JP2009060259A - 容量型センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】振動部における応力を緩和でき、振動部と背極板との間に生じ得る寄生容量を低減でき、低周波の音に対する感度を充分に確保でき、耐落下衝撃性能が確保できる容量型センサを提供する。
【解決手段】一部分が振動部4aとして機能し、他の部分が当該振動部4aを取り囲む非振動部4bとして機能する基材と、振動部4aと対面する形態で、基材と所定の間隔をおいて配置される背極板6と、振動部4aと非振動部4bとの間の境界12付近の非振動部4b側の複数箇所に配置されて、背極板6と基材との間の所定の間隔を保持するスペーサ5とを備える容量型センサSであって、振動部4aの、境界12を挟んでスペーサ5と対向する位置に、貫通孔9又は窪み14を複数個、或いは、当該貫通孔9及び当該窪み14を組み合わせて境界12に沿った方向に並べた肉抜部Nを設けてある。
【選択図】図1
【解決手段】一部分が振動部4aとして機能し、他の部分が当該振動部4aを取り囲む非振動部4bとして機能する基材と、振動部4aと対面する形態で、基材と所定の間隔をおいて配置される背極板6と、振動部4aと非振動部4bとの間の境界12付近の非振動部4b側の複数箇所に配置されて、背極板6と基材との間の所定の間隔を保持するスペーサ5とを備える容量型センサSであって、振動部4aの、境界12を挟んでスペーサ5と対向する位置に、貫通孔9又は窪み14を複数個、或いは、当該貫通孔9及び当該窪み14を組み合わせて境界12に沿った方向に並べた肉抜部Nを設けてある。
【選択図】図1
Description
本発明は、一部分が、平板状の振動部として機能し、他の部分が、当該振動部を取り囲む非振動部として機能する基材と、前記振動部と対面する形態で、前記基材と所定の間隔をおいて対向配置される背極板と、前記振動部と前記基材との間の所定の間隔を保持するために、前記振動部と前記非振動部との境界付近の前記非振動部側の複数箇所に配置されるスペーサとを備える容量型センサに関する。
一部分が、平板状の振動部として機能し、他の部分が、当該振動部を取り囲む非振動部として機能する基材と、前記振動部と対面する形態で、前記基材と所定の間隔をおいて対向配置される背極板とでコンデンサを形成した容量型センサがある。このような容量型センサでは、前記振動部と前記基材との間の所定の間隔を保持するために、前記振動部と前記非振動部との境界付近の前記非振動部側の複数箇所に配置されるスペーサが設けられている。そして、振動部の振動(つまり、変位)によって振動部と背極板との間隔が変化すると、その変化に応じたコンデンサの静電容量の変化が出力される。振動部は音響(音圧)や振動によって変位するので、この容量型センサを用いて音響センサ(コンデンサ型マイクロホン)や振動センサを実現できる。特に、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いることで、携帯電話などの小型の電気機器で用いるための非常に小型の容量型センサを作製することもできる。
特許文献1には、振動部と非振動部との間の境界付近の振動部側に、境界に沿った方向のスリットが設けられた容量型センサが記載されている。図9は、特許文献1に記載の容量型センサ100の上面図である。図9に示すように、特許文献1に記載の容量型センサ100は、平板状の振動部101、及び、その振動部101の周囲を取り囲む非振動部102と、前記振動部101と所定の間隔をおいて対向配置される背極板104とを備える。そして、振動部101と導通するように設けられた振動部用端子101aと、背極板104上に設けられた背極用端子104aとの間の電位差変化に基づいて、背極板104と振動部101との間の静電容量変化を導出し、容量型センサに加わった音響や振動などを測定できる。
更に、特許文献1に記載の容量型センサでは、振動部101はほぼ矩形に形成されているものの、振動部101の各辺にはスリット103が設けられている。よって、振動部101と非振動部102とは、振動部101の各コーナー部分のみで互いに連結されている。つまり、特許文献1に記載の容量型センサ100では、振動部101の各コーナー部分で弾力性を発揮させた状態で、他の部分にスリット103を形成して振動部101と非振動部102とを分離することで、振動部101が振動しやすいようになる。
