JP2009021401A - Printed wiring board and inspecting method for printed wiring board - Google Patents

Printed wiring board and inspecting method for printed wiring board Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board and an inspecting method for printed wiring board such that matching precision of all layers including an internal-layer conductive pattern can be confirmed through single-time inspection after multilayering, and a deviation amount of an arbitrary layer can be digitized at the same time. <P>SOLUTION: Provided is an inspection coupon comprising a conductor and lands formed on both upper and lower sides of the conductor at nearly the same horizontal positions. With this configuration, the matching precision of the conductor and upper and lower lands can be measured through X-ray inspection. Further, the X-ray inspection is carried out for the inspection coupon comprising the dedicated conductor and lands, so the shape and size of the lands can be freely designed. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はパソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に用いられるプリント配線板およびプリント配線板の検査方法に関するものである。   The present invention relates to a printed wiring board used for various electronic devices such as a personal computer, a mobile communication telephone, and a video camera, and a printed wiring board inspection method.

近年、電子機器の高機能化、高密度化に伴い、電子機器を構成する電子部品は、ますます小型化、高集積化、高速化、高機能化の傾向にあり、これらの要求に対向するために、プリント配線板も様々な形態が提案され、実用化されてきている。   In recent years, as electronic devices have higher functionality and higher density, the electronic components that make up electronic devices are becoming increasingly smaller, more integrated, faster, and more functional. For this reason, various forms of printed wiring boards have been proposed and put into practical use.

特に、多層化の際に内層基板や銅箔を接着させる接着層に直接、導電性ペーストを充填した後に積層一体化する技術が確立されたことにより、ドリル加工および金属めっきによる貫通スルーホールを必要とすることなく、任意の層間をIVH(インナースティシャル・バイア・ホール)で電気的に接続することが可能となった。   In particular, a through-hole is required for drilling and metal plating because the technology for stacking and integrating the conductive paste directly after filling the adhesive layer that adheres the inner layer substrate and copper foil when multilayering is established. Thus, any layer can be electrically connected by IVH (inner-stitial via hole).

以下に上記の従来のプリント配線板の製造方法について説明する。図6(a)〜(j)は従来のプリント配線板の製造方法を示す断面図である。   A method for manufacturing the above-described conventional printed wiring board will be described below. 6A to 6J are cross-sectional views illustrating a conventional method for manufacturing a printed wiring board.

はじめに図6(a)に示すようにプリプレグ1の両面にPET(ポリエチレンテレフタレート)などのフィルム2をラミネートし、これに図6(b)のようにドリル加工や炭酸ガスレーザ加工によってビア3を形成する。次に図6(c)に示すように印刷などの方法によりビア3内に導電体として導電性ペースト4を充填し、その後、フィルム2をプリプレグ1から剥離することにより図6(d)に示すような、ビア3内に導電性ペースト4が充填されたプリプレグ1を得る。そして図6(e)のようにこれの両面に銅箔5を配置し、熱プレスによって加熱加圧することで図6(f)となり、その後、両面の銅箔5をエッチングなどにより導電パターン6を形成し図6(g)に示す両面基板が完成する。こうして完成した両面基板を内層用のコア基板として用い、図6(h)に示すように内層用のコア基板の外側に別途、上記の図6の(a)〜(d)に示す手順と同様の方法で作製したビア3内に導電性ペースト4が充填されたプリプレグ1を配置し、さらにその外側に銅箔5を配置した後に、熱プレスによって加熱加圧し図6(i)となり、両面の銅箔5をエッチングなどにより導電パターンを形成し図6(j)に示す4層基板であるプリント配線板が完成する。また、完成した4層基板をさらにコア基板として用い、図6(h)〜図6(j)の手順を繰り返していくことにより6層以上のプリント配線板を作製することも可能である。   First, as shown in FIG. 6 (a), films 2 such as PET (polyethylene terephthalate) are laminated on both sides of the prepreg 1, and vias 3 are formed thereon by drilling or carbon dioxide laser processing as shown in FIG. 6 (b). . Next, as shown in FIG. 6C, the via 3 is filled with the conductive paste 4 as a conductor by a method such as printing, and then the film 2 is peeled off from the prepreg 1 to show in FIG. 6D. Thus, the prepreg 1 in which the conductive paste 4 is filled in the via 3 is obtained. Then, as shown in FIG. 6 (e), the copper foils 5 are arranged on both surfaces thereof and heated and pressed by hot press to obtain FIG. 6 (f). Thereafter, the conductive patterns 6 are formed on the copper foils 5 by etching or the like. The double-sided substrate formed as shown in FIG. 6G is completed. The double-sided substrate thus completed is used as an inner layer core substrate, and as shown in FIG. 6H, separately from the inner layer core substrate, the same procedure as shown in FIGS. 6A to 6D above. The prepreg 1 filled with the conductive paste 4 is disposed in the via 3 manufactured by the method described above, and the copper foil 5 is disposed on the outside, and then heated and pressurized by a hot press to obtain FIG. 6 (i). A conductive pattern is formed on the copper foil 5 by etching or the like to complete a printed wiring board which is a four-layer substrate shown in FIG. It is also possible to produce a printed wiring board having six or more layers by repeating the procedure of FIGS. 6H to 6J using the completed four-layer substrate as a core substrate.

このように構成されたプリント配線板においては、導電パターン6に対してビア3が位置ずれした場合には、異なる層の導電パターン6間に適切な電気導通が得られなかったり、初期状態において問題が無かったとしても長期的な信頼性に劣るといった課題が発生する。そこで導電パターン6とビア3との合致精度を確保することが大変重要であり、この合致精度を正確に検査する検査方法を確立することも同様に重要であると言える。   In the printed wiring board configured as described above, when the via 3 is misaligned with respect to the conductive pattern 6, appropriate electrical continuity cannot be obtained between the conductive patterns 6 of different layers, or there is a problem in the initial state. Even if there is not, the problem that it is inferior to long-term reliability occurs. Therefore, it is very important to ensure the matching accuracy between the conductive pattern 6 and the via 3, and it can be said that it is equally important to establish an inspection method for accurately inspecting the matching accuracy.

