JP2009054883A - 基板処理方法 - Google Patents
基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009054883A JP2009054883A JP2007221620A JP2007221620A JP2009054883A JP 2009054883 A JP2009054883 A JP 2009054883A JP 2007221620 A JP2007221620 A JP 2007221620A JP 2007221620 A JP2007221620 A JP 2007221620A JP 2009054883 A JP2009054883 A JP 2009054883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive layer
- pressing
- semiconductor wafer
- substrate processing
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の基板処理方法は、基板上に熱可塑性の被膜を形成する形成工程と、被膜を加熱した後に押圧する、または被膜を加熱しつつ押圧する押圧工程と、被膜に対する押圧状態を維持すると共に、被膜を冷却する冷却工程とを含む。
【選択図】なし
Description
基板上に平坦化膜を形成する基板処理方法であって、
上記基板上に熱可塑性の被膜を形成する形成工程と、
上記被膜を加熱した後に押圧する、または上記被膜を加熱しつつ押圧する押圧工程と、
上記被膜に対する押圧状態を維持すると共に、上記被膜を冷却する冷却工程と、を含むことを特徴としている。
本発明に係る基板処理方法の一実施形態について以下に説明する。本発明に係る基板処理方法は、基板上に平坦な表面を有する被膜を形成することができれば、その具体的な用途は特に限定されるものではない。例えば、接着剤層表面の平坦化、またはエッチング膜表面の平坦化などに用いることができる。本実施形態では、半導体ウエハにサポートプレートを貼り合せる場合であり、かつ半導体ウエハ上に接着剤層を形成する場合を例に挙げて説明する。
形成工程は、半導体ウエハ(基板)上に熱可塑性の接着剤層(被膜)を形成する工程である。
押圧工程は、形成工程において形成した接着剤層を加熱した後、または加熱しつつ押圧する工程である。
冷却工程は、押圧工程においてその表面を平坦化した熱可塑性の接着剤層を冷却することにより接着剤層を成膜する工程である。
以上の工程により平坦化した接着剤層を備えた半導体ウエハは、続いて、サポートプレートに貼り合せられ、薄化される。しかし、半導体ウエハ上に形成された接着剤層を平坦化したことによって、半導体ウエハとサポートプレートとの厚みの分布の均一性が向上するため、半導体ウエハとサポートプレートとを剥離する際における剥離性を向上することができる。また、半導体ウエハを薄化する際における接着剤層の転写を抑制することができる。
本実施形態に係る基板処理方法は、押圧工程の直前までに、半導体ウエハ上に形成した接着剤層を乾燥(プリベーク)する乾燥工程を含んでいてもよい。乾燥工程における接着剤層の乾燥温度は、接着剤層に含まれる溶剤の種類に応じて適宜設定することができる。
実施形態1に記載の基板処理方法を実現する基板処理装置について、実施形態2として以下に説明する。なお、実施形態1と同様の用語については同一の意味で使用している。
基板処理装置の構成について、図1を参照して以下に説明する。図1は、本実施形態における基板処理装置を示す断面図である。
筐体2は、押圧処理の際の熱が外部に漏れないように、断熱性の素材によって形成されており、その一部に扉7を備えている。扉7は、前後、上下、または左右のいずれかに開閉可能である。なお、扉7の開閉は、下記に説明する制御部6によって制御されている。
加熱器3は、図1に示すように、加熱器3の上に半導体ウエハ(基板)10を戴置すると共に、半導体ウエハ10を加熱し、半導体ウエハ10上に形成された接着剤層(被膜)11に熱流動を生じさせるものである。加熱器3は、半導体ウエハ10を変形させることなく、接着剤層11に熱流動を生じさせることができるものであれば、特に限定されるものではない。加熱器3として、具体的には、電熱線を内蔵しているヒーター、またはランプなどを挙げることができる。また、半導体ウエハ10を戴置する戴置台と加熱機構とが一体をなして形成されている必要はなく、半導体ウエハ10を戴置する戴置台と、例えばヒーターなどの加熱機構とがそれぞれ独立していてもよい。
プレス板4は、加熱部3に対向するように備えられた、接着剤層11を押圧する押圧部材であり、平坦な押圧面4aを有している。プレス板4の大きさは、半導体ウエハ10と同等であるか、または半導体ウエハ10よりも大きいことが好ましい。また、プレス板4の形状は、半導体ウエハ10と同一の形状であることが好ましい。
制御部6は、上述したように扉7の開閉、加熱器3における加熱時間および加熱温度、ならびにプレス板4の駆動タイミングおよび接着剤層11に施す圧力の大きさを制御するものであり、マイクロコンピュータ(マイコン)などが用いられる。
次に、基板処理装置1における半導体ウエハ10の処理プロセスについて以下に説明する。
本実施形態では、制御部6は、予め設定された押圧時間を経過したことを認識すると、加熱部3に対して加熱を終了する指示を送っているが、押圧時間を経過した後すぐに加熱を終了せず、接着剤層11を均す均し処理を施してもよい。
2 筐体
3 加熱器
4 プレス板
5 プレス板駆動部
6 制御部
7 扉
10 半導体ウエハ(基板)
11 接着剤層(被膜)
Claims (7)
- 基板上に平坦化膜を形成する基板処理方法であって、
上記基板上に熱可塑性の被膜を形成する形成工程と、
上記被膜を加熱した後に押圧する、または上記被膜を加熱しつつ押圧する押圧工程と、
上記被膜に対する押圧状態を維持すると共に、上記被膜を冷却する冷却工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 上記冷却工程では、上記被膜をそのガラス転移点未満の温度まで冷却することを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 上記押圧工程において上記被膜に加えられる圧力は、上記被膜1m2あたり、10〜500KPaの範囲内であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 上記押圧工程では、上記被膜をそのガラス転移点以上に加熱することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 上記基板の少なくとも一方の面には、回路が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 上記被膜は、接着剤層であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 請求項6に記載の基板処理方法によって形成された接着剤層を備えた基板に、サポートプレートを貼り合せる貼合工程を含むことを特徴とするサポートプレートの貼合方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007221620A JP5255245B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | サポートプレートの貼合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007221620A JP5255245B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | サポートプレートの貼合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009054883A true JP2009054883A (ja) | 2009-03-12 |
JP5255245B2 JP5255245B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=40505681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007221620A Active JP5255245B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | サポートプレートの貼合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5255245B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012109538A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-06-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 積層体、およびその積層体の分離方法 |
