させ、一側に第1端子層が形成される第1電極と、
    前記第1電極と所定距離離隔するように前記電解槽内部に収容され、前記電子と前記電解質水溶液とを用いて水素を発生させ、一側に第2端子層が形成される第2電極と、
    一側が前記第1端子層にソルダリングされ、他側が前記第2端子層にソルダリングされて、前記電子を移動させる電線と
    を備える水素発生装置。
  13. 前記第1端子層と前記第1電極との間に介在される第1接着層をさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の水素発生装置。
  14. 前記第2端子層と前記第2電極との間に介在される第2接着層をさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の水素発生装置。
  15. 前記第1端子層が、金(Au)または白金(pt)のうちのいずれか一つを含むことを特徴とする請求項12に記載の水素発生装置。
  16. 前記第1端子層の厚みが、10〜10000nmであることを特徴とする請求項12に記載の水素発生装置。
  17. 前記第1接着層が、チタン(Ti)、クロム(cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)からなる群より選ばれる少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項13に記載の水素発生装置。
  18. 前記第1接着層の厚みが、1〜1000nmであることを特徴とする請求項13に記載の水素発生装置。
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