JP2009038342A - 干渉フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板3にフッ化マグネシウム、フッ化鉛、及び酸化アンチモンなどから成る高屈折率を有する層51と、低屈折率を有する層52を共蒸着によって交互に堆積する。堆積後、基板に熱処理及びUV光による照射を行い、層系を安定化させて誘電体透過干渉フィルタ1を製造する。
【選択図】図1
Description
Claims (16)
- 誘電体透過干渉フィルタ、特に半導体リソグラフィ用の透過干渉フィルタを製造する方法であって、基板を蒸着室に配置し、高屈折率を有する層及び低屈折率を有する層を前記基板上に交互に堆積し、前記層は、構成成分であるフッ化マグネシウム、フッ化鉛、及び酸化アンチモンのうちの少なくとも2つの共蒸着によってそれぞれ製造され、前記層の堆積後、前記基板は少なくとも50℃の温度で熱処理を受けると共にUV光で照射され、該照射の過程で、スペクトル透過窓内の中心透過波長に対して、前記フィルタの透過において透過窓の中心波長が減少することを特徴とする方法。
- 低屈折率を有する前記層の堆積は、フッ化マグネシウム及びフッ化鉛を蒸着することからなり、高屈折率を有する前記層の堆積は、フッ化鉛及び酸化アンチモンを蒸着することからなり、それによって、低屈折率を有する前記層がフッ化マグネシウム及びフッ化鉛の混合物を含有し、かつ、高屈折率を有する前記層がフッ化鉛及び酸化アンチモンの混合物を含有する、請求項1に記載の方法。
- 低屈折率を有する前記層の堆積は、フッ化マグネシウム及び酸化アンチモンを蒸着することからなり、高屈折率を有する前記層の堆積はフッ化鉛及び酸化アンチモンを蒸着することからなり、それによって、低屈折率を有する前記層がフッ化マグネシウム及び酸化アンチモンの混合物を含有し、かつ、高屈折率を有する前記層がフッ化鉛及び酸化アンチモンの混合物を含有する、請求項1に記載の方法。
- 前記熱処理中に、前記層が、UV光の作用下で酸素の後充填を受ける、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記層の厚さは、前記UV照射後に、前記透過窓が長い波のエッジが450ナノメートル未満の波長にあるようなスペクトル位置を有するように調整される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記層の数及び厚さは、最大透過が最大で20ナノメートル、好ましくは最大で15ナノメートルの半値幅を有するように選択される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- コーティングされた基板が、少なくとも5時間の持続時間にわたってUV光で照射される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記照射が、水銀ランプ、又は365ナノメートルの波長でUV光を放射するランプによって行われる、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板がコーティング後に少なくとも12時間熱処理を受ける、請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板が250℃未満の温度で熱処理を受ける、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも100ミリメートルの横方向寸法又は直径を有する基板領域がコーティングされる、請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記層の厚さは、前記フィルタが、前記UV照射後に365ナノメートルの波長付近の透過窓を有するように調整される、請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 合計で少なくとも15層、好ましくは少なくとも20層が互いに重なって堆積される、請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法。
- 特に請求項1〜13のいずれか1項に記載の誘電体干渉フィルタを製造する方法であって、基板を蒸着室に配置し、高屈折率を有する層及び低屈折率を有する層を前記基板上に交互に堆積し、交互の層系を堆積させ、該交互の層系は、構成成分である酸化アンチモン、フッ化マグネシウム、及びフッ化鉛の異なる組成を有する交互の第1の層及び第2の層からなり、コーティング後、透過窓又は反射窓の中心波長は、熱処理を受けると共にUV光で照射される前記コーティングされた基板によって、設計波長の方向内のより短い波長の方にシフトされる、方法。
- 前記透過窓の前記中心波長は、前記熱処理及び前記UV照射中に少なくとも0.1ナノメートル、好ましくは少なくとも0.2ナノメートル、より短い波長の方へシフトされる、請求項14に記載の方法。
- 誘電体UV干渉フィルタを製造するための中間製品であって、基板と、該基板に堆積される、構成成分である酸化アンチモン、フッ化マグネシウム、及びフッ化鉛の異なる組成を有する交互の第1の層及び第2の層を有する交互の層系とからなり、前記層の厚さは設計波長eの1/4の倍数であり、熱処理及び/又はUV照射によって、設計波長よりも長い波長から生じる該設計波長の方向へ、透過窓又は反射窓の中心波長をシフトすることが可能であることを特徴とする中間製品。
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