この合致精度の検査は、従来より、表面部分からプリント配線板を観察し、本来導電パターン6の下層に隠れているべきビア3が導電パターン6からはみ出していないかどうかを確認することによって行っていた。図7に示すように導電パターン6aの先端に設けられたランドからビア3がはみ出して見えている場合は不良と判定するものである。多層プリント配線板の場合は内層基板に対しても検査を実施しなければならない。観察方法としては拡大鏡や顕微鏡を用いて人によって行う方法も一般的であるが、外観検査装置で外観認識し、予め記憶させておいた良品の図柄と比較して不良箇所を検出する方法も広く用いられている。   Conventionally, the matching accuracy is inspected by observing the printed wiring board from the surface portion and confirming whether or not the via 3 that should originally be hidden under the conductive pattern 6 protrudes from the conductive pattern 6. It was. As shown in FIG. 7, when the via 3 appears to protrude from the land provided at the tip of the conductive pattern 6a, it is determined as defective. In the case of a multilayer printed wiring board, the inspection must be performed on the inner layer substrate. As an observation method, a method performed by a person using a magnifying glass or a microscope is also common, but a method of recognizing an appearance with an appearance inspection apparatus and detecting a defective portion in comparison with a good product stored in advance is also possible. Widely used.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2001−237550号公報
As prior art document information related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2001-237550 A

しかしながら上記の従来のプリント配線板では、ビアと導電パターンとの合致精度の検査は表面からの観察によって行うものであるので、各層毎に検査を実施しなければならず、その結果、検査に時間が掛かり、生産リードタイムを増大させるという問題を有していた。また、ビアの導電パターンからのはみ出しの有無という現象面での判定のみによるものであり、ズレ量を数値化することができないという問題を有していた。   However, in the above-mentioned conventional printed wiring board, since the inspection of the matching accuracy between the via and the conductive pattern is performed by observation from the surface, the inspection must be performed for each layer. And has the problem of increasing the production lead time. Further, it is based only on the determination of the presence or absence of protrusion from the via conductive pattern, and there is a problem that the amount of deviation cannot be quantified.

本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、多層化後に1度の検査によって内層導電パターン部を含む全層の合致精度を確認することができ、同時に任意の層のズレ量を数値化することが可能なプリント配線板とプリント配線板の検査方法を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and the accuracy of matching of all layers including the inner conductive pattern portion can be confirmed by a single inspection after multilayering, and at the same time, the amount of deviation of any layer can be numerically determined. It is an object of the present invention to provide a printed wiring board that can be manufactured and a printed wiring board inspection method.

この目的を達成するために本発明のプリント配線板は、導電体と、導電体の上下両側に導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる検査クーポンを有している。この構成によって、導電体と上下それぞれのランドとの間の合致精度をX線検査によって測定することができる。しかもX線検査は専用の導電体とランドからなる検査クーポンに対して行うものであるので、ランドの形状や大きさは自由に設計することができる。   In order to achieve this object, the printed wiring board of the present invention has an inspection coupon comprising a conductor and lands formed on the upper and lower sides of the conductor so that the horizontal position of the conductor is substantially the same position. Yes. With this configuration, the matching accuracy between the conductor and the upper and lower lands can be measured by X-ray inspection. Moreover, since the X-ray inspection is performed on an inspection coupon made up of a dedicated conductor and land, the shape and size of the land can be designed freely.

また本発明のプリント配線板は、導電体の両側に接続されたランドは、どちらも円形であり、互いに径が異なるという構成を有している。この構成によって、導電体の両側に接続したランドはそのX線画像において、その円周部分が互いに重なり合ったり交わったりするということはなく、それぞれのランドの円周部分を認識するときに認識エラーが発生することはなく、導電パターンと導電体との合致精度を正確に高精度で検出することができる。さらにランドの大きさによりどのランドがどの層に形成したものであるかを認識することができる。   In the printed wiring board of the present invention, the lands connected to both sides of the conductor are both circular and have different configurations. With this configuration, the lands connected to both sides of the conductor do not overlap or cross each other in the X-ray image, and a recognition error occurs when recognizing the circumferential portion of each land. It does not occur, and the matching accuracy between the conductive pattern and the conductor can be accurately detected with high accuracy. Further, it is possible to recognize which land is formed on which layer according to the size of the land.

また本発明のプリント配線板は、導電体の両側に接続されたランドは、どちらも正多角形であり、互いに大きさが異なりかつ相似形であるという構成を有している。この構成によって、導電体の両側に接続したランドはそのX線画像において、その周辺部分が互いに重なり合ったり交わったりするということはなく、それぞれのランドの周辺部分を認識するときに認識エラーが発生することはなく、導電パターンと導電体との合致精度を正確に高精度で検出することができる。さらにランドの大きさによりどのランドがどの層に形成したものであるかを認識することができる。   In the printed wiring board of the present invention, the lands connected to both sides of the conductor are both regular polygons, and have different sizes and similar shapes. With this configuration, the lands connected to both sides of the conductor do not overlap or intersect with each other in the X-ray image, and a recognition error occurs when recognizing the periphery of each land. In other words, the matching accuracy between the conductive pattern and the conductor can be detected with high accuracy. Further, it is possible to recognize which land is formed on which layer according to the size of the land.

また本発明のプリント配線板は、一方が円形であり他方が正多角形であるという構成を有している。この構成によって、ランドの形状によりどのランドがどの層に形成したものであるかを認識することができる。   Moreover, the printed wiring board of this invention has the structure that one side is circular and the other is a regular polygon. With this configuration, it is possible to recognize which land is formed on which layer depending on the shape of the land.