JP5127990B1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-01-23 | 株式会社Filwel | 片面研磨用保持材 |
JP2015138841A (ja) * | 2014-01-21 | 2015-07-30 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
US20170352571A1 (en) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Method for manufacturing a handling device and method for reversible bonding using such a device |
CN113680617A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-23 | 北海博联科技有限公司 | 一种显示器背板的生产工艺 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11850451B2 (en) | 2011-01-31 | 2023-12-26 | Lucolas-M.D. Ltd. | Cosmetic compositions and methods for improving skin conditions |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08213390A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-20 | Toshiba Corp | 半導体加工片の処理方法 |
JPH09153493A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2002203821A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 接着および剥離法 |
JP2005311402A (ja) * | 2005-07-22 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2006104068A1 (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Pioneer Corporation | ゲート絶縁膜、有機トランジスタ、有機el表示装置の製造方法、ディスプレイ |
-
2007
- 2007-08-28 JP JP2007221620A patent/JP5255245B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08213390A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-20 | Toshiba Corp | 半導体加工片の処理方法 |
JPH09153493A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2002203821A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 接着および剥離法 |
WO2006104068A1 (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Pioneer Corporation | ゲート絶縁膜、有機トランジスタ、有機el表示装置の製造方法、ディスプレイ |
JP2005311402A (ja) * | 2005-07-22 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012109538A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-06-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 積層体、およびその積層体の分離方法 |
JP5127990B1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-01-23 | 株式会社Filwel | 片面研磨用保持材 |
JP2015138841A (ja) * | 2014-01-21 | 2015-07-30 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
US20170352571A1 (en) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Method for manufacturing a handling device and method for reversible bonding using such a device |
US10854493B2 (en) * | 2016-06-03 | 2020-12-01 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Method for manufacturing a handling device and method for reversible bonding using such a device |
CN113680617A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-23 | 北海博联科技有限公司 | 一种显示器背板的生产工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5255245B2 (ja) | 2013-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5255245B2 (ja) | サポートプレートの貼合方法 | |
JP5027460B2 (ja) | ウエハの接着方法、薄板化方法、及び剥離方法 | |
CN103426724B (zh) | 用于调整晶圆翘曲的方法和装置 | |
TWI358084B (en) | Process and equipment for bonding by molecular adh | |
TWI490933B (zh) | Jointing device | |
JP5759086B2 (ja) | 貼付方法 | |
JP5704783B2 (ja) | ウエハをボンディングするための処理及び装置 | |
JP2007158122A (ja) | サポートプレートの貼り合わせ手段及び貼り合わせ装置、並びにサポートプレートの貼り合わせ方法 | |
JP2018026427A (ja) | 基板固定装置及びその製造方法 | |
US20130139949A1 (en) | Method for adhering works and work adhering apparatus | |
US7757626B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
TW201908124A (zh) | 高熱傳導性之元件基板及其製造方法 | |
US20070004172A1 (en) | Method of thinning a wafer | |
TW202022981A (zh) | 基板固定裝置 | |
TW201743116A (zh) | 載體釋脫技術 | |
JP6429187B2 (ja) | 接合方法および接合装置 | |
TW202111855A (zh) | 用於裝置加工之鑽石底半導體晶圓之安裝技術 | |
JP2006156683A (ja) | サポートプレートの貼り付け方法 | |
TWI299341B (ja) | ||
JP6580974B2 (ja) | 静電チャックの製造方法 | |
TWI727853B (zh) | 晶片移轉系統與晶片移轉方法 | |
JP2004186482A (ja) | 熱接着フィルム貼付方法およびその装置 | |
JP2003297879A (ja) | 半導体チップ圧着装置 | |
TW201601936A (zh) | 靶材基板製造方法 | |
EP3975230B1 (en) | Pressurizing device and pressurizing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130419 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5255245 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |