JP2009015310A - 光学素子の製造方法および光学素子 - Google Patents
光学素子の製造方法および光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009015310A JP2009015310A JP2008135692A JP2008135692A JP2009015310A JP 2009015310 A JP2009015310 A JP 2009015310A JP 2008135692 A JP2008135692 A JP 2008135692A JP 2008135692 A JP2008135692 A JP 2008135692A JP 2009015310 A JP2009015310 A JP 2009015310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- aluminum
- optical element
- water
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 79
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 71
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 40
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 35
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 16
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 16
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 14
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 7
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 50
- 239000010408 film Substances 0.000 description 103
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 40
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 23
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 19
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- -1 aluminum alkoxide Chemical class 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 10
- 108010025899 gelatin film Proteins 0.000 description 9
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 8
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N tri(butan-2-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].CCC(C)[O-].CCC(C)[O-].CCC(C)[O-] WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 4
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 4
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 4
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 4
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 4
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000006664 bond formation reaction Methods 0.000 description 3
- FPCJKVGGYOAWIZ-UHFFFAOYSA-N butan-1-ol;titanium Chemical compound [Ti].CCCCO.CCCCO.CCCCO.CCCCO FPCJKVGGYOAWIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N Cyclopentane Chemical compound C1CCCC1 RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000445 field-emission scanning electron microscopy Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N heavy water Substances [2H]O[2H] XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 2
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 2
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 2
- ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N zinc nitrate Chemical compound [Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SHXHPUAKLCCLDV-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trifluoropentane-2,4-dione Chemical compound CC(=O)CC(=O)C(F)(F)F SHXHPUAKLCCLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVBUKMMMRLOKQR-UHFFFAOYSA-N 1-phenylbutane-1,3-dione Chemical compound CC(=O)CC(=O)C1=CC=CC=C1 CVBUKMMMRLOKQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDTMFDGELKWGFT-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropan-2-olate Chemical compound CC(C)(C)[O-] SDTMFDGELKWGFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 3-[bis(2,4-dioxopentan-3-yl)alumanyl]pentane-2,4-dione Chemical compound CC(=O)C(C(C)=O)[Al](C(C(C)=O)C(C)=O)C(C(C)=O)C(C)=O XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- WOFAGNLBCJWEOE-UHFFFAOYSA-N Benzyl acetoacetate Chemical compound CC(=O)CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 WOFAGNLBCJWEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RCZPHVPIOWNERS-UHFFFAOYSA-N CCCO[Ti] Chemical compound CCCO[Ti] RCZPHVPIOWNERS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical compound CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N Methylacetoacetic acid Chemical compound COC(=O)CC(C)=O WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Al] Chemical compound O.O.O.