特許文献1に記載の容量型センサでは、スリットを設けたことで、振動部と非振動部とが全て連結されている場合に比べて振動部における応力を緩和することができる。また、振動部とスペーサ上の背極板との間に生じる寄生容量の低減も可能である。
しかし、スリットの面積が大きいため、低周波の音に対する感度が充分に確保できない。更に、振動部は、4カ所のコーナー部分でのみ支持されるため、耐落下衝撃性能が低くなる。
しかし、スリットの面積が大きいため、低周波の音に対する感度が充分に確保できない。更に、振動部は、4カ所のコーナー部分でのみ支持されるため、耐落下衝撃性能が低くなる。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、振動部における応力を緩和でき、振動部と背極板との間に生じ得る寄生容量を低減でき、低周波の音に対する感度を充分に確保でき、耐落下衝撃性能が確保できる容量型センサを提供する点にある。
上記目的を達成するための本発明に係る容量型センサの特徴構成は、一部分が振動部として機能し、他の部分が当該振動部を取り囲む非振動部として機能する基材と、前記振動部と対面する形態で、前記基材と所定の間隔をおいて配置される背極板と、前記振動部と前記非振動部との間の境界付近の前記非振動部側の複数箇所に配置されて、前記背極板と前記基材との間の所定の間隔を保持するスペーサとを備える容量型センサであって、
前記振動部の、前記境界を挟んで前記スペーサと対向する位置に、貫通孔又は窪みを複数個、或いは、当該貫通孔及び当該窪みを組み合わせて前記境界に沿った方向に並べた肉抜部を設けてある点にある。
前記振動部の、前記境界を挟んで前記スペーサと対向する位置に、貫通孔又は窪みを複数個、或いは、当該貫通孔及び当該窪みを組み合わせて前記境界に沿った方向に並べた肉抜部を設けてある点にある。
上記特徴構成によれば、スペーサ上の背極板の部分とスペーサと対向する位置の振動部との間には上記肉抜部が設けられているので、それらの間に生じ得る寄生容量を低減できる。また、上記肉抜部を設けたことで、振動部と非振動部とが全て連結されている場合に比べて、振動時に振動部で生じる応力を緩和できる。
また、振動部の、上記境界を挟んでスペーサと対向する位置に設けられる肉抜部が、貫通孔又は窪みを複数個、或いは、当該貫通孔及び当該窪みを組み合わせて構成されることで、振動部と非振動部とが、複数の貫通孔又は窪みの間の梁部分で確実に連結される。よって、この容量型センサが収容された装置が落下した場合でも、振動部が損傷し難くなる。
更に、肉抜部が貫通孔を備えている場合であっても、肉抜部は単一の大きな貫通孔ではなく、複数の分割された小さな貫通孔の組合せで構成されているので、振動部で低周波の音を良好に捕らえることが可能となる。
従って、振動部における応力を緩和でき、振動部と背極板との間に生じ得る寄生容量を低減でき、低周波の音に対する感度を充分に確保でき、且つ、耐落下衝撃性能が確保できる容量型センサを提供できる。
また、振動部の、上記境界を挟んでスペーサと対向する位置に設けられる肉抜部が、貫通孔又は窪みを複数個、或いは、当該貫通孔及び当該窪みを組み合わせて構成されることで、振動部と非振動部とが、複数の貫通孔又は窪みの間の梁部分で確実に連結される。よって、この容量型センサが収容された装置が落下した場合でも、振動部が損傷し難くなる。
更に、肉抜部が貫通孔を備えている場合であっても、肉抜部は単一の大きな貫通孔ではなく、複数の分割された小さな貫通孔の組合せで構成されているので、振動部で低周波の音を良好に捕らえることが可能となる。
従って、振動部における応力を緩和でき、振動部と背極板との間に生じ得る寄生容量を低減でき、低周波の音に対する感度を充分に確保でき、且つ、耐落下衝撃性能が確保できる容量型センサを提供できる。
本発明に係る容量型センサの別の特徴構成は、前記境界に沿った方向の前記肉抜部の長さは、前記境界に沿った方向の前記スペーサの長さ以上である点にある。
上記特徴構成によれば、スペーサ上の背極板の部分とスペーサと対向する位置の振動部との間が、全て肉抜部によって遮られるので、それらの間に生じ得る寄生容量を確実に低減できる。
本発明に係る容量型センサの別の特徴構成は、前記肉抜部は、前記振動部の全周に渡って設けられている点にある。
上記特徴構成によれば、上記肉抜部を設けたことによる振動部の応力緩和の効果、及び、静電容量低減の効果を、振動部の全周に渡って得ることができる。
<第1実施形態>
以下に図面を参照して第1実施形態の容量型センサSについて説明する。図1は、第1実施形態の容量型センサSの上面図であり、図2は、図1の容量型センサSの線分II-IIにおける断面図である。図3は、容量型センサSを構成する基材の上面図である。
図1〜図3に示すように、容量型センサSは、一部分が振動部4aとして機能し、他の部分が当該振動部4aを取り囲む非振動部4bとして機能する基材1と、前記振動部4aと対面する形態で、前記基材1と所定の間隔をおいて配置される背極板6と、前記振動部4aと前記非振動部4bとの境界12の付近の前記非振動部4b側の複数箇所に配置されて、前記背極板6と前記基材1との間の所定の間隔を保持するスペーサ5とを備える。本実施形態の容量型センサSは、音に応じて振動部4aが振動するようなマイクロホンや、振動に応じて振動部4aが振動するような振動センサとして利用可能である。
以下に図面を参照して第1実施形態の容量型センサSについて説明する。図1は、第1実施形態の容量型センサSの上面図であり、図2は、図1の容量型センサSの線分II-IIにおける断面図である。図3は、容量型センサSを構成する基材の上面図である。
図1〜図3に示すように、容量型センサSは、一部分が振動部4aとして機能し、他の部分が当該振動部4aを取り囲む非振動部4bとして機能する基材1と、前記振動部4aと対面する形態で、前記基材1と所定の間隔をおいて配置される背極板6と、前記振動部4aと前記非振動部4bとの境界12の付近の前記非振動部4b側の複数箇所に配置されて、前記背極板6と前記基材1との間の所定の間隔を保持するスペーサ5とを備える。本実施形態の容量型センサSは、音に応じて振動部4aが振動するようなマイクロホンや、振動に応じて振動部4aが振動するような振動センサとして利用可能である。
基材1は、シリコンで形成された基板2と、シリコンで形成された振動板4との間に絶縁性の酸化膜3が形成された構造である。また、基材1の中央部分には、酸化膜3及び基板2の一部が異方性エッチングにより除去されることでキャビティCが形成されている。よって、キャビティCが形成されている部分の振動板4は、実際に音や振動に応じて振動する振動部4aとして機能する。また、キャビティCが形成されていない部分の振動板4(即ち、基板2、酸化膜3及び振動板4が積層された状態の部分)は、非振動部4bとなる。本実施形態において、振動部4aは正方形である。よって、振動部4aと非振動部4bとの境界12も正方形となる。
背極板6は、絶縁性のスペーサ5を介して上記振動部4aと対面するように形成される。また、背極板6には複数の通気孔7が設けられている。よって、振動部4aの振動時に、背極板6と振動部4aとの間の間隙領域8に存在する空気が背極板6の通気孔7を介して流通しやすくなる、即ち、振動部4aが振動し易くなる。また、この容量型センサSをマイクロホンとして用いる場合、この通気孔7を通過した音波が振動部4aへ良好に到達するようになる。背極板6の上面形状は、振動部4aとは45°相対回転した状態の略正方形である。背極板6は、振動部4aの上方を覆うように配置されているが、背極板6の四隅は非振動部4bの上方にある。背極板6の四隅には矩形の被支持部6aが形成され、スペーサ5を介して非振動部4bに装着される。よって、背極板6の被支持部6aは、振動部4aと非振動部4bとの境界12の付近の非振動部4bの上方に、スペーサ5を介して設けられている。つまり、背極板6が有する4個の被支持部6aは、振動部4aの4辺のそれぞれと向かい合った非振動部4b上に設けられている。
背極板6の被支持部6aの一つには、ボンディングワイヤを接続するための背極用パッド10が形成されている。また、その背極用パッド10の近傍の非振動部4b上にも別のボンディングワイヤを接続するための振動部用パッド11が形成されている。ここで、振動部4aと非振動部4bとは同じ振動板4で形成されているので、互いに同電位である。よって、背極用パッド10と振動部用パッド11との間の静電容量の変化を検出することで、振動部4aの振動状態を知ることができる。
但し、背極板6と振動部4aとはスペーサ5を介して物理的に接続されているので、特に、スペーサ5が間に介在している背極板6の被支持部6aと振動部4aとの間には寄生容量が発生し得る。振動部4aの振動状態を正確に検出するためには、その寄生容量を低減することが必要である。
そこで、本実施形態の容量型センサSでは、振動部4aの、上記境界12を挟んでスペーサ5と対向する位置に、貫通孔9を複数個、上記境界12に沿った方向に並べた肉抜部Nを設けてある。また、貫通孔9の夫々は、上記境界12に沿った方向の長さがスペーサ5の長さよりも短い。本実施形態において、肉抜部Nは、3個の貫通孔9で構成される。図3に示すように、境界12に沿った方向の肉抜部Nの長さ:Bは、境界12に沿った方向のスペーサ5の長さ:A以上である。このように、スペーサ5と振動部4aとの間には、上記肉抜部Nが設けられているので、そのスペーサ5の上方に形成される背極板6の被支持部6aと振動部4aとの間の寄生容量を低減できる。
また、この肉抜部Nを設けたことで、振動部4aにおける応力を緩和できる。よって、振動部4aの振動がスムーズに行われるという利点がある。
更に、肉抜部Nが必要以上に大きく形成されていないため、この容量型センサSをマイクロホンとして用いる場合には、低周波の音に対する感度を充分に確保できる。
また更に、肉抜部Nが、複数個の貫通孔9を組み合わせて構成され、それらの貫通孔9の間には梁部13が設けられているので、振動部4aと非振動部4bとの連結状態が確保される。よって、この容量型センサSが収容された装置が落下した場合であっても、振動部4aが損傷し難くなる。
また、この肉抜部Nを設けたことで、振動部4aにおける応力を緩和できる。よって、振動部4aの振動がスムーズに行われるという利点がある。
更に、肉抜部Nが必要以上に大きく形成されていないため、この容量型センサSをマイクロホンとして用いる場合には、低周波の音に対する感度を充分に確保できる。
また更に、肉抜部Nが、複数個の貫通孔9を組み合わせて構成され、それらの貫通孔9の間には梁部13が設けられているので、振動部4aと非振動部4bとの連結状態が確保される。よって、この容量型センサSが収容された装置が落下した場合であっても、振動部4aが損傷し難くなる。
<第2実施形態>
第2実施形態の容量型センサは、肉抜部の構造が第1実施形態の容量型センサにおける肉抜部と異なっている。以下に、第2実施形態の容量型センサについて説明するが、第1実施形態と同様の構成については説明を省略する。
第2実施形態の容量型センサは、肉抜部の構造が第1実施形態の容量型センサにおける肉抜部と異なっている。以下に、第2実施形態の容量型センサについて説明するが、第1実施形態と同様の構成については説明を省略する。
図4は、第2実施形態の容量型センサSの断面図である。図5は、振動部4aの上面図である。第2実施形態の容量型センサSについても、第1実施形態の容量型センサSと同様に、振動部4aと非振動部4bとの境界12を挟んでスペーサ5と対向する位置の振動部4aに、境界12に沿った方向の長さがスペーサ5よりも長い肉抜部Nが設けられている。但し、本実施形態の肉抜部Nは、上記境界12に沿った方向の長さがスペーサ5の長さよりも短い窪み14を複数個、上記境界12に沿った方向に並べて構成されている。具体的には、第1実施形態で示した貫通孔と同形状の窪み14を、同じく3個並べて振動部4aに形成してある。また、各窪み14の間には、第1実施形態と同様に梁部13が設けられている。尚、ここでは窪み14が振動部4aの上面(背極板6と相対する面)に設けられている例を示しているが、振動板4bの下面に窪み14を設けるように改変してもよい。