また本発明のプリント配線板は、絶縁層の各々に少なくとも1個配置した導電体と、導電体の各々の上下両側に前記導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる複数の検査クーポンによって構成された検査クーポン群を有し、検査クーポンは一定エリア内に配列されているという構成を有している。この構成によって、多層化プリント配線板の完成後に一定のエリア内をX線検査することによって、導電体とその上下に隣接するランドの任意の組合せを検査することができ、各層毎に内層基板の状態で検査する必要はない。   Further, the printed wiring board of the present invention includes at least one conductor disposed on each insulating layer, and lands formed on the upper and lower sides of each conductor so that the horizontal position of the conductor is substantially the same position. A plurality of inspection coupons, and the inspection coupons are arranged in a certain area. With this configuration, an X-ray inspection is performed in a certain area after the completion of the multilayer printed wiring board, whereby any combination of conductors and lands adjacent to the upper and lower sides can be inspected. There is no need to check the condition.

また本発明のプリント配線板は、導電体と、導電体の上下の一方に導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる検査クーポンを有している。この構成によって、導電体と上下の一方のランドとの間の合致精度をX線検査によって測定することができる。しかもX線検査は専用の導電体とランドからなる検査クーポンに対して行うものであるので、ランドの形状や大きさは自由に設計することができる。   Moreover, the printed wiring board of this invention has a test | inspection coupon which consists of a conductor and the land formed so that a horizontal position may become a substantially identical position with a conductor in one of the upper and lower sides of a conductor. With this configuration, the matching accuracy between the conductor and one of the upper and lower lands can be measured by X-ray inspection. Moreover, since the X-ray inspection is performed on an inspection coupon made up of a dedicated conductor and land, the shape and size of the land can be designed freely.

本発明のプリント配線板およびプリント配線板の検査方法によれば、多層化後に1度の検査によって内層導電パターン部を含む全層の合致精度を確認することができ、同時に任意の層のズレ量とズレの向きを数値化することができる。   According to the printed wiring board and the printed wiring board inspection method of the present invention, it is possible to confirm the matching accuracy of all layers including the inner conductive pattern portion by one inspection after multilayering, and at the same time, the amount of deviation of any layer The direction of misalignment can be quantified.

以下本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1におけるプリント配線板の断面図およびX線画像であり、ランドと導電体との合致精度を検査するための検査クーポンを示すものである。本発明のプリント配線板を製造する工程フローの概略は、図6を用いて説明した従来のプリント配線板の製造方法と同じである。図1(a)において本発明のプリント配線板に付与した検査クーポン14は、絶縁層13に形成した導電体12a〜12cと、その絶縁層の上下に隣接する導電層に形成したランド11a〜11fによって構成されている。導電体12a〜12cは絶縁層13に形成した貫通孔に対して導電性ペーストを充填し、加熱加圧して硬化したものである。また、ランド11a〜11fは導電層をエッチングすることにより所定の形状に形成したものであり、ここでは円形の例を示した。導電体12aおよびこれの上下に隣接するランド11a、11bの中心は、水平位置が同一になるように設計されており、これらの導電体12a、ランド11a、11bによって1対の検査クーポン14を構成している。同様に導電体12b、ランド11c、11dおよび導電体12c、ランド11e、11fはそれぞれ別の検査クーポン14を構成している。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view and an X-ray image of a printed wiring board according to Embodiment 1 of the present invention, and shows an inspection coupon for inspecting the matching accuracy between a land and a conductor. The outline of the process flow for producing the printed wiring board of the present invention is the same as the conventional method for producing a printed wiring board described with reference to FIG. In FIG. 1A, an inspection coupon 14 applied to the printed wiring board of the present invention includes conductors 12a to 12c formed on an insulating layer 13, and lands 11a to 11f formed on conductive layers adjacent to the upper and lower sides of the insulating layer. It is constituted by. The conductors 12a to 12c are obtained by filling a through-hole formed in the insulating layer 13 with a conductive paste and curing by heating and pressing. The lands 11a to 11f are formed in a predetermined shape by etching the conductive layer. Here, a circular example is shown. The centers of the conductor 12a and the lands 11a and 11b adjacent to the top and bottom of the conductor 12a are designed to have the same horizontal position, and the conductor 12a and the lands 11a and 11b constitute a pair of inspection coupons 14. is doing. Similarly, the conductor 12b, the lands 11c, 11d and the conductor 12c, the lands 11e, 11f constitute separate inspection coupons 14, respectively.

この検査クーポン14にX線を照射すると図1(b)に示す透過画像が得られる。導電体12aおよびランド11a、11bは中心が同一の位置になるように設計されているので、それぞれの円の中心位置を求めることで合致精度を数値化して検査することができる。この一対の検査クーポン14から、導電体12aと上側のランド11aとの合致精度および導電体12aと下側のランド11bとの合致精度という2つの合致精度を確認することができる。ランド11aとランド11bは互いに円周部分が重なったり交わったりすることがないようにするために径が異なるように設計するのが有効である。これによりどちらのランドがどの層のものかを容易に知ることも可能となる。それぞれの径は合致精度の実力値を考慮して適宜設計すれば良い。本実施の形態1では最大ズレ量を0.05mmと想定して、導電体12aの径を0.1mm、ランド11a、11bの径をそれぞれ0.2mm、0.3mmとした。この構成により、ランドの周囲を鮮明に画像認識することが可能となり、認識エラーが発生することなく、導電体とランドとの合致精度を高精度に検査することができるようになった。   When this inspection coupon 14 is irradiated with X-rays, a transmission image shown in FIG. 1B is obtained. Since the conductor 12a and the lands 11a and 11b are designed so that their centers are at the same position, the matching accuracy can be numerically inspected by obtaining the center position of each circle. From this pair of inspection coupons 14, it is possible to confirm two matching precisions, that is, the matching precision between the conductor 12a and the upper land 11a and the matching precision between the conductor 12a and the lower land 11b. It is effective to design the lands 11a and lands 11b so that their diameters are different so that the circumferential portions do not overlap or cross each other. This makes it easy to know which land is in which layer. Each diameter may be appropriately designed in consideration of the ability value of the matching accuracy. In the first embodiment, assuming that the maximum deviation amount is 0.05 mm, the diameter of the conductor 12a is 0.1 mm, and the diameters of the lands 11a and 11b are 0.2 mm and 0.3 mm, respectively. With this configuration, the periphery of the land can be clearly recognized, and the matching accuracy between the conductor and the land can be inspected with high accuracy without causing a recognition error.

また図1に示すように各絶縁層13に1個ずつ配置した導電体12a〜12cとそのそれぞれの上下に設けたランド11a〜11fからなる検査クーポン14の集合を1つの検査クーポン群として一定エリア内に配列しておくのも有効である。これにより導電体とそれに隣接するランドとの全ての組合せがこの検査クーポン群内に網羅されることになる。この検査クーポン群を多層化後に検査することにより、1度の検査によって内層導電パターン部を含む全層の合致精度を確認することが可能となる。そして一定エリアの大きさを調整することにより、X線検査において図1(b)のように上記の全ての組合せを1視野内に撮像し画像処理することもできる。   Also, as shown in FIG. 1, a set of inspection coupons 14 including conductors 12a to 12c arranged one by one in each insulating layer 13 and lands 11a to 11f provided above and below the respective conductors 12a to 12c is defined as a group of inspection coupons. It is also effective to arrange them inside. As a result, all combinations of the conductor and the land adjacent thereto are covered in the inspection coupon group. By inspecting this inspection coupon group after multilayering, it is possible to confirm the matching accuracy of all layers including the inner conductive pattern portion by one inspection. Then, by adjusting the size of a certain area, it is possible to image and process all the above combinations within one field of view as shown in FIG.

検査クーポン14の設置箇所に関しては、製品の大きさ、形態によって適宜選択すれば良い。一般にプリント配線板は、部品をはんだ付け実装する際の実装ラインを流すために、製品領域とその周囲または周囲の一部に設けられた補強用の捨て基板部とによって構成されている。この捨て基板部に検査クーポン14を設置することにより、製品領域の邪魔になることなく、製品1枚毎に合致精度を保証するための検査に使用することができる。製品領域内のスペースに余裕があれば、製品領域内に設置しても良い。   What is necessary is just to select suitably about the installation location of the inspection coupon 14 according to the magnitude | size and form of a product. In general, a printed wiring board is composed of a product area and a reinforcing substrate board for reinforcement provided around the product area in order to flow a mounting line for soldering and mounting components. By installing the inspection coupon 14 on the discarded substrate portion, it can be used for inspection for assuring matching accuracy for each product without interfering with the product area. If there is room in the product area, it may be installed in the product area.

尚、本実施の形態1では、ランド11a〜11fは円形としたが正三角形、正方形に代表されるような正多角形としても同様に合致精度を検査することができる。このときも導電体の上下のランドの大きさが異なるように設計しておくことで、X線画像において上下のランドの周囲が重なったり交わったりすることのないようにできる。さらに、上下のランドの一方を円形とし他方を正多角形とすることや、一方を正三角形とし他方を正方形とすることも可能である。   In the first embodiment, the lands 11a to 11f are circular, but the matching accuracy can be similarly inspected by using regular polygons such as regular triangles and squares. Also at this time, by designing the conductors so that the sizes of the upper and lower lands are different, it is possible to prevent the surroundings of the upper and lower lands from overlapping or intersecting in the X-ray image. Furthermore, one of the upper and lower lands can be circular and the other can be a regular polygon, or one can be a regular triangle and the other can be a square.

また、図1は4層プリント配線板の例を示したが、5層以上のプリント配線板に対しても各層に検査クーポン14を形成することにより同様の方法で対応することができる。   Although FIG. 1 shows an example of a four-layer printed wiring board, it is possible to cope with a printed wiring board having five or more layers by forming an inspection coupon 14 on each layer.

また、導電体12a〜12cは絶縁層13に形成した貫通穴に対して導電性ペーストを充填し、加熱加圧して硬化したものとしたが、これ以外の方法、例えば貫通穴に固体の導電体を圧入する方法や、絶縁層の所定の箇所に貫通穴を加工することなく導電体を圧入する方法によって作製されたものであっても本実施の形態1と同様の構成にすることにより同様の効果を得ることができる。   In addition, the conductors 12a to 12c were formed by filling a through hole formed in the insulating layer 13 with a conductive paste and curing by heating and pressing. However, other methods such as a solid conductor in the through hole Even if it is made by a method of press-fitting a conductor or a method of press-fitting a conductor without processing a through-hole in a predetermined portion of an insulating layer, the same configuration as in the first embodiment is used. An effect can be obtained.

(実施の形態2)
また実施の形態1において同一層に形成されたランドを配線回路で接続するのも有効である。図2は図1において同一層に形成されたランド11bとランド11c、およびランド11dとランド11eをそれぞれ配線回路17で接続したものである。これにより、実施の形態1で説明したのと同様の方法によってX線で合致精度を確認することができ、さらに検査クーポン群を導通確認パターンとして用い、電気検査によって検査クーポン群全体の電気的導通を確認することもできる。
(Embodiment 2)
In the first embodiment, it is also effective to connect lands formed in the same layer with a wiring circuit. FIG. 2 shows the land 11b and land 11c, and the land 11d and land 11e formed in the same layer in FIG. Thus, the matching accuracy can be confirmed by X-rays by the same method as described in the first embodiment, and the inspection coupon group is used as a conduction confirmation pattern, and the electrical continuity of the entire inspection coupon group by electrical inspection. Can also be confirmed.