[Al] MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020442 SiO2—TiO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- KVXNKFYSHAUJIA-UHFFFAOYSA-N acetic acid;ethoxyethane Chemical compound CC(O)=O.CCOCC KVXNKFYSHAUJIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDYRYUINDGQKMC-UHFFFAOYSA-M acetyloxyaluminum;dihydrate Chemical compound O.O.CC(=O)O[Al] HDYRYUINDGQKMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K aluminium phosphate Chemical compound O1[Al]2OP1(=O)O2 ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N aluminium triethoxide Chemical compound CCO[Al](OCC)OCC JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940009827 aluminum acetate Drugs 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- WJTCGQSWYFHTAC-UHFFFAOYSA-N cyclooctane Chemical compound C1CCCCCCC1 WJTCGQSWYFHTAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004914 cyclooctane Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- NZZIMKJIVMHWJC-UHFFFAOYSA-N dibenzoylmethane Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)CC(=O)C1=CC=CC=C1 NZZIMKJIVMHWJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001891 dimethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N ethanol;titanium Chemical compound [Ti].CCO.CCO.CCO.CCO XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASBGGHMVAMBCOR-UHFFFAOYSA-N ethanolate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] ASBGGHMVAMBCOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- MFGZXPGKKJMZIY-UHFFFAOYSA-N ethyl 5-amino-1-(4-sulfamoylphenyl)pyrazole-4-carboxylate Chemical compound NC1=C(C(=O)OCC)C=NN1C1=CC=C(S(N)(=O)=O)C=C1 MFGZXPGKKJMZIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- WBJINCZRORDGAQ-UHFFFAOYSA-N formic acid ethyl ester Natural products CCOC=O WBJINCZRORDGAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N heptamethylene Natural products C1CCCCCC1 DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAMFBRUWYYMMGJ-UHFFFAOYSA-N hexafluoroacetylacetone Chemical compound FC(F)(F)C(=O)CC(=O)C(F)(F)F QAMFBRUWYYMMGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- ZEIWWVGGEOHESL-UHFFFAOYSA-N methanol;titanium Chemical compound [Ti].OC.OC.OC.OC ZEIWWVGGEOHESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKGXNCHYONXJSM-UHFFFAOYSA-N methanolate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].[O-]C.[O-]C.[O-]C.[O-]C IKGXNCHYONXJSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000001935 peptisation Methods 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920003050 poly-cycloolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- AXLMPTNTPOWPLT-UHFFFAOYSA-N prop-2-enyl 3-oxobutanoate Chemical compound CC(=O)CC(=O)OCC=C AXLMPTNTPOWPLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPGAWFIWCWKDDL-UHFFFAOYSA-N propan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-] XPGAWFIWCWKDDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGSOBQAJAUGRBK-UHFFFAOYSA-N propan-2-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] ZGSOBQAJAUGRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYWQGROTKMBNKN-UHFFFAOYSA-N tributoxyalumane Chemical compound [Al+3].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] MYWQGROTKMBNKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MDDPTCUZZASZIQ-UHFFFAOYSA-N tris[(2-methylpropan-2-yl)oxy]alumane Chemical compound [Al+3].CC(C)(C)[O-].CC(C)(C)[O-].CC(C)(C)[O-] MDDPTCUZZASZIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- YZYKBQUWMPUVEN-UHFFFAOYSA-N zafuleptine Chemical compound OC(=O)CCCCCC(C(C)C)NCC1=CC=C(F)C=C1 YZYKBQUWMPUVEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003752 zinc compounds Chemical class 0.000 description 1
- XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L zinc stearate Chemical compound [Zn+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LPEBYPDZMWMCLZ-CVBJKYQLSA-L zinc;(z)-octadec-9-enoate Chemical compound [Zn+2].CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC([O-])=O LPEBYPDZMWMCLZ-CVBJKYQLSA-L 0.000 description 1
- 150000003755 zirconium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 光学部品上にアルミニウム含有膜を形成した光学素子の製造方法であって、少なくともアルミニウムを含有する金属アルコキシドを含む塗布液を用いて光学部品上に膜を形成する工程、前記膜を水含有液に浸漬する工程、前記水含有液に浸漬後の膜を焼成する工程、前記焼成後の膜を温水処理して微細構造を有するアルミニウム含有膜を形成する工程を有する光学素子の製造方法。
【選択図】 図1
Description
以下、図面を用いて本発明の光学素子の製造方法を説明する。
図1において、本発明の光学素子は、光学部品2と、光学部品2上に形成された、表面に凹凸構造を有するアルミニウム含有膜1とからなる。アルミニウム含有膜1の表面に形成された凹凸構造体は、光学面の表面に設計波長(例えば波長550nm)と同等の以下のピッチでアルミニウム化合物等の金属化合物と空隙との三次元構造である。この構造により界面反射光量を抑制できるものである。このアルミニウム含有膜からなる反射防止膜は、アルミニウムを含むゾル−ゲルコーティング液を塗布してゲル膜を形成した後、その表面を温水で処理することにより、酸化アルミニウム(アルミナ)を主成分とする板状結晶を形成する方法が好ましい。この酸化アルミニウム(アルミナ)を主成分とする板状結晶が、アルミニウム含有膜表面の微細な凹凸構造に対応する。酸化アルミニウムを主成分とする板状結晶は、アルミニウムの酸化物または水酸化物またはそれらの水和物を主成分とする結晶により形成される。特に好ましい結晶として、ベーマイトがある。また、これらの板状結晶を配することで、その端部が微細な凹凸構造を形成するので、微細な凹凸構造の高さを大きくし、その間隔を狭めるために板状結晶は選択的に光学部品の表面に対して45°以上90°以下の方向に配置されることが好ましい。
まず、光学部品上に、少なくともアルミニウムを含有する金属アルコキシドを含む塗布液を用いて膜を形成する。
次いで、「(1)光学部品上に膜を形成する工程」で光学部品上に形成した膜を、水含有液に浸漬させる。水含有液とは水を含む液を指し、例えばアルコールと水の混合液でも構わない。好ましくは水単独のほうが良い。また、水含有液の温度は、好ましくは5℃以上50℃以下が良い。50℃をこえる高い温度の水含有液に浸漬するとと、膜が溶解したり、酸化アルミニウムの結晶化が起こってしまい、構造制御が難しくなる。5℃より低いと、固化し始めた流動性が悪くなり十分な効果が得られない。浸漬時間は、短時間でも十分に効果が得られる。具体的には1分以上1時間以下が好ましく、5分以上20分以下がより好ましい。
次いで、「(2)膜を水含有液に浸漬する工程」で、水含有液に浸漬した後の膜を焼成し、酸化アルミニウムを主成分とするゲル膜を形成する。焼成温度は特に制限はないが、60℃以上300℃以下が好ましい。より好ましくは60℃以上200℃以下、さらには60℃以上150℃以下が好ましい。焼成温度が300℃を超えると、光学ガラス部品の面精度への悪影響、ガラスの破損などが懸念される。また、150℃を越える温度での焼成では耐熱性の低い有機高分子基材への適用は困難である。60℃未満の焼成では、次工程で行なう温水による処理の際、膜が溶け出してしまい、良好な反射防止特性が得られない。
次いで、「(3)水含有液に浸漬後の膜を焼成する工程」で焼成した後の膜を温水に浸漬する/或いは水蒸気にさらすことにより、その表面を溶解または析出させ、酸化アルミニウムの板状結晶による微細な凹凸構造を形成する。以下、この温水に浸漬する/或いは水蒸気にさらす処理を温水処理と称することにする。温水処理することより、酸化アルミニウムゲル膜の表層が解膠作用等を受け、一部の成分は溶出するものの、各種水酸化物の温水への溶解度の違いにより、酸化アルミニウムを主成分とする板状結晶が該ゲル膜の表層に析出、成長する。なお、温水に浸漬する場合、温水の温度は60℃以上100℃以下が好ましい。60℃より低いと板状結晶が形成されにくく、100℃をこえると気化してしまう。温水処理時間としては5分以上24時間以下が好ましく、15分以上1時間以下がより好ましい。
(1)反射率測定
垂直反射率r(%、0°入射)は、透過率計(日立製作所製U−4000)を用い、垂直透過率T(%、0°入射)から下記の式により、換算した値を用いた。
r(λ)=100×(100−T(λ))/(100+T(λ))(λ=400、410、420〜680、690、700nm)(式1)
平均反射率R=Σr(λ=400、410、420〜680、690、700nm)/31(式2)
(2)屈折率測定
膜の屈折率分析には分光エリプソメーター(ジェー・エー・ウーラムジャパン製、M−2000)を用いた。
(3)膜厚測定
膜厚は断面SEM(日立製FE−SEM S−4800)による実測値を用いた。
大きさ26mm×76mm、厚さ1mmの石英基板を中性洗剤、純水リンスで順次洗浄し乾燥後、コーティング用ガラス基板とした。
実施例1において予備乾燥を200℃、10分、安定化剤を除去した後の熱処理を200℃、2時間とした以外は実施例1と同様に作成し、測定をおこなった。
実施例1において予備乾燥を100℃、30分、安定化剤を除去した後の熱処理を100℃、3時間とした以外は実施例1と同様に作成し、測定をおこなった。
実施例1において予備乾燥を80℃、30分、安定化剤を除去した後の熱処理を80℃3時間とした以外は実施例1と同様に作成し、測定をおこなった。
実施例2において、予備乾燥後、エタノール・水混合溶液(濃度10wt%)を用いて安定化剤の除去をおこなう以外は実施例2と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリメチルメタクリレートを用いた以外は、実施例3と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリカーボネートを用いた以外は、実施例3と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリオレフィン(日本ゼオン(株)製、ゼオネックス480R、厚さ1mm)を用いた以外は、実施例3と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリメチルメタクリレートを用いた以外は、実施例4と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリカーボネートを用いた以外は、実施例4と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリオレフィンを用いた以外は、実施例4と同様に作成し、測定をおこなった。
Al2 O3 ゾルは、実施例1と同様の方法で調製した。
Al2 O3 ゾルは、実施例1と同様の方法で調製した。一方、酢酸亜鉛2水和物〔Zn(CH3 COO)2・2H2 O〕も〔IPA〕中に溶解させ、モノエタノールアミン〔MEA〕を添加し、約3時間室温で攪拌することにより、ZnO溶液を調製した。溶液のモル比は、Zn(CH3 COO)2・2H2 O:IPA:MEA=1:10:1の割合とした。このZnOゾル溶液を前記Al2 O3 ゾル溶液中に、重量比で、Al2 O3:ZnO=0.9:0.1となるように添加し、約3時間室温で攪拌した。以上のようにして、Al2 O3−ZnOゾルである塗布液を調製した。
[中間層塗料の作成]
テトラエトキシシラン〔TEOS〕、IPA、0.01M〔HClaq.〕を混合し、約3時間室温で攪拌することにより、SiO2 ゾル溶液を調製した。溶液のモル比は、TEOS:IPA=1:20とした。
実施例1において、乾燥までの工程を経た、透明なアモルファスAl2O3ゲル膜を、水蒸気により酸化アルミニウム(アルミナ)からなる反射防止膜を有するガラス基板を得た。具体的にはウオーターオーブン(AX−HX4、シャープ株式会社)で30分間水蒸気処理を施した。
