JP2009042497A - 表面プラズモン素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10上に導電膜20が形成され、その導電膜20に開口21が周期配列されて設けられ、その周期配列により開口21を透過する光の強度を増強する表面プラズモン素子において、光が透過する開口21内に光透過方向に屈折率分布の周期構造を設ける。屈折率分布の周期構造は開口21内に充填した誘電体30の屈折率の周期的変化によって構成する。
【選択図】図1
Description
P:250nm
D: 50nm
高屈折率層と低屈折率層とが交互積層されてなる周期構造が形成されていない点を除いて、実施例1と同様の方法を用いて表面プラズモン素子を作製した。つまり、導電膜20に周期配列された開口21内部は低屈折率層だけで構成される構造とした。
Claims (4)
- 基板上に導電膜が形成され、その導電膜に開口が周期配列されて設けられ、その周期配列により開口を透過する光の強度を増強する表面プラズモン素子において、
光が透過する前記開口内に光透過方向に屈折率分布の周期構造を設けたことを特徴とする表面プラズモン素子。 - 基板上に導電膜が形成され、その導電膜に少なくとも1つの開口と、凹部もしくは貫通孔の周期配列とが設けられ、その周期配列により開口を透過する光の強度を増強する表面プラズモン素子において、
光が透過する前記開口内に光透過方向に屈折率分布の周期構造を設けたことを特徴とする表面プラズモン素子。 - 請求項1又は2記載の表面プラズモン素子において、
前記屈折率分布の周期構造が前記開口内に充填された誘電体の屈折率の周期的変化によって構成されていることを特徴とする表面プラズモン素子。 - 請求項1又は2記載の表面プラズモン素子において、
前記屈折率分布の周期構造が前記開口の側壁の形状の周期的変化によって構成されていることを特徴とする表面プラズモン素子。
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