JP2009064618A - プラズマプロセス装置 - Google Patents
プラズマプロセス装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009064618A JP2009064618A JP2007230007A JP2007230007A JP2009064618A JP 2009064618 A JP2009064618 A JP 2009064618A JP 2007230007 A JP2007230007 A JP 2007230007A JP 2007230007 A JP2007230007 A JP 2007230007A JP 2009064618 A JP2009064618 A JP 2009064618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- gas
- khz
- plasma processing
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】被処理基板にダメージを与えないプラズマプロセス装置を提供する。
【解決手段】プラズマプロセス装置100は、プロセスガスとして、少なくともHeとN2とを含むガスを用い、大気圧または大気圧近傍の圧力下で電極間にプラズマ励起用の電源に高周波を印加してプラズマを生成し、被処理物をプラズマ処理する。プラズマプロセス装置100は、マッチングボックス2と、一対の電極部6と、電源11,12とを備える。電源11,12の周波数は、100kHz以上である。好ましくは、電源11,12の周波数は、100kHz以上300kHz以下である。
【選択図】図1
【解決手段】プラズマプロセス装置100は、プロセスガスとして、少なくともHeとN2とを含むガスを用い、大気圧または大気圧近傍の圧力下で電極間にプラズマ励起用の電源に高周波を印加してプラズマを生成し、被処理物をプラズマ処理する。プラズマプロセス装置100は、マッチングボックス2と、一対の電極部6と、電源11,12とを備える。電源11,12の周波数は、100kHz以上である。好ましくは、電源11,12の周波数は、100kHz以上300kHz以下である。
【選択図】図1
Description
本発明は、プラズマ処理に利用されるプラズマを発生するためのプラズマプロセス装置に関する。
従来、大気圧近傍の圧力下で動作するプラズマプロセス装置として、対向電極の対向面に固体誘電体を配置したプラズマプロセス装置が知られている。このようなプラズマプロセス装置は、大気圧近傍の圧力下で処理をすることから真空容器や真空ポンプを必要とせず、装置の小型化やタクトタイムの短縮を図ることができる。そのため、近年の被処理物の大型化に伴い、開発が盛んになされている。
上記のようなプラズマプロセス装置には、大きく分類して2種類の方式がある。そのうちの1つは、電極間で生成したプラズマをガスの流れ等により被処理物面に輸送してプラズマ処理を行うリモート方式のプラズマプロセス装置である。他の1つは、電極間で生成したプラズマ中に被処理物を入れてプラズマ処理を行うダイレクト方式のプラズマプロセス装置である。
上記のうちダイレクト方式のプラズマプロセス装置では、電極間に被処理物を入れるため、電極間のギャップを被処理物の厚み以上にする必要がある。また、被処理物と電極とが相対的に移動しながらプラズマ処理する装置においては、被処理物の厚みに加えて、被処理物、または、電極の上下動のマージンを考慮する必要があることから、そのマージンを含めた電極間のギャップにする必要がある。しかし、電極間のギャップが大きくなると、大気圧近傍の圧力下では真空中の場合と異なりパッシェンの法則から電極間の電圧を高くしないと放電が生じず、かつ、放電状態もグロー状の放電にならずにストリーマ状の放電になる場合がある。そして、放電がストリーマ状になると、たとえば、被処理物に金属配線等が含まれていると金属配線の影響で放電が集中する場合がある。そのため、被処理物にダメージを与えるため金属配線等のある被処理物には使用できない場合があった。
上記のことを解決するために、たとえば、特開2004−103423号公報(特許文献1)は、2つの電極に正負が逆で位相を重複させた交互に繰り返す交番電圧を印加することにより、放電をグロー放電にしてプラズマ処理性能を向上させる技術を開示している。
また、特開2006−196224号公報(特許文献2)は、一対の電極間に周波数fと周波数n×fの交流電界を印加して放電をグロー放電にする技術を開示している。
特開2004−103423号公報
特開2006−196224号公報
しかしながら、特開2004−103423号公報に開示された技術によると、2つの電極に正負が逆で位相を重複させた交互に繰り返す交番電圧の周波数として、0.5kHz〜1000kHzの周波数が用いられている。ガスについては、希ガス、窒素、酸素、空気、水素、炭酸ガスの単独、あるいは、混合ガスが用いられている。この場合、周波数が数10kHzと低く、かつ、ヘリウムなどの比較的グロー放電になりやすい希ガスの比率が低いガス組成になると、放電状態がストリーマ状になり、金属配線等がある被処理物にダメージを与える場合があった。
また、特開2006−196224号公報は、1対の電極間に周波数fと周波数n×fの交流電界を印加した場合を開示している。1対の電極に周波数fを与えた場合と比較すると、電極間の電圧は、たとえば図6のように示される。図6は、従来の技術に従うプラズマプロセス装置における電圧の波形を表わす図である。図6には、周波数fの交流電圧と周波数n×f(n=3)の交流電圧に基づく各波形が示されている。
電圧がたとえば任意単位で1.5以上のときに放電すると仮定すると、特開2006−196224号公報に開示された技術の場合の方が周波数fの周期の中での時間は短くなる。そのため、グロー放電になりやすい。その一方で、電圧が低くなる時間が長くなっており、一定時間当たりの放電時間が短くなり、放電時間効率が低下している。そのため、処理能力が低下することになる。すなわち、特開2006−196224号公報に開示された技術によると、グロー放電になりやすくなるが装置としての能力は低下するという問題点があった。
本発明は、上述のような問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、大気圧近傍のプラズマプロセス装置において、通常であればストリーマ状の放電となるガス組成においても放電をグロー状にすることができ、金属配線を有する被処理物においてもダメージを与えることなく、処理能力を高められるプラズマプロセス装置を提供することである。
上記の課題を解決するために、この発明のある局面に従うと、プロセスガスとして少なくともHeとN2を含むガスを用い、大気圧または大気圧近傍の圧力下で生成されるプラズマに基づいて被処理物を処理するプラズマプロセス装置が提供される。このプラズマプロセス装置は、一対の電極と、一対の電極間にプラズマを励起するために、各電極に電圧を印加する電源とを備える。電源の周波数fはf≧100kHzである。
好ましくは、全プロセスガス流量に対するHe流量比率Dは、D≦80%である。
好ましくは、電源の周波数fは、300kHz≧f≧100kHzである。
好ましくは、電源の周波数fは、300kHz≧f≧100kHzである。
好ましくは、プロセスガスは、O2と、フッ素系のガスと、塩素系のガスとのいずれかをさらに含む。
本発明によれば、大気圧近傍のプラズマプロセス装置において、通常であればストリーマ状の放電となるガス組成においても放電をグロー状とでき、金属配線を有する被処理物を処理する場合においてもダメージを与えることなく、処理能力を高められるプラズマプロセス装置を提供することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。
図1から図5を参照して、本発明の実施の形態に係るプラズマプロセス装置100について説明する。プラズマプロセス装置100は、被処理基板の主表面に対してプラズマ処理を行なう。被処理基板の一例は液晶テレビを構成するガラス基板であるが、当該プラズマプロセス装置による処理の対象は、ガラス基板に限られず、他の基板に対しても適用することができる。
図1は、本発明の実施の形態に係るプラズマプロセス装置100の電極部の断面の概略を表わす図である。プラズマプロセス装置100は、マッチングボックス2と、一対の電極部6と、電源11,12とを備える。電源11,12の周波数は、たとえば、200kHzである。電極部6は、1対の対向した電極3と、誘電体41,42とを含む。電極3のうち少なくとも電極と対向する側が誘電体41で覆われている。誘電体41と誘電体42とは、プロセスガスの導入路40を形成している。1対の電極3の各電極には、マッチングボックス2を介して電源11,12が接続されている。電源11と電源12とは、高周波を発振する電源であり、互いの位相が180°異なるように構成されている。電源11,12が高周波を発振すると、1対の電極3の間には、片側の電源の電圧振幅の2倍の電圧振幅の電圧が印加される構成となっている。
次に、図2を参照して、プラズマプロセス装置100の動作について説明する。図2は、プラズマプロセス装置100の構成を断面方向から表わす図である。本実施の形態では、被処理物が搬送コロにより搬送される場合について説明する。
ある局面において、たとえば、ガラス基板上に金属電極等の配線パターンが形成された被処理物5は、搬送コロ10によりプラズマプロセス装置100の筐体9の内部に搬送される。プラズマプロセス装置100は、図1に示される構成に加えて、複数対の電極部6と、電極部6の両側に設置された複数の排気部7と、出入り口付近に設置された複数のガスカーテン部8と、電極部6および排気部7およびガスカーテン部8を覆う筐体9とを備える。なお、排気部7およびガスカーテン部8の各構成は、プロセスガスの条件、搬送装置の構成、搬送速度あるいは出入り口の大きさなどに応じて変わるため、必要に応じて、プラズマプロセス装置100に設置される。
次にプラズマプロセス装置100の動作について説明する。排気部7は電極部6の近傍に配置されて電極部6の被処理物通路の付近にあるガスを排気する。ガスカーテン部8は、被処理物5の出入り口付近に配置されている。ガスカーテン部8は、筐体9の外部からの外気の混入を低減する。ガスカーテン部8は、筐体9の外部に向けてガスを吹き出すように構成されている。電極部6の導入路40にプロセスガスを導入することにより、電極3の対向部付近の被処理物5の通路の雰囲気は、概略プロセスガスの雰囲気になるように構成されている。通常は、放電開始の数秒〜数10秒程度前からプロセスガスが導入され、電極3の間に滞留したガスが置換され、概略プロセスガスの雰囲気が維持されるように構成されている。