ガラス基板(ne=1.524)の表面に塗布膜を形成した後、300℃、2時間熱処理することで透明なアモルファスAl2O3ゲル膜を得た。次に、80℃の熱水中に30分間浸漬したのち、60℃で10分間乾燥させ、酸化アルミニウムからなる反射防止膜を有する基板を得た。
比較例1において熱処理を200℃、2時間とした以外は比較例1と同様に作成し、測定をおこなった。
比較例1において熱処理を100℃、3時間とした以外は比較例1と同様に作成し、測定をおこなった。
比較例1において熱処理を80℃、3時間とした以外は比較例1と同様に作成し、測定をおこなった。
比較例2において熱処理を200℃、24時間とした以外は比較例2と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリメチルメタクリレートを用いた以外は、比較例4と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリカーボネートを用いた以外は、比較例4と同様に作成し、測定をおこなった。
基板としてポリオレフィン用いた以外は、比較例4と同様に作成し、測定をおこなった。
2 光学部品
Claims (10)
- 少なくともアルミニウムを含有する金属アルコキシドを含む塗布液を用いて光学部品上に膜を形成する工程と、前記膜を水含有液に浸漬する工程と、前記水含有液に浸漬後の膜を焼成する工程と、前記焼成後の膜を温水処理して凹凸構造を有するアルミニウム含有膜を形成する工程と、を有することを特徴とする光学素子の製造方法。
- 前記水含有液の温度は、5℃以上50℃以下であることを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記温水処理は、温水に浸漬することを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記温水の温度は、60℃以上100℃以下であることを特徴とする請求項3記載の光学素子の製造方法。
- 前記温水処理は、水蒸気にさらすことを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記水含有液に浸漬後の膜を焼成する温度は60℃以上300℃以下であることを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記凹凸構造は、酸化アルミニウムを主成分とする板状結晶であることを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記光学部品が有機高分子からなることを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記アルミニウム含有膜は、酸化アルミニウム膜であることを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 光学部品と、該光学部品上に形成された酸化アルミニウム膜を有する光学素子であって、前記酸化アルミニウム膜は表面に凹凸構造を有し、前記酸化アルミニウム膜の屈折率n1は、表面から光学部品との境界部に向かって増加し、前記酸化アルミニウム膜の前記光学部品との境界部の屈折率n2が1.30≦n2≦1.45であることを特徴とする光学素子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008135692A JP5279344B2 (ja) | 2007-06-06 | 2008-05-23 | 光学素子の製造方法 |
EP08009817.1A EP2000289A3 (en) | 2007-06-06 | 2008-05-29 | Method of manufacturing optical element, and optical element |
US12/130,073 US8603372B2 (en) | 2007-06-06 | 2008-05-30 | Method of manufacturing optical element, and optical element |
CN200810098680XA CN101324676B (zh) | 2007-06-06 | 2008-06-06 | 制造光学元件的方法和光学元件 |
US12/505,624 US7767287B2 (en) | 2007-06-06 | 2009-07-20 | Method of manufacturing optical element, and optical element |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007150689 | 2007-06-06 | ||
JP2007150689 | 2007-06-06 | ||
JP2008135692A JP5279344B2 (ja) | 2007-06-06 | 2008-05-23 | 光学素子の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009015310A true JP2009015310A (ja) | 2009-01-22 |
JP2009015310A5 JP2009015310A5 (ja) | 2011-07-07 |
JP5279344B2 JP5279344B2 (ja) | 2013-09-04 |
Family
ID=40188290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008135692A Expired - Fee Related JP5279344B2 (ja) | 2007-06-06 | 2008-05-23 | 光学素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5279344B2 (ja) |
CN (1) | CN101324676B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010256871A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Canon Inc | 光学用部材、その製造方法及び光学系 |
JP2010271534A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Canon Inc | 光学素子およびそれを有する光学装置 |
JP2010271374A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Canon Inc | 光学系及びそれを有する光学機器 |
JP2011236142A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Canon Inc | 酸化アルミニウム前駆体ゾルと酸化アルミニウム前駆体ゾルの製造法、及び光学用部材の製造方法 |
CN104698512A (zh) * | 2013-12-09 | 2015-06-10 | 东京毅力科创株式会社 | 具有防反射功能的部件及其制造方法 |
CN112213803A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-01-12 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种防水光学薄膜及制作方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5647924B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-01-07 | 富士フイルム株式会社 | 光学部材の製造方法 |
JP6234857B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2017-11-22 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止機能付きレンズの製造方法 |
WO2016170727A1 (ja) * | 2015-04-20 | 2016-10-27 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の製造方法 |