以上のように、振動部4aと非振動部4bとの境界12の付近の振動部4aにおいて、スペーサ5と振動部4aとの間には、上記肉抜部Nが設けられているので、そのスペーサ5の上方に形成される背極板6の被支持部6aと振動部4aとの間の寄生容量を低減できる。また、この肉抜部Nを設けたことで、振動部4aが振動する際の応力が緩和される。更に、振動部4aに孔が形成されていない(即ち、肉抜部Nが窪み14で構成されている)ので、この容量型センサSをマイクロホンとして用いる場合には、低周波の音に対する感度を充分に確保できる。また更に、肉抜部Nが、複数個の窪み14を組み合わせて構成され、それらの窪み14の間には梁部13が設けられて強度が確保されているので、振動部4aと非振動部4bとの連結状態が確保される。よって、この容量型センサSが収容された装置が落下した場合であっても、振動部4aが損傷し難くなる。
<別実施形態>
<1>
上記実施形態において、振動部4aと非振動部4bとの境界12に沿った方向の肉抜部Nの長さが、その境界12に沿った方向のスペーサ5の長さ以上であることを説明したが、肉抜部Nを、振動部4aの全周に渡って設けてもよい。図6は、別実施形態の容量型センサSの上面図である。この容量型センサSについても、上記実施形態と同様に、振動部4aと非振動部4bとの境界12を挟んでスペーサ5と対向する位置の振動部4aに肉抜部Nが設けられている。但し、別実施形態の容量型センサSにおいて、肉抜部Nは、スペーサ5と対向する位置だけでなく、振動部4aの全周に渡って設けられている。よって、本別実施形態では、肉抜部Nによって振動部4aと非振動部4bとの連結が、振動部4aの全周に渡って弱まるので、振動部4aが振動するときに振動部4aに生じる応力の緩和効果が向上する。尚、図6には、肉抜部Nが貫通孔9によって形成され、隣り合う2つの貫通孔9の間が梁部13によって形成されている例を示しているが、上記第2実施形態と同様に、肉抜部Nが窪み14によって形成され、隣り合う2つの窪み14の間が梁部13によって形成されていてもよい。
<1>
上記実施形態において、振動部4aと非振動部4bとの境界12に沿った方向の肉抜部Nの長さが、その境界12に沿った方向のスペーサ5の長さ以上であることを説明したが、肉抜部Nを、振動部4aの全周に渡って設けてもよい。図6は、別実施形態の容量型センサSの上面図である。この容量型センサSについても、上記実施形態と同様に、振動部4aと非振動部4bとの境界12を挟んでスペーサ5と対向する位置の振動部4aに肉抜部Nが設けられている。但し、別実施形態の容量型センサSにおいて、肉抜部Nは、スペーサ5と対向する位置だけでなく、振動部4aの全周に渡って設けられている。よって、本別実施形態では、肉抜部Nによって振動部4aと非振動部4bとの連結が、振動部4aの全周に渡って弱まるので、振動部4aが振動するときに振動部4aに生じる応力の緩和効果が向上する。尚、図6には、肉抜部Nが貫通孔9によって形成され、隣り合う2つの貫通孔9の間が梁部13によって形成されている例を示しているが、上記第2実施形態と同様に、肉抜部Nが窪み14によって形成され、隣り合う2つの窪み14の間が梁部13によって形成されていてもよい。
また、肉抜部Nを別の構造に改変してもよい。図7及び図8は、別実施形態の容量型センサSの振動部4aの一部分の上面図である。この容量型センサSでも、図6に示したのと同様に、肉抜部Nが振動部4aの全周に渡って設けられている。そして、振動部4aと非振動部4bとを連結する梁部16、18がバネとして作用し、その梁部16、18の間に肉抜部Nとしての貫通孔15、17が設けられている。具体的には、梁部16、18は、直線形状で形成されているのではなく、振動部4aと非振動部4bとの間において屈曲形状で形成されている。例えば、図7に示す梁部16は振動部4aから非振動部4bに向かう方向に対して横方向に屈曲した形状(即ち、左右に折り返された形状)であり、図8に示す梁部18は振動部4aから非振動部4bに向かう方向に沿って屈曲した(前後に折り返された形状)である。よって、屈曲部分が板バネとして作用して、振動板4の大きな振動を許容する。また、梁部16、18の周囲には一定幅の貫通孔15、17が設けられる。梁部16、18及び貫通孔15、17以外の部分は、振動部4aからの突出部分及び非振動部4bからの突出部分で構成されており、貫通孔15、17の領域がなるべく小さくなるように構成されている。
