JP2009061542A - 基板搬送用ロボット及びそれを備えた基板搬送装置、半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板搬送用ロボットのコントローラが、複数の教示位置が教示された際、教示位置の各々に対するアクセス待機位置11を生成し、アクセス待機位置11から基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢12までの複数の経路を生成して記憶する。。
【選択図】図3
Description
従来の基板搬送用ロボットでは予め教示された教示位置から他の教示位置(目的位置)に対して移動させる際、その教示位置と、経由点に関する情報と、最小旋回姿勢の情報と、を元に、それらを結んだ軌跡を目的位置までの搬送経路として生成していた。つまり、位置の教示を基板の収納容器又は基板の処理装置など、基板搬送ロボットが基板を搬送する位置に対して各々実施し、ある位置からある目的位置までの上記搬送経路を1経路生成し、この搬送経路を用いて、収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間での基板搬送が実施されていた。
また、基板搬送用ロボットのある位置と任意の目的位置において、上記搬送経路が最短時間で動作する搬送経路ではないことがあり、1つの搬送経路だけでは、基板搬送時間を短縮するのに不十分であった。
請求項1に記載の発明は、基板を保持する基板把持部と、前記基板把持部を先端に有し、水平面において回動自在な複数のアームと、を備え、予め教示された複数の教示位置の間で前記基板を搬送する基板搬送ロボットにおいて、前記基板搬送用ロボットのコントローラが、前記複数の教示位置が教示された際、前記教示位置の各々に対するアクセス待機位置を生成し、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの複数の経路を生成して記憶する基板用搬送ロボットとした。。
また、請求項2に記載の発明は、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板搬送用ロボットの旋回中心から前記基板把持部の回転中心までを結んだ直線のベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路である請求項1記載の基板搬送用ロボットとした。
また、請求項3に記載の発明は、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端へのベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路である請求項1記載の基板搬送用ロボットとした。
また、請求項4に記載の発明は、請求項1記載の基板搬送用ロボットにおいて、前記複数の教示位置のうち、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端までのベクトルが平行となる第一の教示位置から第二の教示位置まで搬送するよう指定されると、前記第一の教示位置のアクセス待機位置から前記第二の教示位置のアクセス待機位置まで、前記基板が直線搬送可能かどうかを判断し、前記判断において可能と判断されれば、前記直線搬送の経路を前記第一の教示位置から前記第二の教示位置までの搬送経路としてさらに記憶する基板搬送用ロボットとした。
また、請求項5に記載の発明は、前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間を算出する請求項1記載の基板搬送用ロボットとした。
また、請求項6に記載の発明は、前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間を比較し、最短の搬送時間となる前記経路を選択する請求項5記載の基板搬送用ロボットとした。
また、請求項7に記載の発明は、前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間と、前記直線搬送の経路の搬送時間とを算出する請求項4記載の基板搬送用ロボットとした。
また、請求項8に記載の発明は、前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間と前記直線搬送の経路の搬送時間とを含めてこれらの搬送時間を比較し、最短の搬送時間となる前記経路を選択する請求項7記載の基板搬送用ロボットとした。
また、請求項9に記載の発明は、請求項1乃至8いずれかに記載の基板搬送用ロボットと、前記基板を収納する少なくとも2つの基板収納容器と、を備え、前記基板収納容器の間で前記基板を移送する基板搬送装置とした。
また、請求項10に記載の発明は、請求項1乃至8いずれかに記載の基板搬送用ロボットを備えた半導体製造装置とした。
また、請求項4に記載の発明によると、基板把持部の姿勢が同一となる、第一の教示位置から第二の教示位置までの搬送プログラムが指定された際、最小旋回姿勢を経ることなく直線的にこれらのアクセス待機位置間で基板を移送できることが確認できれば、これをさらに搬送経路として記憶するので、経路の選択肢を増やすことができる。