JP2019174781A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-10-10 | キヤノン株式会社 | 反射光学素子およびステレオカメラ装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09202649A (ja) * | 1996-01-24 | 1997-08-05 | Central Glass Co Ltd | 花弁状透明アルミナ膜及びその形成法 |
JP2001017907A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-01-23 | Tsutomu Minami | 表面微細凹凸組織の低温形成法および当該組織を有する基体 |
JP2005234447A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Canon Inc | 表面に微細な凹凸を有する膜、透明反射防止膜、それらの製造方法および光学部材 |
JP2005275372A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-10-06 | Canon Inc | 表面に微細な凹凸を有する膜、反射防止膜、それらの製造方法および光学部材 |
JP2006259711A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-09-28 | Canon Inc | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100414321C (zh) * | 2005-02-18 | 2008-08-27 | 佳能株式会社 | 光学透明部件和使用该光学透明部件的光学系统 |
-
2008
- 2008-05-23 JP JP2008135692A patent/JP5279344B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-06-06 CN CN200810098680XA patent/CN101324676B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09202649A (ja) * | 1996-01-24 | 1997-08-05 | Central Glass Co Ltd | 花弁状透明アルミナ膜及びその形成法 |
JP2001017907A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-01-23 | Tsutomu Minami | 表面微細凹凸組織の低温形成法および当該組織を有する基体 |
JP2005234447A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Canon Inc | 表面に微細な凹凸を有する膜、透明反射防止膜、それらの製造方法および光学部材 |
JP2005275372A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-10-06 | Canon Inc | 表面に微細な凹凸を有する膜、反射防止膜、それらの製造方法および光学部材 |
JP2006259711A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-09-28 | Canon Inc | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010256871A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Canon Inc | 光学用部材、その製造方法及び光学系 |
JP2010271374A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Canon Inc | 光学系及びそれを有する光学機器 |
JP2010271534A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Canon Inc | 光学素子およびそれを有する光学装置 |
US8437083B2 (en) | 2009-05-21 | 2013-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element, optical system including the optical element, and optical apparatus including the optical system |
JP2011236142A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Canon Inc | 酸化アルミニウム前駆体ゾルと酸化アルミニウム前駆体ゾルの製造法、及び光学用部材の製造方法 |
CN104698512A (zh) * | 2013-12-09 | 2015-06-10 | 东京毅力科创株式会社 | 具有防反射功能的部件及其制造方法 |
KR101833586B1 (ko) * | 2013-12-09 | 2018-02-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반사 방지 기능을 갖는 부재 및 그 제조 방법 |
CN112213803A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-01-12 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种防水光学薄膜及制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101324676A (zh) | 2008-12-17 |
CN101324676B (zh) | 2013-02-06 |
JP5279344B2 (ja) | 2013-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5279344B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
US7767287B2 (en) | Method of manufacturing optical element, and optical element | |
JP4520418B2 (ja) | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 | |
JP4182236B2 (ja) | 光学部材および光学部材の製造方法 | |
CN100595608C (zh) | 光学透明部件和使用该光学透明部件的光学系统 | |
JP5814512B2 (ja) | 光学用部材、その製造方法及び光学系 | |
JP6758901B2 (ja) | 反射防止膜、並びにそれを用いた光学用部材および光学機器 | |
JP4247354B2 (ja) | 表面微細凹凸組織の低温形成法および当該組織を有する基体 | |
JP6071318B2 (ja) | 光学部材および光学部材の製造方法 | |
US8501270B2 (en) | Optical transparent member and optical system using the same | |
JP2010250069A (ja) | 反射防止膜、及びこれを有する光学素子 | |
JP2015004871A (ja) | 光学用部材およびその製造方法 | |
JP2017062371A (ja) | 反射防止膜を有する光学部材及びその反射防止膜の製造方法 | |
JP2019061137A (ja) | 光学素子、光学機器、光学素子の製造方法および塗料 | |
JP5653069B2 (ja) | 酸化アルミニウム前駆体ゾルの製造法、及び光学用部材の製造方法 | |
JP2005202240A (ja) | 多孔質反射防止膜を有する光学素子 | |
JP2009163228A (ja) | 酸化物膜、酸化物膜形成用塗布液、酸化物膜を用いた光学部材、およびそれらの製造方法 | |
JP3650171B2 (ja) | 光学機能性膜の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110520 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130521 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |