JP2009016679A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- 少なくとも３個づつ可動台に対向するように配置された浮上用電磁石を具備した固定台と、前記浮上用電磁石により非接触磁気浮上方式により支持される可動台と、前記可動台に具備された浮上制御用のギャップセンサと、前記可動台の中央に配置された２次元リニアセンサと、前記可動台を駆動するリニアモータとを備え、前記可動台の重心位置近傍の位置を検出する光学式計測手段が前記可動台の下面から計測したことを特徴とするステージ装置。
- 前記可動台のＸ軸方向の変位および前記可動台のY軸方向の変位を計測するために、前記固定台のZ軸方向の端面より検出部がはみ出し可能に配置されることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
- 前記可動台の前記重心位置近傍に、前記光学式計測手段の反射ミラーが備えられたことを特徴とする請求項１乃至または２に記載のステージ装置。
- 少なくとも３個づつ可動台に対向するように配置された浮上用電磁石を具備した固定台と、前記浮上用電磁石により非接触磁気浮上方式により支持される可動台と、前記可動台に具備された浮上制御用のギャップセンサと、前記可動台の中央に配置された２次元リニアセンサと、前記可動台を駆動するリニアモータとを備え、前記ギャップセンサが、低精度ギャップセンサとＺ軸光学式計測手段からなり、前記可動台と前記固定台間のギャップを計測し、前記可動台の浮上時に前記低精度ギャップセンサの信号を用いて浮上制御し、浮上後に前記可動台の下面から計測する前記Ｚ軸光学式計測手段の信号を用いて浮上制御するようにしたことを特徴とするステージ装置の制御方法。
- 前記固定台に備えた直動アクチュエータは、前記固定台に備えた回転検出ギャップセンサの検出信号に基づいて、回転補正し、回転補正後に前記可動台が浮上するようにしたことを特徴とする請求項５記載のステージ装置の制御方法。
- 請求項１から３のいずれか１つに記載の前記ステージ装置であって、前記ステージ装置によって被搬送物を位置決めすることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2007178863A JP2009016679A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | ステージ装置およびその浮上制御方法と、ステージ装置を用いた露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2007178863A JP2009016679A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | ステージ装置およびその浮上制御方法と、ステージ装置を用いた露光装置 |
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| JP2009016679A JP2009016679A (ja) | 2009-01-22 |
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ID=40357206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007178863A Pending JP2009016679A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | ステージ装置およびその浮上制御方法と、ステージ装置を用いた露光装置 |
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| JP (1) | JP2009016679A (ja) |
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