また、請求項5乃至8に記載の発明によると、上記で生成した搬送経路の各々の搬送時間を算出し、これらを比較する機能を有しているので、搬送時間が最短となる搬送経路を選択することができる。
また、請求項9乃至10に記載の発明によると、基板搬送装置として或いは半導体製造装置として、基板搬送におけるスループットを向上させることができる。
そして、基板搬送ロボット1は図示しないコントローラと接続されており、これに予め記憶された教示位置から生成する搬送経路を再生しながら基板Wを目的位置に搬送する。
基板搬送用ロボット1は装置7の略中央に位置し、2つの基板の収納容器8a、8b、又は基板の処理装置9へ基板把持部6をアクセスさせて基板Wの授受動作を実施する。
アクセス待機位置11は、教示位置10から生成される位置であって、基板搬送用ロボット1が基板Wを収納容器8aに収納開始できる直前の位置に相当し、この位置からまっすぐ収納容器8aに対して基板Wを挿入することができる位置である。アクセス待機位置11は図3及び図4で同一位置であり、基板搬送用ロボット1の各アーム4、5と基板把持部6がなす姿勢も同一である。なお、ここでは収納容器8aに対するアクセス待機位置11を説明しているが、図2の処理装置9を含め、基板Wを授受するよう教示された位置に対するアクセス待機位置も存在する。アクセス待機位置は、教示位置に対して把持部や基板が干渉しない位置で、基板Wを授受できる直前の位置である。
原点位置13は、ここでは各アーム4、5と基板把持部6とが最小旋回姿勢をなし、かつ基板把持部6の先端が図の左方向を向いた状態を示す。最小旋回姿勢とは各アーム4、5と基板把持部6とがなす姿勢を旋回中心3を中心に回転させたとき、その平面的に要する旋回半径が最も小さくなる姿勢を指している。
図3及び図4に示すように、収納容器8aへの基板授受位置として教示位置10を教示すると、ロボット1の図示しないコントローラは、上記アクセス待機位置11の生成と同時に、収納容器8aから最小旋回姿勢となるまでの複数の安全な搬送経路も生成する。安全な搬送経路とは、収納容器8aにアクセスする際に、収納容器8aに基板把持部6及び半導体ウェハWが接触しないような搬送経路のことを指す。
すなわち、この時、経由点であるアクセス待機位置11から最小旋回姿勢までの搬送経路として、次の2つの経路をコントローラが生成する。
1つは、図3で示したように、アクセス待機位置11から、基板搬送用ロボット1の旋回中心3から基板把持部6の回転中心までを結んだ直線のベクトル方向を保ったまま最小旋回姿勢(最小旋回A姿勢12と呼ぶ)へと移動する経路である。
もう1つは、図4で示したように、アクセス待機位置11から、基板把持部6の回転中心からその先端へのベクトル方向を保ったまま最小旋回姿勢(最小旋回B姿勢14と呼ぶ)へと移動する経路である。
これら2つの経路は、教示位置10と、経由点(アクセス待機位置11)に関する情報は同じであるが、アクセス待機位置11から最小旋回姿勢へと移動する移動経路が異なっている。
以上で説明した複数搬送経路生成は、図2における処理装置9を教示した場合でも、収納容器8bを教示した場合でも上記と同様に、各教示位置ごとにアクセス待機位置を生成し、このアクセス待機位置から最小旋回姿勢へと移動する複数の搬送経路を生成する。
なお、当然ながら、教示位置によっては複数の搬送経路が生成されない場合もある。
また、実際には、教示位置ごとに対するパラメータによって、各教示位置で複数の搬送経路生成の許可、不許可を指定できるようにしてもよい。これにより、後述する最短経路の選択の際、に選択可能な経路を制限できる。
図5は、収納容器8aから別の収納容器8bへの搬送経路を示した図である。図のように収納容器8aと8bは基板搬送ロボット1の旋回中心3に対して同じ側に並んで配置されており、基板搬送ロボット1は、これらにアクセスするとき、基板把持部6の回転中心からその先端までのベクトルは互いに平行となる。つまり、これらのアクセス待機位置における基板把持部6の向きは同一となる。このような収納容器8a、8bに対し、コントローラへのプログラミングによって、収納容器8aから8bへロボットが移動するように指定すると、コントローラは、まず当然ながら図3或いは図4で示した最小旋回A又はB姿勢を経る搬送経路を選択することが可能である。すなわち、図5のような搬送経路である。図5の場合は、図4で示した搬送経路を含むように選択され、最小旋回B姿勢14を経て、収納容器8bまで到達するまでの経路が示されている。なお、図3で示した搬送経路を含むような経路は、最小旋回A姿勢12を経て、その後最小旋回B姿勢14となるように旋回する必要があるので、この場合は図4の搬送経路が選択されている。
しかし、この図5を見ると、アクセス待機位置11から最小旋回B姿勢14を経由せずに目的位置(収納容器8b)のアクセス待機位置15へ直接移動した方が移動距離を短縮できることがわかる。このように、安全な搬送経路が確保できるのであれば、コントローラは、収納容器8aのアクセス待機位置11から目的位置である収納容器8bのアクセス待機位置15へ直接移動する事を許可し、その搬送経路を新たな搬送経路として生成する。この搬送経路を示すのが図6である。図6では図5のように最小旋回A姿勢12を経ることなく、基板把持部6の回転中心からその先端へのベクトル方向を保ったままアクセス待機位置11から目的位置のアクセス待機位置15へ移動する搬送経路を選択している。
最短経路自動選択は、ある位置から目的位置への搬送時間が最短となる搬送経路を選択する機能である。教示位置から最小旋回姿勢までの複数の搬送経路は、上記のように収納容器8a、8b及び処理装置9などの各教示位置を教示した時点で生成されている。そのため、図3、図4に記載されている教示位置10から、ここでは例えば目的位置として原点位置13へ動作する搬送経路において、教示位置10からアクセス待機位置11への移動時間と、アクセス待機位置11から最小旋回A又はB姿勢12、14への移動時間と、最小旋回A又はB姿勢12、14から原点位置13への移動時間と、を、コントローラは事前に算出することができる。これら各区間の移動時間の合算から、それぞれの搬送経路による目的位置までの搬送時間が算出でき、その搬送時間の比較判断より、最短経路を選択する。図3、図4の搬送経路のどちらが最短であるかは、その時の基盤搬送用ロボット1の各アーム4、5及び基板把持部6の回転動作速度や各区間における動作量によって異なるために、ロボットの実動作の際に、ある教示位置から目的位置へ移動する都度、移動時間を算出して、比較判断を実施する。
また前記の搬送経路(最小旋回姿勢を経ない図6で示す搬送経路)も、最短経路自動選択の候補経路に含まれ、比較判断の結果、図6で示す搬送経路が最短時間の搬送経路であると判断されれば、図6に示すような搬送経路を動作することになる。
2.支柱部
3.中心軸
4.第1アーム
5.第2アーム
6.ウェハ把持部
7.装置
8.収容容器
9.処理装置
10.教示位置
11.アクセス待機位置
12.最小旋回A姿勢
13.原点位置
14.最小旋回B姿勢
15.アクセス待機位置
Claims (10)
- 基板を保持する基板把持部と、前記基板把持部を先端に有し、水平面において回動自在な複数のアームと、を備え、予め教示された複数の教示位置の間で前記基板を搬送する基板搬送ロボットにおいて、
前記基板搬送用ロボットのコントローラが、
前記複数の教示位置が教示された際、前記教示位置の各々に対するアクセス待機位置を生成し、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの複数の経路を生成して記憶することを特徴とする基板用搬送ロボット。 - 前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板搬送用ロボットの旋回中心から前記基板把持部の回転中心までを結んだ直線のベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路であることを特徴とする請求項1記載の基板搬送用ロボット。
- 前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端へのベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路であることを特徴とする請求項1記載の基板搬送用ロボット。
- 請求項1記載の基板搬送用ロボットにおいて、
前記複数の教示位置のうち、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端までのベクトルが平行となる第一の教示位置から第二の教示位置まで搬送するよう指定されると、前記第一の教示位置のアクセス待機位置から前記第二の教示位置のアクセス待機位置まで、前記基板が直線搬送可能かどうかを判断し、
前記判断において可能と判断されれば、前記直線搬送の経路を前記第一の教示位置から前記第二の教示位置までの搬送経路としてさらに記憶することを特徴とする基板搬送用ロボット。 - 前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間を算出することを特徴とする請求項1記載の基板搬送用ロボット。
- 前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間を比較し、最短の搬送時間となる前記経路を選択することを特徴とする請求項5記載の基板搬送用ロボット。
- 前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間と、前記直線搬送の経路の搬送時間とを算出することを特徴とする請求項4記載の基板搬送用ロボット。
- 前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間と前記直線搬送の経路の搬送時間とを含めてこれらの搬送時間を比較し、最短の搬送時間となる前記経路を選択することを特徴とする請求項7記載の基板搬送用ロボット。
- 請求項1乃至8いずれかに記載の基板搬送用ロボットと、前記基板を収納する少なくとも2つの基板収納容器と、を備え、前記基板収納容器の間で前記基板を移送することを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1乃至8いずれかに記載の基板搬送用ロボットを備えたことを特徴とする半導体製造装置。
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