本実施の形態2を採用することにより、通常、断線や短絡の有無の確認を行う電気検査工程において、合わせて検査クーポン群の電気抵抗値の異常の有無を確認することでズレ不良を検出することができる。電気検査で異常があった製品のみをX線検査でさらに詳しく検査するという運用方法を用いても良い。   By adopting the second embodiment, in the electrical inspection process for confirming whether or not there is a disconnection or a short circuit, a misalignment is usually detected by confirming whether there is an abnormality in the electrical resistance value of the inspection coupon group. be able to. An operation method may be used in which only products that are abnormal in the electrical inspection are inspected in more detail by the X-ray inspection.

ランドの形状は実施の形態1と同じく、円形、正多角形などを用いることができる。図2(b)に示すように、ランド11b〜11eはその周囲の配線回路17が接続された箇所において一部欠ける形状となるが、画像認識によりランドの中心位置を求めることができる。   As in the first embodiment, the shape of the land can be a circle, a regular polygon, or the like. As shown in FIG. 2B, the lands 11b to 11e have a shape that is partially missing at a portion to which the surrounding wiring circuit 17 is connected, but the center position of the land can be obtained by image recognition.

尚、最外層のランド11a、11fは、電気検査において検査プローブを接触させるための引き出しランドを設けるなどの方法を用いることも可能である。   For the outermost lands 11a and 11f, it is possible to use a method of providing a lead-out land for contacting an inspection probe in an electrical inspection.

(実施の形態3)
図3は実施の形態2を更に発展させたものである。ここでは、導電体12a〜12cの上下のランド11a〜11fを全て同径の円とし、配線回路17の幅をランド11a〜11fの径と同一とし、導電体の一方に設置されたランドに接続された配線回路17と、他方に設置されたランドに接続された配線回路17は、各導電体から略180°の方向に接続されている。これにより、各配線回路17の両端のランドは半円形状となる。ビアの上下のランドは、元々は同径で水平位置が同位置の円形であるが、配線回路17を接続して半円形状となり、さらにこの2つの半円は向きが180°反対であるので、X線画像においてこの2つの半円の弧の部分は重ならない位置関係になる。その結果、それぞれの弧を鮮明に認識することができ、元々の円の中心を高精度で求めることができる。
(Embodiment 3)
FIG. 3 is a further development of the second embodiment. Here, the upper and lower lands 11a to 11f of the conductors 12a to 12c are all circles having the same diameter, the width of the wiring circuit 17 is the same as the diameter of the lands 11a to 11f, and the conductors 12a to 12c are connected to the lands installed on one side of the conductor. The wiring circuit 17 and the wiring circuit 17 connected to the land installed on the other side are connected to each conductor in a direction of about 180 °. As a result, the lands on both ends of each wiring circuit 17 have a semicircular shape. The top and bottom lands of the via are originally circular with the same diameter and the same horizontal position, but are connected to the wiring circuit 17 to form a semicircular shape, and the two semicircles are opposite in direction by 180 °. In the X-ray image, the arc portions of the two semicircles are in a positional relationship that does not overlap. As a result, each arc can be clearly recognized, and the center of the original circle can be obtained with high accuracy.

上下のランドを同径の円形とすることにより、必要以上にランドを大きくするのを避けることができる。その結果、検査クーポン群全体の面積を小さくすることができるという効果も有する。   By making the upper and lower lands circular with the same diameter, it is possible to avoid making the lands larger than necessary. As a result, the area of the entire inspection coupon group can be reduced.

(実施の形態4)
次に検査クーポンとして別なる形態を説明する。図4は本発明の実施の形態4におけるプリント配線板の断面図およびX線画像であり、ランドと導電体との合致精度を検査するための別なる検査クーポンを示すものである。本実施の形態4では図4(a)に示すように、検査クーポン14は、絶縁層13に形成した導電体12a〜12fと、その絶縁層の上下の一方のみに形成したランド11a〜11fによって構成されている。実施の形態1と同様に、導電体12a〜12fは絶縁層13に形成した貫通穴に対して導電性ペーストを充填し、加熱加圧して硬化したものである。また、ランド11a〜11fは導電層をエッチングすることにより所定の形状に形成したものである。導電体12a〜12fおよびこれの上下の一方に形成したランド11a〜11fの中心は、水平位置が同一になるように設計されており、導電体とランドの各1個の組によって1対の検査クーポン14を構成している。
(Embodiment 4)
Next, another form as an inspection coupon will be described. FIG. 4 is a cross-sectional view and an X-ray image of the printed wiring board according to Embodiment 4 of the present invention, and shows another inspection coupon for inspecting the matching accuracy between the land and the conductor. In the fourth embodiment, as shown in FIG. 4A, the inspection coupon 14 is composed of conductors 12a to 12f formed on the insulating layer 13 and lands 11a to 11f formed only on one of the upper and lower sides of the insulating layer. It is configured. As in the first embodiment, the conductors 12a to 12f are obtained by filling a through-hole formed in the insulating layer 13 with a conductive paste and curing by heating and pressing. The lands 11a to 11f are formed in a predetermined shape by etching the conductive layer. The centers of the conductors 12a to 12f and the lands 11a to 11f formed on one of the upper and lower sides of the conductors 12a to 12f are designed to have the same horizontal position, and a pair of inspections is performed by each pair of the conductor and the land. A coupon 14 is configured.

実施の形態1では径が異なる2つのランドが重なった状態のX線画像が得られるので、内側に位置する小さいほうのランドは微妙な濃淡の差によって円周部分を認識していたが、本実施の形態4では図4(b)のようにランドが重なることはなく個々に別々に配置されることになり、画像処理の調整が容易になるという利点がある。   In the first embodiment, an X-ray image in which two lands having different diameters are overlapped is obtained. Therefore, the smaller land located on the inner side recognizes the circumferential portion based on a subtle difference in shading. In the fourth embodiment, the lands do not overlap each other as shown in FIG. 4B and are arranged separately, and there is an advantage that adjustment of image processing becomes easy.