搬送装置(図示しない)は、被処理物5を筐体9の外部から内部に順次搬送する。プラズマプロセス装置100のコントローラ(図示しない)が、被処理物5の位置等に応じて、電源11,12のスイッチをオンに切り替えると、電源11,12は、被処理物5の位置等に応じた電力を各電極3に供給し、電極3の間にプラズマを発生させる。搬送装置は、コントローラからの搬送指令に基づいて、被処理物5を電極3間に搬送し、被処理物5の先頭部分からプラズマ処理が順次行なわれる。搬送装置は、プラズマ処理が行なわれた部分(各電極3間を通過した部分)から筐体9の外部に被処理物5を順次搬送し、被処理物5の後端がプラズマ処理されると、当該コントローラは、電源11,12をオフに切り替える。被処理物5の全体が筐体9の外部に搬出されると、プラズマ処理が完了する。
本実施の形態では、プラズマ処理する電極3の搬送方向の長さや筐体9の搬送方向の長さよりも被処理物5が大きい場合について説明されている。しかしながら、本発明の適用はこのような場合に限られるものではない。すなわち、被処理物5が電極3の搬送方向の長さあるいは筐体9の搬送方向の長さより小さい場合においても、搬送装置が筐体9の内部に被処理物5を搬送し、コントローラが、被処理物5の位置に応じて電源11,12のオン/オフを切り替えてプラズマ処理を行い、搬送装置は、被処理物5を筐体9の外部に搬送することができる。このような態様であっても、通常であればストリーマ状の放電となるガス組成においても放電をグロー状とでき、金属配線を有する被処理物を処理する場合においてもダメージを与えることなく、処理能力を高めることができる。
本実施の形態のプラズマプロセス装置100において、電極間の空間ギャップを4mmに構成し、プロセスガスの組成比率として、He=68.6%、N2=31.0%、O2=0.4%とした。上記のガス組成によると、後述の比較例に示すように、電源の周波数が10kHz〜数10kHzの場合には、放電がストリーマ状となり、金属配線のある被処理物を処理した場合に配線付近の絶縁物を破壊してしまう場合があった。しかしながら、本発明の実施の形態に係るプラズマプロセス装置100において、電源11,12の周波数を100kHz以上とすることにより、放電をグロー状態とし、その結果、金属配線があるような被処理物5に対してもダメージを与えることなくプラズマ処理を実現することができた。また、電源11,12の周波数を100kHz以上300kHz以下にすることにより、プラズマプロセス装置100は、被処理物5にダメージを与えることなく、かつ、処理能力を下げることなく、プラズマ処理を実現することができた。上記のようにプラズマプロセス装置100を構成することにより金属配線があるような被処理物5に対してダメージが無く処理ができた理由としては、たとえば、以下の比較例の結果から説明できる。
(比較例)
そこで、図3〜図5を参照して、プラズマプロセス装置100における条件によるプラズマ処理の結果の相違について説明する。図3は、プラズマプロセス装置100の電極部6において電圧および電流波形を計測した際の回路構成を表わす図である。図4は、条件1〜4として行なった実験について、ガス流量比(組成比)と被処理物5に対するダメージの有無との関係を表わす図である。図5は、プラズマプロセス装置100において周波数28kHzの正弦波形の電圧を印加した場合の電流の波形を表わす図である。
そこで、図3〜図5を参照して、プラズマプロセス装置100における条件によるプラズマ処理の結果の相違について説明する。図3は、プラズマプロセス装置100の電極部6において電圧および電流波形を計測した際の回路構成を表わす図である。図4は、条件1〜4として行なった実験について、ガス流量比(組成比)と被処理物5に対するダメージの有無との関係を表わす図である。図5は、プラズマプロセス装置100において周波数28kHzの正弦波形の電圧を印加した場合の電流の波形を表わす図である。
より詳しくは、実験時の電源11,12の周波数は、28kHzである。プロセスガスとして、HeとN2とO2とからなる混合ガスを用いた。そのうち、HeとN2のガス組成を変化させて、図4に示される4つの条件1〜条件4で放電を行ない、図3に示される回路構成における電圧と電流の計測を行なった。電圧波形(図示しない)は、周波数28kHzの正弦波である。
プラズマプロセス装置300は、プラズマプロセス装置100が備える構成に加えて、高圧プローブ101,102と、電流プローブ111,112とを備える。
しかしながら、このときの電流波形は図5に示すように、正弦波形状が概略三角波形状に歪んだ形状となっていた。図5の波形をさらに詳細に解析すると、歪の形状も図4の条件により形状が異なっていた。より具体的には、He比率が高い条件4は、グロー放電の条件を示している。電流の波形は、最大値付近で窪み(凹部510,512,514,516)のある形状となっており、電圧値が最大のときに電流値が最大となっていない。すなわち、電流の波形は、電圧の波形(正弦波形)とは異なり、高周波成分を含んだ上下動する波形となっている。
一方、He比率が低い条件2、条件3の場合には、放電がストリーマ放電になるが、電流の波形については、電圧値が最大値であるときに、電流値が最大値となる形状である。したがって、上記の結果から、条件による電流の波形の違いは放電の状態(グロー放電、ストリーマー放電)に対応していると考えられる。He比率が高い場合については、電源11,12の周波数とは異なり、高周波成分が含まれる波形となる。条件4の場合や他の実験結果から、He比率が80%以上の条件でグロー放電となっており、電流の波形の高調波の周期を求めると、100kHz〜300kHzの範囲となる。自然に放電時間が長時間持続しないようになっていることが確認された。
