JP2009038274A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基体の上方にパターニングされた下部電極を形成する工程と、
   前記基体および前記下部電極の上にチタン層を形成する工程と、
   前記チタン層の上に圧電体層を形成する工程と、
   前記圧電体層の上方に上部電極を形成する工程と、
   少なくとも、前記上部電極および前記圧電体層をパターニングする工程と、を含み、
   前記チタン層を形成する工程は、該チタン層の厚さが５ｎｍ以上、１０ｎｍ以下となるように行われ、
   前記上部電極および前記圧電体層をパターニングする工程は、前記圧電体層が前記チタン層を介して前記下部電極の上に位置する第１部分と、前記圧電体層が前記チタン層を介して前記基体の上に位置する第２部分と、を有するように行われる、圧電素子の製造方法。
2. 基体と、
   前記基体の上方に形成された下部電極と、
   前記基体および前記下部電極の上に形成されたチタン層と、
   前記チタン層の上に形成された圧電体層と、
   前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、
   前記チタン層の厚さは、５ｎｍ以上、１０ｎｍ以下であり、
   前記圧電体層は、前記チタン層を介して前記下部電極の上に位置する第１部分と、前記チタン層を介して前記基体の上に位置する第２部分と、を有する、圧電素子。
3. 請求項２において、
   前記圧電体層は、平面視において、前記第２部分から前記第１部分に向かう方向を第１の方向としたとき、前記第２部分が、前記第１部分の前記第１の方向における少なくとも一方の端部と連続するように設けられた圧電素子。
4. 請求項２または３に記載の圧電素子を含み、
   前記基体が振動板を有する、アクチュエータ。
5. 請求項４に記載のアクチュエータと、
   前記基体に形成された流路と、
   前記基体の下方に形成された、前記流路に連続するノズル穴を有するノズルプレートと、を含む、液体噴射ヘッド。