<2>
上記実施形態では、容量型センサを構成する各部材(例えば、振動部、背極板、スペーサ、貫通孔、窪み、梁部、基材など)の形状は適宜変更可能である。また、肉抜部が、貫通孔又は窪みで構成される例について説明したが、それらを組み合わせて肉抜部を構成してもよい。
上記実施形態では、容量型センサを構成する各部材(例えば、振動部、背極板、スペーサ、貫通孔、窪み、梁部、基材など)の形状は適宜変更可能である。また、肉抜部が、貫通孔又は窪みで構成される例について説明したが、それらを組み合わせて肉抜部を構成してもよい。
本発明に係る容量型センサは、振動部が音響によって振動することを利用した音響センサ(コンデンサ型マイクロホン)や、振動部が振動によって振動することを利用した振動センサなどに利用できる。
1 基材
3 酸化膜
4a 振動部
4b 非振動部
5 スペーサ
6 背極板
9 貫通孔
12 境界
14 窪み
15 貫通孔
16 梁部
17 貫通孔
18 梁部
N 肉抜部
S 容量型センサ
3 酸化膜
4a 振動部
4b 非振動部
5 スペーサ
6 背極板
9 貫通孔
12 境界
14 窪み
15 貫通孔
16 梁部
17 貫通孔
18 梁部
N 肉抜部
S 容量型センサ
Claims (3)
- 一部分が振動部として機能し、他の部分が当該振動部を取り囲む非振動部として機能する基材と、前記振動部と対面する形態で、前記基材と所定の間隔をおいて配置される背極板と、前記振動部と前記非振動部との間の境界付近の前記非振動部側の複数箇所に配置されて、前記背極板と前記基材との間の所定の間隔を保持するスペーサとを備える容量型センサであって、
前記振動部の、前記境界を挟んで前記スペーサと対向する位置に、貫通孔又は窪みを複数個、或いは、当該貫通孔及び当該窪みを組み合わせて前記境界に沿った方向に並べた肉抜部を設けてある容量型センサ。 - 前記境界に沿った方向の前記肉抜部の長さは、前記境界に沿った方向の前記スペーサの長さ以上である請求項1記載の容量型センサ。
- 前記肉抜部は、前記振動部の全周に渡って設けられている請求項1又は2記載の容量型センサ。
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---|---|---|---|
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016156818A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | ザ・ボード・オブ・トラスティーズ・オブ・ザ・リーランド・スタンフォード・ジュニア・ユニバーシティ | 位相面変調センサと、製造方法 |
CN107036705A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-08-11 | 东南大学 | 集成双维电极的带非常规边缘的微三维轴对称振动传感器 |
-
2007
- 2007-08-30 JP JP2007224391A patent/JP2009060259A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016156818A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | ザ・ボード・オブ・トラスティーズ・オブ・ザ・リーランド・スタンフォード・ジュニア・ユニバーシティ | 位相面変調センサと、製造方法 |
CN107036705A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-08-11 | 东南大学 | 集成双维电极的带非常规边缘的微三维轴对称振动传感器 |
CN107036705B (zh) * | 2017-03-08 | 2019-05-17 | 东南大学 | 集成双维电极的带非常规边缘的微三维轴对称振动传感器 |
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