上記の比較例の結果から、He比率の低いガス条件では、放電時間が自然に長時間持続するために被処理物にダメージを与えてしまうと考えられる。そこで、意図的にグロー放電を実現するために電圧の周波数を100kHz以上とすることにより、電流の周期も100kHz以上とすることができ、グロー状の放電を得ることができ、その結果、被処理物5へのダメージがなくなったと考えられる。また、周波数をさらに上げて300kHz以上にすると、処理能力が低下するため、電源の周波数としては100kHz以上300kHz以下がより望ましい。処理能力の低下の原因の1つとしては、放電持続時間が短くなりすぎることが考えられる。
以上のようにして、本発明の実施の形態に係るプラズマプロセス装置100によると、通常であればストリーマ状の放電となるガス組成においても放電をグロー状にすることができる。これにより、金属配線を有する被処理物5を処理する場合においてもダメージを与えることなく、処理能力を高められるプラズマプロセス装置を提供することができる。
なお、上記の実施の形態では、2つの電源11,12を用いて2つの電極に同じ電圧で位相を180°ずらして印加する場合について記載している。しかしながら、電圧の印加の態様は、上述のものに限られない。たとえば、電極間の電圧が所望の電圧であれば、2つの電源11,12の電圧をそれぞれ異ならせて(非平衡にして)印加してもよい。あるいは、電極10,11のいずれか一方を接地電位(0v)として、もう一方の電極にのみ所望の電圧を印加する構成にしても同様の効果が得られる。
上記の実施の形態では、ガスとしてHeとN2とO2の混合ガスを使用したが、プロセスガスの組成は上記のものに限られない。たとえば、被処理物5の材料組成に応じて、あるいは、アッシング処理、エッチング処理その他の処理の目的に応じて、O2の代わりにCF4、SF6、Cl2、BCl3などのフッ素系のガス、塩素系のガス等を混合して用いてもよい。この場合も、上記の混合ガスと同様に、被処理物5にダメージを与えることなくプラズマ処理することができた。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
2 マッチングボックス、3 電極、5 被処理物、6 電極部、7 排気部、8 ガスカーテン部、9 筐体、10 搬送コロ、11,12 電源、40 導入路、41,42 誘電体、101,102 高圧プローブ、111,112 電流プローブ、100 プラズマプロセス装置。
Claims (4)
- プロセスガスとして少なくともHeとN2を含むガスを用い、大気圧または大気圧近傍の圧力下で生成されるプラズマに基づいて被処理物を処理するプラズマプロセス装置であって、
一対の電極と、
前記一対の電極間にプラズマを励起するために、各前記電極に電圧を印加する電源とを備え、
前記電源の周波数fはf≧100kHzである、プラズマプロセス装置。 - 全プロセスガス流量に対するHe流量比率Dは、D≦80%である、請求項1に記載のプラズマプロセス装置。
- 前記電源の周波数fは、300kHz≧f≧100kHzである、請求項1または2に記載のプラズマプロセス装置。
- 前記プロセスガスは、O2と、フッ素系のガスと、塩素系のガスとのいずれかをさらに含む、請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマプロセス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007230007A JP2009064618A (ja) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | プラズマプロセス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007230007A JP2009064618A (ja) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | プラズマプロセス装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009064618A true JP2009064618A (ja) | 2009-03-26 |
Family
ID=40559034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007230007A Withdrawn JP2009064618A (ja) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | プラズマプロセス装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009064618A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101755525B1 (ko) * | 2015-10-26 | 2017-07-10 | 한국과학기술원 | 이중 주파수 전원 공급기 및 이를 이용한 대기압 플라즈마 발생 장치, 그 방법 |
WO2018055776A1 (ja) * | 2016-09-26 | 2018-03-29 | 富士機械製造株式会社 | プラズマ用電源装置、プラズマ装置、およびプラズマ発生方法 |
JP2019164947A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 株式会社Fuji | プラズマ装置用電源装置 |
