JP2009059886A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】InP基板上に格子整合するII-VI族を主たる構成材料とする、発光素子のn型層が、II族原子はMg、Zn、Beからなり、VI族原子はSe、TeからなるII-VI族化合物半導体であり、大きなエネルギーギャップ、伝導帯最下端が高くTypeII発光を抑制できること、高いキャリア濃度、結晶欠陥の少ない良質の結晶性が実現できる。
【選択図】図9
Description
しかしながらII-VI族半導体には、HgやCdのように人体にとって毒性の強い物質が存在する。事実これらの2つの物質を製品として使用することに関しては特別な場合を除いては大変むずかしい。
また、MgxZnyCd1-x-ySeを用いたレーザ構造では赤色、緑色及び青色の各波長帯において光励起によるレーザ発振が報告されている(L.Zeng等「Appl.Phys.Lett.」72、3136(1998)参照)。
実際nクラッド層としてMgZnCdSeを用いて、活性層としてZnCdSeを用いて、pクラッド層としてMgSe/BeZnTeを用いた構造にて560nmの黄緑色LDの77K発振に成功した。また発光層をBeZnSeTeとして、594、575、542nmの橙色から黄緑色の単峰性発光を観測し、575nmLEDは室温5000時間以上の寿命動作を達成している。
このような半導体層が可能になり素子作製に用いられることで、例えば黄色から緑色で発光するレーザダイオードなどの光学素子及び光学装置の実現に大いに貢献するものと期待される。
本発明では、有害物質に関するRoHS基準を満足する材料系において、InP基板上に緑色半導体レーザを実現できる層構造構成を提供する。
具体的には、高濃度ドーピングの観点から、新たなnクラッド層を提供し、さらにバンドラインナップの観点から本nクラッド層に適する活性層、pクラッド材料を提供する。
初めに、本発明で提供する2種類のnクラッド材料を以下に示す。
nクラッド#1:MgxZn1-xSeyTe1-y(0.5<y<1.0)
nクラッド#2:MgxZn1-xSeyTe1-y/MgSe超格子(0.5<y<1.0)
図1より#1材料系はInPに格子整合が可能なことがわかる。また、#2のMgSeはInPとの格子不整が0.7%と十分に小さく、格子不整に基づく結晶欠陥の発生を抑制できることがわかる。
活性層#3:BexZn1-xSeyTe1-y
活性層#4:BexZn1-xSeyTe1-y/MgSe超格子
活性層#5:BexZn1-xTe/ZnSe超格子
図1より#3BeZnSeTeはInPに格子整合できることがわかる。また、上述のMgSeの説明より#4材料系もInPにほぼ格子整合できることがわかる。#5のZnSeはInPとの格子不整は3.4%と大きく、格子整合しないが、BeZnTeの組成を調整することにより、また相対層厚比を調整することで、BeZnTe/ZnSe対の平均的な格子定数をInPに整合させることが可能である。その結果、格子不整に起因する応力を低減することが可能である。
pクラッド#6:BexMgyZn1-x-yTe
pクラッド#7:BexZn1-xTe/MgyBe1-yTe
pクラッド#8:BexZn1-xTe/MgSe超格子
図1、および上述のMgSeの説明より、#6、#7、#8の材料系はいずれもInPにほぼ格子整合させることができる。
本発明では上記有害指定物質であるCd等を含まないnクラッドを提供すると共に、これらのnクラッドとの組み合わせの可能な上記活性層、pクラッドを提供する。それらを組み合わせることにより環境に配慮した緑色半導体レーザを提供する。
以下、これらの材料系の特徴を述べる。
以下、上記提案材料について説明する。
A(x,y)=xy a(MgSe) + x(1-y)a(MgTe) + (1-x)ya(ZnSe) + (1-x)(1-y)a(ZnTe) 式1)
但し 0<x,y<1
式1)にてMgxZn1-xSeyTe1-yの格子定数A(x,y)を2元材料の格子定数aを用いて、InPとの整合条件を計算すると
0.25x-0.43y-0.01xy+0.2313=0 式2)
これより、
x=0の時y=0.538
y=1の時x=0.828
したがって、本発明のyの範囲(0.5<y<1)を含む領域でInPに格子整合するMgxZn1-xSeyTe1-yが存在することがわかる。
次にエネルギーギャップEgが2.8eV,2.9eV,3.0eV,3.1eVであるMgxZn1-xSeyTe1-yが存在するかを確認する。
Eg= xy E(MgSe) + x(1-y)E(MgTe) + (1-x)yE(ZnSe) + (1-x)(1-y)E(ZnTe)
+ x(x-1){ yB(MgSe-Te) + (1-y)B(Zn-Mg) }
+ y(y-1){ xB(ZnSe-Te) + (1-x)B(MgSe-Te) } 式3)
但し0<x,y<1
式3)を計算すると、
Eg=-1.271xy + 0.98x -1.211y + 0.26xx + 1.621yy +1.361xxy+2.26 式4)
となる。
文献1):J.Crystal Growth 214/215(2000)350 Kyurhee Shim et al.
また発明者である岸野、野村らは文献2)において、MgSeTe層とZnTe層の超格子構造を用いてその膜厚を変化させることにより2.37eVと2.47eVの発光を観測しZnTe基板上のLED素子のキャリア閉じ込め層として用いている。
文献2):Phys.stat.sol.(a)192 No.1, 206 Y.Ochiai et al.
また発明者らは文献3)において、キャリア濃度は掲載していないが、n型ClドープMgZnSeTe層をZnTe基板上LED素子のクラッド層として用いることを報告している。なおこの時の4元混晶はMg0.4Zn0.6Se0.3Te0.7である。本発明のInP基板上の4元子混晶と比較すると、本発明ではMgとSeの組成比率が増加し、ZnとTeの組成比率が減少することになる。一般にn型ドーパントとなるCl(塩素)はSeが多くTeが少ないほど、n型キャリア濃度(ドーピング効率)が上昇するので、本発明においては大変都合が良い。
文献3):Phys.stat.sol.(b)241 No.3, 483 I.Nomura et al.
また発明者らは文献4)においてZnTe基板上の光電変換機能素子について出願を行っている。
文献4):公開特許公報(特開2003−258303)岸野ら
本発明は、以上に述べたような独自のn型クラッド層を形成することにより、InP基板上に、このn型クラッド層、活性層、及び、p型クラッド層などを有する半導体発光素子を提供するものである。
初めに活性層#3BeZnSeTeについて述べる。図4でInPに格子整合するBexZn1-xSeyTe1-yの価電子帯、伝導帯のエネルギーを左軸に、バンドギャップ(点線)を右軸にBe組成xの関数として示した。価電子帯のエネルギーは直接遷移であるG点(実線)の他、間接遷移であるX点(破線)、L点(破線)でのエネルギーを示した。エネルギーの基準にはZnSeの価電子帯を用いた。BeZnSeTeはBe組成x<0.48の範囲でInPに格子整合すること、また、Be組成x<0.4で直接遷移であることがわかる。x=0.13でバンドギャップEg=2.3eVとなり、この近傍の組成を用いることにより緑色の発光素子を作製することができる。また、Beを添加することにより、結晶の結合強度の増強が可能であり、半導体レーザを作成した場合、信頼性の向上が期待できる。
次にpクラッドについて述べる。
以上の利点を実証するため、結晶を作製・評価した結果のいくつかを以下に示す。
nクラッド材料であるMgZnSeTeの作製・評価結果を示す。
以上の検討により、MgZnSeTeは緑色半導体レーザのnクラッドとして有望であることがわかった。
一例の概略断面図を図9に示す。2成長室分子線エピタキシー(MBE)装置を用いた結晶成長により作製する。先ず、InP基板31を最適な表面処理を行ったのちに、MBE装置内へセットする。試料交換用の準備室に入れて真空ポンプで10−3Pa以下まで真空引きし、100℃まで加熱し残留水分及び不純物ガスを脱離させる。
次に、III−V族専用成長室に搬送し、基板表面にP分子線をあてながら基板温度を
500℃に加熱することで基板表面の酸化膜を除去し、その後基板温度450℃でSiドープn型InPバッファ層32を層厚30nm成長し、基板温度470℃でSiドープn型InGaAsバッファ層33を200nm成長する。
500℃に加熱することで基板表面の酸化膜を除去し、その後基板温度450℃でSiドープn型InPバッファ層32を層厚30nm成長し、基板温度470℃でSiドープn型InGaAsバッファ層33を200nm成長する。
次に試料をII−VI族専用成長室に搬送し、Clドープn型Mg0.65Zn0.35Se0.90Te0.10/MgSe超格子層からなるクラッド層50(層厚0.5μm)、Clドープn型Mg0.65Zn0.35Se0.90Te0.10/MgSe超格子層からなるグレーデッド層51(層厚0.5μm)、BeZnSeTe/MgSe超格子構造からなるガイド層52(層厚70nm)、BeZnSeTe 量子井戸活性層53(層厚10nm)、BeZnSeTe/MgSe超格子構造からなるガイド層54(層厚70nm)を成長した後、Nドープp型BeZnTe/MgSe超格子構造からなるクラッド層55(層厚0.6μm)を形成し、Nドープp型BeZnTe層56(層厚30nm)、Nドープp型BeZnTe/ZnTe超格子コンタクト層57(全層厚500nm)、最後にNドープp型ZnTeキャップ層58(層厚30nm)を順次積層した。ここで、n型クラッド超格子はMgSe:2分子層(2ML)、 MgZnSeTe: 4MLより構成し、グレーデッド層超格子はMgSe:2ML /MgZnSeTe:3ML 10対、MgSe:2ML /MgZnSeTe:2ML 10対、MgSe:2ML /MgZnSeTe:1ML 10対より構成した。
500℃に加熱することで基板表面の酸化膜を除去し、その後基板温度450℃でSiドープn型InPバッファ層32を層厚30nm成長し、基板温度470℃でSiドープn型InGaAsバッファ層33を200nm成長する。
例えば、上述の実施形態において挙げた数値、構造、基板、原料、プロセスなどはあくまでも例にすぎず、必要に応じて、これらと異なる数値、構造、基板、原料、プロセスなどを用いてもよい。
具体的には、実施形態例では本発明に関わるn型クラッド層として、MgxZn1−xSeyTe1−yを用いたが、MgZnSe層、BeSe層とZnTe層からなる超格子構造でもよい。
Claims (7)
- InP基板上に少なくとも、n型クラッド層、活性層、及びp型クラッド層を有し、
前記n型クラッド層は、該n型クラッド層におけるMgxZn1-xSeyTe1-yの構成比が80%以上、100%以下であり、かつ、MgxZn1-xSeyTe1-y を構成するSeの構成比y>0.5である単層膜であること、
または、
前記n型クラッド層がMgxZn1-xSeyTe1-yを含有する積層膜からなり、
前記積層膜は、MgxZn1-xSeyTe1-yの構成比が80%以上、100%以下で、かつ、MgxZn1-xSeyTe1-y を構成するSeの構成比y>0.5である第1の層と、MgSeの構成比が80%以上、100%以下である第2の層との少なくとも2層を一対とする積層膜であって、前記一対の積層膜が繰り返し複数回積層されてなることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記n型クラッド層のドーパントがCl(塩素)、Al(アルミニウム)、Ga(ガリウム)、またはIn(インジウム)であり、n型キャリア濃度が1x1016cm−3以上、1x1020cm−3以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記n型クラッド層のエネルギーギャップEgが、2.10eV以上、4eV以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記n型クラッド層の格子定数anが、InPの格子定数aInPに対して、―0.01<(an-aInP)/aInP<0.01を満足することを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記活性層は、該活性層におけるBeZnSeTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記BeZnSeTeの格子定数aaがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(aa―aInP)/aInP<0.01を満足する単層膜であること、
または、
前記活性層は、少なくとも第3の層と第4の層からなり、前記第3の層におけるBeZnSeTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記BeZnSeTeの格子定数aaがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(aa―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第4の層におけるMgSeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記第3の層と前記第4の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されてなること、
または、
前記活性層は、少なくとも第3の層と第4の層からなり、
前記第3の層におけるBeZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記BeZnTeの格子定数aaがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(aa―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第4の層におけるZnSeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記第3の層と前記第4の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されて形成されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記p型クラッド層は、該p型クラッドにおけるBeMgZnTeの構成比が、80%以上、100%以下であり、前記BeMgZnTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足する単層膜であること、
または、
前記p型クラッド層は、少なくとも第5の層と第6の層からなり、
前記第5の層におけるBeZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記BeZnTeの格子定数apが、InPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第6の層におけるMgBeTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記MgBeTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足し、前記第5の層と前記第6の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されてなること、
または、
前記p型クラッド層は、少なくとも第5の層と第6の層からなり、
前記第5の層におけるBeZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記BeZnTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第6の層におけるMgSeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記第5の層と前記第6の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記活性層は、該活性層におけるBeZnSeTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記BeZnSeTeの格子定数aaがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(aa―aInP)/aInP<0.01を満足する単層膜であること、
または、
前記活性層は、少なくとも第3の層と第4の層からなり、第3の層におけるBeZnSeTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記BeZnSeTeの格子定数aaがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(aa―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および
前記第4の層におけるMgSeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記第3の層と前記第4の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されてなること、
または、
前記活性層は、少なくとも第3の層と第4の層からなり、
前記第3の層におけるBeZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記BeZnTeの格子定数aaがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(aa―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第4の層におけるZnSeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記第3の層と前記第4の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されて形成されてなること、
および前記p型クラッドにおけるBeMgZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記BeMgZnTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足する単層膜であること、
または、
前記p型クラッド層は、少なくとも第5の層と第6の層からなり、
前記第5の層におけるBeZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記BeZnTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第6の層におけるMgBeTeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記MgBeTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足し、
前記第5の層と前記第6の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されて形成すること、
または
前記p型クラッド層は、少なくとも第5の層と第6の層からなり、
前記第5の層におけるBeZnTeの構成比が80%以上、100%以下であり、
前記BeZnTeの格子定数apがInPの格子定数aInPに対して、―0.01<(ap―aInP)/aInP<0.01を満足すること、および前記第6の層におけるMgSeの構成比が80%以上、100%以下であり、前記第5の層と前記第6の層の少なくと2層を一対とする積層膜が繰り返し複数回積層されて形成されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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US12/038,062 US7899104B2 (en) | 2007-08-31 | 2008-02-27 | EL semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007225724A JP2009059886A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 半導体発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009059886A true JP2009059886A (ja) | 2009-03-19 |
Family
ID=40407396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007225724A Pending JP2009059886A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 半導体発光素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7899104B2 (ja) |
JP (1) | JP2009059886A (ja) |
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US20090059985A1 (en) | 2009-03-05 |
US7899104B2 (en) | 2011-03-01 |
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