JP2009014069A

JP2009014069A - シリンダ装置

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Publication number: JP2009014069A
Application number: JP2007175140A
Authority: JP
Inventors: Takumi Matsumoto; 拓実松本
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2007-07-03
Filing date: 2007-07-03
Publication date: 2009-01-22
Anticipated expiration: 2027-07-03
Also published as: JP5004048B2; US8024923B2; US20090007771A1

Abstract

【課題】エアシリンダに制御用の電磁弁や回路基板等を合理的かつコンパクトに取り付けることにより、エアシリンダ装置の小形化を実現する。
【解決手段】エアシリンダ１の軸線Ｌ方向の一端に配設されたアダプタプレート６の装置取付面６ｂに、電磁弁３０と、該電磁弁３０を制御するための制御回路が搭載された回路基板３１と、これらの電磁弁３０及び回路基板３１を覆うカバー３２とを、上記装置取付面６ｂの面域内に収まるように設置し、上記電磁弁３０の出力ポートＡ，Ｂと上記エアシリンダ１の圧力室１８，１９とを、上記アダプタプレート６に設けたエア通孔２０，２１を介して連通させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、圧力エアにより駆動されるエアシリンダに、該エアシリンダを制御するための電磁弁や回路基板等を一体に組み付けてなるエアシリンダ装置に関するものである。

圧力エアにより駆動されるエアシリンダに、該エアシリンダを制御するための電磁弁や回路基板等を一体に組み付けてなるエアシリンダ装置は、例えば特許文献１や特許文献２等に開示されているように従来より公知である。これらのエアシリンダ装置は、例えば、自動車部品等にスポット溶接を施すための溶接ガンや、製品の自動組み立てラインにおいて部品のクランプや搬送あるいは選別等を行うためのアクチュエータなどとして使用されるもので、小形且つ軽量であると共に、エア配管や、駆動電力及び制御信号を伝送するための伝送線等が、作業の邪魔にならないように配置されていることが要求される。

ところが、上記従来のエアシリンダ装置は、電磁弁がエアシリンダの側面に取り付けられると共に、該電磁弁とエアシリンダ内部の圧力室とを結ぶエア配管が該エアシリンダの外部を通るように配設されているため、エアシリンダ装置の用途によっては上記電磁弁やエア配管等が作業の障害になることがあり、また、エアシリンダ装置をより小形化する必要がある場合にこれらの電磁弁やエア配管等がその障害となるケースもあった。
特開２００２−２２４８４６号公報特開２００５−２８２７９６号公報

本発明の目的は、エアシリンダに制御用の電磁弁や回路基板等を合理的かつコンパクトに組み付けることにより、エアシリンダ装置の一層の小形化を可能にすると共に、上記電磁弁や回路基板あるいはエア配管等が作業の障害にならないようにすることにある。

上記目的を達成するため、本発明に係るエアシリンダ装置は、シリンダハウジングの内部に、圧力エアの作用により動作するピストンと、該ピストンに圧力エアを作用させるための圧力室とを有するエアシリンダ、及び、上記シリンダハウジングに取り付けられて該エアシリンダを制御する制御装置を有し、上記制御装置は、上記シリンダハウジングの軸線方向の一端に位置するアダプタプレートの上記軸線方向を向く装置取付面に、上記圧力室に対して圧力エアを給排する電磁弁と、該電磁弁を制御するための制御回路が搭載された回路基板と、これらの電磁弁及び回路基板を覆うカバーとを取り付けることにより構成され、上記電磁弁の出力ポートと上記圧力室とが、上記アダプタプレートに設けられたエア通孔を介して相互に連通し、上記回路基板は、上記カバーの内部に取り付けられて上記電磁弁に隣接する位置を占め、上記カバーは、上記アダプタプレートに該回路基板と一緒に着脱自在なるように取り付けられていることを特徴とするものである。

本発明において好ましくは、上記シリンダハウジングとアダプタプレート及びカバーの外周形状が、何れも矩形をしていて、アダプタプレートの矩形の大きさがシリンダハウジングの矩形の大きさの同等以下であり、かつ、このアダプタプレートにおける装置取付面の面域内に上記電磁弁と回路基板とカバーとが取り付けられていることである。

また、本発明においては、上記アダプタプレートが、上記ピストンが摺動するシリンダ孔の一端を塞ぐエンドプレートを兼ねていて、該アダプタプレートと上記ピストンとの間に上記圧力室が区画形成されていても良い。
あるいは、上記カバーが透明で、該カバー全体を通じて上記電磁弁及び回路基板が外部から透視可能であっても構わない。

更に、本発明においては、上記シリンダハウジング及びアダプタプレートの側面には、上記カバーの内部まで延びるセンサ取付溝が形成され、該センサ取付溝に、ピストンの動作位置を検出する位置センサが取り付けられ、該位置センサからのリード線が上記センサ取付溝を通じてカバーの内部に導入されると共に上記回路基板に接続されていることが好ましい。

あるいは、上記エアシリンダが複動形エアシリンダであって、上記ピストンの両側に２つの圧力室を有し、また、上記電磁弁が１つの５ポート電磁弁であって、２つの出力ポートを有し、これらの出力ポートが、上記アダプタプレートに設けられた２つのエア通孔を通じて上記２つの圧力室に個別に連通していても良い。

本発明によれば、エアシリンダの軸線方向の一端に電磁弁と回路基板とをアダプタプレートを介して取り付けると共に、上記電磁弁と圧力室とをこのアダプタプレートに設けたエア通孔を通じて連通させ、更に、これらの電磁弁と回路基板とをカバーで覆った構成としたことにより、従来品のように電磁弁やエア配管等をエアシリンダの側面にむき出し状態で取り付けたものに比べ、上記電磁弁や回路基板あるいはエア配管等をエアシリンダの径内に合理的に配置することができ、その結果、エアシリンダ装置をより小形化することが可能になるだけでなく、上記電磁弁や回路基板あるいはエア配管等がエアシリンダの側面方向に張り出して作業の邪魔にならないようにすることができる。

図１〜図５には本発明に係るエアシリンダ装置の一実施形態が示されている。このエアシリンダ装置は、圧力エアで駆動されるエアシリンダ１の軸線Ｌ方向の一端に、該エアシリンダ１を制御するための制御装置２を取り付けたものである。

上記エアシリンダ１は、外周形状が矩形である中空のシリンダハウジング３を有し、図２から分かるように、このシリンダハウジング３の内部の円形のシリンダ孔４内に、ピストン５がシリンダ孔４の軸線Ｌ方向に摺動自在に収容されている。上記シリンダ孔４の両端は、それぞれエンドプレート６，７によって塞がれている。また、上記ピストン５の一側には、上記軸線Ｌに沿って延びるピストンロッド８の基端部が連結され、このピストンロッド８の先端部は、ロッド側のエンドプレート７を気密に貫通してシリンダハウジング３の外部に延出している。
図中１０は、上記ピストン５の外周に取り付けられて該ピストン５の外周とシリンダ孔４の内周との間をシールするシール部材、１１は、上記ロッド側のエンドプレート７に取り付けられて該エンドプレート７の内周と上記ピストンロッド８の外周との間をシールするリップ形のシール部材である。

上記２つのエンドプレート６，７のうち、ロッド側のエンドプレート７は、円盤形をしていて、上記シリンダ孔４の内部に、シール部材１２を介して該シリンダ孔４から外部に突出しないように嵌め込まれ、Ｃ字形のリング１３で固定されている。
これに対してヘッド側のエンドプレート６は、上記シリンダハウジング３と同じ矩形の外周形状を有するもので、その矩形の大きさは、該シリンダハウジング３とほぼ同じかそれより僅かに小さい程度である。このエンドプレート６のシリンダハウジング３側を向く内側面には、短円柱状の嵌合部６ａが形成されていて、この嵌合部６ａを上記シリンダ孔４の端部にシール部材１４を介して嵌合させることにより、該シリンダ孔４の端部が気密に閉塞されている。このエンドプレート６は、図５に示すように、４つのねじ１５で上記シリンダハウジング３の端面に着脱可能に取り付けられている。

上記ピストン５とヘッド側のエンドプレート６との間には、ヘッド側圧力室１８が形成され、ピストン５とロッド側のエンドプレート７との間には、ロッド側圧力室１９が形成され、これらの圧力室１８，１９にそれぞれエア通孔２０，２１を通じて圧力エアを交互に給排することにより、上記ピストン５がピストンロッド８と共に軸線Ｌ方向に往復動するようになっている。従って、上記エアシリンダ１は、ピストン５の両側に圧力室１８，１９を有する複動形のシリンダである。

