JP2009062213A - クロロシラン類の精製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】硼素不純物及び燐不純物を含有するクロロシラン類を、芳香族アルデヒドの存在下で酸素(O2)を導入して処理して上記不純物を同時に高沸点化合物に転化させ、当該処理後のクロロシラン類を蒸留等して硼素及び燐の高沸点化合物とクロロシラン類とを分離することとした。上記処理で生成する高沸点化合物は、生成後に受ける熱によって低沸点化合物に分解することがないため、蒸留等の処理によって容易にクロロシラン類と分離することが可能である。このため、単一のプロセスによる硼素不純物と燐不純物の除去が可能となる。
【選択図】図1
Description
102、102A、102B 蒸留器
Claims (11)
- 硼素不純物と燐不純物を含有するクロロシラン類を芳香族アルデヒドの存在下で酸素と反応させて前記硼素不純物及び燐不純物を高沸点化合物に転化させる工程Aと、前記硼素及び燐の高沸点化合物とクロロシラン類とを分離する工程Bとを備えていることを特徴とするクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Aにおける反応を0℃以上150℃以下の温度で実行する請求項1に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Aにおける酸素の供給源として空気を用いる請求項1又は2に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Aにおける酸素の供給は、酸素含有ガスを不活性ガスで希釈した混合ガスにより実行される請求項1乃至3の何れか1項に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記混合ガス中の酸素濃度が0.1体積%以上4体積%以下である請求項4に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Aにおける酸素の供給量([O])は、前記クロロシラン類中に含有される燐不純物量([P])に対し、モル比で1以上([O]/[P]≧1)である請求項1乃至5の何れか1項に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記芳香族アルデヒドは、ベンズアルデヒド誘導体である請求項1乃至6の何れか1項に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記ベンズアルデヒド誘導体は、ベンズアルデヒドである請求項7に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Bで分離して得られたクロロシラン類を前記工程Aに循環させる工程を更に備えている請求項1乃至8の何れか1項に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Bで分離して得られたクロロシラン類からトリクロロシランを分離する工程Cを更に備えている請求項1乃至8の何れか1項に記載のクロロシラン類の精製方法。
- 前記工程Cで分離して得られたトリクロロシランを前記工程Aに循環させる工程を更に備えている請求項10に記載のクロロシラン類の精製方法。
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