JP2020145038A (ja) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 日本電産株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP2020194971A (ja) * | 2016-02-26 | 2020-12-03 | 国立大学法人大阪大学 | プラズマ処理装置 |
-
2007
- 2007-09-05 JP JP2007230007A patent/JP2009064618A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101755525B1 (ko) * | 2015-10-26 | 2017-07-10 | 한국과학기술원 | 이중 주파수 전원 공급기 및 이를 이용한 대기압 플라즈마 발생 장치, 그 방법 |
JP2020194971A (ja) * | 2016-02-26 | 2020-12-03 | 国立大学法人大阪大学 | プラズマ処理装置 |
WO2018055776A1 (ja) * | 2016-09-26 | 2018-03-29 | 富士機械製造株式会社 | プラズマ用電源装置、プラズマ装置、およびプラズマ発生方法 |
JPWO2018055776A1 (ja) * | 2016-09-26 | 2019-07-04 | 株式会社Fuji | プラズマ用電源装置、プラズマ装置、およびプラズマ発生方法 |
JP2019164947A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 株式会社Fuji | プラズマ装置用電源装置 |
JP7042124B2 (ja) | 2018-03-20 | 2022-03-25 | 株式会社Fuji | プラズマ装置用電源装置 |
JP2020145038A (ja) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 日本電産株式会社 | プラズマ処理装置 |
CN111669885A (zh) * | 2019-03-05 | 2020-09-15 | 日本电产株式会社 | 等离子体处理装置 |
JP7059969B2 (ja) | 2019-03-05 | 2022-04-26 | 日本電産株式会社 | プラズマ処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109417028B (zh) | 使用材料改性及rf脉冲的选择性蚀刻 | |
TWI552223B (zh) | 電漿處理裝置 | |
TW299560B (ja) | ||
JP2003303814A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2006302625A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2009064618A (ja) | プラズマプロセス装置 | |
JP2004103423A (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | |
JP4379376B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2006252819A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR101254902B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 | |
TW201724164A (zh) | 等離子體處理裝置及其清洗方法 | |
JP2006196224A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR101458411B1 (ko) | 분말 플라즈마 처리 장치 | |
JP2006318762A (ja) | プラズマプロセス装置 | |
JP3955835B2 (ja) | プラズマ表面処理装置とその処理方法 | |
JP2005097018A (ja) | 難帯電ガラス基板の製法およびそれによって得られた難帯電ガラス基板 | |
CN113035677A (zh) | 等离子体处理设备以及等离子体处理方法 | |
JP2004235105A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2004134716A (ja) | 2電源方式プラズマ発生装置 | |
JP2007128910A (ja) | プラズマ表面処理方法 | |
KR101755525B1 (ko) | 이중 주파수 전원 공급기 및 이를 이용한 대기압 플라즈마 발생 장치, 그 방법 | |
KR100572848B1 (ko) | 이그나이터가 구비된 대기압 플라즈마 발생장치 | |
JP3687474B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2003154256A (ja) | 放電プラズマ処理装置及びそれを用いた放電プラズマ処理方法 | |
JP2012033457A (ja) | プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20101207 |