この検査クーポン14を用いた合致精度の検査も実施の形態1と同様の方法で行えばよい。すなわち、検査クーポン14にX線を照射して得られた図4(b)に示す透過画像から、ランド11a〜11fと導電体12a〜12fのそれぞれの円の中心位置を求めその差によって合致精度を検査することができる。   The matching accuracy inspection using the inspection coupon 14 may be performed by the same method as in the first embodiment. That is, the center position of each of the lands 11a to 11f and the conductors 12a to 12f is obtained from the transmission image shown in FIG. 4B obtained by irradiating the inspection coupon 14 with X-rays. Can be inspected.

また図4に示すように各絶縁層に2個ずつ配置した導電体とその上下の一方に設けたランドからなり、各絶縁層に配置した2個の導電体に対して、一方を導電体とその上側に形成したランドの組合せとし、他方を導電体とその下側に形成したランドの組合せとする検査クーポン14の集合を1つの検査クーポン群として一定エリア内に配列しておくのも有効である。これにより導電体とそれに隣接するランドとの全ての組合せがこの検査クーポン群内に網羅されることになる。そして一定エリアの大きさを調整することにより、X線検査において図4(b)のように上記の全ての組合せを1視野内に撮像し画像処理することを可能にすることができる。この配列方法としては設計事項として適宜選択することができる。図4(b)では説明の簡便のために横一列の例を示したが、これに限定されるものではなく、2行3列等の他の配列にすることも可能である。   Also, as shown in FIG. 4, it is composed of two conductors arranged in each insulating layer and lands provided on the upper and lower sides thereof, and one of the two conductors arranged in each insulating layer is a conductor. It is also effective to arrange a set of inspection coupons 14 with a combination of lands formed on the upper side and a combination of conductors and lands formed on the lower side as a group of inspection coupons in a certain area. is there. As a result, all combinations of the conductor and the land adjacent thereto are covered in this inspection coupon group. Then, by adjusting the size of a certain area, it is possible to image and process all the above combinations within one field of view as shown in FIG. This arrangement method can be appropriately selected as a design matter. In FIG. 4B, an example of one horizontal column is shown for convenience of explanation, but the present invention is not limited to this, and other arrangements such as 2 rows and 3 columns are also possible.

(実施の形態5)
本実施の形態5のプリント配線板は、複数の個別プリント配線板によって構成された集合プリント配線板である。ICチップ等の部品をはんだ付けする実装工程においては、集合プリント配線板を切断によって分割した後の個々の個別プリント配線板を用いるのが一般的であるが、プリント配線板の製造工程では、効率的に生産するために集合プリント配線板の状態で加工されていくのが一般的である。実施の形態1で説明した製品領域および捨て基板部のどちらにも検査クーポンを設置することができない場合は、集合プリント配線板の状態において、個別プリント配線板の間および周囲の余白部に設置することができる。最近の取引形態の多様化により集合プリント配線板のある段階までを自社で製造しその後他社に販売するという場合を想定すると、上記の構成を用いたうえでX線検査を行い、各々の個別プリント配線板を保証するということも有効である。
(Embodiment 5)
The printed wiring board of the fifth embodiment is a collective printed wiring board constituted by a plurality of individual printed wiring boards. In the mounting process for soldering components such as IC chips, it is common to use individual printed wiring boards after the assembly printed wiring board is divided by cutting, but in the manufacturing process of printed wiring boards, the efficiency is high. In general, it is processed in a state of a collective printed wiring board for production. When inspection coupons cannot be installed in either the product area or the discarded board part described in the first embodiment, they can be installed between the individual printed wiring boards and in the margins around the printed wiring boards. it can. Assuming a case in which up to a certain stage of the collective printed wiring board is manufactured in-house due to the recent diversification of business forms and then sold to other companies, X-ray inspection is performed after using the above configuration, and each individual print It is also effective to guarantee the wiring board.

図5は本発明の実施の形態5におけるプリント配線板の平面図であり、複数の個別プリント配線板16の集合プリント配線板において、個別プリント配線板16の間および周囲の余白部に設けた検査クーポン領域15に検査クーポンを設置した場合を示すものである。   FIG. 5 is a plan view of a printed wiring board according to the fifth embodiment of the present invention. In the collective printed wiring board of a plurality of individual printed wiring boards 16, inspections provided between and around the individual printed wiring boards 16 are provided. The case where an inspection coupon is installed in the coupon area 15 is shown.

本実施の形態5のプリント配線板に対する検査は、個々の個別プリント配線板16に切断した後は検査クーポン領域15も余白部と一緒に除去されることに留意して、切断前の集合プリント配線板の状態で行わなければならない。個別プリント配線板16の4隅に設置した検査クーポンを検査することによって、4隅の検査クーポンの検査結果がOKの場合にのみこれに囲まれた個別プリント配線板16を良品と判定するなどの運用方法で対応することができる。   Inspecting the printed wiring board according to the fifth embodiment, after cutting into individual printed wiring boards 16, the inspection coupon area 15 is also removed together with the blank portion. Must be done in the state of a board. By inspecting the inspection coupons installed at the four corners of the individual printed wiring board 16, the individual printed wiring board 16 surrounded by the inspection coupons at the four corners is determined to be non-defective only when the inspection result of the inspection coupon is OK. It can be handled by the operation method.

また、本発明の実施の形態5におけるプリント配線板を用いると、適宜選択した途中の加工工程にて集合プリント配線板の状態で検査を行い、不良と判定した集合プリント配線板の全体もしくは一部を後の加工工程で加工を行わないという運用方法を採用することによって無駄な加工費を節約することも可能である。   Further, when the printed wiring board according to the fifth embodiment of the present invention is used, the whole or a part of the aggregate printed wiring board that is inspected in the state of the aggregate printed wiring board in an appropriately selected processing step and determined to be defective. It is also possible to save useless processing costs by adopting an operation method in which processing is not performed in a subsequent processing step.

また連続生産が行われるプリント配線板の製造工程の途中において先行検査を行って、この検査結果を製造工程にフィードバックさせることにより生産品の合致精度を向上させることも可能である。表層のランドの形成位置はエッチングレジストとして用いるドライフィルムを露光する時の露光フィルムの合せ位置によって決定される。そこで、露光工程からエッチングまで先行品を作製した後に検査クーポンを検査することにより、導電体に対するランドのずれ量を二次元平面上のX成分、Y成分でそれぞれ求め、この結果を露光工程にフィードバックし、露光フィルムの合せ位置を補正すれば高精度な合致精度を有する製品を生産することができる。   It is also possible to improve the matching accuracy of the product by performing a prior inspection in the middle of the manufacturing process of the printed wiring board in which continuous production is performed and feeding back the inspection result to the manufacturing process. The formation position of the land on the surface layer is determined by the alignment position of the exposure film when the dry film used as the etching resist is exposed. Therefore, by inspecting the inspection coupon after manufacturing the preceding product from the exposure process to etching, the deviation of the land with respect to the conductor is obtained by the X component and the Y component on the two-dimensional plane, respectively, and this result is fed back to the exposure process. If the alignment position of the exposure film is corrected, a product having a high matching accuracy can be produced.

以上のように本発明のプリント配線板およびプリント配線板の検査方法によれば、多層化後に1度の検査によって内層導電パターン部を含む全層の合致精度を数値化して確認することができるので、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器用として有用である。   As described above, according to the printed wiring board and the printed wiring board inspection method of the present invention, the matching accuracy of all layers including the inner layer conductive pattern portion can be quantified and confirmed by a single inspection after multilayering. It is useful for various electronic devices such as personal computers, mobile communication telephones, and video cameras.

本発明の実施の形態1におけるプリント配線板の断面図およびX線画像を示す図The figure which shows sectional drawing and X-ray image of the printed wiring board in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態2におけるプリント配線板の断面図およびX線画像を示す図The figure which shows sectional drawing and X-ray image of the printed wiring board in Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態3におけるプリント配線板の断面図およびX線画像を示す図The figure which shows sectional drawing and X-ray image of the printed wiring board in Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態4におけるプリント配線板の断面図およびX線画像を示す図The figure which shows sectional drawing and X-ray image of the printed wiring board in Embodiment 4 of this invention 本発明の実施の形態5におけるプリント配線板の平面図The top view of the printed wiring board in Embodiment 5 of this invention 従来のプリント配線板の製造方法を示す断面図Sectional drawing which shows the manufacturing method of the conventional printed wiring board 従来のプリント配線板の検査方法を示す図The figure which shows the inspection method of the conventional printed wiring board

符号の説明Explanation of symbols

11a〜11f ランド
12a〜12f 導電体
13 絶縁層
14 検査クーポン
15 検査クーポン領域
16 個別プリント配線板
17 配線回路
11a to 11f Land 12a to 12f Conductor 13 Insulating layer 14 Inspection coupon 15 Inspection coupon area 16 Individual printed wiring board 17 Wiring circuit

Claims (14)