上記２つのエア通孔２０，２１のうち、ヘッド側圧力室１８に連通する第１のエア通孔２０は、上記ヘッド側のエンドプレート６を貫通して該エンドプレート６の装置取付面６ｂに開口している。また、ロッド側圧力室１９に連通する第２のエア通孔２１は、上記シリンダハウジング３の内部を軸線Ｌ方向に延びると共に、ヘッド側のエンドプレート６を貫通し、上記装置取付面６ｂの上記第１のエア通孔２０が開口する位置とは別の位置に開口している。

上記ピストン５の動作位置は、上記シリンダハウジング３に取り付けられた位置センサ２４ａ，２４ｂで検出されるようになっている。この位置検出のため、上記ピストン５には、環状の永久磁石２５が該ピストン５の外周を取り巻くように取り付けられており、これに対して上記シリンダハウジング３とヘッド側のエンドプレート６には、その上面を除く３つの面に、軸線Ｌ方向に延びるセンサ取付溝２６がそれぞれ２つずつ形成され、何れか１つの面にある２つのセンサ取付溝２６，２６に、オートスイッチなどからなる磁気感応式の上記位置センサ２４ａ，２４ｂが１つずつ取り付けられている。２つの位置センサのうち一方の位置センサ２４ａは、上記ヘッド側のエンドプレート６に近い位置に配設されていて、ピストン５の後退ストローク端での位置を検出するものであり、また、他方の位置センサ２４ｂは、上記ロッド側のエンドプレート７に近い位置に配設されていて、ピストン５の前進ストローク端での位置を検出するものである。
上記２つの位置センサ２４ａ，２４ｂからのリード線２４ｃは、上記センサ取付溝２６内を通り、エンドプレート６を通り過ぎて制御装置２に達したあと、該制御装置２の回路基板３１に端子４５を介して電気接続されている。

上記ヘッド側のエンドプレート６は、上記制御装置２をエアシリンダ１に取り付けるためのアダプタプレートを兼ねるものである。このため、このエンドプレート６の軸線Ｌ方向を向く外側端面が上記装置取付面６ｂとなっていて、この装置取付面６ｂに上記制御装置２を構成する各種機器が取り付けられている。従って、本実施形態に関する以下の説明において、「アダプタプレート６」と呼ばれているものは上記「エンドプレート６」と同じ部材である。

上記制御装置２は、上記アダプタプレート６に、上記圧力室１８，１９に対して圧力エアを給排する電磁弁３０と、該電磁弁３０を制御するための制御回路が搭載された上記回路基板３１と、これらの電磁弁３０及び回路基板３１を覆うカバー３２とを搭載することにより構成されている。
上記電磁弁３０は、パイロット式の５ポート電磁弁であって、図４に示すように、スプール３５で流路を切り換えるように構成された主弁部３４と、上記スプール３５を駆動するための電磁操作式のパイロット弁部３６とからなっていて、該パイロット弁部３６は、上記主弁部３４の下面に取り付けられている。

上記主弁部３４は、５ポート式の切換弁構造を有するもので、バルブハウジング３８の上面に開口する供給ポートＰと、該上面においてこの供給ポートＰの両側に開口する第１及び第２の２つの排出ポートＥＡ，ＥＢと、上記バルブハウジング３８の第１側面３８ａに開口する第１及び第２の２つの出力ポートＡ，Ｂと、これらの各ポートが連通する弁孔３９と、該弁孔３９内に収容された上記スプール３５とを有している。該スプール３５の両端には、受圧面積の異なるスプールピストン部３５ａ，３５ｂが形成されていて、受圧面積の大きい第１スプールピストン部３５ａは、上記スプール３５とは別に形成されたピストン部材によって形成され、受圧面積の小さい第２スプールピストン部３５ｂは、上記スプール３５と一体に形成されている。
そして、上記第２スプールピストン部３５ｂの受圧室３５ｄに、供給ポートＰから分岐するパイロット通孔を通じてパイロットエアを常時供給した状態で、上記パイロット弁部３６をオン・オフさせて第１スプールピストン部３５ａの受圧室３５ｃに対してパイロットエアを給排することにより、上記スプール３５を駆動して上記ポート間の流路の接続状態を切り換えるものである。

上記パイロット弁部３６は、３ポート弁からなるもので、励磁コイル３６ａへの通電により発生する電磁力で可動鉄心３６ｂを動作させ、この可動鉄心３６ｂで弁部材３６ｃを操作してパイロットオリフィスを開閉することにより、パイロットエアを上記第１スプールピストン部３５ａの受圧室３５ｃに対して給排するように構成されており、上記励磁コイルに通じる複数のコイル端子３６ｄ（図３及び図５参照）が、電磁弁３０の上記出力ポートＡ，Ｂが開口する第１側面３８ａと反対側の第２側面３８ｂから突出している。
従って、上記電磁弁３は、１つのパイロット弁部３６を有するシングルパイロット式の５ポート電磁弁であるが、このような電磁弁の基本的な構成及び作用については、公知のものと同じであるので、それらについてのこれ以上の説明は省略し、本実施形態に特に関係が深い構成に関して以下に説明するものとする。

上記電磁弁３０は、上記供給ポートＰと排出ポートＥＡ，ＥＢとを上に向けると共に、バルブハウジング３８の上記２つの出力ポートＡ，Ｂが開口する第１側面３８ａを上記アダプタプレート６の装置取付面６ｂに当接させた状態にして配設され、４つのねじ４０で該装置取付面６ｂに着脱可能に取り付けられている。このとき、該電磁弁３０は、上記装置取付面６ｂの面域内に完全に収まった状態に位置し、アダプタプレート６から側方にはみ出さないようになっている。また、上記２つの出力ポートＡ，Ｂのうち第１出力ポートＡは、シール部材を介して上記第１のエア通孔２０に連通し、第２出力ポートＢは、シール部材を介して上記第２のエア通孔２１に連通する。

従って、上記電磁弁３０のスプール３５が一方の切換位置に駆動されることによって第１出力ポートＡから圧力エアが出力されると、この圧力エアは、上記第１のエア通孔２０を通じてエアシリンダ１のヘッド側圧力室１８に供給され、ピストン５及びピストンロッド８を図２の位置から前進させる。このとき、上記電磁弁３０の他方の第２出力ポートＢは第２排出ポートＥＢに連通しているため、エアシリンダ１のロッド側圧力室１９内のエアは、上記第２のエア通孔２１から上記第２出力ポートＢ及び第２排出ポートＥＢを通じて外部に排出される。
上記スプール３５が反対側の切換位置に駆動されると、２つの圧力室１８，１９に対する圧力エアの給排の関係が上述した場合とは逆になり、ピストン５及びピストンロッド８は後退する。

上記電磁弁３０の供給ポートＰには、簡易接続式の管継手４２が取り付けられ、２つの排出ポートＥＡ，ＥＢには、スピードコントローラ付きのサイレンサ４３が取り付けられていて、これらの管継手４２及びサイレンサ４３は、上記装置取付面６ｂの面域からアダプタプレート６の側方に突出している。
上記管継手４２は、その配管接続口にエアチューブ４４を単に差し込むだけでこのエアチューブ４４を抜止状態に接続できるものであるが、その構成自体は既に公知であって、ここでは公知のものがそのまま使用されている。
また、上記サイレンサ４３は、排出ポートＥＡ，ＥＢからの排気流量を制限する絞り弁と排出ポートへのエアの逆流を防止する逆止弁とからなる上記スピードコントローラに、多孔質素材からなる吸音材を組み合わせて構成したもので、これも公知の構成を有するものである。

上記回路基板３１に搭載された制御回路は、シリアル信号によって電磁弁３０を駆動制御するシリアル回路であって、上記回路基板３１上に、駆動電圧伝送用及びシリアル信号伝送用の印刷配線が施されると共に、上記電磁弁３０の制御に必要な各種電子部品、例えば、シリアル配線４６を通じて送られて来るシリアル信号の中から上記電磁弁３０の動作信号を抽出する信号抽出器や、上記位置センサ２４ａ，２４ｂからの検出信号をシリアル信号に変換する信号変換器などの電子部品４７ａ、あるいは、電磁弁３０（従ってエアシリンダ１）の動作内容を設定するための電子部品（ディップスイッチ）４７ｂ等を搭載することにより、この制御回路が構成されている。

上記回路基板３１は、上記カバー３２の内部にエアシリンダ１の軸線Ｌと直交する向きに配設され、該カバー３２に形成された基板取付部３２ｃにねじ４０で着脱自在に取り付けられており、該カバー３２を上記アダプタプレート６に取り付けると、この回路基板３１が、上記電磁弁３０に隣接する位置に該電磁弁３０の第２側面３８ｂ全体を覆うように配設される。このとき、上記第２側面３８ｂに突出するコイル端子３５ｄが、該回路基板３１のプリント配線に通じる回路端子３１ａにプラグイン式に電気接続されるようになっている。

上記カバー３２は、透明な合成樹脂によって四角い箱形に形成されたもので、４つの平坦な側面３２ａと、これらの側面３２ａの一端を塞ぐ１つの平坦な端面３２ｂとを有するものである。即ち、このカバー３２は、上記シリンダハウジング３及びアダプタプレート６と同じ矩形の外周形状を有していて、その矩形の大きさは、上記アダプタプレート６と実質的に同じである。従って、このカバー３２を上記アダプタプレート６にねじ５１で取り付けると、上記シリンダハウジング３とアダプタプレート６と該カバー３２とが、外周面に殆ど段差を生じることなく滑らかに連なった状態となる。また、上記カバー３２を透して上記電磁弁３０及び回路基板３１が全体的に透視可能である。
上記ねじ５１を取り外すと、上記カバー３２が回路基板３１と一緒にアダプタプレート６から取り外される。
しかし、上記カバー３２の矩形の大きさは、上記アダプタプレート６より小さくても良い。この場合でも、上記電磁弁３０と回路基板３１とカバー３２とは、エアシリンダ１の一端面に該エアシリンダ１の側面方向にはみ出すことなく整然とかつコンパクトに取り付けられることになる。

上記カバー３２の１つの側面３２ａである上面には、上記電磁弁３０の供給ポートＰと２つの排出ポートＥＡ，ＥＢとに対応する位置に、３つの配管接続孔５２ａ，５２ｂ，５２ｂが設けられ、これらの配管接続孔から上記管継手４２とサイレンサ４３とが外部に延出している。従って、該カバー３２をアダプタプレート６から取り外す際には、これらの管継手４２とサイレンサ４３とを電磁弁３０から取り外しておく必要がある。
また、上記カバー３２の上面の別の位置には、配線接続孔５３が設けられていて、この配線接続孔５３から上記シリアル配線４６がカバー３２内に導入され、このシリアル配線４６が上記回路基板３１の配線ガイド５０を通じて該回路基板３１の印刷配線に接続されている。図示した実施形態においては、このシリアル配線４６が上記回路基板３１に直接はんだ付けされているが、上記配線接続孔５３の位置に回路基板３１に通じる雄コネクタを設け、上記シリアル配線４６の先端に取り付けた雌コネクタをこの雄コネクタに接続するように構成することもできる。
更に、上記カバー３２の別の側面３２ａには、上記ディップスイッチ４７ｂを操作するための窓孔４８も設けられている。

上記シリンダ装置を所定の設置場所に取り付けるため、上記シリンダハウジング３の下面には、２つのブラケット５４が取り付けられている。このブラケット５４は、シリンダハウジング３にねじ５５で固定する固定部５４ａと、所定の設置場所にボルト等で固定するための座部５４ｂとを有するものである。

上記エアシリンダ装置はこのように構成されていて、エアシリンダ１の軸線Ｌ方向の一端に位置するアダプタプレート６の装置取付面６ｂに、電磁弁３０と回路基板３１とを取り付けると共に、上記電磁弁３０と圧力室１８，１９とをこのアダプタプレート６に設けたエア通孔２０，２１を通じて相互に連通し、更に、これらの電磁弁３０と回路基板３１とをカバー３２で覆っているため、従来品のように電磁弁やエア配管等をエアシリンダの側面にむき出し状態で取り付けたものに比べ、上記電磁弁３０や回路基板３１あるいはエア通孔２０，２１等をエアシリンダ１の径内に合理的に配置することができ、その結果、エアシリンダ装置をより小形化することが可能になるだけでなく、上記電磁弁３０や回路基板３１あるいはエア通孔２０，２１等がエアシリンダ１の側面方向に張り出して作業の邪魔にならないようにすることができる。

上記実施形態においては、エアシリンダ１のエンドプレート（従ってアダプタプレート）６が、シリンダハウジング３とは別体に形成されて該シリンダハウジング３に取り付けられているが、このエンドプレート６はシリンダハウジング３と一体に形成されていても良い。
あるいは、上記エンドプレート６をシリンダハウジング３と一体に形成する場合でも別体に形成する場合でも、このエンドプレートに上記アダプタプレートを兼用させることなく、これらのエンドプレートとアダプタプレートとを別々に形成し、エンドプレートの端面にアダプタプレートを取り付けるようにすることも可能である。

また、上記実施形態においては、上記電磁弁３０が、１つのパイロット弁部３６を有するシングルパイロット式の５ポート電磁弁であるが、２つのパイロット弁部を有するダブルパイロット式の５ポート電磁弁を使用することもできる。このダブルパイロット式の電磁弁においては、２つのパイロット弁部により、上記スプールの両端のスプールピストン部の受圧室に対してパイロットエアが交互に給排される。この場合、該スプールの両端のスプールピストン部の受圧面積は等しくても良い。
あるいは、上記電磁弁３０として、１つの５ポート弁を使用する代わりに、３ポート弁を２つ使用することも可能である。

更に、上記実施形態では、上記エアシリンダ１が複動形のエアシリンダであるが、単動形のエアシリンダであっても構わない。このように単動形のエアシリンダを使用する場合には、ピストン５の片側だけに圧力室が形成され、反対側には復帰用ばねが配設される。例えば、図２において、ピストン５とヘッド側のエンドプレート６との間に圧力室１８が形成され、ピストン５とロッド側のエンドプレート７との間には上記復帰用ばねが配設されるが、その逆であっても構わない。また、上記電磁弁３０としては３ポート弁が使用される。

本発明に係るエアシリンダ装置の一実施形態を示す斜視図である。図１の断面図である。図１のカバーを破断して示す側面図である。図２のＩＶ−ＩＶ線での断面図である。図１の分解斜視図である。

符号の説明

Ｌ軸線
Ａ，Ｂ出力ポート
１エアシリンダ
２制御装置
３シリンダハウジング
４シリンダ孔
５ピストン
６アダプタプレート
６ｂ装置取付面
１８，１９圧力室
２０，２１エア通孔
２４ａ，２４ｂ位置センサ
２４ｃリード線
２６センサ取付溝
３０電磁弁
３１回路基板
３２カバー

Claims

シリンダハウジングの内部に、圧力エアの作用により動作するピストンと、該ピストンに圧力エアを作用させるための圧力室とを有するエアシリンダ、及び、上記シリンダハウジングに取り付けられて該エアシリンダを制御する制御装置、を有し、
上記制御装置は、上記シリンダハウジングの軸線方向の一端に位置するアダプタプレートの上記軸線方向を向く装置取付面に、上記圧力室に対して圧力エアを給排する電磁弁と、該電磁弁を制御するための制御回路が搭載された回路基板と、これらの電磁弁及び回路基板を覆うカバーとを取り付けることにより構成され、上記電磁弁の出力ポートと上記圧力室とが、上記アダプタプレートに設けられたエア通孔を介して相互に連通し、上記回路基板は、上記カバーの内部に取り付けられて上記電磁弁に隣接する位置を占め、上記カバーは、上記アダプタプレートに該回路基板と一緒に着脱自在なるように取り付けられていることを特徴とするエアシリンダ装置。
上記シリンダハウジングとアダプタプレート及びカバーの外周形状が、何れも矩形をしていて、アダプタプレートの矩形の大きさがシリンダハウジングの矩形の大きさの同等以下であり、かつ、このアダプタプレートにおける装置取付面の面域内に上記電磁弁と回路基板とカバーとが取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のエアシリンダ装置。
上記アダプタプレートが、上記ピストンが摺動するシリンダ孔の一端を塞ぐエンドプレートを兼ねていて、該アダプタプレートと上記ピストンとの間に上記圧力室が区画形成されていることを特徴とする先行する何れかの請求項に記載のエアシリンダ装置。
上記カバーが透明であって、該カバー全体を通じて上記電磁弁及び回路基板が外部から透視可能であることを特徴とする先行する何れかの請求項に記載のエアシリンダ装置。
上記シリンダハウジング及びアダプタプレートの側面には、上記カバーの内部まで延びるセンサ取付溝が形成され、該センサ取付溝に、ピストンの動作位置を検出する位置センサが取り付けられ、該位置センサからのリード線が上記センサ取付溝を通じてカバーの内部に導入されると共に上記回路基板に接続されていることを特徴とする先行する何れかの請求項に記載のエアシリンダ装置。
上記エアシリンダが複動形エアシリンダであって、上記ピストンの両側に２つの圧力室を有し、また、上記電磁弁が１つの５ポート電磁弁であって、２つの出力ポートを有し、これらの出力ポートが、上記アダプタプレートに設けられた２つのエア通孔を通じて上記２つの圧力室に個別に連通していることを特徴とする先行する何れかの請求項に記載のエアシリンダ装置。