複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体を備え、
前記導電体と、前記導電体の上下両側に前記導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる検査クーポンを有することを特徴とするプリント配線板。
A plurality of conductive layers, insulating layers alternately stacked with the conductive layers, and a conductor that penetrates the insulating layers and electrically connects the conductive layers,
A printed wiring board comprising: an inspection coupon including the conductor and lands formed on both upper and lower sides of the conductor so that the horizontal position of the conductor is substantially the same.
前記導電体の両側に接続された前記ランドは、どちらも円形であり、互いに径が異なることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the lands connected to both sides of the conductor are both circular and have different diameters. 前記導電体の両側に接続された前記ランドは、どちらも正多角形であり、互いに大きさが異なりかつ相似形であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the lands connected to both sides of the conductor are both regular polygons, different in size and similar in shape. 前記導電体の両側に接続された前記ランドは、一方が円形であり他方が正多角形であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein one of the lands connected to both sides of the conductor is circular and the other is a regular polygon. 複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体を備え、
前記絶縁層の各々に少なくとも1個配置した前記導電体と、前記導電体の各々の上下両側に前記導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる複数の検査クーポンによって構成された検査クーポン群を有し、
前記検査クーポンは一定エリア内に配列されていることを特徴とするプリント配線板。
A plurality of conductive layers, insulating layers alternately stacked with the conductive layers, and a conductor that penetrates the insulating layers and electrically connects the conductive layers,
A plurality of inspection coupons comprising at least one conductor disposed on each of the insulating layers, and lands formed on both upper and lower sides of each of the conductors so that the horizontal positions of the conductors are substantially the same. Having a configured inspection coupon group,
The printed wiring board, wherein the inspection coupons are arranged in a certain area.
同一エリア内の検査クーポンのランドの中で同一層に形成された前記ランド同士が配線回路で接続されていることを特徴とする請求項5に記載のプリント配線板。 6. The printed wiring board according to claim 5, wherein the lands formed in the same layer among the lands of the inspection coupon in the same area are connected by a wiring circuit. 同一エリア内のランドは径が同一の円形であり、
同一エリア内の同一層に形成された前記ランド同士を接続する配線回路の幅は、前記ランドの径と同一であり、
導電体の一方の前記ランドに接続された前記配線回路と、前記導電体の他方の前記ランドに接続された前記配線回路は、前記導電体からそれぞれ略反対の方向に接続されていることを特徴とする請求項6に記載のプリント配線基板。
The lands in the same area are circular with the same diameter,
The width of the wiring circuit that connects the lands formed in the same layer in the same area is the same as the diameter of the lands,
The wiring circuit connected to one land of the conductor and the wiring circuit connected to the other land of the conductor are connected in substantially opposite directions from the conductor, respectively. The printed wiring board according to claim 6.
複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体を備え、
前記導電体と、前記導電体の上下の一方に前記導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる検査クーポンを有することを特徴とするプリント配線板。
A plurality of conductive layers, insulating layers alternately stacked with the conductive layers, and a conductor that penetrates the insulating layers and electrically connects the conductive layers,
A printed wiring board comprising: an inspection coupon comprising a conductor and a land formed on one of upper and lower sides of the conductor so that the horizontal position of the conductor is substantially the same.
複数の導電層と、前記導電層と交互に積層された絶縁層と、前記絶縁層を貫通し前記導電層同士を電気的に接続する導電体を備え、
前記絶縁層の各々に少なくとも2個配置した前記導電体と、前記導電体の各々の上下の一方に前記導電体と水平位置が略同一位置になるように形成されたランドからなる複数の検査クーポンによって構成された検査クーポン群を有し、
前記絶縁層の各々に配置した前記導電体に対して、前記導電体とその上側に形成したランドの組合せからなる検査クーポンおよび前記導電体とその下側に形成したランドの組合せからなる検査クーポンを含み、
前記検査クーポンは一定エリア内に配列されていることを特徴とするプリント配線板。
A plurality of conductive layers, insulating layers alternately stacked with the conductive layers, and a conductor that penetrates the insulating layers and electrically connects the conductive layers,
A plurality of inspection coupons comprising at least two conductors arranged on each of the insulating layers, and lands formed on the upper and lower sides of each of the conductors so that the horizontal positions of the conductors are substantially the same. A test coupon group configured by
An inspection coupon consisting of a combination of the conductor and a land formed above the conductor and an inspection coupon consisting of a combination of the conductor and a land formed below the conductor disposed on each of the insulating layers. Including
The printed wiring board, wherein the inspection coupons are arranged in a certain area.
検査クーポンが製品領域の周囲または周囲の一部に形成された捨て基板部に配置されたことを特徴とする請求項1または請求項8に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1 or 8, wherein the inspection coupon is disposed on a discarded substrate portion formed around or part of the periphery of the product area. 検査クーポンが製品領域内に配置されたことを特徴とする請求項1または請求項8に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the inspection coupon is arranged in a product area. 複数の個別プリント配線板の集合によって構成され、検査クーポンが前記個別プリント配線板の間もしくは周囲の前記個別プリント配線板領域外に配置されたことを特徴とする請求項1または請求項8に記載のプリント配線板。 9. The print according to claim 1, wherein the print coupon is configured by a set of a plurality of individual printed wiring boards, and an inspection coupon is disposed between or around the individual printed wiring boards outside the area of the individual printed wiring boards. Wiring board. 検査クーポンが個別プリント配線板の4隅に配置されたことを特徴とする請求項12に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 12, wherein inspection coupons are arranged at four corners of the individual printed wiring board. 請求項1または請求項8のプリント配線板の検査クーポンにX線を照射して得られる透過画像からランドとビアのそれぞれの中心を求め、その差により前記ランドと前記ビアとの合致精度を確認することを特徴とするプリント配線板の検査方法。 The center of each land and via is obtained from a transmission image obtained by irradiating the inspection coupon of the printed wiring board according to claim 1 or 8 with X-rays, and the matching accuracy between the land and the via is confirmed by the difference. A method for inspecting a printed wiring board, comprising:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011082378A (en) * 2009-10-08 2011-04-21 Panasonic Corp Position recognition mark of multilayer printed wiring board
JP2013021236A (en) * 2011-07-13 2013-01-31 Seiko Precision Inc Welding power evaluation device, welding power evaluation method, and computer program thereof
KR101320204B1 (en) 2012-07-31 2013-10-23 삼성전기주식회사 Curcuit board having test coupon

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10454352B1 (en) * 2016-05-02 2019-10-22 Williams International Co., L.L.C. Method of producing a laminated magnetic core

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6151510A (en) * 1984-08-22 1986-03-14 Shimadzu Corp Inspecting method for interlayer deviation of multilayer printed board
JPH0391993A (en) * 1989-09-04 1991-04-17 Fujitsu Ltd Measuring method for inner layer deviation of multilayer printed wiring board
JPH11145628A (en) * 1997-11-05 1999-05-28 Toshiba Corp Printed wiring board
JP2000294935A (en) * 1999-04-01 2000-10-20 Fujitsu Ten Ltd Multilayer board and inspection method for the multilayer board
JP3206635B2 (en) * 1995-04-28 2001-09-10 エルナー株式会社 Multilayer printed wiring board
JP2003283145A (en) * 2002-03-26 2003-10-03 Sumitomo Bakelite Co Ltd Method of inspecting misregistration of multilayer wiring board
JP2004063874A (en) * 2002-07-30 2004-02-26 Elna Co Ltd Method of inspecting multilayered printed wiring board

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6151510A (en) * 1984-08-22 1986-03-14 Shimadzu Corp Inspecting method for interlayer deviation of multilayer printed board
JPH0391993A (en) * 1989-09-04 1991-04-17 Fujitsu Ltd Measuring method for inner layer deviation of multilayer printed wiring board
JP3206635B2 (en) * 1995-04-28 2001-09-10 エルナー株式会社 Multilayer printed wiring board
JPH11145628A (en) * 1997-11-05 1999-05-28 Toshiba Corp Printed wiring board
JP2000294935A (en) * 1999-04-01 2000-10-20 Fujitsu Ten Ltd Multilayer board and inspection method for the multilayer board
JP2003283145A (en) * 2002-03-26 2003-10-03 Sumitomo Bakelite Co Ltd Method of inspecting misregistration of multilayer wiring board
JP2004063874A (en) * 2002-07-30 2004-02-26 Elna Co Ltd Method of inspecting multilayered printed wiring board

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011082378A (en) * 2009-10-08 2011-04-21 Panasonic Corp Position recognition mark of multilayer printed wiring board
JP2013021236A (en) * 2011-07-13 2013-01-31 Seiko Precision Inc Welding power evaluation device, welding power evaluation method, and computer program thereof
KR101320204B1 (en) 2012-07-31 2013-10-23 삼성전기주식회사 Curcuit board having test coupon

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